CN114695220A - 晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备 - Google Patents

晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备 Download PDF

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CN114695220A
CN114695220A CN202210335242.0A CN202210335242A CN114695220A CN 114695220 A CN114695220 A CN 114695220A CN 202210335242 A CN202210335242 A CN 202210335242A CN 114695220 A CN114695220 A CN 114695220A
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Abstract

本申请公开了一种晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备，方法包括：获取配置文件，配置文件中记录有站点标识、从站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；确定晶圆的传输场景，传输场景包括至少一个传输步骤、每个传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；基于配置文件和传输场景，确定每个传输步骤中目标站点所使用的目标手指，目标手指为目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；通过与目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。本实施例实现了对传输晶圆的手指的选择。

Description

晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备
技术领域
本申请属于半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备。
背景技术
半导体工艺设备控制系统中，机械手是最关键的部分之一，其承担在各站点间传输晶圆的任务。现有调度方法的使用场景是机械手的两个手指材质相同，即使用的是两种一样的机械手指，因此对每一个站点进行取、放晶圆时每个手指均可以使用。使用哪个手指的判断依据是选取离目标站点近的手指，或者按照默认顺序，例如优先使用手指1，再使用手指2。
但是由于不同设备工艺腔室的差异，在从站点取出晶圆，或者向站点放置晶圆时，对所使用机械手手指的材质有特殊要求，因而需要指定用哪个手指执行取放晶圆动作；或者在特殊场景下，双手指机械手其中的一个手指损坏，在不能及时检修的情况下，需要用剩余的正常手指完成传输晶圆操作。
可见，当由于机械手指材质等原因，机械手对站点进行取、放晶圆必须使用指定的手指时，现有调度方法无法满足使用需求。
发明内容
本申请实施例提供一种晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备，以解决现有的晶圆调度方式不能对站点所使用手指进行选择的问题。
第一方面，本申请实施例提供了一种晶圆的传输方法，应用于半导体工艺设备中，包括：
获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；
确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；
基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；
针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
第二方面，本申请实施例另提供了一种晶圆的传输装置，应用于半导体工艺设备中，包括：
获取模块，用于获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；
第一确定模块，用于确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；
第二确定模块，用于基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；
传输模块，用于针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
第三方面，本申请实施例提供了一种半导体工艺设备，包括：控制器、机械手、多个站点，其中，所述机械手包括至少一个手指；
所述控制器，用于获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
第四方面，本申请实施例提供了一种电子设备，该电子设备包括处理器、存储器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的程序或指令，所述程序或指令被所述处理器执行时实现如第一方面所述的方法的步骤。
第五方面，本申请实施例提供了一种可读存储介质，所述可读存储介质上存储程序或指令，所述程序或指令被处理器执行时实现如第一方面所述的方法的步骤。
本申请实施例通过获取预先设置的配置文件，其中配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合，然后确定晶圆的传输场景，传输场景包括至少一个传输步骤、每个传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，基于配置文件和传输场景确定每个传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中目标手指为目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指，针对所述目标站点通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输；实现了能够设定机械手在各站点间传输晶圆时所使用的手指，解决了现有的晶圆调度方式不能对站点所使用手指进行选择的问题，使得能够满足多种使用场景；此外，通过设置配置文件，实现了对站点的操作手指进行统一动态管理，使得在修改每个站点传输晶圆所能够使用的机械手指时不需要更改代码，方便了用户管理操作。
附图说明
图1是本申请实施例中晶圆的传输方法的流程示意图；
图2是本申请实施例中配置文件结构的示意图；
图3是本申请实施例中晶圆在设备中的一种传输路径的示意图；
图4是本申请实施例中第一传输场景的晶圆传输过程示意图；
图5是本申请实施例中第二传输场景的晶圆传输过程示意图；
图6是本申请实施例中第二传输场景的处理流程示意图；
图7是本申请实施例中第三传输场景的晶圆传输过程示意图；
图8是本申请实施例中第三传输场景的处理流程示意图；
图9是本申请实施例中第四传输场景的晶圆传输过程示意图；
图10是本申请实施例中第四传输场景的处理流程示意图；
图11是本申请实施例提供的晶圆的传输装置的结构示意图；
图12是本申请实施例提供的半导体工艺设备的结构示意图；
图13是本申请实施例提供的电子设备的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例提供的方法进行详细地说明。
图1示出了本发明的一个实施例提供的晶圆的传输方法，该方法应用于半导体工艺设备中，可以由电子设备执行，该电子设备可以包括：服务器和/或终端设备。换言之，该方法可以由安装在该电子设备的软件或硬件来执行，该方法包括如下步骤：
步骤101：获取预先设置的配置文件。
其中，配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合。
可以理解的是，所能够使用也可以理解为必须使用，即从每个站点拾取晶圆时所选用的手指只能从机械手的第一手指集合中选取，向每个站点放置晶圆时所选用的手指只能从机械手的第二手指集合中选取。
站点的站点标识可以包括站点编号和/或站点名称，第一手指集合和第二手指集合中的手指均可以通过手指编号表示。
具体的，配置文件结构可以如图2所示。假设配置文件结构包括机械手A和机械手B，机械手A可以同时操作站点A、站点B和站点C，则可以针对每个站点设定取晶圆手指(即从站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合)和放晶圆手指(即从站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合)。
配置文件中设定的各站点使用的格式可以参考下述格式：
<StationInfo ID＝"1"Name＝"StationA"PickSlot＝"0"PlaceSlot＝"0"/>
<StationInfo ID＝"2"Name＝"StationB"PickSlot＝"0"PlaceSlot＝"0"/>
<StationInfo ID＝"3"Name＝"StationC"PickSlot＝"0"PlaceSlot＝"0"/>
<StationInfo ID＝"4"Name＝"StationD"PickSlot＝"0"PlaceSlot＝"0"/>
<StationInfo ID＝"5"Name＝"StationE"PickSlot＝"0"PlaceSlot＝"0"/>
在配置文件中按照上述格式进行配置，每一行代表一个站点的配置信息。“ID”为站点的编号；“Name”为站点的名称；“PickSlot”为机械手从该站点拾取晶圆时必须使用的手指，0表示任意手指，1表示编号为1的手指，2表示编号为2的手指；“PlaceSlot”为机械手向该站点放置晶圆时必须使用的手指，0表示任意手指，1表示编号为1的手指，2表示编号为2的手指。
此外，在设置配置文件时，可以在现有配置文件中添加新的配置项，根据实际需求，设定机械手在每一个站点取、放晶圆使用的手指。在执行本实施例时加载该配置文件，按照指定格式从该配置文件获取站点的所有属性，属性包括拾取晶圆所能够使用的第一手指集合、放置晶圆所能够使用的第二手指集合。
这样通过定义配置文件，实现了对站点的操作手指的统一管理，使得在更改站点取放晶圆的手指时，只需修改配置文件而无需更改代码逻辑，提高了对操作手指管理的灵活性。
步骤102：确定晶圆的传输场景。
其中，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及所述机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态。
具体的，每个传输步骤对应有一个目标站点，该传输步骤可以是从该目标站点拾取晶圆，还可以是在该目标站点放置晶圆。
此外，每个目标站点的当前状态可以为持有晶圆状态或未持有晶圆状态，即目标站点当前可以放置有晶圆，也可以未放置有晶圆。同理，机械手的手指的当前状态也可以为持有晶圆状态或未持有晶圆状态，即手指当前可以持有晶圆，也可以未持有晶圆。
这样，通过确定晶圆的传输场景，即确定晶圆的至少一个传输步骤、目标站点是否持有晶圆以及机械手的手指是否持有晶圆，实现了在晶圆传输过程中考虑影响晶圆传输的因素，从而为晶圆取放手指的确定提供了参考。
步骤103：基于配置文件和传输场景，确定每个传输步骤中目标站点所使用的目标手指。
其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指。
具体的，由于配置文件中配置了从每个站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合，即从每个站点拾取晶圆的手指必须是第一手指集合中的手指，向每个站点放置晶圆的手指必须是第二手指集合中的手指，因此在确定每个传输步骤中目标站点所使用的目标手指时，该目标手指也应该是目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指，从而使得所确定的目标手指能够满足传输晶圆的要求。
这样由于配置文件中记录了每个站点取放晶圆时所需要使用的手指，传输场景包括晶圆传输时所应考虑的传输步骤和外部参考因素(例如手指是否被晶圆占用、站点是否放置有晶圆)，从而使得在通过配置文件和传输场景，确定每个传输步骤中目标站点所使用的目标手指时，能够确保所确定的目标手指不会对整个传输场景中其他的传输步骤造成影响，保证了传输场景中整个传输过程的正常进行。
步骤104：针对目标站点，通过与目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
具体的，针对每个目标站点，可以通过与目标站点对应的目标手指进行晶圆传输，保证了传输场景中每个传输步骤的顺利进行。
这样，本实施例通过获取预先设置的配置文件，配置文件中记录有站点的站点标识、从站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合，并确定晶圆的传输场景，传输场景包括至少一个传输步骤、每个传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态，然后基于配置文件和传输场景，确定每个传输步骤中目标站点所使用的目标手指，针对目标站点，通过与目标站点对应的目标手指进行晶圆传输，实现了晶圆传输过程中对手指的选择，且由于配置文件中记录了每个站点取放晶圆时所需要使用的手指，传输场景包括晶圆传输时所应考虑的传输步骤和外部参考因素(例如手指是否被晶圆占用、站点是否放置有晶圆)，从而能够确保所确定的目标手指不会对整个传输场景中其他的传输步骤造成影响，保证了传输场景中整个传输过程的正常进行。
在一种实现方式中，所述传输场景包括下述第一传输场景、第二传输场景、第三传输场景和第四传输场景中的至少一种；其中，
所述第一传输场景包括：将机械手上的晶圆放置在第一目标站点的第一传输步骤，所述机械手的至少一个手指为持有晶圆状态，所述第一目标站点为未持有晶圆状态；
所述第二传输场景包括：从第二目标站点拾取晶圆的第二传输步骤、向所述第二目标站点放置晶圆的第三传输步骤，所述机械手的部分手指为持有晶圆状态以及剩余部分手指为未持有晶圆状态，在所述第二传输步骤中所述第二目标站点为持有晶圆状态；
所述第三传输场景包括：从第三目标站点拾取晶圆的第四传输步骤、从第四目标站点拾取晶圆的第五传输步骤、将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的第六传输步骤，所述机械手的至少两个手指均为未持有晶圆状态，所述第三目标站点和所述第四目标站点均为持有晶圆状态；
所述第四传输场景包括：从第五目标站点拾取晶圆的第七步骤、将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的第八步骤，所述机械手的至少一个手指为未持有晶圆状态，所述第五目标站点为持有晶圆状态，所述第六目标站点为未持有晶圆状态。
在此对上述各个传输场景进行分析。
假设晶圆在设备中的传输路径如图3所示，晶圆从站点(Station)A出发，经过StationB、StationC、StationD，最后回到StationA。
在此对拾取晶圆在两个站点之间的传输进行分析，假设起始站点选择StationA，终点站点选择StationB，用于在StationA和StationB之间传输晶圆的机械手Robot，StationA和StationB可以各自可以放置一个晶圆，Robot有两个手指Slot1和Slot2，可以分别可以放置一个晶圆。根据站点和机械手持有晶圆的状态共有表1所示16种场景，关于表中信息解释约定如下：
场景：站点和机械手持有晶圆的状态场景，一共全部16种情况，如下表1所示；
StationA：表示起始站点(晶圆即将离开的站点)；
StationB：表示终点站点(晶圆即将到达的站点)；
Robot：表示双手指机械手；
Slot1：表示机械手的手指1；
Slot2：表示机械手的手指2；
●：表示当前站点有晶圆存在，且不可放置其他晶圆；
○：表示当前站点有空闲位置可以放置晶圆；
×：表示不具备传输晶圆的条件；
K->L：表示K向L传输晶圆。
晶圆传输优先级设定：机械手上的晶圆的优先级大于起始站点的晶圆。
16种场景的调度场景如表1所示。
表1
Figure BDA0003576554000000091
Figure BDA0003576554000000101
以上场景中，除去不可传输和结果相同的场景，只剩下场景2-8，根据上述晶圆传输时的优先级设定，当机械手上存在晶圆时，起始站点的晶圆不考虑进行传输，从而对剩余的2-8场景可以进一步合并描述，场景1、4、6合并为：机械手上有晶圆，终点站点没有晶圆；场景3和场景5合并为：机械手上有晶圆，终点站点也有晶圆；合并后的四种新场景如下表2所示。
表2
Figure BDA0003576554000000102
Figure BDA0003576554000000111
通过上述场景分析可以分析得到第一传输场景、第二传输场景、第三传输场景和第四传输场景，且上述四种传输场景概括了较多的晶圆传输过程，从而使得在晶圆传输时可以参考上述传输场景，提高了晶圆的传输效率。
此外，在此可以针对每种传输场景设计确定目标站点使用的目标手指的方式，具体可以参考如下。
其中，对上述最终归纳后的四种传输场景进行实现时需要定义几种用到的判断词，具体解释如下：
“可取”：判断指定手指能否从目标站点拾取晶圆，输入可以为目标站点、机械手指ID，输出可以为返回Yes/No。Yes表示可以拾取晶圆，No表示不可以拾取晶圆。
“可放”：判断指定手指能否向目标站点放置晶圆，输入可以为目标站点、机械手指ID，输出可以为返回Yes/No。Yes表示可以放置晶圆，No表示不可以放置晶圆。
“找可取手指”：找到能从目标站点拾取晶圆的机械手指集合，输入可以为目标站点，输出可以为返回Yes/No。Yes表示找到了可以从站点拾取晶圆的机械手指ID集合，No表示没有找到。
“找可放手指”：找到能向目标站点放置晶圆的机械手指集合，输入可以为目标站点，输出可以为返回Yes/No。Yes表示找到了可以向站点放置晶圆的机械手指ID集合，No表示没有找到。
“找可取可放手指”：找到能从起始站点拾取晶圆，同时也能向终点站点放置晶圆的机械手指集合，输入可以为起始站点和终点站点，输出可以为返回Yes/No。Yes表示找到了可以取放晶圆的机械手指ID集合，No表示没有找到。
“找其他可用手指”：找到除了指定机械手指以外其他可用的手指，输入可以为机械手指ID，输出可以为返回Yes/No。Yes表示找到了其他可用机械手指ID集合，No表示没有找到。
在一种实现方式中，若所述传输场景为所述第一传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：
基于所述配置文件，检测持有晶圆的所述至少一个手指中是否存在属于所述第一目标站点所对应的第二手指集合的手指；
若检测结果为是，则将该手指确定为将晶圆放置在所述第一目标站点时所使用的目标手指。
具体的，针对第一传输场景，即包括将机械手上的晶圆放置在第一目标站点的第一传输步骤，所述机械手的至少一个手指为持有晶圆状态，所述第一目标站点为未持有晶圆状态。针对该场景，可以通过配置文件中记录的站点属性，检测机械手持有晶圆的至少一个手指中是否存在属于第一目标站点所对应的第二手指集合的手指，即检测持有晶圆的至少一个中是否存在能够向第一目标站点放置晶圆的手指，若检测到是，则可以将该手指(即至少一个手指中属于第一目标站点所对应的第二手指集合的手指)确定为将晶圆放置在第一目标站点时所使用的目标手指。
下面通过具体示例对此进行说明。
例如，假设机械手至少一个手指持有晶圆，第一目标站点StationB可以放置晶圆(即为未持有晶圆状态)，传输过程如图4所示，为将机械手上的一个晶圆传输到StationB。
该场景处理流程可以为，用“可放”进行检测，即判断手指是否能够向第一目标站点放置晶圆，此时输入可以为持有晶圆的机械手指ID，如Slot1或Slot2，如果检测通过，则该手指ID用于创建动作(Move)时使用，如果检测未通过，则当前晶圆传输场景无法实现。
在一种实现方式中，若所述传输场景为所述第二传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：
基于所述配置文件，检测持有晶圆的所述部分手指中是否存在属于所述第二目标站点所对应的第二手指集合的手指；
若检测结果为是，则将该手指确定为向所述第二目标站点放置晶圆的目标手指，并基于所述配置文件获取所述第二目标站点所对应的第一手指集合；
检测未持有晶圆的所述剩余部分手指中是否存在属于所述第二目标站点所对应的第一手指集合且属于所述第二目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为从所述第二目标站点拾取晶圆的目标手指。
具体的，第二传输场景包括：从第二目标站点拾取晶圆的第二传输步骤、向第二目标站点放置晶圆的第三传输步骤，机械手的部分手指为持有晶圆状态以及剩余部分手指为未持有晶圆状态，在第二传输步骤中第二目标站点为持有晶圆状态；针对该传输场景，可以先通过配置文件中记录的第二目标站点的属性，检测持有晶圆的部分手指中是否存在属于该第二目标站点所对应的第二手指集合的手指，若是，则说明该手指(即部分手指中属于该第二目标站点所对应的第二手指集合的手指)能够向第二目标站点放置晶圆，则可以将该手指确定为向第二目标站点放置晶圆的目标手指。继续的，还可以继续检测未持有晶圆的剩余部分手指中是否存在属于第二目标站点所对应的第一手指集合且属于第二目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指，若该手指可以从第二目标站点拾取晶圆，且该手指同时能够向第二目标站点的下一站点放置晶圆，则可以将该手指确定为从第二目标站点拾取晶圆的目标手指。
下面通过具体示例对此进行说明。
例如，假设机械手手指slot1持有晶圆，另一个手指slot2未持有晶圆，StationB放置有晶圆且该晶圆的下一个站点为StationC。如图5所示，晶圆传输过程为：Slot2先从StationB拾取晶圆，然后Slot1向StationB放置晶圆。
如图6所示，该场景处理流程可以为，首先通过“可放”检测slot1是否允许向StationB放置晶圆(对应图5中的步骤“2”)，如果检测通过，继续使用“找可取手指”寻找允许从StationB拾取晶圆的手指(对应图5中的步骤“1”)，如果找到且该集合包括未使用的手指slot2，则继续检测slot2能否向StationB中晶圆的下一个站点StationC放置晶圆(对应图5中的步骤“3”)，如果检测通过，按照该场景的晶圆传输流程创建Move。如果处理流程中的任一检测不通过，则当前晶圆传输场景无法实现。
在一种实现方式中，若所述传输场景为所述第三传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：
获取未持有晶圆的至少两个手指和所述第四目标站点所对应的第一手指集合的第一交集；
检测所述第一交集中是否存在属于所述第四目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指；
若检测结果为是，则将该手指确定为从所述第四目标站点拾取晶圆的目标手指；
检测未持有晶圆的至少两个手指的其他手指中是否存在属于所述第三目标站点所对应的第一手指集合且属于所述第四目标站点所对应的第二手指集合的手指；
若检测结果为是，则将该手指确定为从第三目标站点拾取晶圆的目标手指，并将该手指确定为将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的目标手指。
具体的，至少两个手指的其他手指是，除已确定为从第四目标站点拾取晶圆的目标手指之外的手指。
具体的，第三传输场景包括从第三目标站点拾取晶圆的第四传输步骤、从第四目标站点拾取晶圆的第五传输步骤、将从第三目标站点拾取的晶圆放置在第四目标站点的第六传输步骤，机械手的至少两个手指均为未持有晶圆状态，第三目标站点和第四目标站点均为持有晶圆状态；针对该传输场景，可以获取未持有晶圆的手指和第四目标站点所对应的第一手指集合的第一交集，此时若存在第一交集(即未持有晶圆的手指能够从第四目标站点拾取晶圆)，且第一交集中存在属于第四目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指，即该手指能够向下一站点放置晶圆，则可以将该手指(即第一交集中属于第四目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指)确定为从第四目标站点拾取晶圆的目标手指。此外，若未持有晶圆的至少两个手指的其他手指中存在属于第三目标站点所对应的第一手指集合且属于第四目标站点所对应的第二手指集合的手指，即该手指能够从第三目标站点拾取晶圆并能够向第四目标站点放置晶圆，则可以将该手指(即属于第三目标站点所对应的第一手指集合且属于第四目标站点所对应的第二手指集合的手指)确定为从第三目标站点拾取晶圆的目标手指以及将晶圆放置在第四目标站点的目标手指。
下面通过具体示例对此进行说明。
例如，假设StationA存在晶圆，机械手两个手指slot1和slot2均未持有晶圆，StationB放置有晶圆且该晶圆的下一个站点为StationC。如图7所示，晶圆传输过程为：slot1从StationA拾取晶圆，slot2从StationB拾取晶圆，slot1将持有的晶圆放置到StationB。
如图8所示，该场景处理流程可以为，首先通过“找可取手指”找到可以从StationB拾取晶圆的机械手指集合(对应图7中的步骤“2”)，再遍历该机械手指集合通过“可放”检测当前机械手指是否可以向StationC放置晶圆(对应图7中的步骤“4”)；如果检测通过继续使用“找其他可用手指”寻找除了上述通过检测手指以外的其他可用手指，如果当前检测通过，用找到的手指作为输入继续用“可取”和“可放”检测该手指是否能从StationA拾取晶圆然后放置到StationB(对应图7中的步骤“1”和“3”)。如果所有检测均通过，则用筛选出的手指按照该场景流程对晶圆进行传输。如果处理流程中的任一检测不通过，则当前晶圆传输场景无法实现。
在一种实现方式中，若所述传输场景为所述第四传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：
获取未持有晶圆的至少一个手指、所述第五目标站点所对应的第一手指集合和所述第六目标站点所对应的第二手指集合的第二交集；
将所述第二交集中的任意手指或默认手指确定为从第五目标站点拾取晶圆的目标手指，并将其确定为将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的目标手指。
具体的，第四传输场景包括从第五目标站点拾取晶圆的第七步骤、将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的第八步骤，机械手的至少一个手指为未持有晶圆状态，第五目标站点为持有晶圆状态，第六目标站点为未持有晶圆状态。针对该传输场景，可以获取未持有晶圆的手指、第五目标站点所对应的第一手指集合和第六目标站点所对应的第二手指集合的第二交集，即第二交集中的手指同时满足未持有晶圆、能够从第五目标站点拾取晶圆以及向第六目标站点放置晶圆的特征；然后可以将该第二交集中的任意手指或默认手指确定为从第五目标站点拾取晶圆以及放置在第六目标站点的目标手指。
具体的，默认手指可以为指定的手指，例如编号为P的手指。
下面通过具体示例对此进行说明。
例如，假设StationA放置有晶圆，机械手两个手指slot1和slot2均未持有晶圆，StationB不存在晶圆(即为未持有晶圆状态)。如图9所示，晶圆传输过程为：机械手用slot1或者slot2从StationA拾取晶圆，然后放置到StationB。
如图10所示，该传输场景处理流程为，首先通过“找可取可放手指”找到可以从StationA拾取晶圆并放置到StationB的机械手指集合，如果该机械手指集合中找到大于1个符合该条件的手指，则优先使用默认手指(例如编号为1的手指)。如果检测通过，则用筛选出的手指按照该场景流程对晶圆进行传输。如果检测不通过，则当前晶圆传输场景无法实现。
通过上述方式实现了以配置文件所设定站点取放晶圆的机械手指为约束条件，结合晶圆的传输场景对晶圆的取放手指进行分配，且通过加载配置文件，使得在修改传输晶圆使用的机械手指时，不需要更改代码；此外，实现了设定机械手在各站点传输晶圆时使用的手指，避免了由于机械手指材质等原因，机械手对站点进行取、放晶圆必须使用指定的手指时，现有调度方法无法满足使用需求的问题。
图11示出本发明的一个实施例提供的一种晶圆的传输装置的结构示意图。该装置应用于半导体工艺设备中，如图11所示，包括：
获取模块1101，用于获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；
第一确定模块1102，用于确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及所述机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；
第二确定模块1103，用于基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；
传输模块1104，用于针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
在一种实现方式中，所述传输场景包括下述第一传输场景、第二传输场景、第三传输场景和第四传输场景中的至少一种；其中，
所述第一传输场景包括：将机械手上的晶圆放置在第一目标站点的第一传输步骤，所述机械手的至少一个手指为持有晶圆状态，所述第一目标站点为未持有晶圆状态；
所述第二传输场景包括：从第二目标站点拾取晶圆的第二传输步骤、向所述第二目标站点放置晶圆的第三传输步骤，所述机械手的部分手指为持有晶圆状态以及剩余部分手指为未持有晶圆状态，在所述第二传输步骤中所述第二目标站点为持有晶圆状态；
所述第三传输场景包括：从第三目标站点拾取晶圆的第四传输步骤、从第四目标站点拾取晶圆的第五传输步骤、将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的第六传输步骤，所述机械手的至少两个手指均为未持有晶圆状态，所述第三目标站点和所述第四目标站点均为持有晶圆状态；
所述第四传输场景包括：从第五目标站点拾取晶圆的第七步骤、将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的第八步骤，所述机械手的至少一个手指为未持有晶圆状态，所述第五目标站点为持有晶圆状态，所述第六目标站点为未持有晶圆状态。
在一种实现方式中，若所述传输场景为所述第一传输场景，所述第二确定模块1103具体用于，基于所述配置文件，检测持有晶圆的所述至少一个手指中是否存在属于所述第一目标站点所对应的第二手指集合的手指；
若检测结果为是，则将该手指确定为将晶圆放置在所述第一目标站点时所使用的目标手指。
在一种实现方式中，若所述传输场景为所述第二传输场景，所述第二确定模块1103具体用于，基于所述配置文件，检测持有晶圆的所述部分手指中是否存在属于所述第二目标站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为向所述第二目标站点放置晶圆的目标手指，并基于所述配置文件获取所述第二目标站点所对应的第一手指集合；检测未持有晶圆的所述剩余部分手指中是否存在属于所述第二目标站点所对应的第一手指集合且属于所述第二目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为从所述第二目标站点拾取晶圆的目标手指。
在一种实现方式中，若所述传输场景为所述第三传输场景，所述第二确定模块1103具体用于，获取未持有晶圆的至少两个手指和所述第四目标站点所对应的第一手指集合的第一交集；检测所述第一交集中是否存在属于所述第四目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为从所述第四目标站点拾取晶圆的目标手指；检测未持有晶圆的至少两个手指的其他手指中是否存在属于所述第三目标站点所对应的第一手指集合且属于所述第四目标站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为从第三目标站点拾取晶圆的目标手指，并将该手指确定为将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的目标手指。
在一种实现方式中，若所述传输场景为所述第一传输场景，所述第二确定模块1103具体用于，获取未持有晶圆的至少一个手指、所述第五目标站点所对应的第一手指集合和所述第六目标站点所对应的第二手指集合的第二交集；将所述第二交集中的任意手指或默认手指确定为从第五目标站点拾取晶圆的目标手指，并将其确定为将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的目标手指。
本申请实施例提供的晶圆的传输装置能够实现图1-10的方法实施例实现的各个过程，为避免重复，这里不再赘述。
需要说明的是，本说明书中关于晶圆的传输装置的实施例与本说明书中关于晶圆的传输方法的实施例基于同一发明构思，因此关于晶圆的传输装置实施例的具体实施可以参见前述对应的关于晶圆的传输方法实施例的实施，重复之处不再赘述。
本申请实施例中的晶圆的传输装置可以是装置，也可以是终端中的部件、集成电路、或芯片。该装置可以是移动电子设备，也可以为非移动电子设备。示例性的，移动电子设备可以为手机、平板电脑、笔记本电脑、掌上电脑、车载电子设备、可穿戴设备、超级移动个人计算机(ultra-mobile personal computer，UMPC)、上网本或者个人数字助理(personaldigital assistant，PDA)等，非移动电子设备可以为服务器、网络附属存储器(NetworkAttached Storage，NAS)、个人计算机(personal computer，PC)、电视机(television，TV)、柜员机或者自助机等，本申请实施例不作具体限定。
本申请实施例中的晶圆的传输装置可以为具有操作系统的装置。该操作系统可以为安卓(Android)操作系统，可以为ios操作系统，还可以为其他可能的操作系统，本申请实施例不作具体限定。
图12示出本发明的一个实施例提供的一种半导体工艺设备的结构示意图。如图12所示，半导体工艺设备包括：
控制器1201、机械手1202、多个站点1203，其中，所述机械手1202包括至少一个手指；
所述控制器，用于获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及所述机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
具体的，本实施例中的站点为针对晶圆传输的定义，实际为半导体工艺设备的各个能够承载晶圆的组成部分，例如可以包括前开式晶圆传送盒(Front Opening UnifiedPod，FOUP)、晶圆盒开合及晶圆位置扫描装置(Load Port)、装卸载位(Load Lock)、用于存储晶圆的存储柜(Stocker)、传输腔室(TM)、工艺腔室(PM)等。
本实施例提供的半导体工艺设备，实现了能够设定机械手在各站点间传输晶圆时所使用的手指，解决了现有的晶圆调度方式不能对站点所使用手指进行选择的问题，使得能够满足多种使用场景；此外，通过设置配置文件，实现了对站点的操作手指进行统一动态管理，使得在修改每个站点传输晶圆所能够使用的机械手指时不需要更改代码，方便了用户管理操作。
在一种实现方式中，所述传输场景包括下述第一传输场景、第二传输场景、第三传输场景和第四传输场景中的至少一种；其中，
所述第一传输场景包括：将机械手上的晶圆放置在第一目标站点的第一传输步骤，所述机械手的至少一个手指为持有晶圆状态，所述第一目标站点为未持有晶圆状态；
所述第二传输场景包括：从第二目标站点拾取晶圆的第二传输步骤、向所述第二目标站点放置晶圆的第三传输步骤，所述机械手的部分手指为持有晶圆状态以及剩余部分手指为未持有晶圆状态，在所述第二传输步骤中所述第二目标站点为持有晶圆状态；
所述第三传输场景包括：从第三目标站点拾取晶圆的第四传输步骤、从第四目标站点拾取晶圆的第五传输步骤、将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的第六传输步骤，所述机械手的至少两个手指均为未持有晶圆状态，所述第三目标站点和所述第四目标站点均为持有晶圆状态；
所述第四传输场景包括：从第五目标站点拾取晶圆的第七步骤、将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的第八步骤，所述机械手的至少一个手指为未持有晶圆状态，所述第五目标站点为持有晶圆状态，所述第六目标站点为未持有晶圆状态。
本申请实施例提供的半导体工艺设备能够实现图1-10的方法实施例实现的各个过程，为避免重复，这里不再赘述。
需要说明的是，本说明书中关于半导体工艺设备的实施例与本说明书中关于晶圆的传输方法的实施例基于同一发明构思，因此关于晶圆的半导体工艺设备实施例的具体实施可以参见前述对应的关于晶圆的传输方法实施例的实施，重复之处不再赘述。
基于相同的技术构思，本申请实施例还提供了一种电子设备，该电子设备用于执行上述的晶圆的传输方法，图13为实现本申请各个实施例的一种电子设备的结构示意图。电子设备可因配置或性能不同而产生比较大的差异，可以包括处理器(processor)1310、通信接口(Communications Interface)1320、存储器(memory)1330和通信总线1340，其中，处理器1310，通信接口1320，存储器1330通过通信总线1340完成相互间的通信。处理器1310可以调用存储在存储器1330上并可在处理器1310上运行的计算机程序，以执行下述步骤：
获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；
确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及所述机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；
基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；
针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
在一种实现方式中，所述传输场景包括下述第一传输场景、第二传输场景、第三传输场景和第四传输场景中的至少一种；其中，所述第一传输场景包括：将机械手上的晶圆放置在第一目标站点的第一传输步骤，所述机械手的至少一个手指为持有晶圆状态，所述第一目标站点为未持有晶圆状态；所述第二传输场景包括：从第二目标站点拾取晶圆的第二传输步骤、向所述第二目标站点放置晶圆的第三传输步骤，所述机械手的部分手指为持有晶圆状态以及剩余部分手指为未持有晶圆状态，在所述第二传输步骤中所述第二目标站点为持有晶圆状态；所述第三传输场景包括：从第三目标站点拾取晶圆的第四传输步骤、从第四目标站点拾取晶圆的第五传输步骤、将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的第六传输步骤，所述机械手的至少两个手指均为未持有晶圆状态，所述第三目标站点和所述第四目标站点均为持有晶圆状态；所述第四传输场景包括：从第五目标站点拾取晶圆的第七步骤、将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的第八步骤，所述机械手的至少一个手指为未持有晶圆状态，所述第五目标站点为持有晶圆状态，所述第六目标站点为未持有晶圆状态。
在一种实现方式中，若所述传输场景为所述第一传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：基于所述配置文件，检测持有晶圆的所述至少一个手指中是否存在属于所述第一目标站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为将晶圆放置在所述第一目标站点时所使用的目标手指。
在一种实现方式中，若所述传输场景为所述第二传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：基于所述配置文件，检测持有晶圆的所述部分手指中是否存在属于所述第二目标站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为向所述第二目标站点放置晶圆的目标手指，并基于所述配置文件获取所述第二目标站点所对应的第一手指集合；检测未持有晶圆的所述剩余部分手指中是否存在属于所述第二目标站点所对应的第一手指集合且属于所述第二目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为从所述第二目标站点拾取晶圆的目标手指。
在一种实现方式中，若所述传输场景为所述第三传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：获取未持有晶圆的至少两个手指和所述第四目标站点所对应的第一手指集合的第一交集；检测所述第一交集中是否存在属于所述第四目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为从所述第四目标站点拾取晶圆的目标手指；检测未持有晶圆的至少两个手指的其他手指中是否存在属于所述第三目标站点所对应的第一手指集合且属于所述第四目标站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为从第三目标站点拾取晶圆的目标手指，并将该手指确定为将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的目标手指。
在一种实现方式中，若所述传输场景为所述第四传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：获取未持有晶圆的至少一个手指、所述第五目标站点所对应的第一手指集合和所述第六目标站点所对应的第二手指集合的第二交集；将所述第二交集中的任意手指或默认手指确定为从第五目标站点拾取晶圆的目标手指，并将其确定为将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的目标手指。
具体执行步骤可以参见上述晶圆的传输方法实施例的各个步骤，且能达到相同的技术效果，为避免重复，这里不再赘述。
需要说明的是，本申请实施例中的电子设备包括：服务器、终端或除终端之外的其他设备。
以上电子设备结构并不构成对电子设备的限定，电子设备可以包括比图示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件布置，例如，输入单元，可以包括图形处理器(Graphics Processing Unit，GPU)和麦克风，显示单元可以采用液晶显示器、有机发光二极管等形式来配置显示面板。用户输入单元包括触控面板以及其他输入设备中的至少一种。触控面板也称为触摸屏。其他输入设备可以包括但不限于物理键盘、功能键(比如音量控制按键、开关按键等)、轨迹球、鼠标、操作杆，在此不再赘述。
存储器可用于存储软件程序以及各种数据。存储器可主要包括存储程序或指令的第一存储区和存储数据的第二存储区，其中，第一存储区可存储操作系统、至少一个功能所需的应用程序或指令(比如声音播放功能、图像播放功能等)等。此外，存储器可以包括易失性存储器或非易失性存储器，或者，存储器可以包括易失性和非易失性存储器两者。其中，非易失性存储器可以是只读存储器(Read-Only Memory，ROM)、可编程只读存储器(Programmable ROM，PROM)、可擦除可编程只读存储器(Erasable PROM，EPROM)、电可擦除可编程只读存储器(Electrically EPROM，EEPROM)或闪存。易失性存储器可以是随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)，静态随机存取存储器(Static RAM，SRAM)、动态随机存取存储器(Dynamic RAM，DRAM)、同步动态随机存取存储器(Synchronous DRAM，SDRAM)、双倍数据速率同步动态随机存取存储器(Double Data Rate SDRAM，DDRSDRAM)、增强型同步动态随机存取存储器(Enhanced SDRAM，ESDRAM)、同步连接动态随机存取存储器(Synchlink DRAM，SLDRAM)和直接内存总线随机存取存储器(Direct Rambus RAM，DRRAM)。
处理器可包括一个或多个处理单元；可选的，处理器集成应用处理器和调制解调处理器，其中，应用处理器主要处理涉及操作系统、用户界面和应用程序等的操作，调制解调处理器主要处理无线通信信号，如基带处理器。可以理解的是，上述调制解调处理器也可以不集成到处理器中。
本申请实施例还提供一种可读存储介质，所述可读存储介质上存储有程序或指令，该程序或指令被处理器执行时实现上述道具的产出方法实施例的各个过程，且能达到相同的技术效果，为避免重复，这里不再赘述。
其中，所述处理器为上述实施例中所述的电子设备中的处理器。所述可读存储介质，包括计算机可读存储介质，如计算机只读存储器(Read-Only Memory，ROM)、随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)、磁碟或者光盘等。
本申请实施例另提供了一种芯片，所述芯片包括处理器和通信接口，所述通信接口和所述处理器耦合，所述处理器用于运行程序或指令，实现上述方法实施例的各个过程，且能达到相同的技术效果，为避免重复，这里不再赘述。
应理解，本申请实施例提到的芯片还可以称为系统级芯片、系统芯片、芯片系统或片上系统芯片等。
需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。此外，需要指出的是，本申请实施方式中的方法和装置的范围不限按示出或讨论的顺序来执行功能，还可包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序来执行功能，例如，可以按不同于所描述的次序来执行所描述的方法，并且还可以添加、省去、或组合各种步骤。另外，参照某些示例所描述的特征可在其他示例中被组合。
通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到上述实施例方法可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质(如ROM/RAM、磁碟、光盘)中，包括若干指令用以使得一台终端(可以是手机，计算机，服务器，空调器，或者网络设备等)执行本申请各个实施例所述的方法。
上面结合附图对本申请的实施例进行了描述，但是本申请并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本申请的启示下，在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本申请的保护之内。

Claims (10)

1.一种晶圆的传输方法，应用于半导体工艺设备中，其特征在于，包括：
获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；
确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；
基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；
针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
2.根据权利要求1所述的传输方法，其特征在于，所述传输场景包括下述第一传输场景、第二传输场景、第三传输场景和第四传输场景中的至少一种；其中，
所述第一传输场景包括：将机械手上的晶圆放置在第一目标站点的第一传输步骤，所述机械手的至少一个手指为持有晶圆状态，所述第一目标站点为未持有晶圆状态；
所述第二传输场景包括：从第二目标站点拾取晶圆的第二传输步骤、向所述第二目标站点放置晶圆的第三传输步骤，所述机械手的部分手指为持有晶圆状态以及剩余部分手指为未持有晶圆状态，在所述第二传输步骤中所述第二目标站点为持有晶圆状态；
所述第三传输场景包括：从第三目标站点拾取晶圆的第四传输步骤、从第四目标站点拾取晶圆的第五传输步骤、将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的第六传输步骤，所述机械手的至少两个手指均为未持有晶圆状态，所述第三目标站点和所述第四目标站点均为持有晶圆状态；
所述第四传输场景包括：从第五目标站点拾取晶圆的第七步骤、将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的第八步骤，所述机械手的至少一个手指为未持有晶圆状态，所述第五目标站点为持有晶圆状态，所述第六目标站点为未持有晶圆状态。
3.根据权利要求2所述的传输方法，其特征在于，若所述传输场景为所述第一传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：
基于所述配置文件，检测持有晶圆的所述至少一个手指中是否存在属于所述第一目标站点所对应的第二手指集合的手指；
若检测结果为是，则将该手指确定为将晶圆放置在所述第一目标站点时所使用的目标手指。
4.根据权利要求2所述的传输方法，其特征在于，若所述传输场景为所述第二传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：
基于所述配置文件，检测持有晶圆的所述部分手指中是否存在属于所述第二目标站点所对应的第二手指集合的手指；
若检测结果为是，则将该手指确定为向所述第二目标站点放置晶圆的目标手指，并基于所述配置文件获取所述第二目标站点所对应的第一手指集合；
检测未持有晶圆的所述剩余部分手指中是否存在属于所述第二目标站点所对应的第一手指集合且属于所述第二目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指；
若检测结果为是，则将该手指确定为从所述第二目标站点拾取晶圆的目标手指。
5.根据权利要求2所述的传输方法，其特征在于，若所述传输场景为所述第三传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：
获取未持有晶圆的至少两个手指和所述第四目标站点所对应的第一手指集合的第一交集；
检测所述第一交集中是否存在属于所述第四目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指；
若检测结果为是，则将该手指确定为从所述第四目标站点拾取晶圆的目标手指；
检测未持有晶圆的至少两个手指的其他手指中是否存在属于所述第三目标站点所对应的第一手指集合且属于所述第四目标站点所对应的第二手指集合的手指；
若检测结果为是，则将该手指确定为从第三目标站点拾取晶圆的目标手指，并将该手指确定为将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的目标手指。
6.根据权利要求2所述的传输方法，其特征在于，若所述传输场景为所述第四传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：
获取未持有晶圆的至少一个手指、所述第五目标站点所对应的第一手指集合和所述第六目标站点所对应的第二手指集合的第二交集；
将所述第二交集中的任意手指或默认手指确定为从第五目标站点拾取晶圆的目标手指，并将其确定为将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的目标手指。
7.一种晶圆的传输装置，应用于半导体工艺设备中，其特征在于，包括：
获取模块，用于获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；
第一确定模块，用于确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；
第二确定模块，用于基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；
传输模块，用于针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
8.根据权利要求7所述的传输装置，其特征在于，所述传输场景包括下述第一传输场景、第二传输场景、第三传输场景和第四传输场景中的至少一种；其中，
所述第一传输场景包括：将机械手上的晶圆放置在第一目标站点的第一传输步骤，所述机械手的至少一个手指为持有晶圆状态，所述第一目标站点为未持有晶圆状态；
所述第二传输场景包括：从第二目标站点拾取晶圆的第二传输步骤、向所述第二目标站点放置晶圆的第三传输步骤，所述机械手的部分手指为持有晶圆状态以及剩余部分手指为未持有晶圆状态，在所述第二传输步骤中所述第二目标站点为持有晶圆状态；
所述第三传输场景包括：从第三目标站点拾取晶圆的第四传输步骤、从第四目标站点拾取晶圆的第五传输步骤、将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的第六传输步骤，所述机械手的至少两个手指均为未持有晶圆状态，所述第三目标站点和所述第四目标站点均为持有晶圆状态；
所述第四传输场景包括：从第五目标站点拾取晶圆的第七步骤、将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的第八步骤，所述机械手的至少一个手指为未持有晶圆状态，所述第五目标站点为持有晶圆状态，所述第六目标站点为未持有晶圆状态。
9.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括：控制器、机械手、多个站点，其中，所述机械手包括至少一个手指；
所述控制器，用于获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及所述机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
10.根据权利要求9所述的半导体工艺设备，其特征在于，所述传输场景包括下述第一传输场景、第二传输场景、第三传输场景和第四传输场景中的至少一种；其中，
所述第一传输场景包括：将机械手上的晶圆放置在第一目标站点的第一传输步骤，所述机械手的至少一个手指为持有晶圆状态，所述第一目标站点为未持有晶圆状态；
所述第二传输场景包括：从第二目标站点拾取晶圆的第二传输步骤、向所述第二目标站点放置晶圆的第三传输步骤，所述机械手的部分手指为持有晶圆状态以及剩余部分手指为未持有晶圆状态，在所述第二传输步骤中所述第二目标站点为持有晶圆状态；
所述第三传输场景包括：从第三目标站点拾取晶圆的第四传输步骤、从第四目标站点拾取晶圆的第五传输步骤、将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的第六传输步骤，所述机械手的至少两个手指均为未持有晶圆状态，所述第三目标站点和所述第四目标站点均为持有晶圆状态；
所述第四传输场景包括：从第五目标站点拾取晶圆的第七步骤、将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的第八步骤，所述机械手的至少一个手指为未持有晶圆状态，所述第五目标站点为持有晶圆状态，所述第六目标站点为未持有晶圆状态。
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