KR100483432B1 - 핫백업을이용한반도체제조설비관리시스템 - Google Patents
핫백업을이용한반도체제조설비관리시스템 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100483432B1 KR100483432B1 KR1019980008065A KR19980008065A KR100483432B1 KR 100483432 B1 KR100483432 B1 KR 100483432B1 KR 1019980008065 A KR1019980008065 A KR 1019980008065A KR 19980008065 A KR19980008065 A KR 19980008065A KR 100483432 B1 KR100483432 B1 KR 100483432B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- backup
- control means
- semiconductor manufacturing
- management system
- data
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 7
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 13
- 102100026205 1-phosphatidylinositol 4,5-bisphosphate phosphodiesterase gamma-1 Human genes 0.000 description 6
- 101000691599 Homo sapiens 1-phosphatidylinositol 4,5-bisphosphate phosphodiesterase gamma-1 Proteins 0.000 description 6
- 101100190617 Arabidopsis thaliana PLC2 gene Proteins 0.000 description 5
- 101100408456 Arabidopsis thaliana PLC8 gene Proteins 0.000 description 5
- 101100464304 Caenorhabditis elegans plk-3 gene Proteins 0.000 description 5
- 101100093534 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) RPS1B gene Proteins 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004148 unit process Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/4185—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the network communication
- G05B19/41855—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the network communication by local area network [LAN], network structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Safety Devices In Control Systems (AREA)
Abstract
반도체 제조공정이 이루어지는 설비에 연결되는 각종 모니터링 시스템으로부터 통신망을 통해 전송되는 데이터의 전송을 제어하는 제어수단의 오류발생시 데이터을 백업받아서 데이터 전송이 이루어지도록 하는 백업용제어수단을 별도로 구비한 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템에 관한 것이다.
본 발명은, 데이터베이스를 구비하는 호스트컴퓨터에 각종 모니터링 시스템으로부터 발생된 데이터가 통신망으로 연결되는 제어수단을 통해 백업이 이루어지는 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템에 있어서, 상기 각종 모니터링 시스템과 상기 호스트컴퓨터에 상기 통신망을 통해 연결되는 백업용 제어수단을 구비함으로써 상기 각종 모니터링 시스템으로부터 상기 데이터가 백업되도록 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 공정에서 발생된 공정관련 및 제조설비 관련 데이터가 설비의 이상 발생시 대체되는 제어기에 의해 백업 및 절환됨으로써 지속적인 모니터링이 이루어지고, 전체공정이 지속적으로 수행되는 효과가 있다.
Description
본 발명은 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조공정이 이루어지는 설비에 연결되는 각종 모니터링 시스템(Monitoring system)으로부터 통신망을 통해 전송되는 데이터의 전송을 제어하는 제어수단의 오류발생시 데이터을 백업받아서 데이터 전송이 이루어지도록 하는 백업용제어수단을 별도로 구비한 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템에 관한 것이다.
통상적으로, 반도체 소재를 가공하여 반도체 장치를 제조하는 반도체 제조 공장에는 공정을 수행하기 위한 시스템, 공정에 보조적으로 이용되는 시스템 및 공정을 관리하기 위한 시스템 등 여러 종류의 시스템이 설치되어서 모니터링이 이루어진다.
구체적으로 가스 모니터링시스템(Gas Monitoring System), 케미컬 모니터링시스템(Chemical Monitoring System), 누설감지시스템(Leak Monitoring System) 및 각종 공정관련 모니터링 시스템이 통신망을 통해 연결되어 이들을 통합적으로 관리하는 호스트컴퓨터에서 관리된다.
그런데, 이들 모니터링 시스템들은 반도체 제조공정이 지속적으로 이루어지는 동안에는 항상 정상상태를 유지하면서 모니터링이 이루어져야 하고, 통신망을 통해 호스트컴퓨터에 모니터링한 데이터를 전송함으로써 각각의 시스템들이 관리된다.
모니터링 시스템과 호스트컴퓨터는 데이터의 흐름을 관리하는 제어기에 의해 데이터 전송이 원활하게 이루어지는데, 만약 상기 제어기에 이상이 발생되면 데이터 흐름이 단속되어서 전체적인 관리가 이루어지지 않는다.
종래의 모니터링 시스템에서 발생되어 통신망을 통해 전송되는 데이터는 단일 제어기에 의해 데이터가 호스트컴퓨터에 전송되어 공정이 관리되는 공정관리 시스템을 이루고 있다.
전술한 바와 같이 단일 제어기에 의해 공정관련 모니터링된 데이터가 전송되는데, 반도체 제조라인의 소정 단위공정에서 공정이상이 발생되면 해당 공정은 모니터링되어 제어기를 통해 호스트컴퓨터에 데이터 전송이 이루어져서 전체 공정에 영향을 미치지 않도록 관리되어야 한다.
그런데, 반도체 제조라인의 특성상 소정 단위공정에서 공정이상이 발생되었을 때 호스트컴퓨터에 모니터링 데이터전송을 제어하는 단일 제어기에 이상이 발생되면 모니터링 데이터가 전송되지 않고, 이상이 발생된 소재는 후속공정에 영향을 끼쳐서 결국에는 공정이상에 의한 대량의 불량품을 생산하게 된다.
즉, 종래에는 제어기에 이상이 발생되면 공정모니터링 데이터전송이 이루어지지 않아서 공정관리가 이루어지지 않았던 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 제어기에 의한 이상이 발생되면 이를 대체하고, 공정관련 데이터를 백업받도록 절환프로그램을 내장한 제어기를 따로 설치하여 모니터링이 이루어지도록 하는 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템은, 데이터베이스를 구비하는 호스트컴퓨터에 각종 모니터링 시스템으로부터 발생된 데이터가 통신망으로 연결되는 제어수단을 통해 백업이 이루어지는 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템에 있어서, 상기 각종 모니터링 시스템과 상기 호스트컴퓨터에 상기 통신망을 통해 연결되는 백업용 제어수단을 구비함으로써 상기 각종 모니터링 시스템으로부터 상기 데이터가 백업되도록 이루어진다.
그리고, 상기 제어수단은 PLC(Programmable Logic Controller)로 이루어진다.
그리고, 상기 각종 모니터링 시스템과 상기 백업용 제어수단에는 상기 데이터의 흐름을 관리하는 제어기가 설치됨이 바람직하다.
그리고, 상기 제어수단 및 상기 백업용 제어수단에는 상기 제어수단에 오류발생시 상기 백업용 제어수단으로 백업이 이루어지는 절환프로그램이 내장될 수 있다.
그리고, 상기 모니터링 시스템은 가스모니터링 시스템, 케미컬모니터링 시스템 및 리크모니터링 시스템이 포함되어 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 통신망은 랜(LAN)으로 이루어짐이 바람직하다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 실시예는 도1에 의하면, 랜(5)을 통해 호스트컴퓨터(10)가 데이터베이스(12)를 구비하여 연결되고, 서버(14) 및 서버(16)가 랜(5)에 접속되어 있다. PLC(18)가 모니터링 시스템(20)과 인터페이스(Interface)되어서 랜(5)에 접속되어 있다.
전술한 바와 같은 구성에 의해 호스트컴퓨터(10), 서버(14, 16), PLC(18)가 소정의 프로토콜(Protocol)에 의해 인터페이스되도록 이루어져 있다.
구체적인 데이터 전송 및 인터페이스는 도2를 참조하여 상세히 설명한다.
도2에 의하면, 각종 모니터링 데이터 및 제어신호의 흐름을 파악할 수 있다. 즉, 호스트컴퓨터(10)에는 제 1 서버(22) 및 제 2 서버(24)가 연결되어 있고, 제 1서버(22) 및 제 2 서버(24)에는 각각 PLC1(26) 및 PLC2(28)가 연결되어 있다. PLC1(26) 및 PLC2(28)에는 주제어기(30)가 가스모니터링 시스템(32) 및 케미컬모니터링 시스템(34)과 연결되어 있다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 실시예는 제 1 서버(22) 및 제 2 서버(24)의 어느 하나와 PLC1(26) 및 PLC2(28)의 어느 하나에 이상이 발생되더라도 각각의 모니터링 시스템(32, 34)의 데이터는 소정의 경로를 통해 호스트컴퓨터(10)에 전송되어서 공정 및 설비관리가 이루어진다.
구체적으로, 가스모니터링 시스템(32)으로부터 발생되어 전송되는 데이터는 주제어기(30)를 통해 PLC1(26)에 인터페이스되어서 제 1 서버(22)를 통해 호스트컴퓨터(10)에 전송되어서 데이터베이스(12)에 저장되어 관리되고, 또한 설비가 관리된다.
그리고, 케미컬모니터링 시스템(34)으로부터 발생되는 데이터 역시 가스모니터링 시스템(32)과 같은 경로를 통해 데이터베이스화 되고, 관리된다.
전술한 바와 같은 같은 데이터 전송 및 제어신호의 흐름에 의해 각각의 서버(22, 24) 및 PLC(26, 28)에 이상이 발생되더라도 관리체계의 지연이 발생되지 않도록 이루어지며, 각각의 이상발생 상황별로 대책을 살펴보면 다음과 같다.
먼저 PLC1(26)에 이상이 발생되면, 서로 인터페이스되도록 연결되어 있는PLC2에서 이상발생을 확인하여 가스모니터링 시스템(32)과 케미컬 모니터링 시스템(34)에서 발생된 데이터를 관리하고, 모니터링데이터를 제 1 서버(22) 또는 제 2 서버(24)의 상태에 따라 선택적으로 전송하여서 결국 호스트컴퓨터(10)에 전송된다.
그리고, 제 1 서버(22)에 이상이 발생되면, PLC1(26) 또는 PLC2(28)로부터 전송되는 모니터링 데이터는 제 1 서버(22)로부터 제 2 서버(24)로 절환됨으로써 핫백업(Hot Backup)이 이루어진다. 이렇게 백업된 데이터는 호스트컴퓨터(10)에 전송되어서 데이터베이스(12)에 저장되어서 관리된다.
이때 각각의 PLC(26, 28)들과 각각의 서버(22, 24)에는 이와 같은 이상을 파악하여 절환이 이루어지도록 하는 절환프로그램을 각각 내장하고 있어서 데이터 관리가 이루어짐으로써 효율적인 공정관리 및 제조설비 관리가 이루어진다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 실시예에 의하면 서버(22, 24) 및 PLC(26, 28)에 절환프로그램이 내장된 채 랜(5)로 연결되어 있어서 각 공정에서 발생된 데이터 및 공정설비를 관리할 수 있는 이점이 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 공정에서 발생된 공정관련 및 제조설비 관련 데이터가 설비의 이상 발생시 대체되는 제어기에 의해 백업 및 절환됨으로써 지속적인 모니터링이 이루어지고, 전체공정이 지속적으로 수행되는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
도1은 본 발명에 따른 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템의 실시예를 나타내는 구성도이다.
도2는 본 발명에 따른 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템의 학 백업이 이루어지는 관계를 나타내는 도면이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
5 : 랜(LAN) 10 : 호스트컴퓨터
12 : 데이터베이스 14, 16, 22, 24 : 서버(Server)
18, 26, 28 : PLC(Programmable Logic Controller)
20, 32, 34 : 모니터링 시스템 30 : 주제어기
Claims (4)
- 데이터베이스를 구비하는 호스트컴퓨터에 각종 모니터링 시스템으로부터 발생된 데이터가 통신망으로 연결되는 제어수단을 통해 백업이 이루어지는 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템에 있어서,상기 각종 모니터링 시스템과 상기 호스트컴퓨터에 상기 통신망을 통해 연결되고, 상기 각종 모니터링 시스템과 상기 호스트 컴퓨터로부터 발생되는 데이터의 흐름을 관리하는 제어기를 포함하고, 상기 제어수단의 오류발생시 백업 경로이 절환이 가능한 절환 프로그램이 내장된 백업용 제어수단을 구비함으로써 상기 각종 모니터링 시스템으로부터 상기 데이터가 백업되도록 이루어짐을 특징으로 하는 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템.
- 제1 항에 있어서, 상기 제어수단은,PLC(Programmable Logic Controller) 임을 특징으로 하는 상기 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템.
- 제1 항에 있어서, 상기 모니터링 시스템은,가스모니터링 시스템, 케미컬모니터링 시스템 및 리크모니터링 시스템이 포함되어 이루어짐을 특징으로 하는 상기 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템.
- 제1 항에 있어서, 상기 통신망은,랜(LAN)으로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 핫 백업을 이용한 반도체 제조설비 관리 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980008065A KR100483432B1 (ko) | 1998-03-11 | 1998-03-11 | 핫백업을이용한반도체제조설비관리시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980008065A KR100483432B1 (ko) | 1998-03-11 | 1998-03-11 | 핫백업을이용한반도체제조설비관리시스템 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990074462A KR19990074462A (ko) | 1999-10-05 |
| KR100483432B1 true KR100483432B1 (ko) | 2005-08-10 |
Family
ID=37303957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980008065A KR100483432B1 (ko) | 1998-03-11 | 1998-03-11 | 핫백업을이용한반도체제조설비관리시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100483432B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200051451A (ko) * | 2018-11-05 | 2020-05-13 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100414617B1 (ko) * | 2001-02-08 | 2004-01-07 | 주식회사 클래러스 | 파일의 실시간 모니터링을 통한 데이터 백업 방법 및 시스템 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR0160386B1 (ko) * | 1995-10-13 | 1999-02-01 | 김광호 | 반도체소자 제조 공정의 제어 시스템 및 그 제어 방법 |
| KR100211640B1 (ko) * | 1995-12-19 | 1999-08-02 | 윤종용 | 이온주입설비의 파라미터 백업장치 |
-
1998
- 1998-03-11 KR KR1019980008065A patent/KR100483432B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR0160386B1 (ko) * | 1995-10-13 | 1999-02-01 | 김광호 | 반도체소자 제조 공정의 제어 시스템 및 그 제어 방법 |
| KR100211640B1 (ko) * | 1995-12-19 | 1999-08-02 | 윤종용 | 이온주입설비의 파라미터 백업장치 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200051451A (ko) * | 2018-11-05 | 2020-05-13 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체 |
| KR102292904B1 (ko) | 2018-11-05 | 2021-08-25 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990074462A (ko) | 1999-10-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1527169B (zh) | 用于过程控制系统的冗余应用站 | |
| US6898542B2 (en) | On-line device testing block integrated into a process control/safety system | |
| WO2001067194A1 (fr) | Robot, systeme robotique et procede de commande robotisee | |
| CN103324156A (zh) | 过程控制系统 | |
| CA2897877A1 (en) | Oil field process control system | |
| JP2002237823A (ja) | プロセス制御システムにおける冗長装置 | |
| US10069538B2 (en) | Fault tolerant physical layer solution for FOUNDATION FIELDBUS H1 networks or other networks in industrial process control and automation systems | |
| KR100823722B1 (ko) | Ｐｌｃ 시스템의 삼중화 장치 및 방법 | |
| US10705498B2 (en) | Method and device for monitoring data processing and transmission in a security chain of a security system | |
| KR20140141938A (ko) | Ｐｌｃ 시스템에서 통신모듈의 이중화 방법 | |
| US20230064446A1 (en) | Cable abnormality assessment system, slave device, and cable abnormality assessment method | |
| KR100483432B1 (ko) | 핫백업을이용한반도체제조설비관리시스템 | |
| GB2623612A (en) | Apparatuses and methods for non-disruptive replacement of simplex I/O components | |
| EP1966660A1 (en) | Processing unit and method for configuring a networked automation system | |
| Iacob et al. | SCADA system for a central heating and power plant | |
| CN111213344B (zh) | 用于操作自动化技术设施的方法 | |
| JPH0683657A (ja) | サービスプロセッサの切り換え方式 | |
| KR101021981B1 (ko) | 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 알람 설정 방법 | |
| US9338526B2 (en) | Enhanced updating of control mechanisms | |
| CN117811958A (zh) | 基于宽带现场总线的健康监测系统和健康监测方法 | |
| CN110703716A (zh) | 一种应用于自动化控制系统下的多设备通信方法 | |
| Shimizu et al. | Integrated Fieldbus Engineering in CENTUM CS 3000 R3 | |
| MOORE et al. | 4.14 DCS: System Architecture | |
| JPH09200975A (ja) | 遠方監視制御装置の異常検出方法 | |
| JPH03113511A (ja) | Ｆａ通信方式 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |