KR100705414B1

KR100705414B1 - 인터록 시스템과 이의 비가동 방지 방법

Info

Publication number: KR100705414B1
Application number: KR1020020019990A
Authority: KR
Inventors: 조대식; 이상진; 오재석; 정효상; 윤상진; 윤태양
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2002-04-12
Filing date: 2002-04-12
Publication date: 2007-04-10
Also published as: KR20030081655A

Abstract

비가동 방지 기능을 갖는 인터록 시스템과 이의 비가동 방지 방법을 개시한다. 설비 제어서버는 반도체 제조설비의 공정 진행을 제어하고, 공정 진행에 따라 반도체 제조설비에 대응하는 설비 데이터 또는 공정 진행에 대응하는 공정 데이터를 포함하는 계측 데이터를 출력하고, 컨트롤 서버는 반도체 제조설비의 공정 진행을 설비 제어서버에 요청하고, 설비 제어서버로부터 계측 데이터가 미제공되는 경우에 공정 진행의 차단을 설비 제어서버에 요청한다. 이에 따라, 반도체 제조설비의 계측 데이터가 미제공되거나 또는 해당 계측 데이터에 대응하는 인터록 스펙이 미설정되거나, 계측 데이터가 정해진 일정 시간내에 미접수되는 경우에 제조설비의 가동을 강제적으로 차단할 수 있다.

설비, 인터록, 방지, 공정, 차단, 스펙, 계측, 강제

Description

인터록 시스템과 이의 비가동 방지 방법{INTERLOCK SYSTEM AND METHOD FOR PREVENTING NON-DRIVING THEREOF}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 비가동 방지 기능을 갖는 인터록 시스템이 적용되는 반도체 제조설비를 설명하기 위한 도면이다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 비가동 방지 기능을 갖는 인터록 시스템을 설명하기 위한 도면이다.

도 3 내지 도 5는 상기한 도 2의 인터록 비가동 방지 방법의 다양한 실시예들을 설명하기 위한 도면이다.

도 6a, b는 본 발명에 따른 인터록 시스템의 비가동 방지 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 반도체 제조설비 200 : 설비 제어서버

300 : 컨트롤 서버 400 : I/O PC

210 : 데이터 수집모듈 220 : 작업 개시모듈

310 : 데이터 수집 운영모듈 322 : 계측 데이터 DB

324 : 스펙 제한치 DB 326 : 인터록 테이블 DB

327 : 조작자 로그 테이블 DB 328 : 최신 갱신 시간 필드 DB

330 : 스펙 운영모듈 340 : 제조설비 파라메타 운영모듈

본 발명은 인터록 시스템과 이의 비가동 방지 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비가동 방지 기능을 갖는 인터록 시스템과 이의 비가동 방지 방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자를 제조하는 데에는 고도의 정밀성이 요구되며, 이에 따라, 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 고기능의 설비들을 배치하여 대부분의 반도체 소자 제조공정을 수행하고 있다. 이와 함께, 작업자는 각 설비들의 동작상황을 소정의 반도체 제조설비 관리시스템을 통해 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.

반도체 제조공정에서는 예방 품질 시스템으로서 각종 인터록 시스템(INTERLOCK SYSTEM)이 사용되고 있다. 대표적인 인터록 시스템으로서 공정 조건을 보증하는 레시피바디(RECIPEBODY) 인터록 시스템과, 공정진행시 설비 파라메타의 변화를 모니터하는 디.씨.오.피(DCOP; Data Collection of Parameter) 인터록 시스템, 그리고 파티클 등의 논롯 데이터(Nonlot Data)의 인터록 시스템이 있다.

이러한 인터록 시스템은 스펙 상한치(Upper Spec Limit, 이하, USL)와 스펙 하한치(Lower Spec Limit, 이하 LSL)를 설정하고, 실제의 계측값이 상기한 상한 또 는 스펙 하한치를 벗어나면 제품 또는 장치를 더 이상의 공정 진행을 할 수 없게 홀드시키는 기능을 수행한다.

하지만, 상기한 인터록 시스템은 사용자가 스펙을 설정하였을 때만 가동되고, 더군다나 서버에서 데이터를 인터록 운영자나 컨트롤 서버에게 보내주지 못하면 스펙을 설정했음에도 불구하고, 인터록 기능이 정상적으로 작동되지 않는 문제점이 있다.

마찬가지로 사람에 의해 계측이 되는 파라메타에 대해서는 사람이 계측하지 않았을 때 이러한 인터록 시스템은 가동되지 않는 문제점이 있다.

이에 본 발명의 기술과 과제는 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 인터록 시스템의 가동을 강제화하여 인터록 시스템의 비가동을 방지할 수 있는 인터록 시스템을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 인터록 시스템의 비가동 방지 방법을 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 인터록 시스템은, 하나 이상의 반도체 제조설비; 상기 반도체 제조설비의 공정 진행을 제어하고, 상기 공정 진행에 따라 상기 반도체 제조설비에 대응하는 설비 데이터 또는 공정 진행에 대응하는 공정 데이터를 포함하는 계측 데이터를 출력하는 하나 이상의 설비 제어서버; 및 상기 반도체 제조설비의 공정 진행을 상기 설비 제어서버에 요청 하고, 상기 설비 제어서버로부터 상기 계측 데이터가 미제공되는 경우에 상기 공정 진행의 차단을 상기 설비 제어서버에 요청하는 컨트롤 서버를 포함하여 이루어진다.

또한 상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 인터록 시스템의 비가동 방지 방법은, 하나 이상의 반도체 제조설비와, 상기 반도체 제조설비에 대응하는 설비 데이터 또는 공정 진행에 대응하는 공정 데이터를 포함하는 계측 데이터를 출력하는 하나 이상의 설비 제어서버와, 상기 반도체 제조설비의 공정 진행을 상기 설비 제어서버에 요청하는 컨트롤 서버를 포함하는 인터록 시스템의 비가동 방지 방법에 있어서,

(a) 반도체 제조 공정의 개시로 정의되는 트랙-인의 발생 여부를 체크하는 단계; (b) 상기 트랙-인이 발생됨에 따라, 반도체 제조설비에 대응하는 설비 데이터 또는 공정 진행에 대응하는 공정 데이터를 포함하는 계측 데이터를 수집하는 단계; 및 (c) 해당 공정에 대응하는 인터록 스펙치의 설정 여부를 체크하여, 상기 인터록 스펙치가 미설정된 경우에는 인터록 스펙치의 미설정에 따른 반도체 제조설비의 다운을 요청하는 단계를 포함하여 이루어진다.

이러한 인터록 시스템과 이의 비가동 방지 방법에 의하면, 반도체 제조설비의 계측 데이터가 미제공되거나 또는 해당 계측 데이터에 대응하는 인터록 스펙이 미설정되거나, 계측 데이터가 정해진 일정 시간내에 미접수되는 경우에 제조설비의 가동을 강제적으로 차단할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 비가동 방지 기능을 갖는 인터록 시스템을 설명하기 위한 도면이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 비가동 방지 기능을 갖는 인터록 시스템은 반도체 제조설비(100)들과, 상기한 반도체 제조설비(100)를 직접 제어하는 설비 제어서버(200)들과, 상기한 설비 제어서버(200)의 원활한 공정 진행을 제어하는 컨트롤 서버(300) 및 모니터(400)로 구성된다.

반도체 제조설비(100)는 반도체 제품을 생산하는데 필수적인 고유 반도체 공정을 실제로 진행하고, 설비 제어서버(200)는 상기한 반도체 제조설비(100)와 SECS(Semi Equipment Communications Standard) 프로토콜 등에 의하여 양방향 통신이 되며 반도체 제조설비(100)를 직접 제어한다.

컨트롤 서버(300)는 설비 제어서버(200)와 TCP/IP 프로토콜 등에 의하여 통신 가능하도록 연결되며, 복수개의 설비 제어서버(200)가 원활하게 공정을 진행하도록 설비 제어서버(200)로 공정 환경 데이터, 공정 변수, 공정 조건 등을 다운로드한다. 또한 컨트롤 서버(300)는 매공정이 시작됨에 따라 일정 주기로 수집되어 설비 제어서버(200)로부터 전송되는 데이터를 저장하고, 저장된 데이터를 근거로 인터록 기능을 수행한다. 즉, 설비 제어서버(200)로부터 전송되는 데이터가 일정 스펙을 이탈했다고 체크되는 경우에는 해당 공정의 진행을 차단하므로써 제품 에러율을 낮추게된다.

모니터(400)는 네트워크상에서 반도체 제조설비(100)의 현재 진행 상황을 감시한다.

동작시, 생산 라인내에는 공정을 실행하는 반도체 제조 설비(100)들이 배치되며, 이러한 반도체 제조 설비(100)에는 로트(LOT)가 투입되어 해당 공정들이 진행된다. 이때, 작업자는 설비 제어 서버(200)와 온라인 연결된 O/I PC(Operater Interface PC:400)를 통해 반도체 제조설비(100)의 동작상황을 면밀히 관찰하고 있다.

한편, 반도체 제조설비(100)는 설비 제어 서버(200)를 통해 컨트롤 서버(300)와 온라인으로 연결되며, 이러한 컨트롤 서버(300)는 O/I PC(400)와 온라인으로 연결된다. 이때, 작업자가 O/I PC(400)를 통해 컨트롤 서버(300)로 생산기초 데이터, 예컨대, 대상 로트의 아이디, 공정이 진행될 설비 아이디 등을 설정하여 입력하게 되면, 컨트롤 서버(300)는 이와 같이 입력된 생산기초 데이터를 토대로 자신의 데이터 베이스를 써치하여 당해 로트에 진행될 적절한 공정 파라메타 데이터를 산출한다.

이후, 작업자는 이러한 공정 파라메타 데이터가 공정이 진행될 해당 반도체 제조설비(100)에 셋팅된 실제 공정 파라메타 데이터와 일치하는가의 여부를 일일이 확인한 후 공정 시작(또는 공정 종료) 명령을 입력하여 반도체 제조설비(100)로 로트를 신속히 트랙 인/트랙 아웃(TRACK IN/TRACK OUT)시킴으로써, 해당 공정을 진행한다. 이때, 반도체 제조설비(100)는 자신에게 부속된 다수개의 유닛들, 예컨대, 로딩/언로딩 포트, 챔버, 펌프, 스크러버 등을 적절히 가동시킴으로써, 상술한 공정 파라메타에 부합되는 반도체 제조공정을 신속하게 실행한다.

그러면, 상기한 반도체 제조설비에 적용되는 인터록 시스템의 비가동 방지 기능을 첨부하는 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 비가동 방지 기능을 갖는 인터록 시스템을 설명하기 위한 도면이고, 도 3 내지 도 5는 상기한 도 2의 인터록 비가동 방지 방법의 다양한 실시예들을 설명하기 위한 도면이다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 비가동 방지 기능을 갖는 인터록 시스템은 데이터 수집모듈(210)과 작업 개시모듈(220)을 갖는 설비 제어 서버(200)와, 데이터 수집 운영모듈(310)과, DB(320)와, 스펙 운영모듈(330) 및 반도체 제조설비 파라메타 운영모듈(340)을 갖는 콘트롤 서버(300)로 이루어진다.

여기서, DB(320)에는 데이터 수집모듈에 의해 수집된 데이터가 저장되는 계측 데이터 DB(322)와, 수집된 데이터가 스펙에 포함되는지의 기준이 되는 스펙 제한치 데이터가 저장되는 스펙 제한치 DB(324)와, 인터록 테이블 DB(326)와, 조작자 로그 테이블 DB(327)와, 최신 갱신 시간 필드 DB(328)를 각각 구비한다.

동작시, 데이터 수집모듈(210)에서는 반도체 제조설비(100)의 공정상태를 계측한 데이터를 수집하여 데이터 수집 운영모듈(310)에게 보내면, 데이터 수집 운영모듈(310)은 해당 계측 데이터를 계측 데이터 DB(322)에 저장하고, 스펙 수집 운영모듈(330)에게 수집된 데이터를 계측 데이터 DB(322)에서 조회할 수 있는 조건을 알려준다.

스펙 수집 운영모듈(330)은 데이터 수집 운영모듈(310)로부터 특정 반도체 제조설비에 대응하는 데이터가 수집되었음을 통지받고, 스펙 제한치 DB(324)로부터 스펙 제한치와 계측 데이터 DB(322)로부터 계측 데이터를 추출한다.

통상적으로 인터록 시스템에는 스펙 제한치가 설정되어 해당 스펙 제한치와 수집된 데이터와의 비교를 통해 인터록 기능을 수행하는데, 만일 이러한 스펙 제한치가 미설정된 경우에는 계측 데이터, 즉 실제 계측값의 이상에도 불구하고, 공정이나 제품이 인터록이 발생하지 않는 경우가 발생한다.

그러므로 본 발명에 따른 스펙 수집 운영모듈(330)은 도 3에 도시한 바와 같이 추출된 스펙 제한치가 미존재하는 경우에는 장비 파라메타 운영모듈(340)에 스펙 제한치 미설정에 따른 제조 공정이나 설비의 진행을 차단하도록 요청하고, 이에 연동하여 장비 파라메타 운영모듈(340)은 설비 제어서버(200)의 작업 개시모듈(220)에 제조 설비 다운 메시지를 전송한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 반도체 제조공정이나 제조설비의 진행을 위한 트랙-인시, 정해진 인터록 시스템의 스펙이 미설정된 경우 해당 반도체 제조공정의 진행을 시스템적으로 강제 금지하므로써 인터록 기능이 정상적으로 가동되지 않는 문제점을 해결할 수 있다.

한편, 스펙 수집 운영모듈(330)은 기저장된 해당 계측 데이터를 추출하여 정상 데이터인지, 널(NULL) 데이터인지의 여부를 체크한다. 이러한 체크를 통해 만일 계측 데이터가 널 데이터라 체크되는 경우에는 설비 제어서버(200)의 작업개시모듈(220)에 반도체 제조설비 다운 메시지를 전송하여 해당 반도체 제조설비를 강제 다운시킨다.

즉, 도 4에 도시한 바와 같이, 수집된 데이터가 정상 데이터라 체크되는 경우에는 인터록 시스템을 작동시키지 않다가 널 데이터라 체크되는 경우에는 인터록 시스템을 가동시켜 반도체 제조설비의 공정 진행을 정지시킨다.

이상에서 설명한 바와 같이, 반도체 제조공정이나 제조설비의 계측에 대응하는 데이터가 정상적으로 수집되지 않고 미수집되는 경우에는 해당 반도체 제조 공정의 진행을 시스템적으로 강제 금지하므로써 인터록 기능이 정상적으로 가동되지 않는 문제점을 해결할 수 있다.

한편, 계측 공정이 있는 메인 공정의 경우 계측이 정해진 시간에 정해진 방법으로 진행되지 않았을 경우에도 인터록은 비가동되는 결과를 초래한다.

따라서, 데이터 수집모듈(210)은 해당 반도체 제조설비와 아이템이 DB(320)의 해당 인터록 테이블 DB(326)에 등록된 경우 최신갱신시간테이블 DB(328)에 데이터 수집 시간을 갱신한다.

데이터 모니터링 모듈(350)은 일정 시간마다 DB(320)에 저장된 해당 인터록 테이블 DB(328)를 체크하여 최신 갱신 시간이 기설정해둔 체크 시간 한계치를 벗어난 경우 <홀드>나 <알람> 등의 액션 플래그에 따라 동작을 수행한다. 도 5를 예로 들면, 설정된 체크 시간 한계치를 't1'으로 정의하고, <알람> 동작을 't1'보다는 큰 't2'로 정의하며, <홀드> 동작을 't2'보다는 큰 't3'으로 정의할 때, 't1' 시간내에 체크 데이터가 접수되는 경우에는 정상적인 반도체 제조설비나 제조공정이라 간주하지만, 't1'보다는 크고 't3'보다는 작은 시간(t2)내에 체크 데이터가 접수되는 경우에는 반도체 제조설비 조작자측에 알람 메시지를 전송하고, 't3'보다는 큰 시간을 가지고 체크 데이터가 접수되는 경우에는 반도체 제조설비를 강제적으로 다운시킨다.

즉, <알람>인 경우에는 조작자 로그 테이블 DB(327)에 알람 데이터를 삽입하고, <홀드>인 경우에는 조작자 로그 테이블 DB(327)에 홀드 데이터를 삽입하고 작업 개시 모듈(220)에게 반도체 제조설비 다운 메시지를 전송한다.

또한, I/O PC(400)에 구비되는 장비 상태 조회 모듈(410)은 해당 비가동 방지 인터록 조회 화면(미도시)을 통해 DB(320)에 저장된 각종 데이터나 제한치, 필드, 테이블 등의 DB 내용을 조작자 인터페이스부(미도시)를 경유하여 디스플레이한다. 물론, 각각의 DB 내용에 해당 항목이 있으면 상기 조작자 인터페이스의 트랙-인 화면에서 반도체 제조설비를 선택시에도 알람 내용을 보여준다.

또한, 액션 플래그가 <홀드>로 설정된 경우에 체크 시간 한계치에 50%를 초과하면 설비 제어 서버(200)에 구비되는 사용자 인터페이스부(미도시)와 I/O PC(400)에 구비되는 조작자 인터페이스부(미도시)의 트랙-인에서 해당 항목의 미계측에 대한 경고 메시지를 디스플레이한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 반도체 제조공정이나 제조설비의 계측에 대응하는 데이터가 정상적으로 진행되지 않고, 계측된 데이터가 일정 기간내에 미존재할 때 해당 반도체 제조 공정의 진행을 시스템적으로 강제 금지하므로써 인터록 기능이 정상적으로 가동되지 않는 문제점을 해결할 수 있다.

도 6a, b는 본 발명에 따른 인터록 시스템을 이용한 인터록 시스템의 비가동 방지 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.

도 1 내지 도 6a, b를 참조하면, 먼저 반도체 제조 공정의 개시인 트랙-인(TRACK IN)이 발생했는지의 여부를 체크한다(단계 S105).

단계 S105에서 트랙-인이 발생했다고 체크되는 경우에는 공정의 진행에 따른 반도체 제조설비에 대응하는 설비 데이터 또는 해당 공정에 대응하는 데이터를 포함하는 계측 데이터를 수집하고(단계 S110), 해당 수집된 계측 데이터에 대응하여 인터록 시스템의 동작을 실행하기 위한 일종의 레퍼런스인 인터록 스펙치가 설정되었는지의 여부를 체크한다(단계 S115). 이때 인터록 스펙치는 스펙 상한치(USL)와 스펙 하한치(LSL)를 갖는 일정 범주로 이루어지며, 계측 데이터가 상기한 상한 또는 스펙 하한치를 벗어나면 제품 또는 장치를 더 이상의 공정 진행을 할 수 없게 홀드시키는 기능을 수행한다.

단계 S115에서 인터록 스펙치가 미설정되었다 체크되는 경우에는 인터록 스펙치 미설정에 따른 반도체 제조설비 다운 요청 메시지를 설비 제어 서버(200)의 작업 개시 모듈(220)에 전송한다(단계 S120).

한편, 단계 S115에서 인터록 스펙치가 설정되었다고 체크되는 경우에는 수집된 데이터를 수집 데이터 DB(322)에 저장하고(단계 S125), 데이터 수집이 되었음을 스펙 수집 운영 모듈(330)에 통보하며(단계 S127), 스펙 수집 운영 모듈(330)은 이러한 데이터 수집 통보를 근거로 수집 데이터 DB(322)에 저장된 데이터를 추출한다(단계 S128).

이어 추출된 데이터가 정상 데이터인지 널 데이터인지의 여부를 체크하여(단계 S130), 널 데이터라 체크되는 경우에는 널 데이터에 따른 제조 설비 다운 요청 메시지를 설비 제어 서버(200)의 작업 개시 모듈(220)에 전송한다(단계 S135).

단계 S130에서 추출된 정상 데이터라 체크되는 경우에는 추출된 데이터가 스 펙 하한치보다 큰 지의 여부를 체크하여(단계 S140), 추출된 데이터가 스펙 하한치보다 작거나 같은 경우에는 스펙 하한치 이하에 따른 반도체 제조설비 다운 요청 메시지를 설비 제어 서버(200)의 작업 개시 모듈(220)에 전송한다(단계 S145). 물론 이러한 스펙 하한치나 스펙 상한치와의 비교시 등호관계나 부등호관계는 변환이 가능하며, 당업자라면 용이하게 변형이 가능할 것이다.

단계 S140에서 추출된 데이터가 스펙 하한치보다 큰 경우에는 추출된 데이터가 스펙 상한치보다 크거나 같은 지의 여부를 체크하여(단계 S150), 추출된 데이터가 스펙 상한치보다 크거나 같은 경우에는 스펙 상한치 이상에 따른 반도체 제조설비 다운 요청 메시지를 설비 제어 서버(200)의 작업 개시 모듈(220)에 전송한다(단계 S155).

단계 S150에서 추출된 데이터가 스펙 상한치보다 작은 경우에는 추출된 데이터가 인터록 테이블 DB(326)에 등록되어 있는지의 여부를 체크하여(단계 S160), 미등록 되었다고 체크되는 경우에는 인터록 테이블 DB(326)에 해당 추출 데이터의 추가를 요청한 후(단계 S165), 단계 S110으로 피드백한다.

단계 S160에서 추출 데이터가 인터록 테이블 DB(326)에 등록되었다고 체크되는 경우에는 최신 갱신 시각 테이블에 수집 시각을 갱신한 후(단계 S170), 일정 시각의 경과 여부를 체크하여(단계 S175), 일정 시각이 미경과했다고 체크되는 경우에는 일정 시각이 경과하기를 대기한다.

단계 S175에서 일정 시각이 경과했다고 체크되는 경우에는 갱신 시각이 체크 시각의 한계치를 이탈했는지의 여부를 체크하여(단계 S180), 이탈하지 않았다고 체 크되는 경우에는 단계 S110으로 피드백한다.

단계 S180에서 갱신 시각이 체크 시각의 한계치를 이탈했다고 체크되는 경우에는 알람 플래그인지의 여부를 체크하여(단계 S185), 알람 플래그라 체크되는 경우에는 로그 테이블에 알람 데이터를 삽입한 후 단계 S110으로 피드백한다.

단계 S185에서 알람 플래그가 아닌 것으로 체크되는 경우에는 홀드 플래그인지의 여부를 체크하여(단계 S190), 홀드 플래그가 아닌 것으로 체크되는 경우에는 단계 S110으로 피드백하고, 홀드 플래그라 체크되는 경우에는 로그 테이블에 홀드 데이터를 삽입한 후 반도체 제조설비 다운 요청 메시지를 설비 제어 서버(200)의 작업 개시 모듈(220)에 전송한 후 종료한다(단계 S197).

이상에서는 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 반도체 제조공정이나 제조설비의 진행을 위한 트랙-인시, 정해진 인터록 시스템의 스펙이 미설정된 경우 해당 반도체 제조공정의 진행을 시스템적으로 강제 금지하므로써 인터록 기능이 정상적으로 가동되지 않는 문제점을 해결할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면 반도체 제조공정이나 제조설비의 계측에 대응하는 데이터가 정상적으로 수집되지 않고 미수집되는 경우에는 해당 반도체 제조 공정의 진행을 시스템적으로 강제 금지하므로써 인터록 기능이 정상적으로 가동되지 않는 문제점을 해결할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면 반도체 제조공정이나 제조설비의 계측에 대응하는 데이터가 정상적으로 진행되지 않고, 계측된 데이터가 일정 기간내에 미존재할 때, 즉 일정 제한된 주기내로 계측되지 않을 때 해당 반도체 제조 공정의 진행을 시스템적으로 강제 금지하므로써 인터록 기능이 정상적으로 가동되지 않는 문제점을 해결할 수 있다.

Claims

하나 이상의 반도체 제조설비;

상기 반도체 제조설비의 공정 진행을 제어하고, 상기 공정 진행에 따라 상기 반도체 제조설비에 대응하는 설비 데이터 또는 공정 진행에 대응하는 공정 데이터를 포함하는 계측 데이터를 출력하는 하나 이상의 설비 제어서버; 및

상기 반도체 제조설비의 공정 진행을 상기 설비 제어서버에 요청하고, 상기 설비 제어서버로부터 상기 계측 데이터가 미제공되는 경우에 상기 공정 진행의 차단을 상기 설비 제어서버에 요청하는 컨트롤 서버를 포함하는 인터록 시스템.
제1항에 있어서, 상기 컨트롤 서버는

상기 공정 진행 초기에 해당 공정에 대응하는 인터록 스펙의 설정 여부를 체크하여, 상기 인터록 스펙이 미설정된 경우에 상기 공정 진행의 차단을 상기 설비 제어서버에 더 요청하는 것을 특징으로 하는 인터록 시스템.
제1항에 있어서, 상기 컨트롤 서버는

상기 계측 데이터가 설정된 정해진 시간내에 미존재하는 경우에 상기 공정 진행의 차단을 상기 설비 제어서버에 더 요청하는 것을 특징으로 하는 인터록 시스템.
하나 이상의 반도체 제조설비와, 상기 반도체 제조설비에 대응하는 설비 데이터 또는 공정 진행에 대응하는 공정 데이터를 포함하는 계측 데이터를 출력하는 하나 이상의 설비 제어서버와, 상기 반도체 제조설비의 공정 진행을 상기 설비 제어서버에 요청하는 컨트롤 서버를 포함하는 인터록 시스템의 비가동 방지 방법에 있어서,

(a) 반도체 제조 공정의 개시로 정의되는 트랙-인의 발생 여부를 체크하는 단계;

(b) 상기 트랙-인이 발생됨에 따라, 반도체 제조설비에 대응하는 설비 데이터 또는 공정 진행에 대응하는 공정 데이터를 포함하는 계측 데이터를 수집하는 단계; 및

(c) 해당 공정에 대응하는 인터록 스펙치의 설정 여부를 체크하여, 상기 인터록 스펙치가 미설정된 경우에는 인터록 스펙치의 미설정에 따른 반도체 제조설비의 다운을 요청하는 단계를 포함하는 인터록 시스템의 비가동 방지 방법.
제4항에 있어서,

(d) 상기 단계(c)에서 상기 인터록 스펙치가 설정된 경우에는 상기 계측 데이터가 정상 데이터인지, 널 데이터인지의 여부를 체크하는 단계; 및

(e) 상기 단계(d)에서 널 데이터라 체크되는 경우에는 반도체 제조설비의 다운을 요청하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인터록 시스템의 비가동 방지 방법.
제5항에 있어서,

(f) 상기 계측 데이터가 정상 데이터라 체크되는 경우에는 상기 인터록 스펙치의 스펙 범주에 포함되는 지의 여부를 체크하는 단계; 및

(g) 상기 단계(f)에서 상기 계측 데이터가 상기 스펙 범주에 미포함되는 경우에는 반도체 제조설비의 다운을 요청하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인터록 시스템의 비가동 방지 방법.
제6항에 있어서,

(h) 상기 단계(f)에서 상기 계측 데이터가 상기 스펙 범주에 포함되는 경우에는 추출된 데이터가 인터록 테이블에 등록되었는지의 여부를 체크하는 단계;

(i) 상기 단계(h)에서 상기 추출된 데이터가 상기 인터록 테이블에 미등록된 경우에는 상기 인터록 테이블에 해당 추출 데이터의 추가를 요청하고, 상기 단계(b)로 피드백하는 단계;

(j) 상기 단계(h)에서 상기 추출된 데이터가 상기 인터록 테이블에 등록된 경우에는 수집 시각을 갱신하고, 일정 시간의 경과에 따라 상기 갱신 시각이 체크 시각 한계치를 이탈했는지의 여부를 체크하는 단계;

(k) 상기 단계(j)에서 상기 갱신 시각이 상기 체크 시각 한계치를 미이탈했다고 체크되는 경우에는 상기 단계(b)로 피드백하는 단계;

(l) 상기 단계(j)에서 상기 갱신 시각이 상기 체크 시각 한계치를 이탈했다 고 체크되는 경우에는 알람 플래그인지의 여부를 체크하는 단계;

(m) 상기 단계(l)에서 상기 알람 플래그라 체크되는 경우에는 조작자 로그 테이블에 알람 데이터를 삽입하고, 상기 단계(b)로 피드백하는 단계;

(n) 상기 단계(l)에서 상기 알람 플래그가 아닌 것으로 체크되는 경우에는 홀드 플래그인지의 여부를 체크하는 단계;

(o) 상기 홀드 플래그라 체크되는 경우에는 상기 조작자 로그 테이블에 홀드 데이터를 삽입하고, 반도체 제조설비 다운을 요청하는 단계; 및

(p) 상기 홀드 플래그가 아닌 것으로 체크되는 경우에는 상기 단계(b)로 피드백하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인터록 시스템의 비가동 방지 방법.