KR101946700B1 - 검지 장치 및 방법 - Google Patents
검지 장치 및 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101946700B1 KR101946700B1 KR1020170011780A KR20170011780A KR101946700B1 KR 101946700 B1 KR101946700 B1 KR 101946700B1 KR 1020170011780 A KR1020170011780 A KR 1020170011780A KR 20170011780 A KR20170011780 A KR 20170011780A KR 101946700 B1 KR101946700 B1 KR 101946700B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- display
- controller
- degree
- operator
- confirmation screen
- Prior art date
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims abstract description 32
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 claims description 16
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 claims description 16
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 abstract description 14
- 230000008685 targeting Effects 0.000 abstract description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 24
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 2
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 208000024891 symptom Diseases 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
- G05B19/05—Programmable logic controllers, e.g. simulating logic interconnections of signals according to ladder diagrams or function charts
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
- G05B23/0267—Fault communication, e.g. human machine interface [HMI]
- G05B23/0272—Presentation of monitored results, e.g. selection of status reports to be displayed; Filtering information to the user
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B13/00—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/409—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by using manual data input [MDI] or by using control panel, e.g. controlling functions with the panel; characterised by control panel details or by setting parameters
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0218—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults
- G05B23/0224—Process history based detection method, e.g. whereby history implies the availability of large amounts of data
- G05B23/0227—Qualitative history assessment, whereby the type of data acted upon, e.g. waveforms, images or patterns, is not relevant, e.g. rule based assessment; if-then decisions
- G05B23/0235—Qualitative history assessment, whereby the type of data acted upon, e.g. waveforms, images or patterns, is not relevant, e.g. rule based assessment; if-then decisions based on a comparison with predetermined threshold or range, e.g. "classical methods", carried out during normal operation; threshold adaptation or choice; when or how to compare with the threshold
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q10/00—Administration; Management
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Marketing (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Human Resources & Organizations (AREA)
- Economics (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Strategic Management (AREA)
- Tourism & Hospitality (AREA)
- General Business, Economics & Management (AREA)
- Entrepreneurship & Innovation (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Artificial Intelligence (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
Abstract
컨트롤러 레벨에서의 오퍼레이터 상태를 대상으로 하는 FD/FP 기능을 강화한다.
검지 장치는, 컨트롤러에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하는 조작 검지부(1)와, 조작 검지부(1)의 검지 결과에 기초하여, 통상은 열람하지 않는 것이 상정되는 기본 설정 확인 화면을, 컨트롤러가 오퍼레이터의 조작에 따라 표시한 표시 누적 시간을 집계하여 유지하는 표시 시간 집계부(2)와, 외부로부터 리셋 신호를 수취하였을 때에, 표시 시간 집계부(2)에 유지되어 있는 표시 누적 시간을 0으로 리셋하는 리셋부(3)와, 표시 누적 시간의 정보를 외부에 출력하는 정보 출력부(4)와, 표시 누적 시간이 미리 규정된 임계값을 넘었을 때에, 알람을 외부에 출력하는 알람 출력부(5)를 구비한다.
검지 장치는, 컨트롤러에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하는 조작 검지부(1)와, 조작 검지부(1)의 검지 결과에 기초하여, 통상은 열람하지 않는 것이 상정되는 기본 설정 확인 화면을, 컨트롤러가 오퍼레이터의 조작에 따라 표시한 표시 누적 시간을 집계하여 유지하는 표시 시간 집계부(2)와, 외부로부터 리셋 신호를 수취하였을 때에, 표시 시간 집계부(2)에 유지되어 있는 표시 누적 시간을 0으로 리셋하는 리셋부(3)와, 표시 누적 시간의 정보를 외부에 출력하는 정보 출력부(4)와, 표시 누적 시간이 미리 규정된 임계값을 넘었을 때에, 알람을 외부에 출력하는 알람 출력부(5)를 구비한다.
Description
본 발명은 컨트롤러 등의 대상 기기가 특정한 화면을 표시한 표시 정도를 집계하여, 대상 기기를 조작하는 오퍼레이터의 상태를 검지함으로써, 오퍼레이터의 조작의 문제점을 검지하거나 예지하거나 하는 것을 가능하게 하는 검지 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 장치에서는, EES(Equipment Engineering System)가 실용 단계로 이행되어 오고 있다. EES는, 반도체 제조 장치가 정상적으로 기능하고 있는지의 여부를 데이터로 체크하여, 장치의 신뢰성이나 생산성을 향상시키는 시스템이다. EES의 주된 목적은, 장치 자체를 대상으로 하는 문제점 검지(FD: Fault Detection), 문제점 예지(FP: Fault Prediction)이다(비특허문헌 1 참조).
FD/FP에는, 장치 컨트롤 레벨, 모듈 레벨, 서브 시스템 레벨, I/O 디바이스 레벨이라고 하는 계층화의 파악법이 있다. 장치 컨트롤 레벨의 FD/FP는, 호스트 또는 오퍼레이터로부터 지시된 처리 조건을 기초로 장치 기능이 장치 스펙의 허용 범위 내에서 동작하고 있는지를 감시/검지하는 FD/FP이다. 모듈 레벨의 FD/FP는, 디바이스 혹은 서브 시스템으로 구성되는 모듈이, 지시값대로 처리를 행할 수 있는지를 감시/검지하는 FD/FP이다. 서브 시스템 레벨의 FD/FP는, 피드백 제어를 행하는 것 같은 복수의 디바이스로 이루어지는 복합 시스템이, 몇 가지의 파라미터 설정을 기초로 안정적으로 동작하고 있는지를 감시/검지하는 FD/FP이다. I/O 디바이스 레벨의 FD/FP는, 장치를 구성하는 센서나 액츄에이터가 설계값대로 안정적으로 동작하고 있는지를 감시/검지하는 FD/FP이다. 이와 같이, I/O 디바이스 레벨의 주체는, 센서나 액츄에이터이다.
액츄에이터의 FD/FP에 관해서는, (0, 1)의 비트열의 데이터(액츄에이터 데이터)로 완료되는 시퀀스 제어적인 동작에 대해서는, 특히 실용 단계에 있다고 할 수 있다.
한편으로, 센서의 FD/FP에 관해서는, 온도, 압력, 유량 등의 프로세스량이 대상 데이터가 된다. 이들 데이터에 대해서는, msec. 레벨로 모든 데이터를 보존하는 것이 합리적이라고 할 수는 없다. 그래서, 센서의 데이터를 장치가 관리하는 처리 단위마다, 혹은 일정 기간마다 대표값화하여, 대표값화한 값을 체크하는 EES 대응의 기판 처리 장치(특허문헌 1 참조) 등이 제안되어 있다. 대표값이란, 최대값, 최소값, 평균값 등이다. 이들 대표값에 의해 FD/FP가 실현되면, 모든 데이터를 감시하는 경우와 비교하여 통신량, 필요 메모리량 등을 대폭 삭감할 수 있기 때문에 효율적이다.
대표값을 이용한 FD/FP로서는, 열화에 의한 히터 단선의 FP나, 과전류에 의한 히터 단선의 FD 등이 알려져 있다. 히터가 열화하는 경우, 히터의 저항값(비프로세스량)의 평균값이 서서히 상승해 가기 때문에, 히터의 저항값의 평균값을 대표값으로서 체크하면, 열화에 의한 히터의 단선을 예지할 수 있다. 또한, 과전류에 의해 히터가 단선한 경우, 히터의 저항값의 최대값이 돌발적으로 상승하기 때문에, 히터의 저항값의 최대값을 대표값으로서 체크하면, 과전류에 의한 히터의 단선을 검지할 수 있다.
이와 같이 비프로세스량이면, FD/FP의 실용화는 가능하다. 그러나, 프로세스량의 대표값화로는 물리적인 상태만이 취급하는 대상이 되고, 오퍼레이터의 상태까지는 취급할 수 없기 때문에, 정보로서는 반드시 충분하지 않다. EES의 장치 내 분산 배치는, EES의 전체 효율을 높이기 위해 유효한 실장 방법이기 때문에, 오퍼레이터에 의한 조작을 수반하는 컨트롤러 레벨로 FD/FP 기능을 더욱 강화하는 것이 요구되고 있다.
특히, 최근은, 컨트롤러나, 컨트롤러를 이용하여 예컨대 반도체의 제조를 행하는 제조 장치에 있어서, 오퍼레이터의 조작을 위한 화면에, 액정의 표시기 등이 사용되는 경우가 있다(특허문헌 2 참조). 도 10의 예에서는, 컨트롤러(온도 조절계)(100)와 일체화된 액정 표시기(100)를 나타내고 있다. 이러한 컨트롤러에 있어서는, 전환 가능한 화면이 다수 있고, 또한 선택·조정 가능한 파라미터도 다방면에 걸치기 때문에, 오퍼레이터의 조작이 복잡화하고 있어, 오퍼레이터의 상태를 대상으로 하는 FD/FP 기능을 강화하는 것이 요구되고 있다.
그래서, 제어의 설정값(SP)을 오퍼레이터의 조작에 따라 변경한 빈도를 나타내는 조작 빈도 정보를 집계하여 유지함으로써, 오퍼레이터의 상태를 대상으로 하는 FD/FP 기능을 강화하는 문제점 검지 시스템이 제안되어 있다(특허문헌 3 참조).
비특허문헌 1: 「장치 레벨에서의 장치 기능의 성능 확인에 관한 해설서」, 사단법인 전자정보기술산업협회, 2005년 3월 23일
이상과 같이, 최근은 오퍼레이터에 의한 조작을 수반하는 컨트롤러 레벨로 FD/FP 기능을 강화하는 것이 요구되고 있다. 이에 대하여, 특허문헌 3에 개시된 기술에서는, 제어의 설정값(SP)을 오퍼레이터의 조작에 따라 변경한 빈도를 나타내는 조작 빈도 정보를 집계하고 있지만, 검지 가능한 오퍼레이터의 조작이 설정값(SP)의 변경 조작에 한정된다고 하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 컨트롤러 레벨에서의 오퍼레이터 상태를 대상으로 하는 FD/FP 기능을 종래보다 강화할 수 있는 검지 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 바꾸어 말하면, 본 발명은 간이형의 컨트롤러 레벨(액정의 표시 기능을 수반하는 온도 조절계 등)로 내장도 외장도 가능한 간이형의 FD/FP 관련 기능을 제공한다.
본 발명의 검지 장치는, 대상 기기에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하는 조작 검지 수단과, 이 조작 검지 수단의 검지 결과에 기초하여, 통상은 열람하지 않는 것이 상정되는 특정한 화면을, 상기 대상 기기가 오퍼레이터의 조작에 따라 표시한 표시 정도를 나타내는 값을 집계하는 표시 정도 집계 수단과, 상기 표시 정도의 정보를 외부에 출력하는 정보 출력 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 검지 장치의 1 구성예에 있어서, 상기 대상 기기는, 제어에 사용되는 컨트롤러이며, 상기 특정한 화면은, 상기 컨트롤러의 기본 설정 확인 화면이고, 상기 표시 정도는, 상기 기본 설정 확인 화면을 표시한 표시 누적 시간이다.
또한, 본 발명의 검지 장치의 1 구성예에 있어서, 상기 대상 기기는, 제어에 사용되는 컨트롤러이며, 상기 특정한 화면은, 상기 컨트롤러의 기본 설정 확인 화면이고, 상기 표시 정도는, 상기 기본 설정 확인 화면을 표시한 표시 누적 횟수이다.
또한, 본 발명의 검지 장치의 1 구성예에 있어서, 상기 기본 설정 확인 화면은, 상기 컨트롤러에의 하드웨어의 실장 상태에 관한 확인 화면이다.
또한, 본 발명의 검지 장치의 1 구성예에 있어서, 상기 기본 설정 확인 화면은, 상기 컨트롤러의 선택·조정 가능한 기능별 파라미터의 설정 상태에 관한 확인 화면이다.
또한, 본 발명의 검지 장치의 1 구성예는, 외부로부터 리셋 신호를 수취하였을 때에, 상기 표시 정도를 초기 상태로 리셋하는 리셋 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 검지 장치의 1 구성예는, 상기 표시 정도를 나타내는 값이 미리 정해진 임계값을 넘었을 때에, 알람을 출력하는 알람 출력 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 검지 방법은, 대상 기기에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하는 조작 검지 단계와, 이 조작 검지 단계의 검지 결과에 기초하여, 통상은 열람하지 않는 것이 상정되는 특정한 화면을, 상기 대상 기기가 오퍼레이터의 조작에 따라 표시한 표시 정도를 나타내는 값을 집계하는 표시 정도 집계 단계와, 상기 표시 정도의 정보를 외부에 출력하는 정보 출력 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명에 따르면, 대상 기기에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하는 조작 검지 수단과, 조작 검지 수단의 검지 결과에 기초하여, 통상은 열람하지 않는 것이 상정되는 특정한 화면을, 대상 기기가 오퍼레이터의 조작에 따라 표시한 표시 정도를 나타내는 값을 집계하는 표시 정도 집계 수단을 마련함으로써, 컨트롤러 레벨에서의 오퍼레이터 상태를 대상으로 하는 FD/FP 기능을 강화할 수 있어, 오퍼레이터의 조작의 문제점을 검지하거나 예지하거나 할 수 있다. 본 발명에서는, 대상 기기가 특정한 화면을 표시한 표시 정도를 나타내는 값을 집계함으로써, 설정값(SP)의 변경 조작에 한정되지 않고, 대상 기기를 취급하는 오퍼레이터의 당황 정도를 검지할 수 있기 때문에, 컨트롤러 레벨에서의 오퍼레이터 상태를 대상으로 하는 FD/FP 기능을 종래보다 더욱 강화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 검지 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 2는 컨트롤러의 적용 대상이 되는 가열 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 3은 컨트롤러의 조작 감시 화면의 예를 나타내는 도면이다.
도 4는 컨트롤러의 메뉴얼 조작량 설정 화의이 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 검지 장치의 동작을 설명하는 흐름도이다.
도 6은 컨트롤러의 기본 설정 확인 화면의 예를 나타내는 도면이다.
도 7은 컨트롤러의 기본 설정 확인 화면의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 검지 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 검지 장치의 동작을 설명하는 흐름도이다.
도 10은 컨트롤러와 일체화된 액정 표시기의 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 컨트롤러의 적용 대상이 되는 가열 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 3은 컨트롤러의 조작 감시 화면의 예를 나타내는 도면이다.
도 4는 컨트롤러의 메뉴얼 조작량 설정 화의이 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 검지 장치의 동작을 설명하는 흐름도이다.
도 6은 컨트롤러의 기본 설정 확인 화면의 예를 나타내는 도면이다.
도 7은 컨트롤러의 기본 설정 확인 화면의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 검지 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 검지 장치의 동작을 설명하는 흐름도이다.
도 10은 컨트롤러와 일체화된 액정 표시기의 예를 나타내는 도면이다.
[발명의 원리]
컨트롤러 등의 기기에 있어서는, 통상, 복수의 조작 화면을 전환하여 이용하는 형태가 된다. 발명자는, 이러한 복수의 조작 화면을 전환하여 이용하기 위한 조작부를 구비한 컨트롤러 등의 기기에 있어서, 어떤 화면을 어느 정도의 시간 표시하였는지 등의 데이터가, 어떠한 업무 개선으로 이어지는 케이스가 있는 것에 착안하였다.
예컨대 반도체 등의 제품의 제조 장치 설치 완료 후(생산 개시 후), 컨트롤러 자체의 내부 사양에 관한 확인 화면 등을, 장치 오퍼레이터가 볼 필요성은 거의 없는 것이다. 따라서, 이러한 성질의 확인 화면을 표시하는 빈도는, 장치 오퍼레이터의 당황 빈도이기도 하며, 큰 트러블로 연결될 징후일 가능성이 있다. 한편으로, 제조 라인 책임자에게 있어서는, 장치 오퍼레이터의 단순한 당황으로 수습되어 버리는 것이라면, 오퍼레이터가 조작에 당황하고 있는 상태를 인식하기 어렵다고 하는 일면도 있다. 발명자는, 이상과 같은 사실에 기초하여, 장치 설치 완료 후(생산 개시 후)에 장치 오퍼레이터가 그다지 보지 않을 성질의 화면을 특정하고, 그 화면을 표시하는 빈도를 지표로서 집계하는 것의 유용성에 상도하였다.
[제1 실시형태]
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 검지 장치의 구성을 나타내는 블록도이다. 본 실시형태에서는, 대상 기기가 간이형의 컨트롤러(온도 조절계)인 예에 대해서 설명한다.
컨트롤러는, 예컨대 도 2와 같이 가열 장치의 온도 제어를 목적으로 하여 실장된다. 이 가열 장치는, 처리 대상의 피가열물을 가열하는 가열 처리로(10)와, 전기 히터(11)와, 가열 처리로(10) 내의 온도를 계측하는 온도 센서(12)와, 가열 처리로(10) 내의 온도를 제어하는 컨트롤러(온도 조절계)(13)와, 전력 조정기(14)와, 전력 공급 회로(15)와, 가열 장치 전체를 제어하는 PLC(Programmable Logic Controller)(16)로 구성된다.
컨트롤러(13)는, 온도 센서(12)가 계측한 온도(PV)가 온도 설정값(SP)과 일치하도록 조작량(MV)을 산출한다. 전력 조정기(14)는, 조작량(MV)에 따른 전력을 결정하고, 이 결정한 전력을 전력 공급 회로(15)를 통하여 전기 히터(11)에 공급한다. 이렇게 하여, 컨트롤러(13)는, 가열 처리로(10) 내의 피가열물의 온도를 제어한다.
가열 장치의 오퍼레이터는, 통상의 제어 상태에서는, 예컨대 도 3과 같은 온도 설정값(SP) 및 온도 계측값(PV)의 조작 감시 화면(20)이나, 조작량(MV)을 수동으로 설정하기 위한 도 4와 같은 메뉴얼 조작량 설정 화면(21)을 컨트롤러(13)에 표시시킨다.
이러한 컨트롤러(13)를 대상 기기로 하는 본 실시형태의 검지 장치는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 컨트롤러(13)에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하는 조작 검지부(1)와, 조작 검지부(1)의 검지 결과에 기초하여, 통상은 열람하지 않는 것이 상정되는 기본 설정 확인 화면을, 컨트롤러(13)가 오퍼레이터의 조작에 따라 표시한 표시 누적 시간을 집계하여 유지하는 표시 시간 집계부(2)(표시 정도 집계 수단)와, 외부로부터 리셋 신호를 수취하였을 때에, 표시 시간 집계부(2)에 유지되어 있는 표시 누적 시간을 0으로 리셋하는 리셋부(3)와, 표시 누적 시간의 정보를 외부에 출력하는 정보 출력부(4)와, 표시 누적 시간이 미리 규정된 임계값을 넘었을 때에, 알람을 외부에 출력하는 알람 출력부(5)를 구비하고 있다. 표시 누적 시간은, 통상은 열람하지 않는 것이 상정되는 특정한 화면을 컨트롤러(13)가 오퍼레이터의 조작에 따라 표시한 표시 정도를 나타내는 값이다.
또한, 본 실시형태에서는, 대상 기기인 컨트롤러(13)가, 오퍼레이터에게 정보를 전하는 표시 수단인 동시에 오퍼레이터로부터의 조작을 접수하는 입력 수단인 터치 패널 기능을 갖는 표시기(130)를 구비하고 있는 예로 설명하지만, 컨트롤러(13)는, 표시 수단과 입력 수단을 따로따로 구비하는 구성이어도 좋다.
이하, 본 실시형태의 검지 장치의 동작을 도 5의 흐름도를 이용하여 설명한다. 초기 상태에 있어서 외부로부터 리셋 신호를 수취함으로써, 리셋부(3)는, 표시 시간 집계부(2)에 기억되어 있는 표시 누적 시간을 0으로 리셋한다(도 5 단계 S100). 리셋 신호가 발생하는 상황으로서는, 예컨대 가열 장치의 설치 완료에 따라 오퍼레이터 또는 가열 장치의 관리자가 리셋 신호를 입력하는 상황, 혹은 오퍼레이터의 교체에 따라 교체 후의 오퍼레이터 또는 가열 장치의 관리자가 리셋 신호를 입력하는 상황 등이 생각된다.
조작 검지부(1)는, 컨트롤러(13)에 대한 오퍼레이터의 조작[본 실시형태의 예에서는 오퍼레이터가 터치 패널 기능을 갖는 표시기(130)의 화면에 닿는 조작]을 검지한다.
표시 시간 집계부(2)는, 조작 검지부(1)가 컨트롤러(13)에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하고(도 5 단계 S101에 있어서 YES), 또한 이 조작이 컨트롤러(13)의 화면을 기본 설정 확인 화면(예컨대 컨트롤러 자체의 내부 사양에 관한 확인 화면)으로 전환하는 조작이었던 경우(도 5 단계 S102에 있어서 YES), 표시 누적 시간의 현재의 값을 초기값으로 하여 표시 누적 시간의 계측을 개시한다(도 5 단계 S103).
한편, 표시 시간 집계부(2)는, 조작 검지부(1)가 컨트롤러(13)에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하고(단계 S101에 있어서 YES), 또한 이 조작이 컨트롤러(13)의 화면을 기본 설정 확인 화면으로부터 다른 화면으로 전환하는 조작이었던 경우(도 5 단계 S104에 있어서 YES), 표시 누적 시간의 계측을 정지한다(도 5 단계 S105).
이렇게 하여, 컨트롤러(13)의 터치 패널 기능을 갖는 표시기(130)에 기본 설정 확인 화면이 표시되고 있는 동안(기본 설정 확인 화면으로 전환하는 조작이 있었던 때부터 다른 화면으로 전환하는 조작이 있었던 때까지)은, 표시 누적 시간의 계측·갱신이 계속되게 된다.
다음에, 알람 출력부(5)는, 표시 시간 집계부(2)에 기억되어 있는 표시 누적 시간이 미리 정해진 임계값을 넘은 경우(도 5 단계 S106에 있어서 YES), 알람을 출력한다(도 5 단계 S107). 알람의 출력 방법으로서는, 예컨대 알람 발생을 알리는 내용을 컨트롤러(13)의 터치 패널 기능을 갖는 표시기(130)에 표시시키거나, 알람 발생을 알리는 정보를 외부에 송신하거나 하는 등의 방법이 있다.
상기 표시 누적 시간은, 컨트롤러(13)의 제어 동작 중이라도 화면 표시하여 확인할 수 있는 내용이기 때문에, 이들을 빈번하게 확인하는 것과, 제어 가동 시간은 반드시 일치하지 않는다(가동 시간 관리와는 상이한 성질의 정보를 추출할 수 있음). 그 의미에서, 어떠한 트러블 해결까지의 시간에 연동하고 있을 가능성이 있고, 또한 오퍼레이터의 기기 지식이나 조작 스킬의 낮음에 연동하고 있을 가능성이 있다. 즉, 표시 누적 시간은 오퍼레이터의 당황 정도의 지표가 된다. 따라서, 알람을 출력하는 것이 아니라, 단순히 표시 누적 시간을 제시하도록 하여도 좋다.
구체적으로는, 정보 출력부(4)는, 조작 검지부(1)가 컨트롤러(13)에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하고(단계 S101에 있어서 YES), 또한 이 조작이 표시 누적 시간의 제시를 요구하는 조작이었던 경우(도 5 단계 S108에 있어서 YES), 표시 시간 집계부(2)에 기억되어 있는 현재의 표시 누적 시간을 컨트롤러(13)의 터치 패널 기능을 갖는 표시기(130)에 표시시킨다(도 5 단계 S109).
이상과 같은 단계 S101∼S109의 처리가, 예컨대 오퍼레이터로부터의 지령에 의해 컨트롤러(13)의 동작이 종료할 때까지(도 5 단계 S110에 있어서 YES), 동작 주기마다 반복해서 실행된다.
본 실시형태의 기본 설정 확인 화면의 구체예로서는, 도 6, 도 7과 같은 것이 있다. 도 6에 나타내는 화면(22)은, 컨트롤러(13)의, 교환 가능한 기능별 기판(슬롯)이라고 하는 하드웨어면의 실장 상태에 관한 기본 설정 확인 화면이다. 또한, 도 7에 나타내는 화면(23)은, 컨트롤러(13)의, 선택·조정 가능한 기능별 파라미터라고 하는 소프트웨어면의 설정 상태에 관한 기본 설정 확인 화면이다.
본 실시형태에서는, 컨트롤러(13)가 특정한 화면을 표시한 표시 누적 시간을 오퍼레이터의 상태를 나타내는 정보로서 취급하는 FD/FP 기능을, 간이형의 컨트롤러 레벨(온도 조절계 등)에 분산 배치할 수 있다. 즉, 컨트롤러(13)를 취급하는 오퍼레이터의 당황 정도를, 컨트롤러(13)를 이용하여 예컨대 반도체 등의 제품을 생산·제조하는 공정에 있어서의 문제점으로서 취급하여, 부분적이지만, 이러한 문제점을 검출하는 것이 가능해진다.
[제2 실시형태]
다음에, 본 발명의 제2 실시형태에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서는, 대상 기기가 간이형의 컨트롤러(온도 조절계)인 별도의 예에 대해서 설명한다. 도 8은 본 실시형태에 따른 검지 장치의 구성을 나타내는 블록도이며, 도 1과 동일한 구성에는 동일한 부호를 붙이고 있다.
본 실시형태의 검지 장치는, 조작 검지부(1)와, 조작 검지부(1)의 검지 결과에 기초하여, 기본 설정 확인 화면을 컨트롤러(13)가 오퍼레이터의 조작에 따라 표시한 표시 누적 횟수를 집계하여 유지하는 표시 횟수 집계부(2a)(표시 정도 집계 수단)와, 외부로부터 리셋 신호를 수취하였을 때에, 표시 횟수 집계부(2a)에 유지되어 있는 표시 누적 횟수를 0으로 리셋하는 리셋부(3a)와, 표시 누적 횟수의 정보를 외부에 출력하는 정보 출력부(4a)와, 표시 누적 횟수가 미리 규정된 임계값을 넘었을 때에, 알람을 외부에 출력하는 알람 출력부(5a)를 구비하고 있다. 표시 누적 횟수는, 통상은 열람하지 않는 것이 상정되는 특정한 화면을 컨트롤러(13)가 오퍼레이터의 조작에 따라 표시한 표시 정도를 나타내는 값이다.
이하, 본 실시형태의 검지 장치의 동작을 도 9의 흐름도를 이용하여 설명한다. 초기 상태에 있어서 외부에서 리셋 신호를 수취함으로써, 리셋부(3a)는, 표시 횟수 집계부(2a)에 기억되어 있는 표시 누적 횟수를 0으로 리셋한다(도 9 단계 S200). 리셋 신호가 발생하는 상황에 대해서는 제1 실시형태에서 설명한 바와 같다.
조작 검지부(1)의 동작은 제1 실시형태에서 설명한 바와 같다. 표시 횟수 집계부(2a)는, 조작 검지부(1)가 컨트롤러(13)에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하고(도 9 단계 S201에 있어서 YES), 또한 이 조작이 컨트롤러(13)의 화면을 기본 설정 확인 화면(예컨대 컨트롤러 자체의 내부 사양에 관한 확인 화면)으로 전환하는 조작이었던 경우(도 9 단계 S202에 있어서 YES), 표시 누적 횟수의 값을 1 늘린다(도 9 단계 S203).
이렇게 하여, 컨트롤러(13)의 터치 패널 기능을 갖는 표시기(130)에 기본 설정 확인 화면이 표시될 때(기본 설정 확인 화면으로 전환하는 조작이 이루어질 때)에, 표시 누적 횟수가 갱신되게 된다.
다음에, 알람 출력부(5a)는, 표시 횟수 집계부(2a)에 기억되어 있는 표시 누적 횟수가 미리 정해진 임계값을 넘은 경우(도 9 단계 S204에 있어서 YES), 알람을 출력한다(도 9 단계 S205). 제1 실시형태와 마찬가지로, 알람의 출력 방법으로서는, 예컨대 알람 발생을 알리는 내용을 컨트롤러(13)의 터치 패널 기능을 갖는 표시기(130)에 표시시키거나, 알람 발생을 알리는 정보를 외부에 송신하거나 하는 등의 방법이 있다.
상기 표시 누적 횟수는, 제1 실시형태의 표시 누적 시간과 마찬가지로 오퍼레이터의 당황 정도의 지표가 된다. 따라서, 알람을 출력하는 것이 아니라, 단순히 표시 누적 횟수를 제시하도록 하여도 좋다. 즉, 정보 출력부(4a)는, 조작 검지부(1)가 컨트롤러(13)에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하고(단계 S201에 있어서 YES), 또한 이 조작이 표시 누적 횟수의 제시를 요구하는 조작이었던 경우(도 9 단계 S206에 있어서 YES), 표시 횟수 집계부(2a)에 기억되어 있는 현재의 표시 누적 횟수를 컨트롤러(13)의 터치 패널 기능을 갖는 표시기(130)에 표시시킨다(도 9 단계 S207).
이상과 같은 단계 S201∼S207의 처리가, 예컨대 오퍼레이터로부터의 지령에 의해 컨트롤러(13)의 동작이 종료할 때까지(도 9 단계 S208에 있어서 YES), 동작 주기마다 반복해서 실행된다.
이렇게 하여, 본 실시형태에서는, 제1 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 배경기술에서는 EES의 장치 내 분산 배치를 과제로서 들고 있지만, 제1, 제2 실시형태는, EES에 한정되지 않고, 건물의 공조 제어나 화학 플랜트 등에서 이용되는 컨트롤러 레벨도 대상 범위에 들어간다.
제1, 제2 실시형태에서 설명한 검지 장치는, CPU(Central Processing Unit), 기억 장치 및 인터페이스를 구비한 컴퓨터와, 이들의 하드웨어 자원을 제어하는 프로그램에 의해 실현할 수 있다. CPU는, 기억 장치에 저장된 프로그램에 따라 제1, 제2 실시형태에서 설명한 처리를 실행한다.
본 발명은 오퍼레이터의 조작의 문제점을 검지하거나 예지하거나 하는 기술에 적용할 수 있다.
1: 조작 검지부 2: 표시 시간 집계부
2a: 표시 횟수 집계부 3, 3a: 리셋부
4, 4a: 정보 출력부 5, 5a: 알람 출력부
13: 컨트롤러 130: 터치 패널 기능을 갖는 표시기
2a: 표시 횟수 집계부 3, 3a: 리셋부
4, 4a: 정보 출력부 5, 5a: 알람 출력부
13: 컨트롤러 130: 터치 패널 기능을 갖는 표시기
Claims (14)
- 표시기와 접속한 컨트롤러에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하는 조작 검지 수단과,
상기 조작 검지 수단의 검지 결과에 기초하여, 상기 표시기에 표시하는 미리 준비된 복수의 조작 화면 중, 상기 컨트롤러의 하드웨어 실장 상태에 관한 확인 화면을, 상기 컨트롤러가 오퍼레이터의 조작에 따라 상기 표시기에 표시한 표시 정도를 나타내는 값을 집계하는 표시 정도 집계 수단과,
상기 표시 정도의 정보를 외부에 출력하는 정보 출력 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검지 장치. - 제1항에 있어서,
상기 표시 정도는, 상기 컨트롤러의 하드웨어 실장 상태에 관한 확인 화면을 표시한 표시 누적 시간인 것을 특징으로 하는 검지 장치. - 제1항에 있어서,
상기 표시 정도는, 상기 컨트롤러의 하드웨어 실장 상태에 관한 확인 화면을 표시한 표시 누적 횟수인 것을 특징으로 하는 검지 장치. - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
외부로부터 리셋 신호를 수취하였을 때에, 상기 표시 정도를 초기 상태로 리셋하는 리셋 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검지 장치. - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 표시 정도를 나타내는 값이 미리 정해진 임계값을 넘었을 때에, 알람을 출력하는 알람 출력 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검지 장치. - 표시기와 접속한 컨트롤러에 대한 오퍼레이터의 조작을 검지하는 조작 검지 단계와,
상기 조작 검지 단계의 검지 결과에 기초하여, 상기 표시기에 표시하는 미리 준비된 복수의 조작 화면 중, 상기 컨트롤러의 하드웨어 실장 상태에 관한 확인 화면을, 상기 컨트롤러가 오퍼레이터의 조작에 따라 상기 표시기에 표시한 표시 정도를 나타내는 값을 집계하는 표시 정도 집계 단계와,
상기 표시 정도의 정보를 외부에 출력하는 정보 출력 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검지 방법. - 제6항에 있어서,
상기 표시 정도는, 상기 컨트롤러의 하드웨어 실장 상태에 관한 확인 화면을 표시한 표시 누적 시간인 것을 특징으로 하는 검지 방법. - 제6항에 있어서,
상기 표시 정도는, 상기 컨트롤러의 하드웨어 실장 상태에 관한 확인 화면을 표시한 표시 누적 횟수인 것을 특징으로 하는 검지 방법. - 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
외부로부터 리셋 신호를 수취하였을 때에, 상기 표시 정도를 초기 상태로 리셋하는 리셋 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검지 방법. - 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 표시 정도를 나타내는 값이 미리 정해진 임계값을 넘었을 때에, 알람을 출력하는 알람 출력 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검지 방법. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016018629A JP6637319B2 (ja) | 2016-02-03 | 2016-02-03 | 検知装置および方法 |
JPJP-P-2016-018629 | 2016-02-03 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20170092458A KR20170092458A (ko) | 2017-08-11 |
KR101946700B1 true KR101946700B1 (ko) | 2019-05-10 |
Family
ID=59534334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020170011780A KR101946700B1 (ko) | 2016-02-03 | 2017-01-25 | 검지 장치 및 방법 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6637319B2 (ko) |
KR (1) | KR101946700B1 (ko) |
CN (1) | CN107037772B (ko) |
TW (1) | TW201732472A (ko) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7295676B2 (ja) * | 2019-03-26 | 2023-06-21 | 株式会社日本総合研究所 | 情報処理装置及びプログラム |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005174126A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Digital Electronics Corp | プログラマブル表示器、表示制御プログラムおよびそのプログラムを記録した記録媒体 |
JP2008250514A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Hitachi Ltd | 最適画面呼び出し機能つきプラント監視表示装置 |
JP2015064627A (ja) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | アズビル株式会社 | 不具合検知システムおよび不具合検知方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH028922A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-01-12 | Toshiba Corp | 入力装置 |
JP3123322B2 (ja) * | 1993-11-26 | 2001-01-09 | ミノルタ株式会社 | 操作制御方法 |
JP4024944B2 (ja) * | 1998-09-09 | 2007-12-19 | 株式会社イシダ | 計量システム |
JP3751489B2 (ja) | 1999-11-25 | 2006-03-01 | 株式会社山武 | 数値設定装置 |
JP2002202946A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Ricoh Co Ltd | デジタル画像処理装置 |
JP2004145394A (ja) * | 2002-10-21 | 2004-05-20 | Hitachi Ltd | マンマシンインターフェイス設計支援装置 |
JP2010009240A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Kyocera Mita Corp | 表示装置及びヘルプメッセージ表示プログラム |
JP2010219460A (ja) | 2009-03-19 | 2010-09-30 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
CN103309427A (zh) * | 2012-03-12 | 2013-09-18 | 安凯(广州)微电子技术有限公司 | 一种计算机及其屏幕保护系统 |
JP2013246536A (ja) * | 2012-05-24 | 2013-12-09 | Carecom Co Ltd | アイコン表示装置 |
CN103745576B (zh) * | 2014-01-13 | 2016-01-06 | 济南大学 | 保护儿童视力的显示屏监控报警装置的监控方法 |
JP6241295B2 (ja) * | 2014-01-30 | 2017-12-06 | ブラザー工業株式会社 | 印刷装置、端末装置、および、コンピュータプログラム |
CN104504623B (zh) * | 2014-12-29 | 2018-06-05 | 深圳市宇恒互动科技开发有限公司 | 一种根据动作感知进行场景识别的方法、系统及装置 |
-
2016
- 2016-02-03 JP JP2016018629A patent/JP6637319B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2017
- 2017-01-25 KR KR1020170011780A patent/KR101946700B1/ko active IP Right Grant
- 2017-01-26 TW TW106103263A patent/TW201732472A/zh unknown
- 2017-02-03 CN CN201710063652.3A patent/CN107037772B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005174126A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Digital Electronics Corp | プログラマブル表示器、表示制御プログラムおよびそのプログラムを記録した記録媒体 |
JP2008250514A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Hitachi Ltd | 最適画面呼び出し機能つきプラント監視表示装置 |
JP2015064627A (ja) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | アズビル株式会社 | 不具合検知システムおよび不具合検知方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20170092458A (ko) | 2017-08-11 |
CN107037772B (zh) | 2019-12-13 |
JP2017138758A (ja) | 2017-08-10 |
CN107037772A (zh) | 2017-08-11 |
JP6637319B2 (ja) | 2020-01-29 |
TW201732472A (zh) | 2017-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11917730B2 (en) | Integrated device and method for enhancing heater life and performance | |
CN104465437B (zh) | 故障检测系统以及故障检测方法 | |
US20140249777A1 (en) | Fault detecting system and fault detecting method | |
CN103760934B (zh) | 一种用于半导体热处理设备温度的监控方法及系统 | |
EP2840453B1 (en) | Communication system containing field devices and method for controlling the system | |
JP5778087B2 (ja) | プロセス監視システム及び方法 | |
JP2019185468A (ja) | 異常予測制御システム | |
JP6077608B2 (ja) | Plcログデータを利用した異常発生予測システム | |
KR101946700B1 (ko) | 검지 장치 및 방법 | |
CN107798161B (zh) | 设计评价辅助系统 | |
JP6216612B2 (ja) | 不具合検知システムおよび不具合検知方法 | |
EP2802948B1 (en) | System for fluid processing networks | |
KR20160070724A (ko) | 멀티 원격 제어장치와 그에 따른 원격 제어 시스템 | |
JP6216607B2 (ja) | 不具合検知システムおよび不具合検知方法 | |
JP2006228779A (ja) | 半導体製造装置の管理方法 | |
WO2022027003A1 (en) | Systems and methods for using intermediate data to improve system control and diagnostics | |
JP6200261B2 (ja) | 不具合検知システムおよび不具合検知方法 | |
JP7248101B2 (ja) | 監視方法、監視装置、プログラム | |
KR20220077870A (ko) | 예측 모형 기반 가열로 이상 감지 시스템 및 방법 | |
EP2866028A1 (en) | Apparatus and method for selectively determining a mode of operation | |
JP2016045752A (ja) | 管理装置および管理方法 | |
JP6339843B2 (ja) | 管理装置および管理方法 | |
KR20150115603A (ko) | 온습도 원격 제어 방법 | |
JPWO2020174710A1 (ja) | 鉛蓄電池監視装置及び鉛蓄電池監視方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |