KR20010073560A - 예방 정비 인터-락 방법 - Google Patents

Abstract

여기에 개시되는 반도체 제조 공정 설비의 예방 정비 인터-락 방법은 공정 설비에 접속되어 공정 전반을 제어하는 호스트에 의해 제어된다. 호스트는 트랙인 요구 접수시 공정 설비의 현재까지의 공정 진행 웨이퍼 수를 검사하고, 웨이퍼 수가 예방 정비가 필요한 웨이퍼 수에 도달하면 공정 설비에 인터-락을 걸어 공정 진행을 홀드하고 그 결과를 운영자 인터페이스를 통해 알린다. 또한 공정 설비의 공정 진행 웨이퍼 수가 경고 표시 또는 알람 표시가 필요한 매수에 도달하면, 각각의 경우 상기 운영자 인터페이스를 통해 경고 메시지 또는 알람 메시지를 표시한다.

Description

예방 정비 인터-락 방법{PREVENTIVE MAINTENANCE INTER-LOCK METHOD}

본 발명은 반도체 제조 공정 설비들의 예방 정비 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 반도체 제조 공정 설비의 예방 정비에서 에러 발생시 인터-락을 걸어 공정 사고를 방지하기 위한 예방 정비 인터-락 방법에 관한 것이다.

반도체 생산 장비들은 반응성이 강한 가스나 케미컬을 반응시켜 원하는 막질을 얻게 한다. 원하는 막질을 얻기 위해 반응가스나 케미컬을 반응시킬 때 자연적으로 원하는 막질뿐만 아니라, 사이드 반응에 의해 원하기 않는 막질이 생성되기도하며, 실질적으로 웨이퍼 표면에만 데포(deposition)가 되기를 원하지만, 반응 챔버의 벽이나 히터 등의 목적하는 부분 외에 챔버내 국 성 파트에 막질이 데포된다.

이런 막질 및 사이드 반응물은 챔버에 누적되어 있다가, 생산 웨이퍼 진행시 웨이퍼에 손상을 주어 막대한 피해를 주기도 한다. 이를 방지하기 위해, 설비를 주기적으로 크린 해주어야 한다. 일반적으로 웨이퍼 단위 별로 적정수준에서 RF 크린(RF-clean) 또는 래디컬 크린(radical clean) 등의 인-스위트 크린(in-suite clean)을 해준다. 인-스위트 크린이 한계에 도달했을 때, 챔버를 오픈하여 필요한 부분을 메커니컬 크린(mechanical clean)을 하고 필요한 파트를 교체한다.

이와 같이, 일정기간 설비를 사용한 후, 설비를 제 정비해주는 것을 P.M(preventive maintenance)이라고 한다. 반도체 제조 공정의 공정 설비들은 이와 같은 PM을 주기적으로 하고 있다. P.M 시기는 설비를 운용하는 엔지니어에 의해 관리가 되는데, 엔지니어가 항상 얼마만큼의 웨이퍼가 해당 설비로 진행되었는지 확인하기 어렵기 때문에 종종 PM 시기를 넘어 대량 런 사고를 발생하기도 한다.

따라서, 본 발명의 목적은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서 공정 설비의 예방 정비가 필요한 경우 운영자에게 이를 사전 예고하고, 공정 설비가 에러 발생의 위함이 있는 경우에 인터-락을 걸어 공정 사고를 방지할 수 있는 예방 정비 인터-락 방법을 제공하는데 있다.

도 1은 일반적인 반도체 제조 공정에 설치된 운영자 인터페이스, 호스트 컴퓨터 및, 공정 설비의 연결 관계를 보여주는 도면이다.

도 2는 도 1의 호스트에 의해 수행되는 예방 정비 인터-락 제어 수순을 보여주는 플로우 챠트이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10: 운영자 인터페이스 20: 호스트

25: PM 데이터 30: 공정 설비

상술한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 반도체 제조 공정 설비의 예방 정비 인터락 방법은 공정 설비에 접속되어 공정 전반을 제어하는 호스트에 의해 제어된다. 호스트는 트랙인 요구 접수시 공정 설비의 현재까지의 공정 진행 웨이퍼 수를 검사하고, 웨이퍼 수가 예방 정비가 필요한 웨이퍼 수에 도달하면 공정 설비에 인터-락을 걸어 공정 진행을 홀드하고 그 결과를 운영자 인터페이스를 통해 알린다. 또한 공정 설비의 공정 진행 웨이퍼 수가 경고 표시 또는 알람 표시가 필요한 매수에 도달하면, 각각의 경우 상기 운영자 인터페이스를 통해 경고 메시지 또는 알람 메시지를 표시한다.

(실시예)

이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명의 신규한 예방 정비 인터-락 방법은 공정 설비의 PM 주기를 자동으로 체크하여 장비 운영자에게 알려줌으로 P.M 시기를 초과하여 공정에 에러가 발생되는 것을 방지한다.

도 1은 일반적인 반도체 제조 공정에 설치된 운영자 인터페이스, 호스트 컴퓨터 및, 공정 설비의 연결 관계를 보여주는 도면이다. 운영자 인터페이스(10)는 호스트(10)와 접속되며, 호스트(10)는 각종의 공정 설비(30)와 접속된다. 공정 설비(30)는 반도체 제조 공정에 사용되는 각종 장비들로 예를 들어, 화학 기상 증착 장비 등등이다.

장비 운영자는 호스트(20)로 공정 설비의 공정 진행을 위한 트랙-인(track-in) 요구를 한다. 호스트(20)는 반도체 제조 공정 전반에 대한 제어와 공정 진행에 관련된 각종 데이터를 관리한다. 특히, 본 발명의 바람직한 실시예에서호스트(10)는 P.M 데이터(25)를 구비한다.

P.M 데이터(25)는 각종의 공정 설비(30) 각각의 P.M 주기를 판단하기 위한 기준 데이터들을 포함한다. 즉, P.M 데이터(25)는 각종 공정 설비들의 P.M 주기를 결정하는 웨이퍼 처리 매수에 대한 기준 데이터를 구비한다. 상기 기준 데이터는 여러 단계로 각각 구분될 수 있는데, 예를 들어 제1 내지 제3 한계치로 구분된다. 제1 한계치는 공정 진행이 계속되면 공정 에러가 발생될 수 있을 것으로 예상되는 기준치 이다. 제2 및 제3 한계치는 계속해서 공정 진행은 가능하나 곧 공정 진행이 어려울 것으로 예상되는 기준치로 제3 한계치는 제3 한계치와 비교해 조금 낮은 수준이다.

이후에 구체적으로 설명하겠지만, 호스트(10)는 운영자 인터페이스(10)로부터 트랙-인 요구가 접속되면, 해당 공정 설비(30)로부터 설비 자신이 지금까지 처리한 웨이퍼 수의 정보를 제공받는다. 호스트(10)는 공정 설비(30)로부터 제공된 웨이퍼 처리 수 정보를 PM 데이터(25)와 비교하고 그 결과에 알람 또는 경고 메시지를 표시하고 특히, 계속해서 공정 진행이 어려운 경우에는 공정 설비에 인터-락(inter-lock)을 걸어 공정 진행을 홀드 시킴으로 무리한 공정 진행에 따른 에러 발생을 방지한다.

좀더 구체적으로, 첨부도면 도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 예방 정비 인터-락 방법을 설명한다. 도 2는 도 1의 호스트(20)에 의해 수행되는 예방 정비 인터-락 제어 수순을 보여주는 플로우 챠트이다. 도 2를 참조하여, 호스트(20)는 단계 S10에서 운영자 인터페이스(10)를 통해 트랙-인 요구를 접수한다. 트랙-인 요구가 접수되면, 호스트(20)는 해당 공정 설비(30)로부터 설비 자신이 지금까지 처리한 웨이퍼 수 정보를 제공받고, 이를 P.M 데이터(25)의 각 한계치들과 비교한다.

단계 S30에서 웨이퍼 수 정보가 제1 한계치 이상인가를 판단한다. 제1 한계치 이상인 경우에는 단계 S40으로 진행하여 공정 설비(30)로 인터-락을 걸어 공정 진행을 홀드한다. 그리고 운영자 인터페이스(10)로 그 결과를 표시한다. 상기 웨이퍼 수 정보가 제1 한계치 보다 낮을 때, 단계 S50에서 웨이퍼 수 정보가 제2 한계치 이상인가를 판단하다. 제2 한계치 이상인 경우에는 단계 S60으로 진행하여 운영자 인터페이스(10)를 통해 경고 메시지를 표시한다. 상기 웨이퍼 수 정보가 제1 및 제2 한계치 보다 낮을 때, 단계 S70에서 웨이퍼 수 정보가 제3 한계치 이상인가를 판단하다. 제3 한계치 이상인 경우에는 단계 S80으로 진행하여 운영자 인터페이스(10)를 통해 알람 메시지를 표시한다. 제1 내지 제3 한계치 보다 낮은 경우에는 단계 S90으로 진행해서 트랙-인 처리 요구를 처리한다.

이상에서, 본 발명에 따른 회로의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

이상과 같은 본 발명에 의하면, 반도체 제조 공정 설비들의 예방 정비를 위한 메시지를 사전에 장비 운영자에게 알려줌으로서 공정 설비의 에러 발생을 사전에 예방 할 수 있으며, 공정 설비의 에러 발생 위험이 있는 경우 인터-락을 걸어공정 사고를 사전에 방지할 수 있다.

Claims (3)

1. 반도체 제조를 위한 공정 설비, 상기 공정 설비에 접속되어 공정 전반을 제어함과 아울러 상기 공정 설비의 예방 정비를 제어하는 호스트의 예방 정비 인터-락 방법에 있어서:

   트랙인 요구 발생시, 공정 설비로부터 현재 웨이퍼 처리 수 정보를 제공받는 단계;

   상기 웨이퍼 처리 수 정보를 예방 정비 데이터와 비교하는 단계;

   상기 웨이퍼 처리 수가 예방 정비에 필요한 웨이퍼 수에 도달하지 안았을 때, 상기 트랙인 요구를 처리하는 단계;

   상기 웨이퍼 처리 수가 예방 정비에 필요한 웨이퍼 수에 도달했을 때, 상기 공정 설비에 인터-락을 걸어 공정 진행을 홀드하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 예방 정비 인터-락 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 웨이퍼 처리 수가 경고 메시지를 표시하기 위한 웨이퍼 수에 도달했을 때, 상기 호스트에 접속된 운영자 인터페이스를 통해 경고 메시지를 표시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 예방 정비 인터-락 방법.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 웨이퍼 처리 수가 알람 메시지를 표시하기 위한 웨이퍼 수에 도달했을 때, 상기 운영자 인터페이스를 통해 알람 메시지를 표시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 예방 정비 인터-락 방법.