JP2000182924A - デバイス製造装置 - Google Patents
デバイス製造装置Info
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- JP2000182924A JP2000182924A JP10353169A JP35316998A JP2000182924A JP 2000182924 A JP2000182924 A JP 2000182924A JP 10353169 A JP10353169 A JP 10353169A JP 35316998 A JP35316998 A JP 35316998A JP 2000182924 A JP2000182924 A JP 2000182924A
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- device manufacturing
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 スクリーンセーバーの動作中には目認不可能
であった装置状態を目認可能にする。 【解決手段】 装置のモニタ画面上で動作するスクリー
ンセーバー上に装置状態、および装置の持つパラメータ
を表示して、モニタ画面の焼き付きを防止するととも
に、これまではスクリーンセーバーの動作中には目視確
認が不可能であった装置情報を容易に確認可能にし、装
置の運用効率を向上させる。また、これらの表示項目
は、いくつかの候補の中から選択して表示させることも
可能とする。
であった装置状態を目認可能にする。 【解決手段】 装置のモニタ画面上で動作するスクリー
ンセーバー上に装置状態、および装置の持つパラメータ
を表示して、モニタ画面の焼き付きを防止するととも
に、これまではスクリーンセーバーの動作中には目視確
認が不可能であった装置情報を容易に確認可能にし、装
置の運用効率を向上させる。また、これらの表示項目
は、いくつかの候補の中から選択して表示させることも
可能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスや
液晶デバイス等の製造に用いられる露光装置等のデバイ
ス製造装置に関し、特に装置の操作や表示のためのモニ
タ画面を持ち、所定の時間以上操作または表示内容の変
化しないときは、モニタ画面の表示を焼き付き防止のた
めの保護画面に切り替えるモニタ画面保護機能付きのデ
バイス製造装置に関する。
液晶デバイス等の製造に用いられる露光装置等のデバイ
ス製造装置に関し、特に装置の操作や表示のためのモニ
タ画面を持ち、所定の時間以上操作または表示内容の変
化しないときは、モニタ画面の表示を焼き付き防止のた
めの保護画面に切り替えるモニタ画面保護機能付きのデ
バイス製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイスを製造するための半導体
露光装置は、装置の固有情報が非常に多く、これらが装
置の操作や、その操作におけるパラメータの指定等に密
接に関係するため、それらを大きく表示するためにディ
スプレイモニタを持つものが少なくない。しかし、装置
が動作終了までに時間のかかる動作を命令されたり、オ
ンラインで他のホストから運用される際には、モニタは
ほとんど変化のない画面を表示し続けることがある。こ
れらを原因とする画面の焼き付き防止や、モニタそのも
の寿命を伸ばすため、装置は一定時間以上、操作や画面
の変化が無かった場合に、モニタ画面上にいわゆるスク
リーンセーバーを起動しそれを保護する必要があった。
露光装置は、装置の固有情報が非常に多く、これらが装
置の操作や、その操作におけるパラメータの指定等に密
接に関係するため、それらを大きく表示するためにディ
スプレイモニタを持つものが少なくない。しかし、装置
が動作終了までに時間のかかる動作を命令されたり、オ
ンラインで他のホストから運用される際には、モニタは
ほとんど変化のない画面を表示し続けることがある。こ
れらを原因とする画面の焼き付き防止や、モニタそのも
の寿命を伸ばすため、装置は一定時間以上、操作や画面
の変化が無かった場合に、モニタ画面上にいわゆるスク
リーンセーバーを起動しそれを保護する必要があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記モ
ニタ画面上にスクリーンセーバーが起動されていると、
装置に関する情報（動作の終了予定時刻や、レシピ、そ
の他装置自身の持つ様々なパラメータ）や、刻々と変化
する装置の動作に関する情報（動作中／待機中／停止
中、など）を外部から見ただけでは判断できないため、
それらの情報を得るためには装置のスクリーンセーバー
をオペレータが解除して回るという煩雑さが生じてお
り、このため装置が適切な対処をされないまま放置さ
れ、その運用効率を下げてしまう恐れがあった。
ニタ画面上にスクリーンセーバーが起動されていると、
装置に関する情報（動作の終了予定時刻や、レシピ、そ
の他装置自身の持つ様々なパラメータ）や、刻々と変化
する装置の動作に関する情報（動作中／待機中／停止
中、など）を外部から見ただけでは判断できないため、
それらの情報を得るためには装置のスクリーンセーバー
をオペレータが解除して回るという煩雑さが生じてお
り、このため装置が適切な対処をされないまま放置さ
れ、その運用効率を下げてしまう恐れがあった。
【０００４】本発明は、上述の従来例における問題点に
鑑みてなされたもので、スクリーンセーバーまたはこれ
に類似するモニタ画面保護手段を有するデバイス製造装
置において、モニタ画面保護手段の動作中には目認不可
能であった装置状態を目認可能にすることを目的とす
る。
鑑みてなされたもので、スクリーンセーバーまたはこれ
に類似するモニタ画面保護手段を有するデバイス製造装
置において、モニタ画面保護手段の動作中には目認不可
能であった装置状態を目認可能にすることを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段および作用】上記の目的を
達成するため本発明では、装置のモニタ画面上にモニタ
画面保護手段が起動された状態で、その画面上に装置の
持つ情報および装置の動作に関する情報を表示し、画面
を保護しながらオペレータが装置状態を確認できるよう
にしている。より具体的には、モニタ画面の焼き付きを
防止するため装置のモニタ画面上で動作するモニタ画面
保護手段の上に、装置状態または装置の持つパラメータ
を表示して、これまではモニタ画面保護手段の動作中に
は目視確認が不可能であった装置情報を容易に確認可能
にし、装置の運用効率を向上させる。表示の方法として
は、例えばモニタ画面保護手段動作中の画面（以下、保
護表示画面という）の背景の色を装置情報の内容に応じ
て変化させるか、または保護表示画面上にその背景とは
異なる単数または複数の表示エリアを設け、その表示エ
リアを固定または移動させながらその表示エリア内に所
定の装置情報のみを表示させる。前記所定の情報（表示
項目）は、いくつかの候補の中から選択して表示させて
もよい。
達成するため本発明では、装置のモニタ画面上にモニタ
画面保護手段が起動された状態で、その画面上に装置の
持つ情報および装置の動作に関する情報を表示し、画面
を保護しながらオペレータが装置状態を確認できるよう
にしている。より具体的には、モニタ画面の焼き付きを
防止するため装置のモニタ画面上で動作するモニタ画面
保護手段の上に、装置状態または装置の持つパラメータ
を表示して、これまではモニタ画面保護手段の動作中に
は目視確認が不可能であった装置情報を容易に確認可能
にし、装置の運用効率を向上させる。表示の方法として
は、例えばモニタ画面保護手段動作中の画面（以下、保
護表示画面という）の背景の色を装置情報の内容に応じ
て変化させるか、または保護表示画面上にその背景とは
異なる単数または複数の表示エリアを設け、その表示エ
リアを固定または移動させながらその表示エリア内に所
定の装置情報のみを表示させる。前記所定の情報（表示
項目）は、いくつかの候補の中から選択して表示させて
もよい。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
例を説明する。なお、以下の実施例は単独でまたは組み
合わせての実施が可能である。第１の実施例 図１は本発明の第１の実施例に係る半導体露光装置の表
示装置部分の構成を示す。同図において、１はモニタ
で、画面１１はスクリーンセーバー画面を表示してい
る。１２はスクリーンセーバー動作時に表示される情報
表示エリアであり、スクリーンセーバー動作時は、ここ
に、所定の装置情報が表示される。この情報表示エリア
１２に表示される装置情報としては、例えばロット識別
コードＬｏｔＩＤが工場出荷時等にプリセットされてい
る。また、オペレータが図示しないキーボード等の操作
手段を用いて設定または変更できるようになっている。
また、情報表示エリア１２は、矢印Ａの方向に移動する
ようになっており、スクリーンセーバー本来の焼き付き
防止機能を損なわないようにしている。
例を説明する。なお、以下の実施例は単独でまたは組み
合わせての実施が可能である。第１の実施例 図１は本発明の第１の実施例に係る半導体露光装置の表
示装置部分の構成を示す。同図において、１はモニタ
で、画面１１はスクリーンセーバー画面を表示してい
る。１２はスクリーンセーバー動作時に表示される情報
表示エリアであり、スクリーンセーバー動作時は、ここ
に、所定の装置情報が表示される。この情報表示エリア
１２に表示される装置情報としては、例えばロット識別
コードＬｏｔＩＤが工場出荷時等にプリセットされてい
る。また、オペレータが図示しないキーボード等の操作
手段を用いて設定または変更できるようになっている。
また、情報表示エリア１２は、矢印Ａの方向に移動する
ようになっており、スクリーンセーバー本来の焼き付き
防止機能を損なわないようにしている。
【０００７】図１において、２は記憶手段、２１は表示
設定エリアである。表示設定エリア２１には、スクリー
ンセーバー動作時の装置情報表示に関し、スクリーンセ
ーバーの表示内容（情報表示エリア１２）の移動間隔
（Ｄｅｌａｙ Ｔｉｍｅ）、個々の情報の表示色（Ｆｏ
ｒｅｇｒｏｕｎｄ）や背景色（Ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ）
その模様や大きさ等スクリーンセーバーの設定に関する
情報が記憶される。これらの記憶内容は、オペレータが
前記操作手段を用いて設定または変更することができ
る。なお、移動間隔０は、情報表示エリア１２を固定す
る設定であり、これは、情報表示エリア１２内に複数種
の情報をスクロールまたは切り換え表示する場合に設定
することができる。
設定エリアである。表示設定エリア２１には、スクリー
ンセーバー動作時の装置情報表示に関し、スクリーンセ
ーバーの表示内容（情報表示エリア１２）の移動間隔
（Ｄｅｌａｙ Ｔｉｍｅ）、個々の情報の表示色（Ｆｏ
ｒｅｇｒｏｕｎｄ）や背景色（Ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ）
その模様や大きさ等スクリーンセーバーの設定に関する
情報が記憶される。これらの記憶内容は、オペレータが
前記操作手段を用いて設定または変更することができ
る。なお、移動間隔０は、情報表示エリア１２を固定す
る設定であり、これは、情報表示エリア１２内に複数種
の情報をスクロールまたは切り換え表示する場合に設定
することができる。
【０００８】このように本実施例では、前記装置情報表
示に関し、スクリーンセーバーの表示内容の移動間隔、
個々の情報の表示色や背景色その模様や大きさ等スクリ
ーンセーバーの設定に関する情報の記憶手段を持ち、そ
の内容を編集する編集手段を持つことでオペレータが確
認しやすい表示内容に変更できる機能を提供している。
示に関し、スクリーンセーバーの表示内容の移動間隔、
個々の情報の表示色や背景色その模様や大きさ等スクリ
ーンセーバーの設定に関する情報の記憶手段を持ち、そ
の内容を編集する編集手段を持つことでオペレータが確
認しやすい表示内容に変更できる機能を提供している。
【０００９】第２の実施例 図２は、本発明の第２の実施例に係る表示装置の構成を
示す。同図において、図１と共通または対応する部分に
は図１と同一の符号を付している。図２の装置は、図示
しない装置情報記憶エリアを備える。この装置情報記憶
エリアには、オペレータが前記操作手段を用いて入力し
た装置情報や、装置の動作中に発生または変更された装
置情報が記憶される。そして、前記スクリーンセーバー
は、この装置情報記憶エリアに記憶されている装置情報
を前記情報表示エリア１２への表示に反映させる。
示す。同図において、図１と共通または対応する部分に
は図１と同一の符号を付している。図２の装置は、図示
しない装置情報記憶エリアを備える。この装置情報記憶
エリアには、オペレータが前記操作手段を用いて入力し
た装置情報や、装置の動作中に発生または変更された装
置情報が記憶される。そして、前記スクリーンセーバー
は、この装置情報記憶エリアに記憶されている装置情報
を前記情報表示エリア１２への表示に反映させる。
【００１０】図２の表示設定エリア２１には、表示すべ
き装置情報（ここではＬｏｔＩＤ）、その装置情報がエ
ラーである場合の情報表示エリア１２の背景色（Ｅｒｒ
ｏｒＣｏｌｏｒ）およびその装置情報がエラーには至っ
ていないが、異常に近い場合の前記情報表示エリア１２
の背景色（Ｗａｒｎｉｎｇ）等が設定される。したがっ
て、本実施例では、スクリーンセーバー動作中は、情報
表示エリア１２に設定された装置情報が表示されるとと
もに、その装置情報がエラーであれば情報表示エリア１
２の背景を赤に変化させ、要注意であれば黄色に変化さ
せる。
き装置情報（ここではＬｏｔＩＤ）、その装置情報がエ
ラーである場合の情報表示エリア１２の背景色（Ｅｒｒ
ｏｒＣｏｌｏｒ）およびその装置情報がエラーには至っ
ていないが、異常に近い場合の前記情報表示エリア１２
の背景色（Ｗａｒｎｉｎｇ）等が設定される。したがっ
て、本実施例では、スクリーンセーバー動作中は、情報
表示エリア１２に設定された装置情報が表示されるとと
もに、その装置情報がエラーであれば情報表示エリア１
２の背景を赤に変化させ、要注意であれば黄色に変化さ
せる。
【００１１】このように、本実施例によれば、前記装置
情報に関し、表示する内容の記憶手段を持たせ、その記
憶した情報に対して直接操作による変更もしくは装置内
部の動作状態の変化により変更を加える手段を持ち、そ
の変更内容を現在の表示に反映する反映手段を持たせる
ことで、常に最新の情報を表示することが可能である。
また反映は、表示する文字列やその背景色、表示色、模
様なども含み、エラーが起き装置が停止した際は表示エ
リアの背景を赤くすることなどを可能としている。
情報に関し、表示する内容の記憶手段を持たせ、その記
憶した情報に対して直接操作による変更もしくは装置内
部の動作状態の変化により変更を加える手段を持ち、そ
の変更内容を現在の表示に反映する反映手段を持たせる
ことで、常に最新の情報を表示することが可能である。
また反映は、表示する文字列やその背景色、表示色、模
様なども含み、エラーが起き装置が停止した際は表示エ
リアの背景を赤くすることなどを可能としている。
【００１２】第３の実施例 図３は、本発明の第２の実施例に係る表示装置の構成を
示す。同図において、図１および図２と共通または対応
する部分には図１と同一の符号を付している。図３の装
置は、図示しない表示項目記憶エリアおよびこの表示項
目記憶エリアに記憶された項目のうち、いずれを表示す
るかを選択する手段を備える。そして、スクリーンセー
バー動作中は、この選択手段により選択された項目の装
置情報のみを情報表示エリア１２に表示する。図３は、
情報表示エリア１２に、ロット識別コード（ＬｏｔＩ
Ｄ）、処理内容（ＪｏｂＮａｍｅ）およびウエハ番号
（ＷａｆｅｒＮｏ）を表示する例を示す。
示す。同図において、図１および図２と共通または対応
する部分には図１と同一の符号を付している。図３の装
置は、図示しない表示項目記憶エリアおよびこの表示項
目記憶エリアに記憶された項目のうち、いずれを表示す
るかを選択する手段を備える。そして、スクリーンセー
バー動作中は、この選択手段により選択された項目の装
置情報のみを情報表示エリア１２に表示する。図３は、
情報表示エリア１２に、ロット識別コード（ＬｏｔＩ
Ｄ）、処理内容（ＪｏｂＮａｍｅ）およびウエハ番号
（ＷａｆｅｒＮｏ）を表示する例を示す。
【００１３】このように、本実施例によれば、表示内容
を記憶する記憶手段または他の手段に関して、複数の表
示項目を記憶する記憶手段を持ち、それらのどの項目を
表示するかを複数選択可能にする選択手段を持ち、その
選択を表示に反映する反映手段を持つことにより、使用
者の望む表示内容を画面上に表示することが可能であ
る。
を記憶する記憶手段または他の手段に関して、複数の表
示項目を記憶する記憶手段を持ち、それらのどの項目を
表示するかを複数選択可能にする選択手段を持ち、その
選択を表示に反映する反映手段を持つことにより、使用
者の望む表示内容を画面上に表示することが可能であ
る。
【００１４】なお、スクリーンセーバー動作中に装置情
報を表示する情報表示エリアを設けず、スクリーンセー
バー動作状態で装置情報が要注意状態になったとき、ま
たは要注意表示状態またはエラー表示状態で一定時間を
経過してスクリーンセーバー動作状態になったときは、
スクリーンセーバー画面の背景色を変更することによ
り、要注意状態またはエラー状態を表示するようにして
もよい。
報を表示する情報表示エリアを設けず、スクリーンセー
バー動作状態で装置情報が要注意状態になったとき、ま
たは要注意表示状態またはエラー表示状態で一定時間を
経過してスクリーンセーバー動作状態になったときは、
スクリーンセーバー画面の背景色を変更することによ
り、要注意状態またはエラー状態を表示するようにして
もよい。
【００１５】デバイス生産方法の実施例 次に上記説明したデバイス製造装置の一つである露光装
置を利用したデバイスの生産方法の実施例を説明する。
図４は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、
液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン
等）の製造のフローを示す。ステップ１（回路設計）で
はデバイスのパターン設計を行なう。ステップ２（マス
ク製作）では設計したパターンを形成したマスクを製作
する。一方、ステップ３（ウエハ製造）ではシリコンや
ガラス等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ４
（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマ
スクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエ
ハ上に実際の回路を形成する。次のステップ５（組み立
て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によって作製された
ウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセ
ンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージ
ング工程（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６
（検査）ではステップ５で作製された半導体デバイスの
動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こう
した工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷
（ステップ７）される。
置を利用したデバイスの生産方法の実施例を説明する。
図４は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、
液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン
等）の製造のフローを示す。ステップ１（回路設計）で
はデバイスのパターン設計を行なう。ステップ２（マス
ク製作）では設計したパターンを形成したマスクを製作
する。一方、ステップ３（ウエハ製造）ではシリコンや
ガラス等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ４
（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマ
スクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエ
ハ上に実際の回路を形成する。次のステップ５（組み立
て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によって作製された
ウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセ
ンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージ
ング工程（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６
（検査）ではステップ５で作製された半導体デバイスの
動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こう
した工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷
（ステップ７）される。
【００１６】図５は上記ウエハプロセスの詳細なフロー
を示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化
させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁
膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上
に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン
打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５
（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステ
ップ１６（露光）では上記説明したモニタ装置を有する
露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付
露光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを
現像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレ
ジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジス
ト剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジスト
を取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことに
よって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
を示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化
させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁
膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上
に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン
打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５
（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステ
ップ１６（露光）では上記説明したモニタ装置を有する
露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付
露光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを
現像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレ
ジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジス
ト剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジスト
を取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことに
よって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
【００１７】本実施例の生産方法を用いれば、従来は製
造が難しかった高集積度のデバイスを低コストに製造す
ることができる。
造が難しかった高集積度のデバイスを低コストに製造す
ることができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明のスクリーンセーバーを用いるこ
とで、装置は画面の焼き付きを防ぐと同時に、オペレー
タはそれをいちいち解除する煩わしさから開放され、装
置の状態を認知させることで運用効率を向上させること
が可能となる。
とで、装置は画面の焼き付きを防ぐと同時に、オペレー
タはそれをいちいち解除する煩わしさから開放され、装
置の状態を認知させることで運用効率を向上させること
が可能となる。
【図１】 本発明の第１の実施例に係る半導体露光装置
の表示装置部分の構成図である。
の表示装置部分の構成図である。
【図２】 本発明の第２の実施例に係る半導体露光装置
の表示装置部分の構成図である。
の表示装置部分の構成図である。
【図３】 本発明の第３の実施例に係る半導体露光装置
の表示装置部分の構成図である。
の表示装置部分の構成図である。
【図４】 微小デバイスの製造の流れを示す図である。
【図５】 図４におけるウエハプロセスの詳細な流れを
示す図である。
示す図である。
１：モニタ画面、１１：スクリーンセーバー画面、１
２：情報表示エリア、２：記憶手段、２１：表示設定エ
リア。
２：情報表示エリア、２：記憶手段、２１：表示設定エ
リア。
Claims (10)
- 【請求項１】 装置を操作する操作手段、および装置情
報を表示するための表示手段であるモニタ画面を持ち、
そのモニタ画面の焼き付き保護のため、一定時間、画面
の変化や操作が生じなかった場合に起動されるモニタ画
面保護手段を持つデバイス製造装置において、 前記モニタ画面保護手段が、その動作中の画面に所定の
装置情報を表示する所定情報表示手段を有することを特
徴とするデバイス製造装置。 - 【請求項２】 前記所定情報表示手段が、前記モニタ画
面保護手段動作中の画面上に、該画面の背景とは異なる
単数または複数の表示エリアを持ち、その表示エリアを
固定または移動させながら前記所定の装置情報を表示さ
せるエリア表示手段を持つことを特徴とする請求項１記
載のデバイス製造装置。 - 【請求項３】 前記表示エリアの表示に関して、それら
を移動させる際の移動間隔、表示エリアの背景、および
表示エリアの表示内容の表現色を含む前記画面保護手段
の画面設定に関する内容を記憶する第１の記憶手段と、
その内容を編集する編集手段を持つことを特徴とする請
求項２記載のデバイス製造装置。 - 【請求項４】 前記表示エリアに表示する内容として所
定の装置情報を記憶する第２の記憶手段を持ち、その記
憶内容を該表示エリアに表示する装置情報表示手段を持
つことを特徴とする請求項２または３記載のデバイス製
造装置。 - 【請求項５】 前記編集手段は、前記表示エリアの背景
または表示内容の表現色を装置情報に対応させて設定で
きることを特徴とする請求項４記載のデバイス製造装
置。 - 【請求項６】 前記第２の記憶手段の記憶する内容を、
装置の直接操作、あるいは装置内部から変更できる変更
手段を持つことを特徴とする請求項４または５記載のデ
バイス製造装置。 - 【請求項７】 前記第２の記憶手段の内容が変更された
時、それを表示に反映する反映機構を持つことを特徴と
する請求項４〜６のいずれかに記載のデバイス製造装
置。 - 【請求項８】 前記第２の記憶手段に関して複数の表示
項目を記憶することを可能とし、それらの内いずれの項
目を表示するかを選択することが可能な選択手段を持
ち、その選択内容を記憶する第３の記憶手段を持ち、そ
の記憶内容に応じ前記表示エリアに表示することを特徴
とする請求項４〜７のいずれかに記載のデバイス製造装
置。 - 【請求項９】 前記モニタ画面保護手段は、前記所定の
装置情報の内容に応じて前記モニタ画面保護手段動作中
の画面の背景の色を変化させることを特徴とする請求項
１記載のデバイス製造装置。 - 【請求項１０】 請求項１〜９のいずれかに記載のデバ
イス製造装置を用いてデバイスを製造することを特徴と
するデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10353169A JP2000182924A (ja) | 1998-12-11 | 1998-12-11 | デバイス製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10353169A JP2000182924A (ja) | 1998-12-11 | 1998-12-11 | デバイス製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000182924A true JP2000182924A (ja) | 2000-06-30 |
Family
ID=18429035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10353169A Pending JP2000182924A (ja) | 1998-12-11 | 1998-12-11 | デバイス製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000182924A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015051205A (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-19 | 株式会社島津製作所 | 放射線撮影装置 |
| WO2024134894A1 (ja) * | 2022-12-23 | 2024-06-27 | ファナック株式会社 | 制御装置、および産業機械 |
-
1998
- 1998-12-11 JP JP10353169A patent/JP2000182924A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015051205A (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-19 | 株式会社島津製作所 | 放射線撮影装置 |
| WO2024134894A1 (ja) * | 2022-12-23 | 2024-06-27 | ファナック株式会社 | 制御装置、および産業機械 |
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