JPH11175224A - 情報処理装置およびそれを用いた半導体製造装置並びに半導体製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置が通常運転状態にあるときにのみ表示装
置上に入力媒体を表示させることによって操作を容易に
する。 【解決手段】 タッチパネルを含む少なくとも２種類
の、文字、コマンド等の入力デバイスを同時または別個
に接続でき、タッチパネルを接続したときの入力を行う
ための表示を少なくとも１つの表示装置上に行う入力媒
体表示手段を有する情報処理装置において、装置状態が
通常運転状態であるか否かを判別する装置状態判別手段
を備え、装置状態判別手段による判別結果に応じて表示
をオン・オフする表示切替手段を有することを特徴とす
る情報処理装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、パーソナルコンピ
ュータなどのようにヒューマンインターフェースを備え
る情報処理装置に関し、特に人が文字やコマンドを入力
するためのデバイスを複数種類接続可能な情報処理装置
および該情報処理装置を用いた半導体製造装置並びに半
導体製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】キーボード操作に慣れていないオペレー
タでも操作しやすい装置を提供するなどの目的で、文字
・コマンド入力デバイスとしてタッチパネルを表示装置
の前面に配置した情報処理装置が従来から用いられてい
る。たとえば半導体製造工場においては半導体製造装置
の操作ミスが製品に重大な欠陥をもたらす可能性がある
ので、操作ミスを減らす目的で半導体製造装置の入力デ
バイスとしてタッチパネルが用いられている。

【０００３】この種の情報処理装置では表示装置に実際
のキーボードを模した入力媒体の絵が表示され、前記入
力媒体の位置に対応するタッチパネル位置に触れること
で文字コードやコマンドコードが生成され、実際のキー
ボードを操作するのと同様な処理を行えるように構成さ
れていた。

【０００４】この種の装置をキーボード操作になれた者
が操作する場合、特に文字の入力操作を行う場合、タッ
チパネルでは入力操作に時間がかかるため文字・コマン
ド入力デバイスとしてキーボードを接続したいという要
求がある。しかし、従来の装置ではキーボードを接続し
ているいないにかかわらずタッチパネルのための入力媒
体表示が現れていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の情報処理装置は
以上のように構成されていたため、装置の保守点検時な
どにキーボード操作に慣れた装置管理者が入力操作をす
る場合でも入力媒体表示が現れ、操作のじゃまになると
いう問題があった。

【０００６】本発明の目的は、上記従来技術の問題を解
決し、装置が通常運転状態にあるときにのみ表示装置上
に入力媒体を表示させることによって操作の容易な情報
処理装置および該情報処理装置を用いた半導体製造装
置、並びに、半導体製造方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、タッチパネルを含む少なくとも２種類の、文
字、コマンド等の入力デバイスを同時または別個に接続
でき、タッチパネルを接続したときの入力を行うための
表示を少なくともひとつの表示装置上に行う入力媒体表
示手段を有する情報処理装置において、情報処理装置が
通常運転状態にあるかを判別する装置状態判別手段を備
え、装置状態判別手段による判別結果に応じて表示をオ
ン・オフする表示切り替え手段を有することを特徴とす
る。

【０００８】ここで装置状態識別手段は、どの種類の入
力デバイスが接続されているかを判別することで装置状
態を識別してもよいし、装置を構成するユニット群の一
部が接続されているか否かを判別することで装置状態を
識別してもよい。

【０００９】ここで入力デバイス判別手段は、入力デバ
イスを接続するための入力端子の端子間電圧または電気
抵抗の変化を監視することにより接続されている入力デ
バイスの種類を判別してもよいし、あるいは、所定の入
力デバイスと組で使用される表示装置が接続されている
か否かを、この表示装置を接続するための出力端子の端
子間電圧または電気抵抗の変化を監視することにより判
別してもよい。

【００１０】また、表示切り替え手段は、どの入力デバ
イスを優先的に使用するかを決める優先度切り替えスイ
ッチを有し、２種類以上の入力デバイスが接続されてい
るときは、優先度切り替えスイッチによって決められた
入力デバイスのみが接続されているものとして入力媒体
表示をオン・オフすることが望ましい。

【００１１】また、表示切替手段は、どの入力デバイス
を優先的に使用するかを決める優先度切替スイッチを有
し、２種類以上の入力デバイスが接続されているとき
は、優先度切替スイッチによって決められた入力デバイ
スのみが接続されているものとして入力媒体表示をオン
・オフすることが望ましい。

【００１２】また、本発明の半導体製造装置は、半導体
製造の制御を行うための情報処理装置を有し、該情報処
理装置が上記本発明の装置であることを特徴とする。

【００１３】また、本発明の半導体製造は、本発明の半
導体製造装置を用いて半導体製造の制御を行うものであ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】

【００１５】

【実施形態１】図３は本発明のハードウェア構成の一形
態を示す図である。同図において、コンピュータ本体３
００は内部にＣＰＵ３０１を備え、メモリ３０２を備え
る。コンピュータ本体３００は半導体製造装置の制御を
司るものであり、メモリ３０２には前記の制御などに必
要なプログラムとデータが格納されている。ヒューマン
インターフェースの手段として外部に液晶パネル３１
０、タッチパネル３１１、キーボード３１２、マウス３
１３、ＣＲＴディスプレイ３１４、優先度切替スイッチ
３１５を備える。タッチパネル３１１は液晶パネル３１
０の前部に近接して配置されている。

【００１６】コンピュータ本体３００と外部の装置の通
信にはイーサネット３１７が用いられる。コンピュータ
本体３００はイーサネットドライバ３１６を介してイー
サネット３１７と接続される。

【００１７】外部に備えられた以上のデバイスのうち液
晶パネル３１０とタッチパネル３１１はセットで用いら
れ、単独でコンピュータ本体３００に接続されることは
ないものとする。同様にキーボード３１２、マウス３１
３とＣＲＴディスプレイ３１４はセットで用いられるも
のとする。液晶パネル３１０とタッチパネル３１１を第
１のセットと定義し、キーボード３１２、マウス３１３
とＣＲＴディスプレイ３１４を第２のセットと定義する
とき、前記第１および第２のセットは同時にコンピュー
タ本体３００に接続されることもあるし、どちらか一方
のセットだけが接続されることもあるものとする。

【００１８】コンピュータ本体３００によって制御され
る半導体製造装置が半導体製造に供しているとき、すな
わち通常運転状態においては前記第１のセットがコンピ
ュータ本体３００に接続されているものとする。

【００１９】液晶パネル３１０は液晶パネルドライバ３
０３を介してバス３０９に接続されている。タッチパネ
ル３１１はタッチパネルドライバ３０４を介してバス３
０９に接続されている。キーボード３１２はキーボード
ドライバ３０５を介してバス３０９に接続されている。
マウス３１３はマウスドライバ３０６を介してバス３０
９に接続されている。ＣＲＴディスプレイ３１４はＣＲ
Ｔドライバ３０７を介してバス３０９に接続されてい
る。優先度切替スイッチ３１５はスイッチドライバ３０
８を介してバス３０９に接続されている。

【００２０】図１は、本実施形態に係る情報処理装置の
動作を説明するフローチャートである。この動作はメモ
リ３０２に格納されたプログラムとして実現され、コン
ピュータ本体３００の電源投入時にＣＰＵ３０１によっ
て実行される。

【００２１】まずステップＳｌｌで接続されている文字
・ コマンド入力デバイスが何であるかを調べる。

【００２２】キーボードドライバ３０５およびタッチパ
ネルドライバ３０４の入力端子の端子間電圧または電気
抵抗の変化を監視することで、文字・コマンド入力デバ
イスとして何が接続されているかを容易に判別すること
ができる。ステップＳｌｌで調べた結果によってステッ
プＳｌ２で分岐が生じる。

【００２３】本実施形態においては、通常は入力デバイ
スとしてタッチパネル３１１のみが接続されている。タ
ッチパネル３１１のみが接続されているときはステップ
Ｓｌ３に分岐し、通常運転フラグがＯＮにされる。ここ
で、通常運転フラグはメモリ３０２に確保されたデータ
である。

【００２４】製造工程の管理者など、キーボード操作に
慣れている人が使用する前提でキーボード３１２のみが
接続されているときはステップＳ１５に分岐し、通常運
転フラグがＯＦＦにされる。

【００２５】タッチパネル３１１とキーボード３１２両
方が接続されているときはステップＳ１４に分岐し、優
先度切替スイッチ３１５がＯＮかＯＦＦかの判断を行
う。優先度切り替えスイッチ３１５がＯＮのときはステ
ップＳ１３に分岐し、ＯＦＦのときはＳｌ５に分岐す
る。本実施形態においては優先度切替スイッチがＯＮの
ときにタッチパネル３１１を用い、ＯＦＦのときにキー
ボード３１２を用いることが想定されている。

【００２６】以上がコンピュータ本体３００の電源投入
時に行われ、通常運転フラグの値を決定して処理を終了
する。通常運転フラグの値は後にソフトキーボード管理
プロセスによって読まれる。このソフトキーボードとは
キーボードを模した入力媒体表示の一形態である。

【００２７】次に、図４と図５を用いて本実施形態に係
る具体的な画面構成を説明する。図４は、文字入力ウィ
ンドウ４１とカーソル４３が液晶パネル３１０に表示さ
れた状態の画面を示している。図４においてカーソル４
３は文字入力位置４２の外にある。

【００２８】図５は、文字入力ウィンドウ４１、カーソ
ル４３およびソフトキーボード５０が液晶パネル３１０
に表示された状態の画面を示している。図５においてカ
ーソル４３は文字入力位置４２の中にある。

【００２９】以下、図２を用いて入力媒体表示をＯＮ／
ＯＦＦするソフトキーボード管理プロセスの処理を説明
する。

【００３０】図２はソフトキーボード管理プロセスの動
作を示すフローチャートである。ソフトキーボード管理
プロセスはコンピュータ本体３００の電源投入直後から
電源を切られるまで走行し続けるプロセスであり、メモ
リ３０２に格納されたプログラムとして実現され、ＣＰ
Ｕ３０１によって実行される。

【００３１】まずステップＳ２１で現在カーソル４３が
文字入力位置４２の中にあるかどうか判断される。カー
ソル４３が文字入力位置４２の中にない場合、もとに戻
り再びステップＳ２１を実行する。カーソル４３が文字
入力位置４２の中にある場合ステップＳ２２にすすみ、
通常運転フラグの値を参照する。

【００３２】通常運転フラグの値がＯＮの場合ステップ
Ｓ２３にすすみ、表示装置にソフトキーボード５０を表
示する。ついでステップＳ２４にすすみ、ソフトキーボ
ード５０の表示位置に対応したキーコードを生成するよ
うタッチパネルドライバ３０４に指示が出される。つい
でステップＳ２５にすすみ、文字入力が終了したかどう
かが判断される。文字入力が終了するまでステップＳ２
５にとどまり、終了すればステップＳ２１にもどる。

【００３３】一方、ステップＳ２２において通常運転フ
ラグがＯＦＦの場合はただちにステップＳ２５にすす
み、文字入力が終了したかどうかが判断される。

【００３４】以上のようにしてタッチパネル３１１のみ
が接続されているときにはソフトキーボード５０を表示
し、キーボード３１２のみが接続されているときにはソ
フトキーボード５０を表示せず、タッチパネル３１１お
よびキーボード３１２の両方が接続されているときには
優先度切替スイッチ３１５がＯＮの場合のみソフトキー
ボード５０が表示される。

【００３５】

【実施形態２】以上説明した実施形態１においては入力
デバイス判別手段は、文字・コマンド入力デバイスの接
続状態を直接検出している。しかし上記の実施形態にお
いてタッチパネル３１１は液晶パネル３１０とセットで
用いられるから、表示デバイスとして何が接続されてい
るかを知ることによってもそのとき用いられている文字
・コマンド入力デバイスが何であるかを間接的に知るこ
とができる。なお、本形態においてもハードウエア構成
は実施形態１と同様であり図３により示される。

【００３６】図６は表示デバイスの種類を調べることで
実現した実施形態の動作を説明するフローチャートであ
る。メモリ３０２に格納されたプログラムとして実現さ
れ、コンピュータ本体３００の電源投入時にＣＰＵ３０
１によって実行される。

【００３７】まずステップＳ６１で接続されている表示
デバイスが何であるかを調べる。液晶パネルドライバ３
０３およびＣＲＴドライバ３０７の出力端子の端子間電
圧または電気抵抗の変化を監視することで、表示デバイ
スとして何が接続されているかを容易に判別することが
できる。ステップＳ６１で調べた表示デバイスの接続状
態によってステップＳ６２で分岐が生じる。

【００３８】液晶ディスプレイ３１０のみが接続されて
いるときはステップＳ６３に分岐し、通常運転フラグが
ＯＮにされる。通常運転フラグはメモリ３０２に確保さ
れたデータである。ＣＲＴディスプレイ３１４のみが接
続されているときはステップＳ６５に分岐し、通常運転
フラグがＯＦＦにされる。液晶ディスプレイ３１０とＣ
ＲＴディスプレイ３１４両方が接続されているときはス
テップＳ６４に分岐し、優先度切替スイッチ３１５がＯ
ＮかＯＦＦかの判断を行う。 優先度切替スイッチ３１５
がＯＮのときはステップＳ６３に分岐し、ＯＦＦのとき
はＳ６５に分岐する。本実施形態においては優先度切替
スイッチがＯＮのときに液晶ディスプレイ３１０ととも
にタッチパネル３１１を用い、ＯＦＦのときにＣＲＴデ
ィスプレイ３１４とともにキーボード３１２を用いるこ
とが想定されている。

【００３９】以上がコンピュータ本体３００の電源投入
時に行われ、通常運転フラグの値を決定して処理を終了
する。以降の処理は実施形態１と同様である。

【００４０】

【実施形態３】図９は使用可能な入力デバイスの種類を
入力デバイスの設置位置の検知によって判別する実施形
態のハードウェア構成を示す図である。図１０および図
１１は前記ハードウェアをキーボードの設置位置を可変
にし、筐体１００内に実装した状態を示す図である。図
１０においては装置が通常運転状態にあり、キーボード
３１２を用いる必要がないためキーボード３１２が収納
位置にある。それに対して図１１においては装置が通常
運転状態にはなく、保守などのためにキーボードを使用
可能な位置に置いている。

【００４１】図９において、コンピュータ本体３００、
液晶ディスプレイ３１０、タッチパネル３１１、キーボ
ード３１２、マウス３１３およびＣＲＴディスプレイ３
１４は実施形態１と同様に動作するものとし、コンピュ
ータ本体３００内に備えられたＣＰＵ３０１などは実施
形態１と同様に動作するものとする。また、キーボード
３１２とＣＲＴディスプレイ３１４はセットで用いら
れ、タッチパネル３１１と液晶ディスプレイ３１０はセ
ットで用いられるものとする。本実施形態においてはキ
ーボード位置検出スイッチ９０１がスイッチドライバを
介してコンピュータ本体３００に接続されている。

【００４２】図１２は本実施形態に係る情報処理装置の
動作を説明するフローチャートである。この動作はメモ
リ３０２に格納されたプログラムとして実現され、コン
ピュータ本体３００の電源投入時にＣＰＵ３０１によっ
て実行される。まずステップＳ１２１でキーボード位置
検出スイッチ９０１を読む。このときキーボード３１２
が図１０に示すように収納位置にあるならキーボード位
置検出スイッチ９０１はＯＮになっており、ステップＳ
１２２に分岐し、キーボード３１２が収納位置にあると
判断する。ついでステップＳ１２３において通常運転フ
ラグをＯＮにし、処理を終了する。 もしキーボード３１
２が図１１に示すように使用可能位置にある場合、キー
ボード位置検出スイッチ９０１はＯＦＦになっており、
ステップＳ１２１からステップＳ１２４に分岐し、キー
ボード３１２が使用可能位置にあると判断する。ついで
ステップＳ１２５において通常運転フラグをＯＦＦに
し、処理を終了する。

【００４３】以上がコンピュータ本体３００の電源投入
時に行われ、通常運転フラグの値を決定して処理を終了
する。 通常運転フラグの値はのちにソフトキーボード管
理プロセスによって読まれる。これ以降の処理は実施形
態１と同様である。

【００４４】

【実施形態４】以上説明した実施形態３においては入力
デバイスであるキーボード３１２の設置位置を可動と
し、入力デバイス判別手段は入力デバイスの設置位置を
直接検出している。しかし表示デバイスの設置位置を可
動とした場合でも、前記表示デバイスの設置位置を検出
することで前記表示デバイスとセットで用いられる入力
デバイスが使用されているかを判断することができ、実
施形態２と同様に容易に実現できる。

【００４５】

【実施形態５】次に本発明に係る情報処理装置を半導体
製造装置を制御するユニット群として用いた実施形態を
説明する。図１３は本実施形態のハードウェア構成の一
例である。

【００４６】図１３においてコンピュータ本体３００に
はタッチパネル３１１、液晶ディスプレイ３１０、マウ
ス３１３、ディスプレイ３１４、キーボード３１２が接
続されている。制御ユニットＵ１はコンピュータ本体３
００と同様にＣＰＵとメモリを備えている。コンピュー
タ本体３００と制御ユニットＵ１はイーサネット３１７
を介して相互に接続されている。

【００４７】制御ユニットＵ１はイーサネット３１７を
介してコンピュータ本体３００からの指示を受け取り、
該指示に従って動作する。コンピュータ本体３００は
１．１．１．１、制御ユニットＵ１は１．１．１．２と
いうそれぞれのネットワークアドレスを持ち、イーサネ
ット上においては前記それぞれのネットワークアドレス
によって識別されるものとする。コンピュータ本体３０
０に格納されているプログラムは、制御に必要なデータ
の編集プログラムやオペレータからの指示を受け取って
制御ユニットＵ１に伝えるプログラムなどユーザインタ
フェースを司るものが主である。 制御ユニットＵ１はセ
ンサドライバＤ１を通じてセンサＳから情報を取り込
み、モータードライバＤ２を通じてモーターＭの回転を
制御する。実際の半導体製造装置においては、イーサネ
ットに接続される制御ユニットはひとつだけとは限らな
いし、センサとモータは本実施形態に示されるより多く
実装されるが、説明の単純化のため本実施形態において
はこのように構成している。ここでプログラムのテスト
について考察する。

【００４８】半導体製造装置のハードウェア構成は大規
模なものであるから、テスト時に常にその全ハードウェ
アを用意するのは効率的でない。コンピュータ本体３０
０上で動作するプログラムのうち、ユーザインタフェー
スを司るプログラムは制御ユニットＵ１が存在しなくて
もテスト可能である。また、プログラムのテスト時に操
作に慣れた操作者が操作する場合には、入力デバイスと
してはタッチパネル３１１を用いるより、キーボード３
１２を用いたほうが効率的であるのはすでに説明した実
施形態と同様である。上記の点を鑑み、制御ユニットＵ
１を接続せずコンピュータ本体３００単体のテストを行
う際には、特別な操作をしなくともソフトキーボードを
非表示にするよう構成したのが本実施形態である。

【００４９】図１４は本実施形態に係る情報処理装置の
動作を説明するフローチャートであり、前記の動作はメ
モリ３０２に格納されたプログラムとして実現され、コ
ンピュータ本体３００の電源投入時にＣＰＵ３０１によ
って実行される。まずステップＳ１４１でネットワーク
アドレス１．１．１．２の装置宛てに応答を求めるメッ
セージが送信される。ステップＳ１４２でコンピュータ
本体３０１は応答を待ち、規定時間内に応答があればス
テップＳ１４３に分岐する。ステップＳ１４３で制御ユ
ニットＵ１が接続されていると判断し、その結果前記半
導体製造装置は通常運転状態にあると判断する。ついで
ステップＳ１４４で通常運転フラグがＯＮにされ、処理
を終了する。ステップＳ１４２で規定時間内に応答が得
られなかった場合、ステップＳ１４５に分岐する。ステ
ップＳ１４５で制御ユニットＵ１が接続されていないと
判断し、その結果前記半導体製造装置は通常運転状態に
ないと判断される。ついでステップＳ１４６で通常運転
フラグがＯＦＦにされ、処理を終了する。以降の処理は
実施形態１と同様である。

【００５０】上記のステップＳ１４１およびステップＳ
１４２において、指定したネットワークアドレスの装置
がイーサネットに接続されているか否かを判断している
が、この動作はオペレーティングシステムＵｎｉｘのコ
マンドｐｉｎｇで行われているのと同様な方法で実現す
ることができる。

【００５１】

【実施形態６】次に、上記説明した露光装置を利用した
デバイスの製造方法を説明する。図７は微小デバイス
（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣ
Ｄ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造のフロ
ーを示す。ステップＳ７１（回路設計）では半導体デバ
イスの回路設計を行う。ステップＳ７２（マスク製作）
では設計したパターンを形成したマスクを製作する。一
方、ステップＳ７３（ウエハ製造）ではシリコンやガラ
ス等の材料を用いてウエハを製造する。ステップＳ７４
（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマ
スクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエ
ハ上に実際の回路を形成する。次のステップＳ７５（組
み立て）は後工程と呼ばれ、ステップＳ７４によって作
製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であ
り、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、
パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含む。ス
テップＳ７６（検査）では、ステップＳ７５で作製され
た半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の
検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成
し、これが出荷（ステップＳ７７）される。

【００５２】図８は上記ウエハプロセスの詳細なフロー
を示す。ステップＳ８１（酸化）ではウエハの表面を酸
化させる。ステップＳ８２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に
絶縁膜を形成する。ステップＳ８３（電極形成）ではウ
エハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップＳ８４
（イオン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステ
ップＳ８５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布
する。ステップＳ８６（露光）では上記説明した露光の
適否を確認する手段を有する露光装置によってマスクの
回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップＳ８７
（現像）では露光したウエハを現像する。ステップＳ８
８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部分を
削り取る。ステップＳ８９（レジスト剥離）ではエッチ
ングが済んで不要となったレジストを取り除く。これら
のステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多
重に回路パターンが形成される。

【００５３】本実施形態ではこのような、半導体製造の
各プロセスにおける制御を、上記述べた本発明の情報処
理装置を用いることにより、操作ミスを減らして歩留の
向上を図ることが可能となる。

【００５４】

【発明の効果】以上のように、本発明の情報処理装置に
よれば、必要なときだけ表示装置上に入力媒体を表示す
るため、この入力媒体の表示が不要な入力装置からも容
易に操作ができる。したがって、本発明は、半導体製造
のように操作ミスが製品に重大な欠陥をもたらす可能性
がある場合には特に有用である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態に係る情報処理装置の動
作を示すフローチャート。

【図２】 本発明に係るソフトキーボード管理プロセス
の動作の一例を示すフローチャート。

【図３】 本発明の情報処理装置のハードウェア構成の
一形態を示す図。

【図４】 表示装置上に表示された文字入力位置とカー
ソルを示す図。

【図５】 表示装置上に表示された文字入力位置、カー
ソルおよびソフトキーボードを示す図。

【図６】 本発明の他の実施形態に係る情報処理装置の
動作を示すフローチャート。

【図７】 微小デバイスの製造のフローを示す図。

【図８】 図７のウエハプロセスの詳細なフローを示す
図。

【図９】 本発明の情報処理装置のハードウェア構成の
一形態を示す図。

【図１０】 本発明の情報処理装置のハードウェアの実
装形態を示す図。

【図１１】 本発明の情報処理装置のハードウェアの実
装形態を示す図。

【図１２】 本発明の他の実施形態に係る情報処理装置
の動作を示すフローチャート。

【図１３】 本発明の情報処理装置のハードウェア構成
の一形態を示す図。

【図１４】 本発明の他の実施形態に係る情報処理装置
の動作を示すフローチャート。

【符号の説明】

３００：コンピュータ本体、３０１：ＣＰＵ、３０２：
メモリ、３０３：液晶パネルドライバ、３０４：タッチ
パネルドライバ、３０５：キーボード、３０６：マウス
ドライバ、３０７：ＣＲＴドライバ、３０８：スイッチ
ドライバ、３０９：バス、３１０：液晶ディスプレイ、
３１１：タッチパネル、３１２：キーボード、３１３：
マウス、３１４：ＣＲＴディスプレイ、３１５：優先度
切替スイッチ、３１７：イーサネット、４１：入力ウィ
ンドウ、４２：文字入力位置、４３：カーソル、５０：
ソフトキーボード、９０１：キーボード位置検出スイッ
チ、１００：筐体、Ｕ１：制御ユニット、Ｄ１：センサ
ドライバ、Ｄ１：モータドライバ、Ｓ：センサ、Ｍ：モ
ーター。

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 タッチパネルを含む少なくとも２種類の
   入力デバイスを同時または別個に接続でき、前記タッチ
   パネルを接続したときの入力を行うための表示を少なく
   とも１つの表示装置上に行う入力媒体表示手段を有する
   情報処理装置において、 装置状態が通常運転状態であるか否かを判別する装置状
   態判別手段を備え、前記装置状態判別手段による判別結
   果に応じて前記表示をオン・オフする表示切替手段を有
   することを特徴とする情報処理装置。
2. 【請求項２】 前記装置状態判別手段は、どの種類の前
   記入力デバイスが使用可能な状態かを判別する入力デバ
   イス判別手段による判別結果に応じて装置状態を判別す
   ることを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
3. 【請求項３】 前記入力デバイスが、文字および／また
   はコマンドを入力するものであることを特徴とする請求
   項１または２に記載の情報処理装置。
4. 【請求項４】 前記入力デバイス判別手段は、前記入力
   デバイスを接続するための入力端子の端子間電圧または
   電気抵抗の変化を監視することにより使用可能な状態の
   前記入力デバイスの種類を判別することを特徴とする請
   求項２または３に記載の情報処理装置。
5. 【請求項５】 前記入力デバイス判別手段は、所定の入
   力デバイスと組で使用される前記表示装置が接続されて
   いるか否かを前記表示装置を接続するための出力端子の
   端子間電圧または電気抵抗の変化を監視することによ
   り、使用可能な状態の前記入力デバイスの種類を判別す
   ることを特徴とする請求項２または３に記載の情報処理
   装置。
6. 【請求項６】 前記入力デバイス判別手段は、前記入力
   デバイスの設置位置を監視することにより、使用可能な
   状態の前記入力デバイスの種類を判別することを特徴と
   する請求項２または３に記載の情報処理装置。
7. 【請求項７】 前記入力デバイス判別手段は、所定の入
   力デバイスと組で使用される前記表示装置の設置位置を
   監視することにより、使用可能な状態の前記入力デバイ
   スの種類を判別することを特徴とする請求項２または３
   に記載の情報処理装置。
8. 【請求項８】 前記装置状態判別手段は、装置を構成す
   るユニット群の一部が接続されているか否かを監視する
   ユニット接続状態判別手段による判別結果に応じて装置
   状態を判別することを特徴とする請求項１に記載の情報
   処理装置。
9. 【請求項９】 前記ユニット間の接続にイーサネットを
   用いることを特徴とする請求項１または８に記載の情報
   処理装置。
10. 【請求項１０】 半導体製造の制御を行うための情報処
    理装置を有する半導体製造装置において、該情報処理装
    置が請求項１〜９のいずれかに記載の情報処理装置であ
    ることを特徴とする半導体製造装置。
11. 【請求項１１】 半導体製造装置を用い、これに１種ま
    たは２種以上の入力デバイスを接続し、前記半導体製造
    装置に接続した少なくとも１つの表示装置上に前記入力
    デバイスとしてタッチパネルを用いたときの入力を行う
    ための表示を前記半導体製造装置により行い、前記入力
    デバイスにより前記半導体製造装置に指示を与えて半導
    体デバイスを製造する半導体製造方法において、 前記半導体製造装置により、前記接続した入力デバイス
    の種類を判定し、その結果に応じて前記表示のオン・オ
    フを行うことを特徴とする半導体製造方法。
12. 【請求項１２】 前記入力デバイスが、文字および／ま
    たはコマンドを入力するためのものであることを特徴と
    する請求項１１に記載の半導体製造方法。
13. 【請求項１３】 前記入力デバイス判別工程は、所定の
    入力デバイスと組で使用される所定の表示装置が接続さ
    れているか否かで、接続されている前記入力デバイスの
    種類を判別することを特徴とする請求項１１または１２
    に記載の半導体製造方法。
14. 【請求項１４】 前記入力デバイス判別工程は、前記入
    力デバイスまたは前記表示装置を接続するための入力端
    子の端子間電圧または電気抵抗の変化を監視することに
    より前記入力デバイスの種類を判別することを特徴とす
    る請求項１３に記載の半導体製造方法。
15. 【請求項１５】 前記表示をオン・オフする際に２種類
    以上の入力デバイスが接続されているときは、予め決め
    られた優先的に使用する入力デバイスのみが接続されて
    いるものとして前記表示をオン・オフすることを特徴と
    する請求項１１〜１４のいずれかに記載の半導体製造方
    法。