KR20050103404A - 온-라인 트랙-인/아웃 시스템의 설비 제어 서버 인터락 방법 - Google Patents

온-라인 트랙-인/아웃 시스템의 설비 제어 서버 인터락 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다수 개의 공정 설비들이 연결되어 온-라인 방식으로 반도체 제품의 공정 진행이 이루어지는 온-라인 트랙-인/아웃(On-Line Track-In/Out) 시스템의 설비 제어 서버 인터락(Interlock) 방법으로서, 소정의 시간동안 공정이 이루어지지 않는 아이들(Idle) 단계를 거친 후 임의의 공정이 진행되는 임의의 공정 설비에 대한 데이터를 불러들이는 제 1 단계와, 임의의 공정 설비와 아이들 단계 사이의 관련여부가 체크되는 제 2 단계와, 임의의 공정 설비의 아이들 단계 진행 시간과 임의의 공정 설비의 아이들 단계에서의 임계 시간이 비교되는 제 3 단계, 및 임의의 공정 설비의 아이들 단계 진행 시간이 임계 시간을 초과할 경우 호스트 서버가 설비 제어 서버에 인터락 신호를 보내는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하여, 소정의 시간동안 아이들 단계에 놓임으로 인해 점검이 필요한 공정 설비들이 점검없이 공정이 진행됨으로써 발생되는 제품 불량율을 낮추고, 공정 설비가 공정진행 중 에러 발생으로 인해 공정 시간이 지연되는 것을 막는다.

Description

온-라인 트랙-인/아웃 시스템의 설비 제어 서버 인터락 방법{Method for Interlocking Equipment Control Server of On-Line Track-In/Out System}
본 발명은 다수 개의 공정 설비들이 연결된 반도체 온-라인 트랙-인/아웃(On Line Track In/Out) 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 온-라인 트랙-인/아웃 시스템의 전반적인 동작을 제어하는 호스트 서버를 축으로, 이와 연결된 다수 개의 공정 설비들의 공정 조건을 설정하는 다수 개의 설비 제어 서버들에서 특정 공정 설비의 특정 공정이 소정의 시간동안 진행되지 않는 아이들(Idle) 단계에 있다가 진행되는 공정 설비를 제어하기 위한 설비 제어 서버 인터락(Interlock)방법에 관한 것이다.
반도체 장치를 생산하기 위한 제조 공정은 다양한 많은 공정들로 이루어진다. 예를 들면, 도핑(Doping), 확산(Defusion), 열적 산화(Thermal Oxidation), 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition), 건식/습식 식각(Dry/Wet Etching), 포토(Photo) 등의 다양한 공정들이 있다. 이러한 다양한 공정들은 웨이퍼나 글라스 상에서 이루어지고, 제조 라인을 따라 위치되어진 다수 개의 공정 설비들에서 단계적으로 진행된다. 또한, 제조 라인에 투입되는 제품(웨이퍼, 글라스 등)은 로트(Lot) 단위로 카세트에 담겨져 정해진 공정 순서에 따라 제조 라인을 이동한다.
현재에는 각각의 반도체 생산라인에서 진행되는 반도체 제조 공정의 효율을 높임과 동시에 반도체 공정 중 발생한 에러에 신속하게 대처할 수 있도록 반도체 생산라인에서는 반도체 공정 흐름 제어 및 반도체 설비를 관리하는 온-라인 트랙-인/아웃 시스템이 적용되고 있다.
이러한 온-라인 트랙-인/아웃 시스템의 일 예를 간략하게 설명하기 위해 도 1을 참조하면, 일반적인 온-라인 트랙-인/아웃 시스템(1)은 다수 개의 공정 설비(2)들과, 공정 설비(2)들을 직접 제어하는 다수 개의 설비 제어 서버(3)들과, 설비 제어 서버(3)들의 원활한 공정 진행을 제어하는 호스트 서버(4)를 포함한다.
공정 설비(2)는 반도체 제품을 생산하는데 필수적인 고유 반도체 공정을 진행하고, 설비 제어 서버(3)는 공정 설비(2)와 SECS(Semi Equipment Communications Standard) 프로토콜 등에 의하여 양방향 통신이 되어 공정 설비를 직접 제어한다.
그리고, 호스트 서버(4)는 설비 제어 서버(3)와 TCP/IP 프로토콜 등에 의하여 통신 가능하도록 연결되고, 다수 개의 설비 제어 서버(3)가 원활하게 공정을 진행하도록 설비 제어 서버(3)로 공정 환경 데이터, 공정 변수, 공정 조건 등을 다운로드시킨다. 또한, 호스트 서버(4)는 매 공정이 시작됨에 따라 일정 주기로 설비 제어 서버(3)로부터 전송되는 데이터를 내장된 하나 이상의 DB(Data Base; DB, 이하 DB라 함) 모듈(5)에 저장시키고, 저장된 데이터를 근거로 공정의 진행을 차단시키는 인터락(Interlock) 기능을 수행한다. 여기서, 공정 설비(2)들은 각각의 설비 제어 서버(3)를 통해 호스트 서버(4)와 온라인으로 연결되고, 또한 호스트 서버(4)와 각각의 설비 제어 서버(3)는 컴퓨터(6)와 온라인으로 연결된다.
이러한 구성을 가진 일반적인 온-라인 트랙-인/아웃 시스템(1)은 작업자가 컴퓨터(6)를 통해 호스트 서버(4)로 생산기초 데이터, 예컨대, 대상 로트의 아이디(ID), 공정이 진행될 공정 설비(2) 아이디 등을 설정하여 입력하게 되면, 호스트 서버(4)가 이와 같이 입력된 생산기초 데이터를 토대로 자신의 DB 모듈(5)을 검색하여 당시 로트에 진행될 적절한 공정 변수 데이터를 산출한다.
이 후, 작업자가 이러한 공정 변수 데이터가 공정이 진행될 해당 공정 설비(2)에 셋팅된 실제 공정 변수 데이터와 일치하는 가의 여부를 확인한 후 공정 시작 명령을 입력하여 공정 설비(2)로 로트를 신속히 트랙 인/트랙 아웃(Track In/Track Out)시킴으로써 해당 공정을 진행한다.
여기서, 공정 설비(2)들은 진행되는 공정 프로세스에 따라 소정의 시간동안 공정이 진행되지 않는 아이들 단계에 놓인 후 공정이 진행되는 경우가 있다. 이 때, 소정의 시간동안 아이들 단계에 놓임으로 인해, 이 후 진행되는 공정 특성이 달라질 수 있다. 이러한 상황임에도 불구하고 일반적인 온-라인 트랙-인/아웃 시스템(1)은 아이들 단계에 놓인 공정 설비를 점검없이 진행시키고 있다. 따라서, 점검없이 공정이 진행된 공정 설비는 공정 진행 중 에러가 발생되어 작업 시간이 지연되고, 제품의 불량률도 높아진다.
따라서, 본 발명은 온-라인 트랙-인/아웃 시스템에서 소정의 시간동안 아이들 단계에 놓임으로 인해 점검이 필요하게 된 공정 설비를 공정 프로세스가 진행되기 전에 점검하여 공정 설비를 제어하는 설비 제어 서버를 인터락시킴으로써, 공정 설비가 공정 프로세스를 진행시키지 않도록 하는 설비 제어 서버의 인터락 방법을 제공하고자 한다.
본 발명은 다수 개의 공정 설비들이 연결되어 온-라인 방식으로 반도체 제품의 공정 진행이 이루어지는 온-라인 트랙-인/아웃(On-Line Track-In/Out) 시스템의 설비 제어 서버 인터락(Interlock) 방법으로서, 다수 개의 공정 설비들을 제어하는 호스트 서버와 연결된 컴퓨터를 통해 소정의 시간동안 공정이 이루어지지 않은 아이들(Idle) 단계를 거친 후 임의의 공정이 진행되는 임의의 공정설비에 대한 데이터를 불러들이는 제 1 단계와, 임의의 공정 설비가 소정의 시간동안 아이들 단계에 놓임으로 인해 임의의 공정 특성이 변하게 되는지에 대한 임의의 공정 설비와 아이들 단계 사이의 관련여부가 체크되는 제 2 단계와, 임의의 공정 설비의 아이들 단계 진행 시간과 임의의 공정 설비의 임의의 공정 특성이 변하지 않게 되는 아이들 단계에서의 임계 시간이 비교되는 제 3 단계, 및 임의의 공정 설비의 아이들 단계 진행 시간이 임계 시간을 초과하는 경우 호스트 서버가 설비 제어 서버에 인터락 신호를 보내는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 2는 본 발명에 따른 설비 제어 서버의 인터락 방법을 나타낸 순서도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 설비 제어 서버의 인터락 방법은 임의의 공정 설비에 대한 데이터를 불러들이는 제 1 단계(101)와, 임의의 공정 설비와 아이들 단계 사이의 관련여부가 체크되는 제 2 단계(102)와, 임의의 공정 설비의 아이들 단계 진행 시간과 임계 시간이 비교되는 제 3 단계(103), 및 호스트 서버가 설비 제어 서버에 인터락 신호를 보내는 제 4 단계(104)로 이루어진다.
제 1 단계(101)는 공정을 진행시키는 작업자가 다수 개의 공정 설비들이 연결된 반도체 온-라인 트랙-인/아웃 시스템에서 다수 개의 공정 설비들을 전반적으로 제어하는 호스트 서버와 연결된 컴퓨터에 임의의 공정이 진행될 임의의 공정 설비에 대한 아이디 등과 같은 정보를 입력하여 호스트 서버에서 임의의 공정 설비의 계측 데이터를 불러들이고, 이에 호스트 서버는 내부에 설정된 각 DB 모듈에서 임의의 공정 설비에 대한 계측 데이터를 수집하여 컴퓨터로 보낸다.
여기서, 다수 개의 공정 설비들은 이와 대응되는 설비 데이터 또는 공정 진행에 대응하는 공정 데이터를 포함한 계측 데이터를 출력하는 다수 개의 설비 제어 서버와 온-라인으로 연결되어 설비 제어 서버에 의해 제어된다. 또한, 설비 제어 서버들은 호스트 서버와 온-라인으로 연결되고, 호스트 서버와 연결된 컴퓨터를 통해 제어된다.
그리고, 호스트 서버의 DB 모듈에는 각각의 설비 제어 서버로부터 일정 주기로 수집되어 다운로드 된 계측 데이터가 저장되어 있고, 계측 데이터에는 각각의 공정 설비들이 소정의 시간동안 아이들 단계에 놓임으로 인해 아이들 단계 후 각 공정 설비에서 진행되는 공정에서 공정 특성이 변하게 되는지에 대한 각 공정 설비와 아이들 단계 사이의 관련여부가 설정되어 있고, 또한 각 공정 설비마다 아이들 단계 후 진행되는 공정에서 공정 특성이 변하지 않게 되는 아이들 단계에서의 임계 시간이 다르므로, 각 공정 설비에 따른 아이들 단계 진행 시간에 대한 임계 시간이 입력되어 있다.
제 2 단계(102)는 제 1 단계에서 작업자가 DB 모듈에서 불러들인 임의의 공정 설비에 대한 계측 데이터를 통해 임의의 공정 설비와 아이들 단계 사이의 관련 여부가 체크된다.
제 3 단계(103)는 제 2 단계(102)에서 임의의 공정 설비가 아이들 단계와 관련성이 있는 경우, 임의의 공정 설비의 아이들 단계 진행 시간과 임계 시간이 비교된다.
제 4 단계(104)는 제 3 단계(103)에서 아이들 단계 진행 시간이 임계 시간을 초과하는 경우, 호스트 서버가 임의의 공정 설비와 연결된 설비 제어 서버에 제조 공정이나 설비의 진행을 차단하도록 요청하는 인터락 신호를 보낸다. 여기서, 설비 제어 서버는 설비 상태 및 공정 상태를 나타내는 작업 개시 모듈을 포함하고 있고, 호스트 서버에서 인터락 신호가 전달되어 인터락이 발생될 경우 화면에 에러 표시를 디스플레이시키거나 공정 설비를 강제 다운시켜 공정 설비 내에 로트가 트랙-인 되는 것을 중단시켜 공정 에러가 발생되는 것을 막는다.
도 3은 본 발명에 따른 설비 제어 서버의 인터락 방법이 설정된 온-라인 트랙-인/아웃 시스템의 가동 방법의 일부를 나타낸 순서도이다.
도 3을 참조하면, 온-라인 트랙-인/아웃 시스템의 가동 방법은 먼저, 작업자가 호스트 서버와 연결된 컴퓨터에 소정의 시간동안 아이들 상태에 놓인 후 임의의 공정이 진행되는 임의의 공정 설비에 대한 데이터를 입력하여 임의의 공정 설비에 대한 계측 데이터를 불러들여 수집하는 단계(201)이다. 이 후, 수집된 데이터를 통해 임의의 공정 설비와 아이들 단계와의 관련여부가 체크되는 단계(202)가 시행되고, 이 때 임의의 공정 설비가 아이들 단계와 관련이 없는 경우에는 공정 설비 내로 로트를 트랙-인 시키는 단계(204)로 넘어가서 임의의 공정을 진행시키고, 임의의 공정 설비와 아이들 단계가 관련이 있는 경우에는 임의의 공정 설비의 아이들 단계 진행 시간과 임계 시간을 비교하는 단계(203)로 넘어간다. 여기서, 아이들 단계 진행 시간과 임계 시간을 비교하는 단계(203)는 아이들 단계 진행 시간이 임계 시간을 초과하지 않는 경우에 공정 설비 내로 로트를 트랙-인하는 단계(204)로 넘어가고, 초과하는 경우에는 임의의 공정 설비 내로 로트가 트랙-인 되지 않도록 임의의 공정 설비와 연결된 설비 제어 서버에 인터락을 발생시키는 단계(205)로 넘어간다. 여기서, 인터락을 발생시키는 방법으로는 호스트 서버가 설비 제어 서버에 신호를 보내어 신호를 전달받은 설비 제어 서버의 작업개시 모듈에 에러 표시가 뜨게된다. 이 후, 작업자를 통해 공정 설비의 문제를 해결하는 단계(206)가 시행되고, 문제가 해결된 공정 설비는 이 후, 공정 설비 내로 로트를 트랙-인하는 단계(204)를 시작으로 하여 주 공정 프로세스가 진행된다. 여기서, 로트가 트랙-인 된 공정 설비는 또 다시 공정 프로세스에 대한 검사 공정이 이루어진 후, 공정 프로세스에 따라 공정이 진행될 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 설비 제어 서버의 인터락 방법은 반도체 제품을 제조하기 위한 온-라인 트랙-인/아웃 시스템에서 소정의 시간동안 아이들 단계에 놓임으로 인해 점검이 필요한 공정 설비가 공정 프로세스가 진행되기 전에 설비 제어 서버에 인터락을 발생시킴으로써, 점검이 필요한 공정 설비의 공정 프로세스가 진행되는 것을 막아 공정 중 공정 설비의 에러가 발생되는 것을 미연에 방지하고, 이로 인해 반도체 제품의 불량율을 줄인다. 또한, 공정 설비와 아이들 단계 사이의 관련여부를 설정해 둠으로써, 아이들 단계와 관련이 없는 공정 설비까지 점검되는 것을 막아 공정 시간이 지연되는 것을 방지한다.
도 1은 일반적인 온-라인 트랙-인/아웃 시스템의 일 예를 간략하게 나타낸 내부 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 설비 제어 서버의 인터락 방법을 나타낸 순서도.
도 3은 본 발명에 따른 설비 제어 서버의 인터락 방법이 적용된 온-라인 트랙-인/아웃 시스템의 가동 방법의 일부를 나타낸 순서도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 온-라인 트랙-인/아웃 시스템 2: 공정 설비
3: 설비 제어 서버 4: 호스트 서버
5: 계측 DB 모듈 6: 컴퓨터

Claims (1)

  1. 다수 개의 공정 설비들이 연결되어 온-라인 방식으로 반도체 제품의 공정 진행이 이루어지는 온-라인 트랙-인/아웃(On-Line Track-In/Out) 시스템의 설비 제어 서버 인터락(Interlock) 방법으로서,
    상기 다수 개의 공정 설비들을 제어하는 호스트 서버와 연결된 컴퓨터를 통해 소정의 시간동안 공정이 이루어지지 않은 아이들(Idle) 단계를 거친 후 임의의 공정이 진행되는 임의의 공정설비에 대한 데이터를 불러들이는 제 1 단계;
    상기 임의의 공정 설비가 소정의 시간동안 상기 아이들 단계에 놓임으로 인해 상기 임의의 공정 특성이 변하게 되는지에 대한 상기 임의의 공정 설비와 상기 아이들 단계 사이의 관련여부가 체크되는 제 2 단계;
    상기 임의의 공정 설비의 상기 아이들 단계 진행 시간과 상기 임의의 공정 설비의 상기 임의의 공정 특성이 변하지 않게 되는 상기 아이들 단계에서의 임계 시간이 비교되는 제 3 단계; 및
    상기 임의의 공정 설비의 상기 아이들 단계 진행 시간이 상기 임계 시간을 초과하는 경우 상기 호스트 서버가 상기 설비 제어 서버에 인터락 신호를 보내는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 온-라인 트랙-인/아웃 시스템의 설비 제어 서버 인터락 방법.
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