KR19980068165A - 반도체 제조용 설비의 관리방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 부설비에 소정의 이상이 발생되는 경우 신속한 조치가 이루어질 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 관리방법에 관한 것으로, 호스트를 이용한 반도체 제조용 설비의 관리방법에 있어서, 상기 설비의 작동 데이터를 상기 호스트로 입력하는 입력단계와; 상기 입력 데이터를 상기 호스트를 통해 저장하는 저장단계와; 상기 호스트를 통해 상기 저장된 데이터를 써치하여 이상 데이터 발생 여부를 판단하는 판단단계와; 상기 판단결과, 이상 데이터가 발생된 경우 소정의 표시장치를 구동하여 이상발생 상황을 외부로 알리는 표시단계와; 상기 판단결과, 이상 데이터가 발생되지 않은 경우, 상기 데이터 저장을 지속하는 제 2 저장단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은, 본 발명에서는 주설비 및 부설비를 소정의 호스트와 온라인으로 연결하고, 이 호스트를 통해 부설비의 이상여부를 수시로 검지함으로써, 작업자가 일일이 부설비의 기능을 체크하지 않고도, 소정의 공정 사고를 미연에 방지할 수 있다.

Description

반도체 제조용 설비의 관리방법

본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 설비의 관리방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 소정의 호스트(Host computer)를 통해 주(Main)설비에 구비된 부(Sub)설비를 수시로 모니터링(Monitoring) 함으로써, 부설비에 소정의 이상이 발생되는 경우 신속한 조치가 이루어질 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 관리방법에 관한 것이다.

일반적인 반도체 소자는 고도의 정밀성을 필요로 하며, 이에 따라 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 소정의 설비, 예컨대, 스퍼터링 설비, 식각 설비, 측정 설비 등을 배치하여 대부분의 제조공정을 수행하고 있다.

이때, 작업자는 각 설비의 동작상황을 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.

도 1은 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조용 설비의 배치를 개략적으로 도시한 개념도이다.

도시된 바와 같이, 생산라인내에는 각각의 설비가 공정별로 배치된다.

이때, 설비에는 각각의 웨이퍼가 로트(Lot)단위로 묶여 소정의 가공과정을 거치게 된다.

그런데, 상술한 반도체 제조용 설비는 통상적으로 주설비(10)와 부설비(20)로 나뉘어 설치된다.

예컨대, 확산(Diffusion)설비의 경우 확산 공정이 이루어지는 주설비(10)와, 확산 기능이 원할히 수행될 수 있도록 보조해 주는 소정의 부설비(20), 예컨대, 펌프(Pump), 압력 게이지(Gage), 스크러버(Scrubber)등이 파이프(Pipe)로 연결되어 설치된다.

이때, 주설비(10) 및 부설비(20)는 공간활용 측면이나 공정진행 중 발생될 수 있는 불측의 사고를 예방하기 위하여 서로 분리·배치되는 것이 일반적이다.

상술한 예에서, 주설비(10)는 FAB(Fablication)라인 내에 구비되며, 펌프, 압력 게이지, 스크러버 등의 부설비(20)는 지하 탱크(Tank) 또는 서비스 에어리어(Service area)내에 배치된다.

이때, 주설비(10)와 연결된 각각의 부설비(20)들은 주설비(10)와 별개로 독립적인 모니터링 시스템(미도시)을 갖추고 있다.

이에 따라, 작업자는 소정주기로 주설비(10)의 기능이상 여부를 관측함과 아울러 분리·배치된 부설비(20)에 들러 모니터링 시스템에 디스플레이되는 기능 파라메터(Parameter)를 체크함으로써, 원할한 공정진행이 이루어질 수 있도록 하고 있다.

그러나, 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조용 설비에는 몇가지 중대한 문제점이 있다.

첫째, 상술한 바와 같이, 작업자는 주설비를 관리하는 중에도 수시로 부설비의 기능을 체크해야 함으로써, 작업능률이 급속히 저하되는 문제점이 있다.

둘째, 만약, 작업자가 실수로 부설비의 이상여부를 체크하지 못할 경우, 부설비에 발생된 문제가 주설비로 확산되어 불측의 공정사고가 야기되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 상술한 부설비를 소정의 호스트와 온라인(On-Lin e)으로 연결하고, 이 호스트를 통해 부설비의 이상여부를 수시로 검지함으로써, 작업자가 일일이 부설비의 기능을 채크하지 않고도, 소정의 공정 사고를 미연에 방지할 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 관리방법을 제공함에 있다.

도 1은 종래의 반도체 제조용 설비의 배치를 개략적으로 도시한 개념도.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 호스트를 이용한 반도체 제조용 설비의 관리방법에 있어서, 상기 설비의 작동 데이터를 상기 호스트로 입력하는 입력단계와; 상기 입력 데이터를 상기 호스트를 통해 저장하는 저장단계와; 상기 호스트를 통해 상기 저장된 데이터를 써치하여 이상 데이터 발생 여부를 판단하는 판단단계와; 상기 판단결과, 이상 데이터가 발생된 경우 소정의 표시장치를 구동하여 이상발생 상황을 외부로 알리는 표시단계와; 상기 판단결과, 이상 데이터가 발생되지 않은 경우, 저장된 상기 데이터를 유지하는 유지단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 호스트는 디스팻칭 엔진(Dispatching engine)임을 특징으로 한다.

이에 따라, 본 발명에서는 작업자가 일일이 부설비를 관측하지 않고도, 소정의 공정사고에 신속히 대처할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 관리방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명은 설비의 작동 데이터를 호스트(미도시)로 입력하는 입력단계(S10)와, 호스트를 통해 입력된 데이터를 저장하는 저장단계(S20)와, 호스트를 통해 저장된 데이터를 써치하여 이상 데이터 발생 여부를 판단하는 판단단계(S30)와, 이러한 판단결과, 이상 데이터가 발생된 경우 소정의 표시장치(미도시)를 구동하여 이상발생 상황을 외부로 알리는 표시단계(S40)와, 이러한 판단결과, 이상 데이터가 발생되지 않은 경우, 저장된 데이터를 유지하는 유지단계(S50)를 포함한다.

이와 같은 본 발명을 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 작업자는 작업 영역내의 로트를 설비에 로딩하여 소정을 가공과정을 수행한다.

이때, 설비는 상술한 바와 같이 주설비(10)와 부설비(20)로 분리·설치된다.

한편, 설비는 호스트와 상호 온라인 상태를 유지한다.

이때, 본 발명의 특징에 따르면 호스트는 작업 분배 순위형 컴퓨터, 좀더 바람직하게는 디스패칭 엔진이 사용된다.

이에 따라, 각 제조라인에 구비되어 설비를 제어하는 태스크(Task)는 호스트의 제어에 의해 실행순위를 할당받으며, 각 제조라인에 있는 작업자들은 각 설비와 관련된 데이터를 이 태스크를 통해 공유할 수 있다.

이 후, 소정의 공정이 진행됨에 따라, 주설비(10)와 연결된 부설비(20)는 자신의 작동상황과 관련된 데이터를 주설비(10)로 전송한다.

이어서, 주설비(10)는 전송받은 부설비(20)의 데이터를 상술한 태스크를 통해 호스트로 입력한다.(S10)

상술한 예에서, 확산 설비와 연결된 펌프, 압력 게이지, 스크러버 등의 부설비(20)는 현재 가동되는 자신의 회전 속도, 게이지 값, 제거 효율 등의 데이터를 호스트로 입력한다.

이에 따라, 호스트는 현 시간 작동되는 부설비(20)의 상황을 실시간(Real time)으로 파악할 수 있다.

그 다음에, 호스트는 입력된 데이터를 데이터 베이스(Data Base:DB)에 저장한다.(S20)

그 후, 호스트는 데이터 베이스에 저장되는 부설비(20)의 데이터를 수시로 써치(Search)함과 아울러 그 데이터를 기 저장된 소정의 표준 데이터와 비교함으로써, 이상 데이터의 발생여부를 판단한다.(S30)

이러한 판단결과, 이상 데이터의 발생이 없으면, 호스트는 설비로부터 입력되는 상술한 데이터를 지속적으로 저장·유지하여, 추후에 발생될 수 있는 부설비(20)의 이상을 꾸준히 관측한다.(S50)

그러나, 이러한 판단결과, 이상 데이터의 발생이 확인되면, 호스트는 주설비(10)에 구비된 소정의 표시장치를 구동시켜, 부설비(20)에 문제점이 발생되었음을 작업자에게 알린다.(S40)

상술한 예에서, 펌프, 압력 게이지, 스크러버 등의 부설비(20)로부터 입력되는 작동 데이터가 작업자에 의해 기 설정된 소정의 스펙(Specification)값, 예컨대, X rpm의 펌프 회전 속도, Y Torr의 압력 게이지 값, Z %의 스크러버 제거 효율 등에서 이탈되는 경우, 호스트는 이를 이상 데이터로 판단한다.

이에 따라, 호스트는 주설비(10)에 구비된 소정의 표시장치, 예컨대, 경보 벨, 경보 램프 등을 구동시킴으로써, 작업자가 부설비(20)에 이상이 발생되었음을 즉시 파악할 수 있도록 한다.

그 결과, 작업자는 신속한 사후처리를 수행할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에서는 작업자가 일일이 부설비(20)를 관측하지 않고도, 소정의 문제점 발생여부를 빠르게 파악할 수 있다.

또한, 본 발명에서는 설비 및 호스트의 온라인화에 의해, 부설비(20)와 관련된 정보가 실시간으로 파악됨으로, 작업자가 소정의 실수를 하더라도, 그로 인한 공정사고는 미연에 방지될 수 있다.

이와 같은 본 발명은 반도체 제조라인에 배치되어 소정의 관리를 필요로 하는 모든 설비에 유용하게 적용된다.

그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.

이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 관리방법에서는 주설비 및 부설비를 소정의 호스트와 온라인으로 연결하고, 이 호스트를 통해 부설비의 이상여부를 수시로 검지함으로써, 작업자가 일일이 부설비의 기능을 체크하지 않고도, 소정의 공정 사고를 미연에 방지할 수 있다.

Claims (2)

1. 호스트를 이용한 반도체 제조용 설비의 관리방법에 있어서,

   상기 설비의 작동 데이터를 상기 호스트로 입력하는 입력단계와;

   상기 입력 데이터를 상기 호스트를 통해 저장하는 저장단계와;

   상기 호스트를 통해 상기 저장된 데이터를 써치하여 이상 데이터 발생 여부를 판단하는 판단단계와;

   상기 판단결과, 이상 데이터가 발생된 경우 소정의 표시장치를 구동하여 이상발생 상황을 외부로 알리는 표시단계와;

   상기 판단결과, 이상 데이터가 발생되지 않은 경우, 저장된 상기 데이터를 유지하는 유지단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 관리방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 호스트는 디스팻칭 엔진(Dispatching engine)임을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 관리방법.