JPH07129235A - 設備稼働管理システム - Google Patents
設備稼働管理システムInfo
- Publication number
- JPH07129235A JPH07129235A JP4167334A JP16733492A JPH07129235A JP H07129235 A JPH07129235 A JP H07129235A JP 4167334 A JP4167334 A JP 4167334A JP 16733492 A JP16733492 A JP 16733492A JP H07129235 A JPH07129235 A JP H07129235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- host computer
- transmission
- equipment
- reception terminal
- cable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Control By Computers (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 設備停止情報などを正確かつリアルタイムに
取得することができるようにする。 【構成】 ディスク装置１１，１２が接続されたホスト
コンピュータ１０と、設備稼働に関する情報を設備１-1
〜１-Nから収集する複数の送受信端末装置３-1〜３-Nと
を備え、これら送受信端末装置の各々とホストコンピュ
ータ１０との間の結合をケーブル４-1〜４-N、ケーブル
分岐ボックス５-1〜５-N、ケーブル６，７を介して行う
と共に、ホストコンピュータ１０により送受信端末装置
３-1〜３-Nで収集した停止要因を含んだ稼働情報の集計
及び記録を行う。
取得することができるようにする。 【構成】 ディスク装置１１，１２が接続されたホスト
コンピュータ１０と、設備稼働に関する情報を設備１-1
〜１-Nから収集する複数の送受信端末装置３-1〜３-Nと
を備え、これら送受信端末装置の各々とホストコンピュ
ータ１０との間の結合をケーブル４-1〜４-N、ケーブル
分岐ボックス５-1〜５-N、ケーブル６，７を介して行う
と共に、ホストコンピュータ１０により送受信端末装置
３-1〜３-Nで収集した停止要因を含んだ稼働情報の集計
及び記録を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は製造現場における設備の
稼働状態を管理する技術、特に、設備に関するデータの
収集ならびに集計を行うために用いて効果のある技術に
関するものである。
稼働状態を管理する技術、特に、設備に関するデータの
収集ならびに集計を行うために用いて効果のある技術に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ＬＳＩの製造工場にあっては、
ＬＳＩ製造設備の稼働分析を行う場合、設備の停止時
間、停止理由を設備単位に作業日報に作業者の手作業に
より毎日記録を行っている。また、稼働データの集計を
行って期間報（日報、週報、月報など）を作成する場
合、集計オペレータが作業日報データをコンピュータに
入力している。このため、データの収集ならびに集計に
多大な人的労力を必要としている。
ＬＳＩ製造設備の稼働分析を行う場合、設備の停止時
間、停止理由を設備単位に作業日報に作業者の手作業に
より毎日記録を行っている。また、稼働データの集計を
行って期間報（日報、週報、月報など）を作成する場
合、集計オペレータが作業日報データをコンピュータに
入力している。このため、データの収集ならびに集計に
多大な人的労力を必要としている。
【０００３】そこで、データの収集と集計の自動化を図
ったものに、例えば特開平２−１１８８９５号公報があ
る。ここに示される稼働管理装置は、設備停止時にアラ
ームを出し、入力端末への入力を促し、停止理由の記録
漏れ防止を可能にしようとするもので、具体的には、オ
ペレータが入力端末器を携帯し、この入力端末器に情報
をインプットした後、データ集計時にホストコンピュー
タ（監視装置）に入力端末を接続することで行われる。
ったものに、例えば特開平２−１１８８９５号公報があ
る。ここに示される稼働管理装置は、設備停止時にアラ
ームを出し、入力端末への入力を促し、停止理由の記録
漏れ防止を可能にしようとするもので、具体的には、オ
ペレータが入力端末器を携帯し、この入力端末器に情報
をインプットした後、データ集計時にホストコンピュー
タ（監視装置）に入力端末を接続することで行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明者の検討によれ
ば、オペレータが入力端末器を携帯し、設備停止時にア
ラームを出し、入力端末器への入力を促し、停止理由の
記録漏れの防止を図る稼働管理装置は、設備停止に関す
る情報のホストコンピュータへの入力は人の手によるも
ので、ブザー、表示器などが故障した場合、記録漏れは
避けられず、停止情報の入力ミスも予想され、データの
正確さに問題が生じる。更に、データ収集の準備に時間
がかかり、リアルタイムに設備の稼働状況を把握できな
いという問題もある。
ば、オペレータが入力端末器を携帯し、設備停止時にア
ラームを出し、入力端末器への入力を促し、停止理由の
記録漏れの防止を図る稼働管理装置は、設備停止に関す
る情報のホストコンピュータへの入力は人の手によるも
ので、ブザー、表示器などが故障した場合、記録漏れは
避けられず、停止情報の入力ミスも予想され、データの
正確さに問題が生じる。更に、データ収集の準備に時間
がかかり、リアルタイムに設備の稼働状況を把握できな
いという問題もある。
【０００５】また、上記の問題を解決するためにＬＡＮ
（ローカル・エリア・ネットワーク）を導入することも
考えられるが、公知の通信規格であるイーサネット、ス
ターラン（Ethernet、Star LAN) などを使用せざるを得
ず、コストアップを招く不具合がある。
（ローカル・エリア・ネットワーク）を導入することも
考えられるが、公知の通信規格であるイーサネット、ス
ターラン（Ethernet、Star LAN) などを使用せざるを得
ず、コストアップを招く不具合がある。
【０００６】そこで、本発明の目的は、設備停止情報な
どを正確かつリアルタイムに取得することのできる技術
を提供することにある。
どを正確かつリアルタイムに取得することのできる技術
を提供することにある。
【０００７】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【０００９】すなわち、記憶装置が接続されたホストコ
ンピュータと、設備稼働に関する情報を複数の設備から
収集する複数の送受信端末装置と、これら送受信端末装
置の各々と前記ホストコンピュータとの間の結合をケー
ブルを介して行うケーブル分岐手段とを備え、前記ホス
トコンピュータにより前記送受信端末装置で収集した停
止要因を含んだ稼働情報を集計及び記録を行うようにし
ている。
ンピュータと、設備稼働に関する情報を複数の設備から
収集する複数の送受信端末装置と、これら送受信端末装
置の各々と前記ホストコンピュータとの間の結合をケー
ブルを介して行うケーブル分岐手段とを備え、前記ホス
トコンピュータにより前記送受信端末装置で収集した停
止要因を含んだ稼働情報を集計及び記録を行うようにし
ている。
【００１０】
【作用】上記した手段によれば、送受信端末装置によっ
て設備の稼働状況がリアルタイムに収集され、長距離通
信に適した通信規格に変換してホストコンピュータに伝
送され、このホストコンピュータによって集計処理が行
われる。したがって、人手によらずデータ入力を正確か
つリアルタイムに行うことができる。また、設備の稼働
状態を把握できるため、設備が停止したときの応答を迅
速に図れ、設備の稼働率の向上及び柔軟な生産対応が可
能になる。
て設備の稼働状況がリアルタイムに収集され、長距離通
信に適した通信規格に変換してホストコンピュータに伝
送され、このホストコンピュータによって集計処理が行
われる。したがって、人手によらずデータ入力を正確か
つリアルタイムに行うことができる。また、設備の稼働
状態を把握できるため、設備が停止したときの応答を迅
速に図れ、設備の稼働率の向上及び柔軟な生産対応が可
能になる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明による設備稼働管理システムの
一実施例のブロック図である。
一実施例のブロック図である。
【００１２】Ｎ台の設備１-1〜１-N（例えば、半導体製
造装置であるワイヤボンダー、ダイボンダーなど）の各
々にはインターフェース２-1〜２-Nの各々が接続されて
いる。このインターフェース２-1〜２-Nは、例えば、２
４点のデジタル入出力とシリアルインターフェース（Ｒ
Ｓ−２３２Ｃ）を３チャンネル装備している。さらに、
インターフェース２-1〜２-Nの各々には、設備１-1〜１
-Nの稼働データ収集用の送受信端末装置３-1〜３-Nの各
々が接続され、この送受信端末装置３-1〜３-Nの各々に
はケーブル４-1〜４-Nの各々を介してケーブル分岐ボッ
クス５-1〜５−Ｎの各々が接続されている。ケーブル分
岐ボックス５−１〜５-Nの相互間は、電源ラインと通信
ラインを含むケーブル６によってＲＳ−４８５規格（耐
ノイズ性を高め、例えば１ｋｍの長距離通信を可能に
し、かつ後記するホストコンピュータ側のインターフェ
ース回路を不要にするための配慮）により接続され、さ
らにケーブル分岐ボックス５-1にはケーブル７を介して
電源供給及び信号変換を行うための結合ユニット８が接
続されている。そして、結合ユニット８にはＲＳ−２３
２Ｃ方式の通信ラインを介してホストシステム９が接続
されている。結合ユニット８からケーブルを介して各送
受信端末装置３-1〜３-Nへ電源供給を行っているのは、
しばしば商用電源の確保が難しい場合があることを考慮
したためである。
造装置であるワイヤボンダー、ダイボンダーなど）の各
々にはインターフェース２-1〜２-Nの各々が接続されて
いる。このインターフェース２-1〜２-Nは、例えば、２
４点のデジタル入出力とシリアルインターフェース（Ｒ
Ｓ−２３２Ｃ）を３チャンネル装備している。さらに、
インターフェース２-1〜２-Nの各々には、設備１-1〜１
-Nの稼働データ収集用の送受信端末装置３-1〜３-Nの各
々が接続され、この送受信端末装置３-1〜３-Nの各々に
はケーブル４-1〜４-Nの各々を介してケーブル分岐ボッ
クス５-1〜５−Ｎの各々が接続されている。ケーブル分
岐ボックス５−１〜５-Nの相互間は、電源ラインと通信
ラインを含むケーブル６によってＲＳ−４８５規格（耐
ノイズ性を高め、例えば１ｋｍの長距離通信を可能に
し、かつ後記するホストコンピュータ側のインターフェ
ース回路を不要にするための配慮）により接続され、さ
らにケーブル分岐ボックス５-1にはケーブル７を介して
電源供給及び信号変換を行うための結合ユニット８が接
続されている。そして、結合ユニット８にはＲＳ−２３
２Ｃ方式の通信ラインを介してホストシステム９が接続
されている。結合ユニット８からケーブルを介して各送
受信端末装置３-1〜３-Nへ電源供給を行っているのは、
しばしば商用電源の確保が難しい場合があることを考慮
したためである。
【００１３】ホストシステム９は、ホストコンピュータ
１０を中心に構成され、外部記憶装置としてのディスク
装置１１，１２が接続され、さらに周辺装置としてのデ
ィスプレイ１３及びプリンタ１４が接続されている。ホ
ストコンピュータ１０には、例えば市販の汎用型の３２
ビットのパーソナルコンピュータを用いることができ
る。ここでは、ホストコンピュータ１０に日本電気製の
ＰＣ９８０１シリーズを用い、そのオペレーティングシ
ステム（ＯＳ）に「ＭＳ−ＤＯＳ」を用い、アプリケー
ション記述言語にはマイクロソフト社のＣコンパイラを
用いている。
１０を中心に構成され、外部記憶装置としてのディスク
装置１１，１２が接続され、さらに周辺装置としてのデ
ィスプレイ１３及びプリンタ１４が接続されている。ホ
ストコンピュータ１０には、例えば市販の汎用型の３２
ビットのパーソナルコンピュータを用いることができ
る。ここでは、ホストコンピュータ１０に日本電気製の
ＰＣ９８０１シリーズを用い、そのオペレーティングシ
ステム（ＯＳ）に「ＭＳ−ＤＯＳ」を用い、アプリケー
ション記述言語にはマイクロソフト社のＣコンパイラを
用いている。
【００１４】また、送受信端末装置３-1〜３-Nは、各々
が同一の仕様及び構成を有している。この送受信端末装
置３-1〜３-Nは、例えば、ＣＰＵ及び２チャンネルのイ
ンターフェース（非同期シリアルインターフェース）を
有するシングルボードコンピュータを用いて構成され
る。そして、送受信端末装置３-1〜３-Nは、１つのホス
トシステム９に対し最大３２台を接続することができ
る。
が同一の仕様及び構成を有している。この送受信端末装
置３-1〜３-Nは、例えば、ＣＰＵ及び２チャンネルのイ
ンターフェース（非同期シリアルインターフェース）を
有するシングルボードコンピュータを用いて構成され
る。そして、送受信端末装置３-1〜３-Nは、１つのホス
トシステム９に対し最大３２台を接続することができ
る。
【００１５】以上の構成において、設備１-1〜１-Nの出
力部から送出される稼働状況は、インターフェース２-1
〜２-Nを介して例えば１分間隔に送受信端末装置３-1〜
３-Nへ自動的に取り込まれる。ところで、同一ネットワ
ークに異種の設備を接続して稼働状態をモニタしようと
する場合、問題となるのは設備によって停止要因項目が
異なることである。そこで、本発明では、停止要因に番
号を付けて汎用化し、実際にデータを集計するに際して
は設備単位に停止要因番号と停止内容の参照表を作成
し、ソフトウェアで対処するようにしている。そして、
設備１-1〜１-Nと１対１に対応する送受信端末装置３-1
〜３-Nには、ＩＤナンバー（認識番号）を割当て、ホス
トコンピュータ１０とはＩＤ単位に一定時間々隔で通信
を行っている。
力部から送出される稼働状況は、インターフェース２-1
〜２-Nを介して例えば１分間隔に送受信端末装置３-1〜
３-Nへ自動的に取り込まれる。ところで、同一ネットワ
ークに異種の設備を接続して稼働状態をモニタしようと
する場合、問題となるのは設備によって停止要因項目が
異なることである。そこで、本発明では、停止要因に番
号を付けて汎用化し、実際にデータを集計するに際して
は設備単位に停止要因番号と停止内容の参照表を作成
し、ソフトウェアで対処するようにしている。そして、
設備１-1〜１-Nと１対１に対応する送受信端末装置３-1
〜３-Nには、ＩＤナンバー（認識番号）を割当て、ホス
トコンピュータ１０とはＩＤ単位に一定時間々隔で通信
を行っている。
【００１６】次に、送受信端末装置３-1〜３-Nによって
取り込まれた設備稼働状況は、ケーブル４-1〜４-N、ケ
ーブル分岐ボックス５-1〜５-N、ケーブル６及びケーブ
ル７などを介して結合ユニット８に送られ、この結合ユ
ニット８によってＲＳ−４８５規格からＲＳ−２３２Ｃ
規格に変換されたデータがホストシステム９へ送出され
る。ホストシステム９内のホストコンピュータ１０は、
ポーリングセレクティング通信方式によって送受信端末
装置３-1〜３-Nからデータを収集する。
取り込まれた設備稼働状況は、ケーブル４-1〜４-N、ケ
ーブル分岐ボックス５-1〜５-N、ケーブル６及びケーブ
ル７などを介して結合ユニット８に送られ、この結合ユ
ニット８によってＲＳ−４８５規格からＲＳ−２３２Ｃ
規格に変換されたデータがホストシステム９へ送出され
る。ホストシステム９内のホストコンピュータ１０は、
ポーリングセレクティング通信方式によって送受信端末
装置３-1〜３-Nからデータを収集する。
【００１７】ホストコンピュータ１０で集められた停止
要因番号別データは、ＩＤナンバーに応じて停止要因項
目を設定し、この停止要因項目、停止回数などの稼働情
報に対する集計を行う。通信データの記録は、例えば３
０分間隔に行われ、常に最新の３ケ月分のデータのみが
ディスク装置１１，１２に保存される。そして、その設
備稼働データは１日単位、ＩＤ単位などによりファイル
化され、期間報のための集計に用いられる。この場合、
ディスク装置１１，１２にリムーバブルハードディスク
を使用することにより、ハードディスクをホストコンピ
ュータ１０側から抜き取ってオフラインコンピュータに
よる処理が可能になる。
要因番号別データは、ＩＤナンバーに応じて停止要因項
目を設定し、この停止要因項目、停止回数などの稼働情
報に対する集計を行う。通信データの記録は、例えば３
０分間隔に行われ、常に最新の３ケ月分のデータのみが
ディスク装置１１，１２に保存される。そして、その設
備稼働データは１日単位、ＩＤ単位などによりファイル
化され、期間報のための集計に用いられる。この場合、
ディスク装置１１，１２にリムーバブルハードディスク
を使用することにより、ハードディスクをホストコンピ
ュータ１０側から抜き取ってオフラインコンピュータに
よる処理が可能になる。
【００１８】設備１-1〜１-Nがダイボンダーの場合、設
備１-1〜１-Nと送受信端末装置３-1〜３-Nとの間のイン
ターフェースはデジタル入出力により行われ、データの
収集は送受信端末装置３-1〜３-Nの各々が２０ｍＳ間隔
で設備１-1〜１-Nの各々のデジタル入出力部の状態を読
み取って随時データを更新し、ホストシステム９側から
１分間隔で問い合わせがあった場合、直前の状態を応答
する。また、回数データは、入力状態の変化回数（デジ
タル入力が“Ｌ”レベルから“Ｈ”レベルに変わる回
数）を累計することにより算出することができる。
備１-1〜１-Nと送受信端末装置３-1〜３-Nとの間のイン
ターフェースはデジタル入出力により行われ、データの
収集は送受信端末装置３-1〜３-Nの各々が２０ｍＳ間隔
で設備１-1〜１-Nの各々のデジタル入出力部の状態を読
み取って随時データを更新し、ホストシステム９側から
１分間隔で問い合わせがあった場合、直前の状態を応答
する。また、回数データは、入力状態の変化回数（デジ
タル入力が“Ｌ”レベルから“Ｈ”レベルに変わる回
数）を累計することにより算出することができる。
【００１９】また、設備１-1〜１-NがＲＳ−３２２Ｃの
規格のインターフェースを備えたワイヤボンダーの場
合、その通信プロトコルはワイヤボンダー側で採用して
いるＳＥＣＳ（SEMI Equipment Communication Standar
d)規格を用い、送受信端末装置３-1〜３-Nは例えば１０
秒間隔でワイヤボンダーの稼働データの収集を行う。
規格のインターフェースを備えたワイヤボンダーの場
合、その通信プロトコルはワイヤボンダー側で採用して
いるＳＥＣＳ（SEMI Equipment Communication Standar
d)規格を用い、送受信端末装置３-1〜３-Nは例えば１０
秒間隔でワイヤボンダーの稼働データの収集を行う。
【００２０】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００２１】例えば、上記の説明ではデータの収集を送
受信端末装置（ワンボードコンピュータ）で行い、集計
はホストコンピュータ（パーソナルコンピュータ）によ
り行い、２つの処理を２つのコンピュータを用いて個別
に行うものとしたが、１台のコンピュータで両方の処理
を行うようにしてもよい。
受信端末装置（ワンボードコンピュータ）で行い、集計
はホストコンピュータ（パーソナルコンピュータ）によ
り行い、２つの処理を２つのコンピュータを用いて個別
に行うものとしたが、１台のコンピュータで両方の処理
を行うようにしてもよい。
【００２２】また、送受信端末装置からのパラレルイン
ターフェース出力をＡ／Ｄ変換できるようにすることに
より、温度、速度、角度等のセンサを用いて汎用アナロ
グ量リモートセンシングシステムを構築することができ
る。
ターフェース出力をＡ／Ｄ変換できるようにすることに
より、温度、速度、角度等のセンサを用いて汎用アナロ
グ量リモートセンシングシステムを構築することができ
る。
【００２３】さらに、或る決められた時間からの経過時
間をモニタし、時間による設備予防保全システムを構築
することもできる。
間をモニタし、時間による設備予防保全システムを構築
することもできる。
【００２４】この他、送受信端末装置にカウンタ機能を
設けることにより、設備の回数カウントによる設備予防
保全システムを構築することができる。
設けることにより、設備の回数カウントによる設備予防
保全システムを構築することができる。
【００２５】また、以上の説明では、主として本発明者
によってなされた発明をその利用分野である半導体製造
設備（装置）に適用した場合について説明したが、これ
に限定されるものではなく、例えば、保守／保安設備、
監視装置など製造設備以外の設備に広く本発明を適用す
ることができる。
によってなされた発明をその利用分野である半導体製造
設備（装置）に適用した場合について説明したが、これ
に限定されるものではなく、例えば、保守／保安設備、
監視装置など製造設備以外の設備に広く本発明を適用す
ることができる。
【００２６】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
【００２７】すなわち、記憶装置が接続されたホストコ
ンピュータと、設備稼働に関する情報を複数の設備から
収集する複数の送受信端末装置と、これら送受信端末装
置の各々と前記ホストコンピュータとの間の結合をケー
ブルを介して行うケーブル分岐手段とを備え、前記ホス
トコンピュータにより前記送受信端末装置で収集した停
止要因を含んだ稼働情報を集計及び記録を行うようにし
たので、人手によらずデータ入力を正確かつリアルタイ
ムに行うことができる。また、設備の稼働状態を把握で
きるため、設備が停止したときの応答を迅速に図れ、設
備の稼働率の向上及び柔軟な生産対応が可能になる。
ンピュータと、設備稼働に関する情報を複数の設備から
収集する複数の送受信端末装置と、これら送受信端末装
置の各々と前記ホストコンピュータとの間の結合をケー
ブルを介して行うケーブル分岐手段とを備え、前記ホス
トコンピュータにより前記送受信端末装置で収集した停
止要因を含んだ稼働情報を集計及び記録を行うようにし
たので、人手によらずデータ入力を正確かつリアルタイ
ムに行うことができる。また、設備の稼働状態を把握で
きるため、設備が停止したときの応答を迅速に図れ、設
備の稼働率の向上及び柔軟な生産対応が可能になる。
【図１】本発明による設備稼働管理システムの一実施例
のブロック図である。
のブロック図である。
１-1〜１-N 設備 ２-1〜２-N インターフェース ３-1〜３-N 送受信端末装置 ４-1〜４-N ケーブル ５-1〜５-N ケーブル分岐ボックス ６，７ ケーブル ８ 結合ユニット ９ ホストシステム １０ ホストコンピュータ １１，１２ ディスク装置 １３ ディスプレイ １４ プリンタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０６Ｆ 17/40 Ｇ０６Ｆ 15/74 ３１０ Ｂ (72)発明者 東海林 茂 秋田県南秋田郡天王町字長沼64 アキタ電 子株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 記憶装置が接続されたホストコンピュー
タと、設備稼働に関する情報を複数の設備から収集する
複数の送受信端末装置と、これら送受信端末装置の各々
と前記ホストコンピュータとの間の結合をケーブルを介
して行うケーブル分岐手段とを備え、前記ホストコンピ
ュータにより前記送受信端末装置で収集した停止要因を
含んだ稼働情報を集計及び記録を行うことを特徴とする
設備稼働管理システム。 - 【請求項２】 前記送受信端末装置は、前記設備に対し
シリアルまたはパラレル入出力の通信が可能であると共
に、前記ホストコンピュータからポーリングセレクティ
ング通信方式で制御を受けることを特徴とする請求項１
記載の設備稼働管理システム。 - 【請求項３】 前記ケーブル分岐手段は、ＲＳ−２３２
Ｃ規格とＲＳ−４８５規格の間の変換機能及び電源供給
機能を備えた結合ユニットと、この結合ユニットと前記
送受信端末装置の各々とを接続するケーブル分岐ボック
スとを具備することを特徴とする請求項１記載の設備稼
働管理システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4167334A JPH07129235A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 設備稼働管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4167334A JPH07129235A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 設備稼働管理システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07129235A true JPH07129235A (ja) | 1995-05-19 |
Family
ID=15847812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4167334A Pending JPH07129235A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 設備稼働管理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07129235A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000021701A (ja) * | 1998-01-14 | 2000-01-21 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法 |
| JP2002008956A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-01-11 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置における状態情報表示方法及び半導体製造装置 |
| JP2008270817A (ja) * | 2008-04-22 | 2008-11-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 固体デバイス製造装置の状態出力装置、固体デバイス製造システム、および固体デバイス製造装置の状態出力方法 |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP4167334A patent/JPH07129235A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000021701A (ja) * | 1998-01-14 | 2000-01-21 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法 |
| JP4564602B2 (ja) * | 1998-01-14 | 2010-10-20 | 三星電子株式会社 | 半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法 |
| JP2002008956A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-01-11 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置における状態情報表示方法及び半導体製造装置 |
| JP2008270817A (ja) * | 2008-04-22 | 2008-11-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 固体デバイス製造装置の状態出力装置、固体デバイス製造システム、および固体デバイス製造装置の状態出力方法 |
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