KR20030069268A - 반도체 제조용 컴퓨터 네트워크 시스템 및 그 제어 방법 - Google Patents

반도체 제조용 컴퓨터 네트워크 시스템 및 그 제어 방법 Download PDF

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KR20030069268A
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정 챔버 내에서 사용되는 할로겐 램프의 이상 유무를 모니터링 하기 위한 컴퓨터 네트워크 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것이다. 내부에 다수 개의 할로겐 램프들을 구비하는 공정 챔버와, 공정 챔버의 동작을 제어하는 인터락 장치와 상호 데이터 통신 가능한 반도체 제조용 컴퓨터 네트워크 시스템의 제어 방법은, 공정 챔버 내부에 웨이퍼가 로트 단위로 로딩되면, 다수 개의 할로겐 램프들의 이상 유무를 판별하기 위한 검출 정보를 온라인으로 받아들이는 단계와, 검출 정보를 받아서 다수 개의 할로겐 램프들 중 적어도 하나가 단락되었는지를 판별하는 단계 및 판별 결과, 적어도 하나의 할로겐 램프가 단락되었으면, 공정 챔버의 동작을 중지하도록 인터락 장치로 요청하는 단계를 포함하여, 인터락 시스템이 상기 요청에 대응하여 공정 챔버의 동작을 중지하도록 제어한다. 따라서 본 발명은 관련 반도체 설비의 하드웨어적인 오동작을 정확히 파악할 수 있으며 오동작으로 인한 공정의 진행을 방지할 수 있으며, 에싱(ashing) 공정이 정확히 이루어지므로서, 반도체 제품의 수율 및 신뢰도가 향상된다.

Description

반도체 제조용 컴퓨터 네트워크 시스템 및 그 제어 방법{COMPUTER NETWORK SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION AND CONTROL METHOD OF THE SAME}
본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 반도체 제조 공정 챔버 내에서 사용되는 할로겐 램프의 이상 유무를 모니터링 하기 위한 컴퓨터네트워크 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 장치의 공정 챔버 내에서 포토레지스터 찌거기를 제거하기 위하여 공정 챔버 내부에는 히터용의 할로겐 램프가 다수 병렬로 구비되어 있다. 예컨대, 반도체 제조 장치인 PSC 사의 ULTIMA III 장비는 포토레지스터 찌거기를 제거하기 위한 설비로, 공정 챔버에서 웨이퍼의 포토레지스터 찌거기를 제거하기 위하여 고온을 이용하게 되는데, 이 때 공정 챔버 내부에 다수 개의 할로겐 램프들을 병렬로 연결하여 사용한다.
이러한 반도체 제조 장치는 할로겐 램프들의 이상 유무를 감지하는 검출 신호에 의해서 작업자가 판별하고 있지만 소프트웨어의 버그 또는 기타 동작 부분의 이상 동작으로 인한 오동작으로 실제 할로겐 램프에서 이상이 발생되어도 공정 수순에 따라 다음 공정이 진행하는 경우가 발생된다.
도 1을 참조하면, 종래 기술의 반도체 제조 장치는 단계 S2에서 공정 챔버 내에 웨이퍼가 로트 단위로 로딩되면, 단계 S4에서 다수 개의 할로겐 램프들의 이상 유무를 판별하기 위하여 할로겐 램프의 동작에 따른 검출 정보를 작업자가 모니터링 할 수 있도록 제공한다.
이어서 단계 S6에서 작업자는 검출 정보를 확인하여 할로겐 램프들에 의한 가열 온도가 적정의 온도 파라메터인지를 판별한다. 판별 결과, 적정의 온도 파라메터 이내의 온도 파라메터이면 이 수순은 단계 S8로 진행하여 다음 공정을 진행한다. 그리고 적정의 온도 파라메터가 아니면 이 수순은 단계 10으로 진행하여 설비의 동작을 중지시키고 단락된 할로겐 램프들을 교체한다.
상술한 바와 같이 종래 기술은 공정 챔버 내에서 포토레지스터를 제거하기 위하여 여러 가지 소스 가스가 이용되어 에싱(ashing) 공정이 이루어지지만, 그 과정 중에서 할로겐 램프들 중 1 ~ 2 개의 할로겐 램프가 단락되어 작업자가 설비 온도 파라메터를 확인하더라도 실제 정확한 상황을 파악하기가 어렵고, 이로 인하여 나머지 할로겐 램프도 단락된 할로겐 램프의 몫까지 가열 기능을 수행하게 된다. 그 결과, 단락된 할로겐 램프 이외의 다른 할로겐 램프들의 수명이 급속도로 저하된다.
뿐만 아니라, 이러한 현상은 반도체 제조 장치가 하드웨어적으로 정상 유무를 판별하기가 어렵고, 언에싱(unashing) 현상이 유발되어 다음 단계의 공정으로 진행하게 되므로 제품의 수율 및 신뢰도가 떨어지게 된다.
본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 반도체 제조 공정 챔버 내에서 사용되는 할로겐 램프의 이상 유무를 모니터링 하기 위한 컴퓨터 네트워크 시스템 및 그 제어 방법을 제공하는데 있다.
이를 위해서 종래 기술에서 적용되는 할로겐 램프의 이상 유무를 판별하기 위한 검출 정보를 모니터링하기 위한 설비에서만 확인하는 것이 아니라, 공정 챔버와 연결되는 컴퓨터 네트워크를 구비하여 이를 통해 검출 신호를 모니터링하도록 한다.
그리고 컴퓨터 네트워크 시스템이 할로겐 램프의 검출 정보를 온라인으로 받아들이고 이를 인터락 시스템으로 제공하여 시스템의 오동작 및 추후 공정으로 진행하는 것을 방지하도록 한다.
도 1은 일반적인 공정 챔버 내의 할로겐 램프들을 모니터링하기 위한 동작 수순을 도시한 흐름도;
도 2는 본 발명에 따른 공정 챔버 내의 할로겐 램프들을 모니터링하기 위한 컴퓨터 네트워크 시스템의 구성을 도시한 블럭도; 그리고
도 3은 본 발명에 따른 공정 챔버 내의 할로겐 램프들의 이상 유무를 판별하고 이에 대응해서 공정 진행 여부를 제어하는 수순을 도시한 흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
20 : 공정 챔버22 : 할로겐 램프들
30 : 모니터링 시스템32 : 인터락 임계 정보
40 : 인터락 시스템
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 특징에 의하면, 내부에 다수 개의 할로겐 램프들을 구비하는 공정 챔버와 데이터 통신 가능한 반도체 제조용 컴퓨터 네트워크 시스템은, 상기 다수 개의 할로겐 램프들의 이상 유무에 따른 검출 정보를 받아들이고, 상기 검출 정보로부터 상기 다수 개의 할로겐 램프들 중 적어도 하나 이상의 할로겐 램프가 단락되는지를 판별하는 모니터링 장치 및 상기 공정 챔버와 상기 모니터링 장치와 상호 데이터 통신 위해 연결되고, 상기 모니터링 장치로부터 상기 판별 결과에 대응하여 상기 적어도 하나의 할로겐 램프가 단락되었으면, 상기 공정 챔버의 동작을 중지하도록 제어하는 인터락 장치를 포함한다.
이 특징에 있어서, 상기 모니터링 장치는 상기 인터락 장치의 제어 동작을 요청하기 위한 임계 정보를 더욱 구비하되, 상기 임계 정보는 상기 다수 개의 할로겐 램프들 중 적어도 하나가 단락되어도 상기 인터락 장치로 상기 제어 동작이 활성화되도록 구비하는 것이 바람직하다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 내부에 다수 개의 할로겐 램프들을 구비하는 공정 챔버와, 상기 공정 챔버의 동작을 제어하는 인터락 장치와 상호 데이터 통신 가능한 반도체 제조용 컴퓨터 네트워크 시스템의 제어 방법은, 상기 공정 챔버 내부에 웨이퍼가 로트 단위로 로딩되면, 상기 다수 개의 할로겐 램프들의 이상 유무를 판별하기 위한 검출 정보를 온라인으로 받아들이는 단계와, 상기 검출 정보를 받아서 상기 다수 개의 할로겐 램프들 중 적어도하나가 단락되었는지를 판별하는 단계 및 상기 판별 결과, 적어도 하나의 할로겐 램프가 단락되었으면, 상기 공정 챔버의 동작을 중지하도록 상기 인터락 장치로 요청하는 단계를 포함하여, 상기 인터락 시스템이 상기 요청에 대응하여 상기 공정 챔버의 동작을 중지하도록 제어한다.
이 특징에 있어서, 상기 판별하는 단계는 상기 인터락 장치의 제어 동작을 요청하기 위한 임계 정보에 의해 이루어지는 것이 바람직하다.
따라서 본 발명에 의하면, 컴퓨터 네트워크 시스템은 공정 챔버 내에 구비되는 다수의 할로겐 램프들 중 적어도 하나 이상이 단락되면, 이를 판별하고 자동으로 다음 공정으로 진행하는 것을 방지한다.
이하 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조 장치의 공정 챔버 내의 할로겐 램프들을 모니터링하기 위한 컴퓨터 네트워크 시스템의 구성을 도시한 블럭도이다.
도면을 참조하면, 상기 컴퓨터 네트워크 시스템은 신규한 모니터링 시스템(30)과 인터락 시스템(40)을 포함한다. 그리고 상기 컴퓨터 네트워크 시스템은 상기 모니터링 시스템(30)과 상기 인터락 시스템(40) 및 반도체 제조 공정에 따른 공정 챔버(20)가 상호 연결되어 데이터 통신을 수행한다.
상기 공정 챔버(20)는 내부에 다수의 할로겐 램프들(22)을 구비하고 있으며, 이들의 이상 유무에 따른 검출 정보(예를 들어 램프 히스토리 정보)를 상기 모니터링 시스템(30)으로 제공한다. 또한 상기 공정 챔버(20)는 내부에 웨이퍼를 로트 단위로 수납 가능한 기구적인 메커니즘을 갖는다.
상기 모니터링 시스템(30)은 전형적인 컴퓨터 시스템의 구성 요소들(예를 들어, 중앙 처리 장치, 메모리 장치, 입출력장치, 저장 장치, 디스플레이 장치 등)을 구비하고 있으며, 저장 장치에는 인터락 임계 정보(32)를 저장하고 있다. 그리고 상기 공정 챔버(20)로부터 검출 정보(HISTORY)를 받아서 다수의 할로겐 램프들(22)의 이상 유무를 판별한다. 그리고 상기 인터락 임계 정보(32)에 대응하여 적어도 하나의 할로겐 램프가 단락되었으면, 다음 공정의 진행을 방지하기 위하여 상기 인터락 시스템(40)으로 인터락 요청 신호(REQ_ITL)를 출력한다. 여기서 상기 인터락 임계 정보(32)는 인터락 동작을 제어하기 위한 조건으로, 바람직하게는 최대 및 최소 임계값을 할로겐 램프의 전체 개수 중에 적어도 하나가 단락되어도 인터락 요청 신호를 출력하도록 하기 위하여 ' 최소 임계값 = 최대 임계값 = 할로겐 램프 전체 개수 ' 로 설정한다.
그리고 상기 인터락 시스템(40)은 상기 인터락 요청 신호(REQ_ITL)를 받아서 상기 공정 챔버(20)의 로딩된 웨이퍼 로트에 대한 동작을 중지하도록 제어한다.
그러므로 상기 컴퓨터 네트워크 시스템은 공정 챔버(20) 내에 구비되는 다수의 할로겐 램프들(22) 중 적어도 하나 이상이 단락되면, 이를 판별하고 자동으로 다음 공정으로 진행하는 것을 방지한다.
그리고 도 3은 본 발명에 따른 공정 챔버 내의 할로겐 램프들의 이상 유무를 팜별하고 이를 제어하는 수순을 도시한 흐름도이다. 이 수순은 상기 컴퓨터 네트워크 시스템이 처리하는 프로그램으로, 상기 모니터링 시스템(30)의 저장 장치(미도시됨)에 구비된다.
도면을 참조하면, 단계 S50에서 상기 공정 챔버(20) 내부에 웨이퍼가 로트 단위로 로딩되면, 단계 S52에서 다수 개의 할로겐 램프들(22)의 이상 유무를 판별하기 위하여 할로겐 램프의 동작에 따른 검출 정보(예를 들어 램프 히스토리 정보)(HISTORY)를 온라인으로 상기 모니터링 시스템(30)으로 제공한다.
이어서 단계 S54에서 상기 모니터링 시스템(30)은 상기 검출 정보(HISTORY)를 받아서 다수 개의 할로겐 램프들(22) 중 적어도 하나 이상의 할로겐 램프가 단락되었는지를 판별한다.
판별 결과, 적어도 하나 이상의 할로겐 램프가 단락되었으면, 이 수순은 단계 S56으로 진행하여 상기 인터락 시스템(40)으로 인터락 요청 신호(REQ_ITL)를 출력한다. 이어서 단계 S58에서 상기 인터락 시스템(40)은 상기 인터락 요청 신호(REQ_ITL)에 응답해서 상기 공정 챔버(20)의 동작을 중지하도록 제어 신호(CONT)를 상기 공정 챔버(20)로 출력한다.
그리고 상기 판별 결과, 할로겐 램프가 하나도 단락이 되지 않았으면, 이 수순은 단계 60으로 진행하여 다음 공정을 계속해서 진행하도록 한다.
따라서, 본 발명의 반도체 제조 장치는 컴퓨터 네트워크 시스템을 구성하여 온라인으로 상호 데이터 통신을 수행하여 할로겐 램프의 이상 유무를 검출하고, 검출 결과에 대응하여 효과적으로 다음 공정의 진행 여부를 제어한다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 할로겐 램프의 이상 유무를 판별하기 위한 검출 정보를 모니터링하기 위한 설비에서만 확인하는 것이 아니라, 공정 챔버와 연결되는 컴퓨터 네트워크 시스템을 통해 검출 정보를 모니터링하고, 할로겐 램프들중 적어도 하나가 단락되어도, 인터락 시스템으로 인터락 요청 신호를 제공하여 공정 챔버의 동작을 제어함으로써, 관련 반도체 설비의 하드웨어적인 오동작을 정확히 파악할 수 있으며 오동작으로 인한 다음 공정의 진행을 방지할 수 있다.
또한, 공정 챔버 내부에 구비되는 할로겐 램프들의 이상 유무를 정확히 판별하여 에싱(ashing) 공정이 정확히 이루어지므로서, 반도체 제품의 수율 및 신뢰도가 향상된다.

Claims (4)

  1. 내부에 다수 개의 할로겐 램프들을 구비하는 공정 챔버와 데이터 통신 가능한 반도체 제조용 컴퓨터 네트워크 시스템에 있어서:
    상기 다수 개의 할로겐 램프들의 이상 유무에 따른 검출 정보를 받아들이고, 상기 검출 정보로부터 상기 다수 개의 할로겐 램프들 중 적어도 하나 이상의 할로겐 램프가 단락되는지를 판별하는 모니터링 장치 및;
    상기 공정 챔버와 상기 모니터링 장치와 상호 데이터 통신 위해 연결되고, 상기 모니터링 장치로부터 상기 판별 결과에 대응하여 상기 적어도 하나의 할로겐 램프가 단락되었으면, 상기 공정 챔버의 동작을 중지하도록 제어하는 인터락 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 네트워크 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 모니터링 장치는 상기 인터락 장치의 제어 동작을 요청하기 위한 임계 정보를 더욱 구비하되,
    상기 임계 정보는 상기 다수 개의 할로겐 램프들 중 적어도 하나가 단락되어도 상기 인터락 장치로 상기 제어 동작이 활성화되도록 구비하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 네트워크 시스템.
  3. 내부에 다수 개의 할로겐 램프들을 구비하는 공정 챔버와, 상기 공정 챔버의동작을 제어하는 인터락 장치와 상호 데이터 통신 가능한 반도체 제조용 컴퓨터 네트워크 시스템의 제어 방법에 있어서:
    상기 공정 챔버 내부에 웨이퍼가 로트 단위로 로딩되면, 상기 다수 개의 할로겐 램프들의 이상 유무를 판별하기 위한 검출 정보를 온라인으로 받아들이는 단계와;
    상기 검출 정보를 받아서 상기 다수 개의 할로겐 램프들 중 적어도 하나가 단락되었는지를 판별하는 단계 및;
    상기 판별 결과, 적어도 하나의 할로겐 램프가 단락되었으면, 상기 공정 챔버의 동작을 중지하도록 상기 인터락 장치로 요청하는 단계를 포함하여,
    상기 인터락 시스템이 상기 요청에 대응하여 상기 공정 챔버의 동작을 중지하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 네트워크 시스템의 제어 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 판별하는 단계는 상기 인터락 장치의 제어 동작을 요청하기 위한 임계 정보에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 네트워크 시스템의 제어 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2024091405A1 (en) * 2022-10-25 2024-05-02 Applied Materials, Inc. Methods, systems, and apparatus for monitoring radiation output of lamps

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