KR100211643B1 - 반도체 제조설비의 경보장치 - Google Patents
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Abstract
제조라인에 설치된 여러대의 공정설비 중에서 경보상황이 발생된 공정설비를 시각적으로 쉽게 구분시키는 반도체 제조설비의 경보장치에 관한 것이다.
본 발명은, 공정이상 발생시 모니터를 통하여 경보제어신호를 스피커로 인가하여 경보음을 발생시키도록 구성된 반도체 제조설비의 경보장치에서, 상기 모니터로부터 출력되는 상기 경보제어신호를 증폭시키는 달링턴(Darlington) 증폭기를 구비한 증폭부 및 상기 스피커와 병렬로 연결되고, 상기 증폭된 경보제어신호 인가상태에 따라 발광동작하는 발광경보부를 포함하여 이루어진다.
따라서, 경보상태에 따른 설비제어가 즉시 행해질 수 있으므로 설비의 손상이 방지되어, 설비손상에 따른 생산성 감소가 예방될 수 있는 효과가 있다.
Description
제1도는 종래의 반도체 제조설비의 경보장치를 나타내는 블럭도이다.
제2도는 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 경보장치의 실시예를 나타내는 블럭도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 공정메카니즘 12 : 모니터
14 : 스피커 20 : 램프
22 : 증폭부 Q1,Q2 : 트랜지스터
본 발명은 반도체 제조설비의 경보장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제조라인에 설치된 여러대의 공정설비 중에서 경보상황이 발생된 공정설비를 시각적으로 쉽게 구분시키는 반도체 제조설비의 경보장치에 관한 것이다.
통상, 반도체장치를 제조하기 위하여 확산설비, 증착설비, 이온주입설비 및 식각설비 등이 생산라인에 이용되고 있으며, 각 공정설비들은 필요에 의하여 생산라인에서 여러대가 제한된 장소에 설치되어 있다.
이들 공정설비들은 작업관리자의 조작에 따라 정해진 공정을 진행하며, 그 공정은 세팅된 바 파라미터에 의하여 수행되며, 특정 공정이 완료된 반도체장치는 다음 공정설비로 이송되어서 후속되는 공정을 수행하도록 되어 있다.
그리고, 이들 각 공정설비에는 공정이 비정상적으로 수행되거나 구성요소의 결함이 발생되는 등의 상황을 감지하기 위하여 진단기능이 내장되어 있으며, 진단기능에 의하여 공정 수행 중에 비정상적인 공정수행 또는 구성요소의 결함 등이 체크된다. 만약, 설비 이상이나 공정 이상이 체크되면 경보동작이 수행된다.
이 때의 경보동작을 수행하기 위한 종래의 반도체 제조설비의 경보장치가 제1도에 나타나 있다.
종래의 반도체 제조설비의 경보장치는 특정 공정이 수행되는 공정 메카니즘(10)으로부터 동작 전력 및 디스플레이 데이타가 모니터(12)로 입력되도록 연결되어 있으며, 모니터(12)는 입력된 데이타 중 경보제어신호를 스피커(14)로 인가하도록 연결되어 있다. 경보제어신호는 진단기능에 의하여 설비 또는 공정 이상이 공정 메카니즘(10)에서 체크되면 스피커(14)가 동작될 수 있는 일정 레벨 이상의 전압으로 출력되고, 스피커(14)는 모니터(12)를 경유하여 인가되는 경보제어신호의 상태에 따라 경보음을 출력한다.
그러나, 전술한 종래의 경보동작은 경보음을 출력하여 경보상태를 작업자에게 청각적으로 알리도록 되었으므로, 제한된 영역 내에 여러대의 공정설비가 설치된 경우에는 어느 공정설비에서 경보음이 출력되는지 정확히 판별하기 어려웠었다.
그리고, 공정설비별로 약간의 차이점이 있으나, 식각설비의 경우 설계상으로서는 스피커가 약 5.7V의 전압으로 동작되도록 되어 있으나, 실제로 스피커는 설비상의 문제점 또는 공정진행을 위한 공급전력 용량 한계성 등의 이유로 이 보다 휠씬 낮은 전압이 경보제어신호로 인가되었다. 그러므로 정상적으로 경보동작이 이루어지지 않는 경우가 빈번하게 발생되었다.
따라서, 종래의 반도체 제조설비는 경보음이 발생되는 설비의 구분이 어려웠고 심하게는 종종 경보동작이 수행되지 않았기 때문에 경보상황에 대한 적절한 조치를 취하지 못하는 경우가 발생되었다. 이로 인하여 결국 공정설비에 손상을 입히는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 제한된 장소에 설치된 여러대의 반도체 공정설비 중 어느 공정설비에서 경보동작이 수행되고 있는지 시각적으로 정확히 구분할 수 있는 반도체 제조설비의 경보장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 경보동작을 위하여 인가되는 경보제어신호를 증폭시켜서 이상이 발생한 경우 정확한 경보동작이 이루어질 수 있는 반도체 제조설비의 경보장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 경보장치는, 공정이상 발생시 모니터를 통하여 경보제어신호를 스피커로 인가하여 경보음을 발생시키도록 구성된 식각설비의 경보장치에 있어서, 상기 모니터로부터 출력되는 상기 경보제어신호를 증폭시키는 달링턴 증폭기를 구비한 증폭부 및 상기 스피커와 병렬로 연결되고, 상기 증폭된 경보제어신호 인가 상태에 따라 발광동작하는 발광경고부를 포함하여 이루어진다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
제2도는 본 발명의 실시예로서, 제2도에 있어서 제1도와 동일부품은 동일부호로 표시하고 중복되는 설명은 생략한다.
스피커(14)로 인가되는 경보제어신호의 전위 상태에 따라 발광 또는 소광되는 램프(20)가 스피커(14)와 병렬로 연결되고, 이 램프(20) 및 스피커(14)와 모니터(12) 사이에는 증폭부(22)가 모니터(12)로부터 출력되는 경보제어신호를 증폭하여 램프(20) 및 스피커(14)로 인가하도록 구성되어 있다.
증폭부(22)는 제2도와 같이 2개의 트랜지스터(Q1,Q2)를 사용하여 초단 트랜지스터(Q1)의 이미터전류가 다음단 트랜지스터(Q2)의 베이스전류가 되도록 접속하고, 양 트랜지스터(Q1,Q2)의 컬렉터를 같은 부하에 접속하도록 구성한 달링턴 증폭부에 의하여 저항(R1)을 통하여 흐르는 전류를 적(積)으로 증폭하도록 구성되어 있다.
전술한 구성에 의하여, 공정메카니즘(10)에서 설비 및 공정 이상으로 경보상황이 발생되면, 모니터(12)를 경유하여 하이레벨의 경보제어신호가 출력되고, 경보제어신호는 증폭부(22)에서 증폭되어서 램프(20) 및 스피커(14)로 인가된다. 그러면, 램프(20)는 발광되고 스피커(14)는 발음되므로, 경보동작이 시각적 및 청각적으로 수행된다.
그리고, 증폭부(22)에서 경보제어신호는 입력된 전류값의 적(積)으로 증폭되므로, 설비의 이상 및 공급전력의 용량 부족으로 인하여 경보제어신호가 동작 레벨 이하로 전압이 강하되어도 램프(20) 및 스피커(14)의 동작전압 이상 레벨로 증폭되어서 인가된다. 따라서 램프(20) 및 스피커(14)는 경보상태에서 정상적인 경보동작을 수행하게 된다.
또한, 작업관리자는 스피커(14)의 경보음 출력에 의하여 경보상황을 청각적으로 인식하고, 램프(20)의 발광상태를 확인함으로써 어느 공정설비에서 경보가 발생되었는지 시각적으로 쉽게 알 수 있게 된다.
그러므로, 경보상태에 따른 설비제어가 즉시 행해질 수 있으므로 설비의 손상이 방지되어, 설비손상에 따른 생산성 감소가 예방될 수 있으며, 경보제어신호가 안정화되어 설비 이상을 정확하게 검출하여 설비의 이상 미검출로 인한 손상을 줄일 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (1)
- 공정이상 발생시 모니터를 통하여 경보제어신호를 스피커로 인가하여 경보음을 발생시키도록 구성된 반도체 제조설비의 경보장치에 있어서, 상기 모니터로부터 출력되는 상기 경보제어신호를 증폭시키는 달링턴 증폭기를 구비한 증폭부; 및 상기 스피커와 병렬로 연결되고, 상기 증폭된 경보제어신호 인가상태에 따라 발광동작하는 발광경보부; 를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 경보장치.
Priority Applications (1)
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| KR1019960001901A KR100211643B1 (ko) | 1996-01-29 | 1996-01-29 | 반도체 제조설비의 경보장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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| KR970060373A KR970060373A (ko) | 1997-08-12 |
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Cited By (2)
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