JP5002395B2 - 荷電粒子線装置の制御装置 - Google Patents
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Description
102 制御装置
103 CD−SEM本体
104 ネットワーク
105 ターミナルPC
Claims (3)
- 試料への荷電粒子線の走査によって、放出される荷電粒子を検出し、当該検出された荷電粒子に基づいて、前記試料の検査、或いは測定を行う荷電粒子線装置を、設定されたレシピに基づいて制御する制御装置において、
当該制御装置は、前記レシピに従って前記荷電粒子線装置を動作させるときに、前記荷電粒子線装置にて発生するエラーを、エラーログとして記憶する記憶媒体を備え、
前記試料上の同一座標にて同一種類のエラーが所定時間間隔で、或いは所定時間間隔内に複数回発生した場合に、当該エラーを1回として表示装置に表示することを特徴とする制御装置。 - 請求項1において、
前記表示装置は、前記エラーの種類に対する発生回数を表示することを特徴とする制御装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記同一種類のエラーが、所定時間間隔を超えて発生した場合、或いは所定時間間隔内に複数回発生しなかった場合に、当該エラーをその発生回数として前記表示装置に表示することを特徴とする制御装置。
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