JP2001196297A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明の目的は、エラーを検出した場合であっ
ても露光装置の停止を極力なくして稼働率を向上させる
ことにある。 【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、電
子ビームを発生する電子ビーム源と、制御信号に基づい
て該電子ビームの照射もしくは非照射を行う照射手段
と、該電子ビーム源から発生する電子ビームを露光パタ
ーンに対応して偏向する偏向手段と、該電子ビーム源か
ら発生する電子ビームを露光物上に集束する集束手段と
を備えた露光装置において、該制御信号の異常を監視す
る監視手段と、該制御信号が異常である場合に該制御信
号を該照射手段へ入力させないマスク手段とを備えたも
のである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、イオンビームや電
子ビーム等の所謂荷電粒子ビームを使用した露光装置に
関するものであり、特にスループットの向上を考慮した
露光装置に関する技術である。

【０００２】

【従来の技術】従来の露光装置は、ビームを照射する時
間もしくは照射しない時間を規定したブランキング信号
に基づいて対象物を露光していた。しかし、高精度なタ
イミング制御が必要なブランキング信号発生部ではノイ
ズの影響を受けやすいため、そのブランキング信号の状
態を管理することは重要であった。ブランキング信号を
制御する回路の故障を検出する技術については特開平１
１−２１９６７９号公報などに開示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
露光装置においては、エラーが発生した場合のスループ
ットについては十分には考慮されていなかった。半導体
製造装置のような生産設備では、歩留まりだけでなく、
スループットも重要であり、装置の停止を極力なくし、
装置の稼働率を上げることも要求されている。

【０００４】本発明の目的は、エラーを検出した場合で
あっても露光装置の停止を極力なくして稼働率を向上さ
せることにある。

【０００５】

【課題を解決しようとする手段】本発明は、上記目的を
達成するために、電子ビームを発生する電子ビーム源
と、制御信号に基づいて該電子ビームの照射もしくは非
照射を行う照射手段と、該電子ビーム源から発生する電
子ビームを露光パターンに対応して偏向する偏向手段
と、該電子ビーム源から発生する電子ビームを露光物上
に集束する集束手段とを備えた露光装置において、該制
御信号の異常を監視する監視手段と、該制御信号が異常
である場合に該制御信号を該照射手段へ入力させないマ
スク手段とを備えたものである。

【０００６】また、前記制御信号の有する識別情報を検
出する検出手段と、該検出手段が検出した識別情報に基
づいて露光動作を再スタートさせる露光パターンを設定
する設定手段と、該設定手段により設定された露光パタ
ーンから露光動作を再スタートさせる手段とを備えたも
のである。

【０００７】また、前記識別情報に対応した露光パター
ン以前の露光パターンから露光動作を再スタートさせる
ものである。

【０００８】また、照射もしくは/および非照射時間を
規定したブランキング信号に基づいて被露光物を露光す
る露光装置において、ブランキング信号の異常を検出し
た場合に該ブランキング信号に基づいて被露光物を露光
しないように構成したものである。

【０００９】また、異常の発生したブランキング信号の
有する識別情報を検出する検出手段と、該検出手段が検
出した識別情報に基づいて露光動作を再スタートさせる
手段とを備えたものである。

【００１０】また、前記識別情報に対応した露光パター
ン以前の露光パターンから露光動作を再スタートさせる
ものである。

【００１１】また、照射もしくは/および非照射時間を
規定したブランキング信号に基づいて被露光物を露光す
る露光装置において、ブランキング信号の異常を検出す
る検出手段と、該検出手段による検出結果を出力するも
のである。

【００１２】また、前記検出結果は、異常内容毎の発生
回数を含むものである。

【００１３】また、前記検出手段が検出した回数が所定
回数を超えた場合に警告する警告手段とを備えたもので
ある。

【００１４】また、前記検出結果は、前記異常が発生し
た位置情報を含むものである。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１か
ら図１３により具体的に説明する。

【００１６】図１は、本発明による露光装置の一構成例
を示す。図において、１は制御部全体の統括的制御と露
光パターンデータなどの制御データを生成、演算するた
めの制御用プロセッサ、２は制御用プロセッサと各制御
部との間のデータフォーマット変換やバッファ等で構成
される制御インターフェイス部、３は入出力インターフ
ェイス（以下、入出力Ｉ／Ｆと略記）、４はユーザイン
ターフェイス（以下、ユーザＩ／Ｆ）、５は主にハード
ディスク等の記憶装置、６は露光パターンデータを一時
的に保持するデータバッファメモリ、７は露光処理に関
するデータ処理及び動作順序などを制御するシーケンス
制御部、８は制御インターフェイス部を経由した露光パ
ターンデータに基づいて電子ビームの照射時間及び/も
しくは待ち時間とに関するデータを生成する露光パター
ン発生部、９は偏向器及びアパーチャの制御と微調整を
行うパターン補正部、１０は前記露光パターン発生部８
から出力された電子ビームの照射時間及び/もしくは待
ち時間に従ったブランキングパルス波形（ブランキング
信号）を生成するブランキング制御部、１１はブランキ
ング制御部で生成したブランキングパルス波形（ブラン
キング信号）が正常か否かを検出しその検出結果を出力
するエラー検出部、１２はエラー検出部１１からの信号
に基づいてブランキング制御部１０から出力されるブラ
ンキングパルス波形（ブランキング信号）をマスクする
マスク回路である。これらでデータ制御系を構成する。

【００１７】さらに、２１はビームを照射する電子銃、
２２はブランキングパルス波形（ブランキング信号）に
基づいて電子ビームのオン・オフ制御を行うブランキン
グプレート（オン・オフ制御用アパーチャ）、２３はブ
ランキングのオン・オフ用偏向器、２４は第一偏向器、
２５は第二偏向器、２６は被加工物２７を載せかつ移動
可能なステージ、２８は様々な露光したいパターン形状
が形成されているパターン形成用アパーチャ、２９は精
度向上のためにビームを修正するビーム修正用アパーチ
ャ、３０は第三偏向器である。これらで稼動系を構成す
る。ステージ２６の制御は、制御用プロセッサ１からの
制御データを受けたシーケンス制御部７によりステージ
制御部１３を介して行われる。同様に、偏向器２４、２
５の制御についても、シーケンス制御部７からの制御デ
ータによりパターン補正部９を介して行われる。また、
露光パターン発生部８、パターン補正部９、ステージ制
御部１３などはシーケンス制御部７によりそれぞれ矛盾
なく連動するように制御されている。また、ここで、第
一、第二、第三偏向器が電子ビームを露光パターンに対
応して偏向する手段となり、各種アパーチャが電子ビー
ムを露光物上に集束する手段となり、また、パターン形
成用アパーチャに形成されるパターンを組み合わせるこ
とで所望の露光パターンが形成される。

【００１８】図１に示した電子ビーム露光装置の動作の
概略を説明する。

【００１９】まず、電子ビーム露光装置では、照射時間
及び/もしくは待ち時間を定義した露光パターンデータ
を制御用プロセッサ１から出力し、制御インタフェース
２及びデータバッファメモリ６を介して露光パターン発
生部８へ入力される。露光パターン発生部８では、この
露光パターンデータに基づいて電子ビームの照射時間及
び/もしくは待ち時間に関するデータ（例えば、偏向量
データやブランキングタイミングデータ）を生成し、そ
の生成したデータをブランキング制御部１０とパターン
補正部９へ出力する。出力されたデータを受けたブラン
キング制御部１０では、その受信データに基づいて図１
に記載するようなブランキングパルス波形（ブランキン
グ信号）を生成する。そして、電子ビーム露光装置で
は、このブランキングパルス波形（ブランキング信号）
に従って、オン・オフ用偏向器２３を制御して電子銃２
１からのビーム照射のオン・オフを行う。なお、電子銃
２１や偏向器２３等の構成は図１に示す構成に制限され
るものでなく、単にブランキングパルス波形（ブランキ
ング信号）に基づいてビームの照射をオン・オフするよ
うに構成すれば良い。

【００２０】次に、エラー検出部１１では、ブランキン
グ制御部１０で生成したブランキングパルス波形（ブラ
ンキング信号）に異常がないか否かを検出可能に構成
し、異常の有無に応じて所定の信号をマスク回路１２に
出力するように構成する。マスク回路１２は、入力され
たブランキングパルス波形（ブランキング信号）をマス
クして偏向器２３へ出力しないように、すなわち被加工
物に対してビームを照射しないように制御する。一方、
異常状態から正常状態に戻ったことをエラー検出部１１
が検出した場合、エラー検出部１１はマスク回路１２の
マスク機能を解除してブランキングパルス波形（ブラン
キング信号）を偏向器２３へ出力するように制御し、正
常時の動作に戻る。

【００２１】図２は、図１に示す露光装置におけるブラ
ンキング制御部１０、エラー検出部１１、マスク回路１
２の出力波形を示す。なお、図中の理想出力とは、ブラ
ンキング制御部１０からのエラーのない出力を意味す
る。

【００２２】図から分かるように、ブランキング制御部
１０からの出力にエラーが発生した期間、マスク回路１
２のマスク機能を動作させているのでマスク１２からの
出力は理想出力となっている。

【００２３】以上のように、エラー検出部１１およびマ
スク回路１２を備えれば、ブランキングパルス波形（ブ
ランキング信号）にエラーが発生したとしても、エラー
波形に基づいて被加工物を露光することはなくなる。従
って、照射時間が実際よりも長くなるような異常が発生
した場合に本実施例の構成は好適である。特に、異常状
態が１周期（照射時間と待ち時間とを組み合わせた期
間）を超えずに発生する場合に極めて有効である。そし
て、ブランキングパルス波形（ブランキング信号）にエ
ラーがあったとしても、ステージ２６等の動作は継続さ
せ、エラーが発生した間だけビームを照射しないように
制御しているので、装置のスループットを下げることな
い。

【００２４】次に、図１に示したブランキング制御部１
０とエラー検出部１１との詳細な構成例を図３を用いて
説明する。図３においては、露光データ発生部８に生成
した偏向量データとブランキングタイミングデータとに
基づいてブランキングパターン波形（ブランキング信
号）を生成する例である。なお、ブランキングタイミン
グデータは照射時間に対応し、偏向量データは待ち時間
に対応する。

【００２５】そして、図３では、ブランキング制御部１
０は、偏向量データから待ち時間終了フラグを出力する
整定待ち時間生成部３３と、その待ち時間終了フラグを
きっかけとしてブランキングタイミングデータからブラ
ンキングパルス波形（ブランキング信号）のパルス幅を
生成するブランキング信号生成部３１とで構成される。

【００２６】また、エラー検出部１１は、ブランキング
信号生成部３１の出力したブランキングパルス波形（ブ
ランキング信号）の有するパルスについてＨｉレベルか
Ｌｏｗレベルかと言った状態を所定時間間隔で検出する
ことで、そのパルスに対応した照射時間もしくは/およ
び待ち時間に関するデータを出力するパルス検出回路３
４と、露光パターン発生部８の出力した照射時間もしく
は/および待ち時間に関するデータを保持するパターン
バッファメモリ３６と、パルス検出回路３４の出力とパ
ターンバッファメモリ３６の出力とを比較し、比較結果
に基づいて所定の信号をマスク回路１２に対して出力す
る比較回路３５とで構成される。

【００２７】この詳細動作は以下の通りである。

【００２８】まず、ブランキング信号の生成するにあた
り、整定待ち時間生成部３３は、偏向量データからＤＡ
Ｃ（デジタル/アナログ変換器）の整定待ち時間を算出
して待ち時間をカウントする。待ち時間が終了すると、
待ち時間終了フラグがブランキング信号生成部３１へ送
られる。ブランキング信号生成部３１では、待ち時間終
了フラグを受けるとブランキングタイミングデータに基
づいて露光パルス幅をカウントしてブランキング信号を
送出する。一方、エラー検出部１１では、パルス検出回
路３４がブランキング信号（ブランキングパルス波形）
の有する露光パルス幅を検出し、比較回路３５がその検
出結果とパターンバッファメモリ３６から得られるブラ
ンキングタイミングデータに基づく照射時間とを比較す
る。比較結果は、ブランキング制御部のマスク回路１２
に送られ、異常を検出したタイミングで即マスクし、ブ
ランキングを停止する。このマスク指示は、露光パター
ンデータで指示された照射時間を越えるような異常信号
が送出されることがないタイミングで行う。

【００２９】以上の構成により、エラー検出部１１は、
ブランキング信号生成部３１で生成したブランキングパ
ルス波形（ブランキング信号）の異常を検出でき、その
エラー波形に基づいてマスク回路１２を制御することが
可能となる。また、マスク回路１２を用いることで、ブ
ランキング信号生成部３１で生成したブランキングパル
ス波形（ブランキング信号）の状態を常に監視すること
が可能となる。なお、マスク回路１２はブランキング制
御部１０の中に含まれるように構成しても問題はない。

【００３０】次に、ブランキングパルス波形（ブランキ
ング信号）にエラー波形が発生した場合に、エラー発生
以前に戻って再スタートさせる電子ビーム露光装置につ
いて説明する。本実施例によれば、異常状態が１周期
（照射時間と待ち時間とを組み合わせた期間）を超えて
発生する場合に極めて有効である。

【００３１】図４は、その電子ビーム露光装置の一構成
例を示す。なお、被加工物を露光する基本動作は図１に
示す構成例と同じであるので、両者の相違点について主
に説明する。

【００３２】まず、本実施例においては、エラー検出部
１１がブランキングパルス波形（ブランキング信号）の
エラー状態を検出すると、マスク回路１２を動作させて
ブランキング制御部１０からの出力をマスクするととも
に、リカバリー制御部１５に対して再度、エラー発生部
分を照射するように信号を出力する。そのリカバリ制御
部１５は、エラーが発生したブランキングパターン波形
のパターン番号を検出できるように構成されており、ま
たそのパターン番号から再スタートもしくはそのパター
ン番号から所定数戻ったパターン番号から再スタートす
るように制御用プロセッサ１に対して信号を出力する。
そして、制御用プロセッサ１が、再スタートするための
信号を出力すると、シーケンス制御部７はステージ制御
部１３を制御して再スタートするパターン番号に対応し
た位置へステージを移動させて露光動作を再開する。当
然のことながら、マスク回路１２は再開前にマスク機能
を解除するように制御される。

【００３３】図５は、図４に示す露光装置におけるブラ
ンキング制御部１０、エラー検出部１１、マスク回路１
２、リカバリ制御部１５の出力波形を示す。なお、図中
の理想出力とは、ブランキング制御部１０からのエラー
のない出力を意味する。

【００３４】図から分かるように、ブランキング制御部
１０からの出力にエラーが発生すると、マスク回路１２
のマスク機能を動作させるとともに、リカバリ制御部１
５からの停止命令に基づき露光動作を停止させる。そし
て、リカバリ制御部１５からの再スタート命令により、
例えばエラーの発生したパルス以降のデータに基づいて
露光動作を再スタートする。

【００３５】図６及び図７は、図５に示すブランキング
制御部１０、エラー検出部１１およびリカバリ制御部１
５の一構成例を示す。なお、比較回路３５が、パルス検
出回路３４とパターンバッファメモリ３６との比較結果
により異常を検出し、その検出信号によりマスク回路１
２を動作させる点においては前述の実施例と同様なの
で、それ以降の動作について説明する。

【００３６】まず、比較回路３５が比較結果によりエラ
ー状態を検出すると、検出信号（エラーフラグ）をエラ
ー内容とともにリカバリ制御部１５に入力する。また、
パターンバッファメモリ３６に保持されたパターンのパ
ターン番号、すなわち比較回路３５で比較対象となった
パターン番号をリカバリ制御部１５へ入力する。なお、
リカバリ制御部へ送られるエラー内容としては、ブラン
キングパルス波形（ブランキング信号）の有する照射時
間もしくは/および待ち時間がパターンバッファメモリ
３６で保持されていた比較値より大きい（長い）のか、
小さい（短い）のか等がある。

【００３７】リカバリ制御部１５では、シーケンス制御
部７へ一時停止要求を送信し、制御部全体の矛盾がない
よう一時的に装置全体（または一部）を停止させるとと
もに、エラー検出部１１から出力されるパターン番号を
パターンバッファメモリ４３で保持する。なお、保持す
る対象はパターン番号でなくとも良く、エラー検出部１
１が有するパターンバッファメモリ３６で保持した露光
パターンデータ自体を保持するように構成してもよい。
この場合、リカバリシーケンサ４２が、その保持したデ
ータの有するパターン番号を検出するように構成してお
く。

【００３８】その後、保持されたパターン番号はリカバ
リシーケンサ４２により検出され、リカバリパターンア
ドレス生成４４へ出力される。リカバリパターンアドレ
ス生成４４では、その検出結果から再スタートすべきパ
ターン番号を生成し、その生成したデータを制御インタ
ーフェース２を介して制御用プロセッサ１へ出力する。
制御用プロセッサ１は、この受信データに基づいて再ス
タートを実行するようにシーケンス制御部７などを制御
する。

【００３９】再スタートする場合、マスク回路１２のマ
スク機能を解除する必要があるが、制御用プロセッサ１
により解除したり、再スタートすべきパターン番号のデ
ータに解除命令用のデータを付加し、露光パターン生成
部８が解除命令用のデータに基づいてマスク機能を解除
するように構成すれば良い。

【００４０】また、リカバリ制御部１５もしくは制御用
プロセッサ１は、エラー内容に基づいて再スタートする
か否かを決定するように構成されてもよい。例えば、所
定のエラー内容が連続した場合、もしくはエラー内容が
所定回数を超えた場合以外は、再スタートさせるように
構成してもよい。

【００４１】また、露光装置における全ての露光動作を
停止させずに、マスク回路１２を動作させてブランキン
グ制御部１０からの出力をマスクするように構成するこ
ともできる。この場合、エラー検出部１１が再スタート
までにエラー状態を複数回検出することが有りうるが、
この場合は、制御用プロセッサ１はその都度、再スター
ト動作を繰り返さないように制御しておくことが好まし
い。すなわち、最初のエラー状態検出信号を受信した
後、再スタートするまでの間に受信したエラー検出信号
は無視するように制御することが好ましい。また、所定
回数以上のエラー検出信号を受信した場合は、アラーム
などによりエラー信号を出力させることが使い勝手を向
上させる上では非常に有効である。エラー信号を発生さ
せる場合の受信回数を自由に設定できるようにすればさ
らに使い勝手は向上する。

【００４２】次にパターンバッファメモリ４３に保持し
た露光パターンデータを保持させ、そのデータを用いて
再スタートするか否かを判断する実施例について説明す
る。

【００４３】本実施例においては、前述の図７に示す構
成とほぼ同じ構成であるが、リカバリ制御部１５は、異
常検出結果（露光パターンアドレス、露光内容、異常発
生までのパルス幅等）をエラーパターンバッファメモリ
４３で保持する。同時に、リカバリ制御部１５は、シー
ケンス制御部７へ一時停止要求を送信し、制御部全体の
矛盾がないよう一時的に装置全体（または一部）を停止
させる。リカバリ制御部１５内のリカバリシーケンサ４
２は、エラーパターンバッファメモリ４３に格納されて
いる異常が発生した露光パターンデータを露光パターン
制御部８へ送信する。この時、ブランキング信号の出力
部はマスクする。ブランキング制御部１０では、その異
常が発生した露光パターンデータをもとにブランキング
信号を生成する。この信号をエラー検出部１１が、前記
と同様に異常の有無を監視する。この結果、異常がなけ
れば、シーケンス制御部１０もしくは制御用プロセッサ
１に異常が発生した露光パターン、または、それ以前の
パターンデータからの再開指示信号を送信する。露光を
再開する時、一つの露光パターンデータから作られたブ
ランキング信号の送出途中であった場合、その露光パタ
ーンデータにより再度ブランキング信号を生成するとと
もに、異常終了した時点まで、ブランキング信号をマス
クし、異常終了したところからマスクをはずし、電子ビ
ーム発生部へのブランキング信号の送信を再開する。整
定待ち時間の途中であった場合、再度指定した時間を経
過した後、ブランキングを再開する。一方、再度異常が
発生した場合、あらかじめ指定された回数まで前記リカ
バリ処理を繰り返すが、それでも正常にならなかった場
合、突発的な異常ではないと判断し、露光処理を終了す
る。

【００４４】図８にこの場合のリカバリシーケンサの動
作モードを示す。リカバリシーケンサ４２は、エラーフ
ラグを受けると、通常動作状態-Normal（４５）からリ
カバリ処理状態―Recovery（４６）に遷移する。リカバ
リ処理の結果、異常がなく、エラーフラグがなかった場
合、Normal状態（４５）へ遷移する。しかし、ここでリ
カバリ不可であった場合、Stop状態（４７）へ遷移し、
リカバリシーケンサ４２は停止する。リカバリシーケン
サ４２の停止により、シーケンス制御部７は、装置の停
止処理を開始する。

【００４５】図９にエラーパターンバッファメモリの一
例を示す。ある露光パターンデータに対応するブランキ
ング信号に異常が発生した場合、リカバリ制御部１５
は、エラーパターンバッファメモリ４３に保持される露
光パターンアドレスを元にリカバリ処理を行う。このと
き、異常が発生した露光パターンからの再開では、ステ
ージなどの稼動部の状態が異常発生時と異なることか
ら、エラー発生を再現できないことがあるため、異常が
発生した露光パターンより前のデータより再開すること
も考慮する。すなわち、図９では、エラーパターンバッ
ファメモリの構造をＦＩＦＯ(First-in-First-Out)と
し、再開時の戻りパターン数分(n)の段数を設けている
ので、異常が発生した露光パターンより以前のデータに
基づいて再開することが可能となる。図９で説明したＦ
ＩＦＯはエラーパターンバッファメモリの一構造例であ
り、露光パターンアドレスを遡れる構造であれば、いか
なる構造でも構わない。

【００４６】以上のように、異常が発生した露光パター
ンより以前のデータより再スタートできるようすること
で、何らかの原因でエラー状態がしばらくの間（例え
ば、複数の周期にまたがる程度の時間）続く場合に有効
である。

【００４７】次に、エラー原因の解析に好適な実施例に
ついて図１０を用いて説明する。

【００４８】図１０においては、エラー検出部１１から
出力されるエラーフラグを異常時ログ採取部１７を介し
てログメモリ１６に記憶する。例えば、異常時ログ採取
部１７は、ブランキング制御部のブランキング信号を生
成する回路の主要なフリップフロップ（F/F）の内容を
採取し、その結果をログメモリ１６に格納する。すなわ
ち、フリップフロップ（F/F）を用いてエラー内容を判
別可能に構成しておく。エラー内容としては、所望の照
射時間もしくは待ち時間より短いもしくは長いと言った
ものが挙げられる。ログメモリ１６は、異常発生時のF/
Fの内容をファーストログメモリ５１に保持し続け、そ
れ以降は、シーケンス制御部７またはリカバリ制御部１
５からのログ停止信号を受けるまで、ログバッファ５２
に採取し続ける。実装されたログメモリサイズを越えた
場合、古いデータから上書きする。なお、ログメモリの
サイズは、装置実装上の制約に合わせ決定する。また、
ログメモリ１６は、露光装置自体が備えてなくとも、他
のデータベースなどに記憶させるようにしてもよい。

【００４９】次に、ログメモリ１６に格納された情報を
用いて図１１や図１２に示す解析画面を生成する。

【００５０】図１１は、エラーの発生したタイプ別に個
数を出力表示させたものである。タイプとしては、１周
期内で発生したエラー、２周期続けて発生したエラー、
３周期続けて発生したエラーなど連続して発生した周期
（時間）に対応させて区別したり、所望のパルス波形よ
りも長いもしくは短い場合に区別したものが挙げられ
る。また、発生個数は、チップ内、ウエハ内などの所定
のエリアにおいてカウントできるように構成する。エリ
アを限定して発生個数をカウントする場合は、どのチッ
プのエラーなのかが分かるように、チップの識別情報を
含ませてログメモリ１６に記憶するように構成する。ま
た、ユーザなどが指定した特定エリアで発生したエラー
の個数をカウントするには、エラーを検出した位置情報
をシーケンス制御部７もしくはステージ制御部１３から
得るように構成すればよい。もしくは、エラーの発生し
たパターンのパターン番号からウエハ内の位置（アドレ
ス）を算出させ、その算出結果に基づいて特定エリアな
いで発生したエラーの個数をカウントするように構成す
る。

【００５１】このように発生したエラーの数を区分けし
て出力するようにすれば、規則的に発生したエラーなの
か、突発的に発生したエラーなのかが判断でき、対策す
べきエラーなのか否かが判断できる。突発的なエラーの
場合は、再現性がないので対策する必要性は低いが、上
記のように区分けすることで再現性のあるエラーを把握
することが可能となるので、早期にかつ適切に露光装置
などを対策することが可能となる。

【００５２】次に、図１２は、エラーの発生した位置を
出力表示させたものであり、半導体ウエハーに形成され
たチップ内でエラーが発生した位置を表示している。チ
ップに付されている数字は、ウエハ内のチップアドレス
を示している。このようにエラーの発生した位置を表示
するには、エラーを検出した位置情報をシーケンス制御
部７もしくはステージ制御部１３から得るように構成す
るか、エラーの発生したパターンのパターン番号からウ
エハ内の位置（アドレス）を算出させるように構成し、
その位置情報をログメモリ１６に格納するように構成す
る。また、エラーを検出したチップのチップアドレスも
同時に記憶するように構成する。このように構成すれ
ば、解析したいチップが指定されると、上記の記憶情報
を用いて指定チップの有するエラーの位置情報を抽出で
き、その位置情報に基づいて表示することが可能とな
る。また、その位置情報を他の検査装置に送信可能に構
成しておけば、そのエラーの発生した位置に自動的に位
置合わせして詳細に検査することも可能となる。

【００５３】例えば、完成したウエハに対して電気的特
性を試験し、そのウエハのフェイルビットマップを作成
することができるが、このフェイルビットの位置データ
と、図１２に示すエラー発生した位置データとを用いて
照合すれば、照合した結果が一致したエラーは最終的に
不良ビットとなるものであるので、この一致する割合が
高いもしくは個数が多いと、ここでのエラーが歩留まり
に影響しやすいと判断できる。特に、前述のような、マ
スクしたことによる影響や、再スタートさせたことによ
る影響について検討することが可能となる。

【００５４】次に、ブランキング制御部と電子ビーム源
が別な筐体で構成され、その間に伝送線路が存在する場
合について図１３を用いて説明する。

【００５５】この場合、ブランキング信号がブランキン
グ用偏向器２３へ届くまでの異常を検出するため、ブラ
ンキング信号伝送線４３に冗長な別系統４４を設け、こ
の信号を電子銃がある筐体内または近傍に設ける比較器
４１で比較し、その比較結果が不一致になった場合、電
子銃へのブランキング信号をマスクする。この時のパル
ス幅を伝送線４５により、ブランキングパルスモニタ１
１へ送信する。この結果をもとに前述したリカバリ処理
をリカバリ制御部１５により行う。

【００５６】以上説明したように、電子ビーム露光装置
のブランキング信号を監視し、故障発生時には、ブラン
キング信号をマスクする手段を設けたり、故障発生時の
露光パターンデータをもとにリカバリ処理を行う手段を
設けたりすることで、再現性の低い故障時の復旧時間を
短縮することが可能となる。すなわち、故障検出から復
旧までの時間を短縮し、スループットを向上させること
が可能となる。

【００５７】また、故障発生時の内部状態のロギング手
段を設けることで、故障原因の解析を容易にすることが
可能となる。

【００５８】

【発明の効果】本発明によれば、露光装置の停止を極力
なくして稼働率を向上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一構成例を示すブロック図である。

【図２】本発明を構成する各ブロックのタイミングチャ
ートである。

【図３】本発明の一構成例を示すブロック図である。

【図４】本発明の一構成例を示すブロック図である。

【図５】本発明を構成する各ブロックのタイミングチャ
ートである。

【図６】本発明の一構成例を示すブロック図である。

【図７】本発明の一構成例を示すブロック図である。

【図８】リカバリシーケンサの動作モード図である。

【図９】エラーパターンメモリバッファの構成図であ
る。

【図１０】本発明の一構成例を示すブロック図である。

【図１１】本発明の一解析画面を示す図である。

【図１２】本発明の一解析画面を示す図である。

【図１３】本発明の一構成例を示すブロック図である。

【符号の説明】

１・・・制御用プロセッサ ２・・・制御インターフェイス部 ３・・・入出力装置 ４・・・記憶装置 ５・・・ユーザインターフェイス ６・・・データバッファメモリ ７・・・シーケンス制御部 ８・・・露光パターン発生部 ９・・・パターン補正部 １０・・・ブランキング制御部 １１・・・ブランキングパルスモニタ部 １２・・・リカバリ制御部 １３・・・ステージ １４・・・ログ採取制御部 １５・・・ログメモリ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安藤 公明 茨城県ひたちなか市市毛882番地 株式会 社日立製作所計測器グループ内 Ｆターム(参考） 2H097 AA03 CA16 LA10 5F056 BC10 CB05

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子ビームを発生する電子ビーム源と、制
   御信号に基づいて該電子ビームの照射もしくは非照射を
   行う照射手段と、該電子ビーム源から発生する電子ビー
   ムを露光パターンに対応して偏向する偏向手段と、該電
   子ビーム源から発生する電子ビームを露光物上に集束す
   る集束手段とを備えた露光装置において、該制御信号の
   異常を監視する監視手段と、該制御信号が異常である場
   合に該制御信号を該照射手段へ入力させないマスク手段
   とを備えたことを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】前記制御信号の有する識別情報を検出する
   検出手段と、該検出手段が検出した識別情報に基づいて
   露光動作を再スタートさせる露光パターンを設定する設
   定手段と、該設定手段により設定された露光パターンか
   ら露光動作を再スタートさせる手段とを備えたことを特
   徴とする請求項１記載の露光装置。
3. 【請求項３】前記識別情報に対応した露光パターン以前
   の露光パターンから露光動作を再スタートさせることを
   特徴とする請求項２記載の露光装置。
4. 【請求項４】照射もしくは/および非照射時間を規定し
   たブランキング信号に基づいて被露光物を露光する露光
   装置において、ブランキング信号の異常を検出した場合
   に該ブランキング信号に基づいて被露光物を露光しない
   ように構成したことを特徴とする露光装置。
5. 【請求項５】異常の発生したブランキング信号の有する
   識別情報を検出する検出手段と、該検出手段が検出した
   識別情報に基づいて露光動作を再スタートさせる手段と
   を備えたことを特徴とする請求項４記載の露光装置。
6. 【請求項６】前記識別情報に対応した露光パターン以前
   の露光パターンから露光動作を再スタートさせることを
   特徴とする請求項５記載の露光装置。
7. 【請求項７】照射もしくは/および非照射時間を規定し
   たブランキング信号に基づいて被露光物を露光する露光
   装置において、ブランキング信号の異常を検出する検出
   手段と、該検出手段による検出結果を出力することを特
   徴とする露光装置。
8. 【請求項８】前記検出結果は、異常内容毎の発生回数を
   含むことを特徴とする請求項７記載の露光装置。
9. 【請求項９】前記検出手段が検出した回数が所定回数を
   超えた場合に警告する警告手段とを備えたことを特徴と
   する請求項７又は８記載の露光装置。
10. 【請求項１０】前記検出結果は、前記異常が発生した位
    置情報を含むことを特徴とする請求項７記載の露光装
    置。