JP6587994B2 - ブランキングアパーチャアレイ装置、荷電粒子ビーム描画装置、および電極テスト方法 - Google Patents
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Description
2 駆動回路
3 アパーチャ
4a、4b、4c 配線
5a、5b、5c ビアプラグ
6a 電極(偏向電極、ブランキング電極)
6b 電極(グランド電極、アース電極)
7 比較回路
11 基板
12 絶縁膜
13 導電膜
14 絶縁膜
15 絶縁膜
20 ビーム
20a、20b、20c、20d、20e マルチビーム
21 第1圧縮回路
22 第2圧縮回路
23 テスト出力回路
23a ORゲート
23b フリップフロップ回路
24 テスト出力回路
24a NOTゲート
24b NORゲート
100 EB描画装置
101 試料
110 描画部
111 電子鏡筒
112 描画室
113 XYステージ
114 ミラー
120 制御部
121 制御計算機
122 メモリ
123 偏向制御回路
124 ステージ位置検出器
125 記憶装置
126 記憶装置
131 データ処理部
132 描画制御部
200 電子ビーム
201 電子銃
202 照明レンズ
203 アパーチャ部材
203a 矩形領域
203b 穴
204 ブランキングアパーチャアレイ装置
205 縮小レンズ
206 制限アパーチャ部材
207 対物レンズ
208 偏向器
209 ブランキングアパーチャステージ装置
Claims (5)
- アレイ状に配置され、複数の荷電粒子ビームのブランキングがそれぞれ行われる複数のアパーチャと、
前記複数のアパーチャに対してそれぞれ設けられた第1電極、第2電極、第1ビアプラグ、第2ビアプラグ、駆動手段、および比較手段であって、
ブランキング制御を行う第1電極と、
前記第1電極と対向し、グランド接続された第2電極と、
前記第1電極に電気的に接続された第1ビアプラグと、
前記第1電極に電気的に接続された第2ビアプラグと、
前記第1電極を駆動する駆動信号を、前記第1ビアプラグを介して前記第1電極に供給する駆動手段と、
前記第1電極に対応して設けられ、前記駆動信号と、前記第2ビアプラグから得られた信号とを比較して、前記比較の結果を示す比較結果信号を出力する比較手段と、
を備えるブランキングアパーチャアレイ装置。 - 前記複数のアパーチャを複数のブロックに分け、前記比較手段からの比較結果信号の出力を前記ブロックごとに圧縮し、前記圧縮の結果を示す圧縮結果信号を出力する圧縮手段をさらに備える、請求項1に記載のブランキングアパーチャアレイ装置。
- 前記比較結果信号は、前記駆動信号の論理レベルと、前記第2ビアプラグから得られた信号の論理レベルとの排他的論理和の演算結果を示す、請求項1または2に記載のブランキングアパーチャアレイ装置。
- アレイ状に配置され、複数の荷電粒子ビームのブランキングがそれぞれ行われる複数のアパーチャと、
前記複数のアパーチャに対してそれぞれ設けられた第1電極、第2電極、第1ビアプラグ、第2ビアプラグ、駆動手段、および比較手段であって、
ブランキング制御を行う第1電極と、
前記第1電極と対向し、グランド接続された第2電極と、
前記第1電極に電気的に接続された第1ビアプラグと、
前記第1電極に電気的に接続された第2ビアプラグと、
前記第1電極を駆動する駆動信号を、前記第1ビアプラグを介して前記第1電極に供給する駆動手段と、
前記第1電極に対応して設けられ、前記駆動信号と、前記第2ビアプラグから得られた信号とを比較して、前記比較の結果を示す比較結果信号を出力する比較手段と、
前記比較結果信号に基づいて、前記荷電粒子ビームによる描画を制御する制御手段と、
を備える荷電粒子ビーム描画装置。 - アレイ状に配置され、複数の荷電粒子ビームのブランキングがそれぞれ行われる複数のアパーチャに対して、第1電極、第2電極、第1ビアプラグ、第2ビアプラグ、駆動手段、および比較手段がそれぞれ設けられたブランキングアパーチャアレイ装置についての電極テスト方法であって、
前記第1電極を駆動する駆動信号を、前記第1電極に電気的に接続された前記第1ビアプラグを介して前記駆動手段から前記第1電極に供給する工程と、
前記第1電極に対応して設けられた比較手段が、前記駆動信号と、前記第1電極に電気的に接続された前記第2ビアプラグから得られた信号とを比較して、前記比較の結果を示す比較結果信号を出力する工程と、
前記比較結果信号に基づいて、前記ブランキングアパーチャアレイ装置が不良であるかどうかを判定する工程と、
を備える電極テスト方法。
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