JP2011158256A - 外観不良,欠陥,指定ポイントの自動工程トレース機能を有するレビュー装置。 - Google Patents
外観不良,欠陥,指定ポイントの自動工程トレース機能を有するレビュー装置。 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】外観検査装置から出力される外観不良箇所の位置を、SEM式レビュー装置内の絶対座標として記憶し、工程が異なっても、ユーザーが指示した絶対座標の自動撮像を実施することによって工程トレースが容易に実施可能となる。
【選択図】 図10
Description
51 欠陥位置
52 ウェハ
71 SEMの視野
72 同一欠陥を複数の検査装置で検査した時の誤差
73 外観検査装置Aで検査した時の欠陥の位置
74 外観検査装置Bで検査した時の欠陥の位置
75 外観検査装置Cで検査した時の欠陥の位置
81 SEMの視野
82 SEM式レビュー装置のステージ移動に伴う誤差
83 外観検査装置で検出された欠陥の欠陥位置
Claims (8)
- 外観検査装置で検出された外観不良座標(欠陥)に基づいてその部分の自動撮像を実行するレビュー装置において、上記欠陥部及び追加指定部の自動撮像を実行するレビュー装置。
- 外観検査装置で検出された外観不良座標(欠陥)及び追加指定部の自動撮像をレビュー装置上での絶対座標を元に後工程においても自動撮像するレビュー装置。
- 前記自動撮像する場所および外観不良座標(欠陥)の指定がレビュー装置上での絶対座標で記述された位置情報をレビュー装置内部に記憶し、その位置情報を元に自動撮像するレビュー装置。
- 前記自動撮像する場所及び外観不良座標(欠陥)の指定がレビュー装置上での絶対座標で記述された位置情報を、位置情報ファイルとして生成し、そのファイルを外部に出力し、再度そのファイルを外部から受け取り、指定位置のレビューを自動で実行するレビュー装置。
- レビュー装置が複数存在する場合、相互の絶対座標を相互に通信し、どのレビュー装置で上記レビューを実施しても絶対座標の相互互換が可能であるレビュー装置。
- 設計上同一な位置キャリブレーション用ウェハを用いて、自動でレビュー装置内の絶対座標の補正を実施する機能を持つレビュー装置。
- 上記外観不良座標(欠陥)と追加指定部の撮像をその後工程においても、レビュー装置内の絶対座標を元に自動撮像した結果得られた画像を装置内部に保存、あるいは外部に画像ファイルとして出力し、ロットナンバ,ウェハナンバ,工程,欠陥部及び追加指定部のチップ内座標等と自動撮像した画像を併記した形で一覧表示するGUI(Graphical User Interface)を有するレビュー装置。
- 請求項7におけるGUIをレビュー装置本体ではなく、外部ソフトウェアで実現するために、ロットナンバ,ウェハナンバ,工程,欠陥部及び追加指定部のチップ内座標等の付帯情報と自動撮像した画像を併記した形で出力する機能を有するレビュー装置。
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