JP4943777B2 - 欠陥データ処理装置、欠陥データ処理システム、及び欠陥データ処理方法 - Google Patents
欠陥データ処理装置、欠陥データ処理システム、及び欠陥データ処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4943777B2 JP4943777B2 JP2006230485A JP2006230485A JP4943777B2 JP 4943777 B2 JP4943777 B2 JP 4943777B2 JP 2006230485 A JP2006230485 A JP 2006230485A JP 2006230485 A JP2006230485 A JP 2006230485A JP 4943777 B2 JP4943777 B2 JP 4943777B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- inspection
- information
- data processing
- observation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 473
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 130
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 259
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 153
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 76
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 35
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 16
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 14
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 13
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010835 comparative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
2 観察装置
5 欠陥データ処理装置
5a 処理部
5b 記憶部
5c 表示部
5d 入力部
9 通信回線
30 欠陥解析画面
31A,31B 欠陥分布
33 表示枠(欠陥画像)
34 プルダウンメニュー
35 表示枠(欠陥特徴量)
36 表示枠(欠陥画像)
37 プルダウンメニュー
38 表示枠(欠陥特徴量)
48 プロット点
60 欠陥特徴量の表示選択画面
70 欠陥の座標一覧画面
80 補正基準点の座標一覧画面
81 情報表示部(検査装置1A)
82 情報表示部(検査装置1B)
100 補正処理結果画面
103 座標表示部
104 誤差表示部
120 座標誤差分布図画面
121 座標誤差分布図
135 合致率表示画面
137B 欠陥分布
141 座標半径入力部
144 合致率表示部
145 ベン図表示部
155 特徴量分布図画面
158 特徴量分布グラフ
160 表示枠(欠陥画像)
163 表示枠(欠陥特徴量)
164 表示枠(欠陥画像)
166 表示枠(欠陥特徴量)
167 プルダウンメニュー(検査装置1A)
168 プルダウンメニュー(検査装置1B)
Claims (14)
- 被検査物上の欠陥に関するデータを処理する欠陥データ処理装置において、
同一の被検査物上の欠陥を複数の検査装置によってそれぞれ検査して得られる複数の検査情報であって、検査ごとに得られる欠陥の位置情報をそれぞれ含む複数の検査情報、及び、前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて前記被検査物上の欠陥を観察装置によってそれぞれ観察して得られる複数の観察情報であって、観察ごとに得られる欠陥の画像情報をそれぞれ含み前記複数の検査情報とそれぞれ対応する複数の観察情報が入力され、
この入力された前記複数の検査情報及び前記複数の観察情報を用いた処理結果を表示する表示部に、前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて配置されるプロット点で表される複数の欠陥分布を同一画面上に表示し、
オペレータからの指示が入力される入力部を介して前記表示部の画面上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を前記表示部に表示し、
前記選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を参照することにより前記複数の欠陥分布において同一の欠陥を示すものであると判別されたプロット点の位置情報を基準として、前記複数の検査装置から任意に選択した検査装置が検出した欠陥分布に残りの検査装置が検出した欠陥分布を近づける補正処理をすることを特徴とする欠陥データ処理装置。 - 請求項1記載の欠陥データ処理装置において、
前記同一の欠陥を示すものであると判別されたプロット点の位置情報に基づいて作成される補正処理に利用する欠陥の座標一覧を前記表示部に表示することを特徴とする欠陥データ処理装置。 - 請求項2記載の欠陥データ処理装置において、
前記補正処理に利用する欠陥の座標一覧で前記入力部によって選択された欠陥の位置情報を基準として補正処理を行うことを特徴とする欠陥データ処理装置。 - 請求項2記載の欠陥データ処理装置において、
前記補正処理に利用する欠陥の座標一覧は、各欠陥の画像情報が表示される表示枠を有していることを特徴とする欠陥データ処理装置。 - 請求項1記載の欠陥データ処理装置において、
前記任意に選択された検査装置による欠陥分布において前記補正処理の基準としたプロット点の位置情報と、前記残りの検査装置による欠陥分布において前記補正処理の基準としたプロット点の前記補正処理後の位置情報との誤差及び平均誤差を前記表示部に表示することを特徴とする欠陥データ処理装置。 - 請求項5記載の欠陥データ処理装置において、
前記誤差は、原点からの距離で誤差の程度を示す誤差分布図によって前記表示部に表示されることを特徴とする欠陥データ処理装置。 - 請求項1記載の欠陥データ処理装置において、
前記任意に選択された検査装置による欠陥分布と前記補正処理後の前記残りの検査装置による欠陥分布との合致状況を判定する指標である合致率を算出することを特徴とする欠陥データ処理装置。 - 請求項7記載の欠陥データ処理装置において、
前記合致率を算出する際に、前記補正処理後の欠陥分布が前記任意に選択された検査装置による欠陥分布と合致するとみなす範囲である座標比較半径は、前記入力部によって入力されることを特徴とする欠陥データ処理装置。 - 請求項7記載の欠陥データ処理装置において、
前記任意に選択された検査装置による欠陥分布と合致した欠陥の個数、及び、合致しなかった欠陥の個数を前記表示部に表示することを特徴とする欠陥データ処理装置。 - 請求項7記載の欠陥データ処理装置において、
前記合致率を算出した結果、合致したとみなされた欠陥の欠陥情報のうち、前記任意に選択された検査装置及び前記観察装置によって得られた欠陥特徴量、並びに前記残りの検査装置及び前記観察装置によって得られた欠陥特徴量に基づいて複数のプロット点を配置することによって表される特徴量分布図であって、前記任意に選択された検査装置及び前記観察装置によって得られた欠陥特徴量を一方の軸に割り当て、前記残りの検査装置から任意に選択された検査装置及び前記観察装置によって得られた欠陥特徴量を他方の軸に割り当てた特徴量分布図を前記表示部に表示することを特徴とする欠陥データ処理装置。 - 請求項10記載の欠陥データ処理装置において、
前記入力部によって前記特徴量分布図上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点に対応する欠陥の前記任意に選択された検査装置及び前記観察装置によって得られた検査情報及び観察情報、並びに、前記残りの検査装置及び前記観察装置によって得られた検査情報及び観察情報を前記表示部の同一画面上に表示することを特徴とする欠陥データ処理装置。 - 請求項10記載の欠陥データ処理装置において、
前記特徴量分布図は、前記一方の軸に割りあてられた欠陥特徴量を他の欠陥特徴量に変更するプルダウンメニューと、
前記他方の軸に割り当てられた欠陥特徴量を他の欠陥特徴量に変更する他のプルダウンメニューとを有していることを特徴とする欠陥データ処理装置。 - 被検査物上の欠陥に関するデータを処理する欠陥データ処理システムにおいて、
同一の被検査物上の欠陥を検査し、その検査ごとに得られる欠陥の位置情報をそれぞれ含む複数の検査情報を得る複数の検査装置と、
前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて前記検査物上の欠陥をそれぞれ観察し、その観察ごとに得られる欠陥の画像情報をそれぞれ含み前記複数の検査情報とそれぞれ対応する複数の観察情報を得る観察装置と、
前記複数の検査情報及び前記複数の観察情報を処理する処理部、この処理部の処理結果を表示する表示部、及びオペレータから前記処理部への指示が入力される入力部を有し、前記複数の検査装置及び前記観察装置と接続されている欠陥データ処理装置とを備え、
前記欠陥データ処理装置は、前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて配置されるプロット点で表される複数の欠陥分布を前記表示部の同一画面上に表示し、前記入力部を介して前記表示部の画面上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を前記表示部に表示し、前記選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を参照することにより前記複数の欠陥分布において同一の欠陥を示すものであると判別されたプロット点の位置情報を基準として、前記複数の検査装置から任意に選択した検査装置が検出した欠陥分布に残りの検査装置が検出した欠陥分布を近づける補正処理をすることを特徴とする欠陥データ処理システム。 - 被検査物上の欠陥に関するデータを処理する欠陥データ処理方法において、
同一の被検査物上の欠陥を検査し、その検査ごとに得られる欠陥の位置情報をそれぞれ含む複数の検査情報を得る複数の検査装置と、
前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて前記検査物上の欠陥をそれぞれ観察し、その観察ごとに得られる欠陥の画像情報をそれぞれ含み前記複数の検査情報とそれぞれ対応する複数の観察情報を得る観察装置と、
データ処理の結果を表示する表示部とを備え、
前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて配置されるプロット点で表される複数の欠陥分布を前記表示部の同一画面上に表示し、
前記表示部の画面上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を前記表示部に表示し、
前記選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を参照することにより前記複数の欠陥分布において同一の欠陥を示すものであると判別されたプロット点の位置情報を基準として、前記複数の検査装置から任意に選択した検査装置が検出した欠陥分布に残りの検査装置が検出した欠陥分布を近づける補正処理をすることを特徴とする欠陥データ処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006230485A JP4943777B2 (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 欠陥データ処理装置、欠陥データ処理システム、及び欠陥データ処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006230485A JP4943777B2 (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 欠陥データ処理装置、欠陥データ処理システム、及び欠陥データ処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008053609A JP2008053609A (ja) | 2008-03-06 |
JP4943777B2 true JP4943777B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=39237338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006230485A Expired - Fee Related JP4943777B2 (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 欠陥データ処理装置、欠陥データ処理システム、及び欠陥データ処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4943777B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021044544A1 (ja) * | 2019-09-04 | 2021-03-11 | 株式会社日立ハイテク | 試料画像表示システムおよび荷電粒子線装置 |
CN114780685A (zh) * | 2022-04-28 | 2022-07-22 | 贵州电网有限责任公司 | 一种自动识别缺陷信息录入情况并通过无人机补录的方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4041630B2 (ja) * | 1998-11-30 | 2008-01-30 | 株式会社日立製作所 | 回路パターンの検査装置および検査方法 |
JP2001156135A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-08 | Hitachi Ltd | 欠陥画像の分類方法及びその装置並びにそれを用いた半導体デバイスの製造方法 |
JP2004177139A (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-24 | Renesas Technology Corp | 検査条件データ作成支援プログラム及び検査装置及び検査条件データ作成方法 |
JP4078280B2 (ja) * | 2003-10-08 | 2008-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 回路パターンの検査方法および検査装置 |
JP4413767B2 (ja) * | 2004-12-17 | 2010-02-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン検査装置 |
-
2006
- 2006-08-28 JP JP2006230485A patent/JP4943777B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008053609A (ja) | 2008-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5081590B2 (ja) | 欠陥観察分類方法及びその装置 | |
JP3255292B2 (ja) | プロセス管理システム | |
US8041443B2 (en) | Surface defect data display and management system and a method of displaying and managing a surface defect data | |
JP5444092B2 (ja) | 検査方法およびその装置 | |
JP5357725B2 (ja) | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
JP5568456B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
KR101117472B1 (ko) | 육안 검사장치와 육안 검사방법 | |
JP4078280B2 (ja) | 回路パターンの検査方法および検査装置 | |
US20120141011A1 (en) | Defect image processing apparatus, defect image processing method, semiconductor defect classifying apparatus, and semiconductor defect classifying method | |
JP4597155B2 (ja) | データ処理装置、およびデータ処理方法 | |
JP4976112B2 (ja) | 欠陥レビュー方法および装置 | |
JP4652917B2 (ja) | 欠陥データ処理方法、およびデータの処理装置 | |
JP2010071951A (ja) | 視覚検査装置および視覚検査方法 | |
JP2010133744A (ja) | 欠陥検出方法およびその方法を用いた視覚検査装置 | |
JP4943777B2 (ja) | 欠陥データ処理装置、欠陥データ処理システム、及び欠陥データ処理方法 | |
JP2006251561A (ja) | 欠陥画素リペア方法 | |
JP5323457B2 (ja) | 観察条件決定支援装置および観察条件決定支援方法 | |
US20220335585A1 (en) | Set up of a visual inspection process | |
JP2010170178A (ja) | 生産管理システム | |
JP4374381B2 (ja) | 検査支援システム,データ処理装置、およびデータ処理方法 | |
JP2008261692A (ja) | 基板検査システム及び基板検査方法 | |
JP4857155B2 (ja) | データ処理装置,検査システム、およびデータ処理方法 | |
JP5291419B2 (ja) | データ処理装置及びデータ処理方法並びにこれを用いた検査作業支援システム | |
JP5707127B2 (ja) | 半導体装置の不良解析方法 | |
JP2005353933A (ja) | 欠陥解析装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081006 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110906 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120203 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120228 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120301 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4943777 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |