JP4374381B2 - 検査支援システム,データ処理装置、およびデータ処理方法 - Google Patents
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Description
Defect Review)や自動欠陥分類(ADC:Automatic Defect Classification)の技術が導入され始めている。例えば、検査された部品(例えばウエハ上に形成されたパターン)を、光学式顕微鏡や電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscopy)を用いたレビュー装置を用いて観察するに当たり、そのオペレータへの負荷を低減しながら効率的に作業を行うシステムが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
Classification )機能により検査中の欠陥を分類してノイズを除去し、信号ノイズなどの誤検出擬似欠陥をレビュー装置へ送信しないようにする技術が開発されている。また、検査装置でより精度よく欠陥を検出するために、レビュー装置の欠陥の観察結果を用いて、検査装置の欠陥検出の条件を決めることが行われている。この欠陥検出条件を決めるために、検査装置から出力される多くの情報,観察装置から出力された欠陥ID
(Identificationnumber)と座標情報,観察装置から出力されたADR情報とADC情報を整理し、欠陥解析を容易にする技術が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
SEM式レビュー装置25において欠陥検出部の画像が取得され、その画像を用いて各レビュー装置に搭載されているADC機能で欠陥分類を行う。それらの情報は、ADR/
ADC情報22a,23aとして通信回線4を通してデータ処理装置3に送られる。
71,製品名欄72,欠陥座標比較半径欄73が空欄で表示され、これから入力しようとする検査データを図5の画面30で読み出すために、図7中の検査装置名欄71,製品名欄72に必要事項をプルダウンリストを用いて入力し、欠陥座標比較半径欄73には半径を入力しSetting ボタン74を押して確定する。また、取り込んだデータの区別や認識を容易にするために、この画面70には、コメント欄75が用意されている。この欄にはオペレータが任意のコメントを入力することが出来、データ取り込み後、図5に示す画面
30にこのコメントが表示される。
70の上にドラッグアンドドロップまたはSelectボタン77,80,83を押すことで指定し、Goボタン88を押すことで、検査データがデータ処理装置に取り込まれる。この結果は、図5の画面30の欠陥情報リスト34に表示される。
Layoutボタン78を押すと、図8に示す画面90が立ち上がる。
91及びマップ92に示された欠陥の位置を示すドットから、同じ欠陥を検出しているものと思われるドットを少なくとも3点以上指定し、Teachingボタン94を押すと、データ処理装置3のプロセッサは、倍率と角度の補正計算を実施し、突合せ及び座標補正結果を図9に示す画面100に表示する。結果が満足できれば、Importボタン101を押し、検査データをデータ処理装置に入力する。もし、満足できなければCancelボタン102を押し、図8に示した画面90に戻ることが出来る。図8の作業を終了するときは、Cancelボタン95を押すと、図7へ戻る。
2 レビュー装置
3 データ処理装置
4 通信回線
21,22b,23b 欠陥情報
22a,23a ADR/ADC情報
24 光学式レビュー装置
25 SEM式レビュー装置
30,50,70,76,79,82,90,100 画面
31 装置名リスト
32 製品リスト
33 検査マップ
34 欠陥情報リスト
35 プルダウンメニュー
71 検査装置名欄
72 製品名欄
73 欠陥座標比較半径欄
74 Settingボタン
75 コメント欄
77,80,83 Selectボタン
78 Layoutボタン
88,93 Goボタン
91,92 マップ
94 Teachingボタン
95,102 Cancelボタン
101 Importボタン
Claims (5)
- 複数の試料の欠陥を検出する複数の外観検査装置と、前記欠陥の画像を取得し該欠陥の特徴量を取得する複数のレビュー装置と通信回線を介して接続されたデータ処理装置とを備えた検査支援システムであって、前記複数の外観検査装置による前記複数の試料の欠陥に関する検査データと、該欠陥に関して前記複数のレビュー装置で取得したレビューデータとが前記データ処理装置のディスプレイに表示され、該ディスプレイに表示されている検査データまたはレビューデータ以外の検査データまたはレビューデータの取得の指示により、前記データ処理装置は、前記複数の外観検査装置の検査データまたは前記複数のレビュー装置のレビューデータを取得し、前記ディスプレイに表示させることを特徴とする検査支援システム。
- 試料の欠陥を検出する外観検査装置と、前記欠陥の画像を取得し、該欠陥の特徴量を取得するレビュー装置と通信回線を介して接続されたデータ処理装置であって、複数の外観検査装置から少なくともひとつを特定可能な装置名称を表示する領域と、前記複数の外観検査装置のうちのひとつが指定されることにより該外観検査装置を用いて検査された複数の試料の製品名称が表示される領域と、前記複数の試料のうちのひとつが指定されることにより、該試料に関する抽出された欠陥の分布を表示するマップ領域と、前記指定された試料が前記指定された外観検査装置により検査された日付,時刻,抽出された欠陥数が、前記指定された外観検査装置の装置名称と、前記指定された試料の製品名称とともに表形式で表示される欠陥情報リスト領域とが、同一画面上に表示され、前記マップ領域の内部、または、前記欠陥情報リスト領域の前記指定された試料の製品名称が表示された領域が指定されることにより、前記指定された外観検査装置または前記レビュー装置により取得された前記指定された試料の欠陥の画像または、前記レビュー装置で取得された前記欠陥の特徴量を、前記指定された外観検査装置または前記レビュー装置から取得し表示することを特徴とするデータ処理装置。
- 請求項2の記載において、前記画面上に表示された欠陥について、前記外観検査装置を用いた検査条件を変更して取得した画像を当該外観検査装置から取得し表示することを特徴とするデータ処理装置。
- 試料の欠陥を検出する外観検査装置と、前記欠陥の画像を取得し該欠陥の特徴量を取得するレビュー装置と通信回線を介して接続されたデータ処理装置のデータ処理方法であって、該データ処理装置のプロセッサはディスプレイに、複数の外観検査装置から少なくともひとつを特定可能な装置名称を表示し、前記複数の外観検査装置のうちのひとつが指定されることにより該外観検査装置を用いて検査された複数の試料の製品名称を表示し、前記複数の試料のうちのひとつが指定されることにより、該試料に関する抽出された欠陥の分布をマップ領域に表示し、前記指定された試料が前記指定された外観検査装置により検査された日付,時刻,抽出された欠陥数,前記指定された外観検査装置の装置名称,前記指定された試料の製品名称を表形式の欠陥情報リスト領域に表示し、前記マップ領域の内部、または、前記欠陥情報リスト領域の前記指定された試料の製品名称が表示された領域が指定されることにより、前記指定された外観検査装置または前記レビュー装置により取得された前記指定された試料の欠陥の画像または、前記レビュー装置で取得された前記欠陥の特徴量を、前記指定された外観検査装置または前記レビュー装置から取得し表示することを特徴とするデータ処理方法。
- 請求項4の記載において、前記画面上に表示された欠陥について、前記外観検査装置を用いた検査条件を変更して取得した画像を当該外観検査装置から取得し表示することを特徴とするデータ処理方法。
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