JP4699873B2 - 欠陥データ処理及びレビュー装置 - Google Patents
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Claims (10)
- 外観検査装置が被検体を複数回検査して得た欠陥それぞれの欠陥情報を前記外観検査装置から取得する工程と、
欠陥として判定された場所の画像とその参照部の画像との差画像から得られる欠陥部の明るさの絶対値を含む特徴量情報と共に前記各欠陥情報に含まれている欠陥の座標情報を用いて、前記複数の欠陥情報の中から、同一の欠陥に対する欠陥情報を判別する工程と、
レビューすべき欠陥について、当該欠陥の欠陥情報を走査電子顕微鏡を用いたレビュー装置に出力する工程と、
前記レビュー装置において、欠陥の明るさの絶対値と前記走査電子顕微鏡で取得する画像のフレーム加算数との関係を記述したテーブルに基づき、当該レビューすべき欠陥の前記欠陥部の明るさの絶対値に対応した所定のフレーム加算数の欠陥画像を取得する工程と
を有することを特徴とする欠陥データ処理方法。 - 請求項1記載の欠陥データ処理方法において、
前記複数回の検査はそれぞれ検査条件を変えて行われたものである
ことを特徴とする欠陥データ処理方法。 - 請求項1記載の欠陥データ処理方法において、
前記欠陥情報の前記特徴量情報には、当該欠陥のサイズ情報も含まれ、
前記欠陥画像を取得する工程は、前記レビュー装置において、前記所定のフレーム加算数の欠陥画像を、欠陥のサイズと前記走査電子顕微鏡で取得する画像の倍率との関係を記述したテーブルに基づき、当該レビューすべき欠陥のサイズ情報に対応した所定の倍率で取得する
ことを特徴とする欠陥データ処理方法。 - 請求項1記載の欠陥データ処理方法において、
前記テーブルにおける欠陥の明るさの絶対値と前記走査電子顕微鏡で取得する画像のフレーム加算数との関係がグラフで表示される
ことを特徴とする欠陥データ処理方法。 - レビューすべき欠陥の欠陥情報の入力を受ける入力部と、
被検体を保持して移動可能な試料ステージと、
被検体の走査電子顕微鏡画像を取得する画像取得部と、
前記試料ステージ及び画像取得部を制御する制御部と、
欠陥部の明るさの絶対値と前記画像取得部で取得する走査電子顕微鏡画像のフレーム加算数との関係を記述したテーブルと
を備え、
前記制御部は、
前記入力部に入力されたレビューすべき欠陥の欠陥情報に、欠陥として判定された場所の画像とその参照部の画像との差画像から得られる欠陥部の明るさの絶対値を含む特徴量情報と共に含まれている欠陥の座標情報に対応して、前記試料ステージを移動すると共に、前記テーブルを参照して、当該レビューすべき欠陥の前記欠陥部の明るさの絶対値に対応した所定のフレーム加算数を決定し、
前記画像取得部を前記決定したフレーム加算数に設定して当該レビューすべき欠陥の走査電子顕微鏡画像を取得する
ことを特徴とするレビュー装置。 - 請求項5記載のレビュー装置において、
前記レビュー装置には、欠陥のサイズと前記画像取得部で取得する走査電子顕微鏡画像の倍率との関係を記述したテーブルがさらに備えられ、
前記入力部に入力されるレビューすべき欠陥の欠陥情報に含まれる特徴量情報には、当該欠陥のサイズ情報も含まれ、
前記制御部は、
前記所定のフレーム加算数の前記レビューすべき欠陥の走査電子顕微鏡画像を、前記テーブルを参照して、当該特徴量情報に含まれる欠陥のサイズ情報に対応した所定の倍率で取得する
ことを特徴とするレビュー装置。 - 請求項5記載のレビュー装置において、
前記テーブルにおける欠陥の明るさの絶対値と前記画像取得部で取得する走査電子顕微鏡画像のフレーム加算数との関係がグラフで表示される
ことを特徴とするレビュー装置。 - 外観検査装置が被検体を複数回検査して得た欠陥それぞれの欠陥情報の入力を受ける入力部と、
被検体を保持して移動可能な試料ステージと、
被検体の走査電子顕微鏡画像を取得する画像取得部と、
前記試料ステージ及び画像取得部を制御する制御部と、
欠陥の明るさの絶対値と前記画像取得部で取得する走査電子顕微鏡画像のフレーム加算数との関係を記述したテーブルと、
前記入力部に入力された欠陥の欠陥情報を表示すると共に、レビューすべき欠陥を選択する入力を受け付ける表示部と
を備え、
前記制御部は、
前記入力部に入力された各欠陥情報に、欠陥として判定された場所の画像とその参照部の画像との差画像から得られる欠陥部の明るさの絶対値を含む特徴量情報と共に含まれている欠陥の座標情報を用いて、当該入力部に入力された複数の欠陥情報のうちで同一の欠陥に対する欠陥情報を判別し、同一の欠陥に対する欠陥情報をまとめて前記表示部に表示し、
前記表示部において選択されたレビューすべき欠陥の欠陥情報における前記座標情報に対応して、前記試料ステージを移動すると共に、前記テーブルを参照して、当該レビューすべき欠陥の欠陥情報における前記欠陥部の明るさの絶対値に対応した所定のフレーム加算数を決定し、
前記画像取得部を前記決定したフレーム加算数に設定して当該レビューすべき欠陥の走査電子顕微鏡画像を取得する
ことを特徴とするレビュー装置。 - 請求項8記載のレビュー装置において、
前記レビュー装置には、欠陥のサイズと前記画像取得部で取得する走査電子顕微鏡画像の倍率との関係を記述したテーブルがさらに備えられ、
前記入力部に入力される欠陥の欠陥情報に含まれる特徴量情報には、当該欠陥のサイズ情報も含まれ、
前記制御部は、
前記決定したフレーム加算数の前記レビューすべき欠陥の走査電子顕微鏡画像を、前記テーブルを参照して、当該欠陥の特徴量情報に含まれる欠陥のサイズ情報に対応した所定の倍率で取得する
ことを特徴とするレビュー装置。 - 請求項8記載のレビュー装置において、
前記テーブルにおける前記欠陥の明るさの絶対値と前記画像取得部で取得する走査電子顕微鏡画像のフレーム加算数との関係がグラフで表示される
ことを特徴とするレビュー装置。
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