JP2000233345A - 製造情報の管理システム及びその管理プログラムを記録した記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多くの異なる品種、工程、装置を取り扱う生
産ラインにおいて、多くの異なる品種、工程、装置に対
応する個々の処理条件を変更する場合でも、変更にとも
なう負荷を大幅に軽減できると同時に、異なる複数の品
種、工程、装置に対応する処理条件を共有することによ
り保持するデータベース資源を有効に利用できる製造情
報の管理システムを提供する。 【解決手段】 品種と工程を軸とする表形式のテーブル
で工程条件を指定する工程条件指定手段５と、工程条件
ごとに使用装置を指定する使用装置指定手段６と、装置
ごとに表形式のテーブルで、個別の制御項目と制御値と
が登録された制御条件、及び個別の検査項目と規格値が
登録された規格条件を指定する制御条件規格条件指定手
段７とを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、異なる複数の品
種、工程、または装置で同一の処理条件を共有する生産
ラインにおいて製造情報を管理、適用する製造情報の管
理システム、及びその管理プログラムを記録したコンピ
ュータ読み取り可能な記録媒体に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の製造基準情報は品種、工程、使用
装置ごとに個別に制御条件や検査規格を指定しているの
で、個別に条件化され、集約できず設定数が増大してい
た。特に、半導体製造では、同じ装置を複数の工程でく
り返し使用する特徴があるため設定条件数が増える傾向
にある。

【０００３】ここで、従来技術のマスタ、テーブルの関
連の一例を示す関連図を図１１に示す。各工程での加工
または検査の制御パラメータとなる制御条件、および加
工または検査の規格となる規格条件は、製品の品種、工
程、および使用する装置によって定まる。また、制御条
件には、制御項目と各制御項目に対応する制御値が登録
されている。さらに、規格条件には、規格項目と各規格
項目に対応する規格値が登録されている。規格値とは詳
しくは、目標値、および規格レベルの異なる複数の上下
限規格値である。また、製品の品種ごとの工程の並び順
は、工程マスタで規定される。

【０００４】従来の制御時の処理手順について図１２で
説明する。まず、制御条件の収集が必要になった時点
で、製品の品種、現在の工程および使用装置から制御条
件テーブルを検索する（ステップＳ１０１）。次に、当
該制御条件テーブル内の複数の制御項目とその制御項目
に対応する制御値を取得する（ステップＳ１０３）。そ
して、複数の制御項目とその制御項目に対応する制御値
を装置へ出力する（ステップＳ１０４）。ここで、装置
への出力は、制御項目と制御値を、端末に表示して作業
者が装置に入力、または装置に直接送信することを含む
こととする。

【０００５】次に従来の検査時の処理手順について図１
３で説明する。まず、規格条件の収集が必要になった時
点で、製品の品種、現在の工程および使用装置から規格
条件テーブルを検索する（ステップＳ１２１）。次に、
当該規格条件テーブル内の複数の規格項目とその規格項
目に対応する規格値を取得する（ステップＳ１２３）。
そして、装置から測定値を入力する（ステップＳ１２
４）。ここで、装置からの入力は、作業者が端末に入
力、または装置から直接受信して、測定項目および測定
値（処理実績値）を取得することを含むこととする。次
に、（Ｓ１２５）規格項目ごとに、規格値と対応する測
定値を比較判定する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の製
造情報の管理システムでは、以下のような問題があっ
た。 （１）異なる複数の品種、工程、装置で処理条件を共有
できる場合であっても、製品の品種、工程、または使用
装置の増加にともなって、管理の体系として処理条件の
登録を追加する必要があり、処理条件を共有できない。 （２）上記の処理条件を共有できないことにより、制御
条件や規格条件の数量が膨大になってしまう。 （３）共有できる制御条件、または規格条件の内容を変
更する場合、上記の処理条件を共有できないことによっ
て、変更に該当するすべての制御条件、または規格条件
を変更しなければならず、一括して変更できない。

【０００７】この発明はかかる問題点を解決するために
なされたものであり、その目的とするところは、多くの
異なる品種、工程、装置を取り扱う生産ラインにおい
て、多くの異なる品種、工程、装置に対応する個々の処
理条件を変更する場合でも、変更にともなう負荷を大幅
に軽減できると同時に、異なる複数の品種、工程、装置
に対応する処理条件を共有することにより保持するデー
タベース資源を有効に利用できる製造情報の管理システ
ムを提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】第１の発明にかかる製造
情報の管理システムは、品種と工程を軸とする表形式の
テーブルで工程条件を指定する工程条件指定手段と、工
程条件ごとに使用装置を指定する使用装置指定手段と、
装置ごとに表形式のテーブルで、個別の制御項目と制御
値とが登録された制御条件、及び個別の検査項目と規格
値が登録された規格条件を指定する制御条件規格条件指
定手段とを備えるとともに、制御条件や検査規格が品
種、工程、装置によって一意に定まるものである。

【０００９】また、第２の発明にかかる製造情報の管理
システムは、工程条件指定手段が、異なる複数の工程を
類似する工程でグループ化して分割したものである。

【００１０】さらに、第３の発明にかかる製造情報の管
理システムは、工程条件指定手段が、異なる複数の品種
を、類似する品種でグループ化して分割したものであ
る。

【００１１】また、第４の発明にかかるコンピュータ読
み取り可能な記録媒体は、製品の品種ごとの工程の並び
順を規定した工程マスタと、使用装置ごとの制御条件ｉ
ｄを登録した処理条件テーブルと、品種、および工程を
それぞれの軸として処理条件テーブルの処理条件ｉｄを
登録する表形式の工程条件テーブルとを有するデータが
記録されたものである。

【００１２】さらに、第５の発明にかかるコンピュータ
読み取り可能な記録媒体は、処理条件テーブルに、更に
規格条件ｉｄを登録したものである。

【００１３】また、第６の発明にかかるコンピュータ読
み取り可能な記録媒体は、工程条件テーブルを用途の類
似する複数の工程ごとに分けたものである。

【００１４】さらに、第７の発明にかかるコンピュータ
読み取り可能な記録媒体は、工程条件テーブルを複数の
品種のグループごとに分けたものである。

【００１５】また、第８の発明にかかるコンピュータ読
み取り可能な記録媒体は、コンピュータを以下の各手段
として機能させるための製造情報の管理プログラムを記
録したものである。 (a)品種と工程を軸とする表形式のテーブルで工程条件
を指定する工程条件指定手段； (b)工程条件ごとに使用装置を指定する使用装置指定手
段； (c)装置ごとに、表形式のテーブルで、個別の制御項目
と制御値とが登録された制御条件及び個別の検査項目と
規格値が登録された規格条件を指定する制御条件規格条
件指定手段。

【００１６】さらに、第９の発明にかかるコンピュータ
読み取り可能な記録媒体は、工程条件指定手段が、異な
る複数の工程を類似する工程でグループ化して分割した
ものである。

【００１７】また、第１０の発明にかかるコンピュータ
読み取り可能な記録媒体は、工程条件指定手段が、異な
る複数の品種を、類似する品種でグループ化して分割し
たものである。

【００１８】

【発明の実施の形態】実施の形態１．この実施の形態１
では、制御方法について説明する。最初に、図１に本発
明における製造条件の管理システムのハードウエア構成
例のブロック図を示す。本構成は、制御コンピュータ
１、データベース２、製造装置３、端末４から構成さ
れ、各構成要素はＬＡＮ等の通信手段を介して接続され
ている。また、製造装置３、端末４は、通常複数台接続
される。本装置の構成要素は、たとえばパソコン、ワー
クステーション、ミニコンピュータ等の情報処理装置を
使用して実現できる。情報処理装置に備えられている標
準入出力手段であるキーボード、表示画面等を介して必
要なデータの入力、出力等を実現できる。

【００１９】ここで制御コンピュータ１は、各ロットの
工程完了、工程処理開始などのタイミングで、データベ
ース２に蓄積管理されている製造情報から必要な工程情
報、制御条件、規格条件を検索して、端末および製造装
置に送信する手段であって、工程条件指定手段５、使用
装置指定手段６及び、制御条件規格条件指定手段７を備
えている。また、製造情報を入力端末４から、または別
のコンピュータから受信して、データベース２に蓄積す
る手段でもある。そして製造装置３は、制御コンピュー
タ１から受信する制御条件にしたがってロットに対して
工程処理をおこなう。また端末４は、各ロットの進捗、
工程処理に必要な制御コンピュータ１から送信される製
造情報を受信して表示する手段であり、製造情報を制御
コンピュータ１を介してデータベース２に一元的に蓄積
管理するための入力手段である。そしてデータベース２
は、工程マスタ８、工程条件テーブル９、処理条件テー
ブル１０、制御条件テーブル１１、規格条件テーブル１
２、ロットの工程進捗状態、などを一元的に蓄積管理す
る手段であって、このデータベース２においては、工程
条件テーブル９が本発明で加えたものである。

【００２０】次に、本装置をパソコンで実現した場合の
構成について説明する。図２はこの実施の形態１の製造
情報の管理システムが動作するコンピュータであり、こ
のコンピュータの構成を図３に示す。図２において、１
はコンピュータ本体、１３は表示装置、１４はプリン
タ、１５はペン、１６はマウス、１７はキーボード、１
８はプログラムやデータなどが記録される、コンピュー
タ読み取り可能な記録媒体であるフロッピーディスク、
１８ａはフロッピーディスク１８がセットされるＦＤド
ライブ、１９はフロッピーディスク１８と同じくプログ
ラムやデータなどが記録される、コンピュータ読み取り
可能な記録媒体であるＣＤ−ＲＯＭ、１９ａはＣＤ−Ｒ
ＯＭ１９がセットされるＣＤ−ＲＯＭドライブである。
図３において、１ａは内部メモリ、２０はペン１５、マ
ウス１６及びキーボード１７からなる入力装置、２１は
コンピュータ読み取り可能な記録媒体であるハード・デ
ィスクを内蔵したＨＤユニットである。

【００２１】ここで、マスタ、テーブルの関連の一例を
示す関連図を図４に示す。この図４においては、制御条
件、規格条件を検索するために以下のテーブルを使用す
る。 （１）品種、および工程をそれぞれの軸として処理条件
テーブルの処理条件ｉｄを登録する表形式の、工程条件
テーブル。 （２）使用装置ごとの制御条件ｉｄと規格条件ｉｄを登
録する、処理条件テーブル。 ここで、規格条件ｉｄの登録は、必要に応じて省略も可
能とする。

【００２２】図５で制御時の処理手順について説明す
る。まず、制御条件の収集が必要になった時点で、製品
の品種および現在の工程から工程条件テーブルを検索し
て、処理条件ｉｄを取得する（ステップＳ１）。次に、
処理する装置で当該処理条件ｉｄの処理条件テーブルを
検索して、制御条件ｉｄを取得する（ステップＳ２）。
そして、当該制御条件ｉｄの制御条件テーブル内の複数
の制御項目とその制御項目に対応する制御値を取得する
（ステップＳ３）。次に、複数の制御項目とその制御項
目に対応する制御値を装置へ出力する（ステップＳ
４）。ここで、装置への出力は、制御項目と制御値を、
端末に表示して作業者が装置に入力、または装置に直接
送信することを含むこととする。

【００２３】以上説明したように、この実施の形態１に
おける製造情報の管理システムによれば、複数の異なる
品種、工程、または使用装置の間で処理条件テーブルお
よび制御条件テーブルを共有することが可能になり、デ
ータベース資源を節約できる。また、複数の異なる品
種、工程、または使用装置の間で共有している制御条件
テーブルの内容を変更する場合、複数の制御条件テーブ
ルの内容を変更するのでなく、１つの制御条件テーブル
の内容を変更するだけで作業を完了できるので作業効率
を向上できる。

【００２４】実施の形態２．この実施の形態２では、品
種、工程、使用装置で共有の制御条件テーブルの内容を
変更する場合について説明する。

【００２５】ここで、複数の異なる品種、工程、または
使用装置の間で共有している制御条件テーブルの内容を
変更する場合について、図４を使って説明する。制御条
件［Ｒ−Ａａ１１］は、処理条件テーブル［Ａａ］で
「装置１１」と「装置１２」によって指定されていて、
同じ制御条件を複数の異なる使用装置間で共有してい
る。そして、処理条件テーブル［Ａａ］は、工程条件テ
ーブル［ＰＭ１］で「品種Ａの工程ａ」、「品種Ａの工
程ｄ」、「品種Ｂの工程ａ」、および「品種Ｂの工程
ｄ」によって指定されていて、同じ処理条件を複数の異
なる品種間で、および同じ処理条件を複数の異なる工程
間で共有している。したがって、同じ制御条件を複数の
異なる品種間や複数の異なる工程間でも共有しているこ
とになる。

【００２６】この「品種Ａの工程ａ」、「品種Ａの工程
ｄ」、「品種Ｂの工程ａ」、および「品種Ｂの工程ｄ」
の制御条件の内容を変更する場合、［Ｒ−Ａａ１１］の
内容の登録／変更／削除プログラムを一度実行して変更
するだけで制御条件内容を登録／変更／削除を完了でき
る。したがって、「品種Ａの工程ａ」の制御条件、「品
種Ａの工程ｄ」の制御条件、「品種Ｂの工程ａ」の制御
条件、および「品種Ｂの工程ｄ」の制御条件をそれぞれ
個別に変更する必要が無く変更が容易となる。図示して
いないが制御条件［Ｒ−Ａａ１１］が処理条件テーブル
［Ｂｈ］で指定されている場合は、「品種Ｂの工程ｈ」
も同様に同じ制御条件を共有することになる。

【００２７】また、変更にともなう影響範囲を確認する
ための検索は、同じく工程条件テーブル、処理条件テー
ブルを使うことで可能となる。処理手順の一例を説明す
る。「品種Ａの工程ａ」と「品種Ｂの工程ａ」の装置１
２で使用している制御条件を変更する場合、工程条件テ
ーブルから「品種Ａの工程ａ」と「品種Ｂの工程ａ」の
処理条件が［Ａａ］であることがわかり、さらに処理条
件テーブル［Ａａ］から装置１２の制御条件が[Ｒ−Ａ
ａ１１]であることがわかる。次には逆に処理条件テー
ブルから制御条件が「Ｒ−Ａａ１１」である処理条件テ
ーブルが[Ａａ]で、装置が「装置１１」と「装置１２」
であることがわかる。そして、これを使って、工程条件
テーブルから処理条件が［Ａａ］であるのが「品種Ａの
工程ａ」、「品種Ａの工程ｄ」、「品種Ｂの工程ａ」、
および「品種Ｂの工程ｄ」であることがわかる。そし
て、これら品種、工程、使用装置、および制御条件の情
報を画面等に表示することで、変更者に影響範囲を容易
に示し注意の喚起、確認をおこなうことができる。

【００２８】実施の形態３．この実施の形態３では、検
査方法について説明する。ここで、図６で検査時の処理
手順について説明する。これは、制御時の処理手順に類
似している。まず、規格条件の収集が必要になった時点
で、製品の品種および現在の工程から工程条件テーブル
を検索して、処理条件ｉｄを取得する（ステップＳ２
１）。次に、処理する装置で当該処理条件ｉｄの処理条
件テーブルを検索して、規格条件ｉｄを取得する（ステ
ップＳ２２）。そして、当該規格条件ｉｄの規格条件テ
ーブル内の複数の規格項目とその規格項目に対応する規
格値を取得する（ステップＳ２３）。次に、装置から測
定値を入力する（ステップＳ２４）。ここで、装置から
の入力は、作業者が端末に入力、または装置から直接受
信して、測定項目および測定値（処理実績値）を取得す
ることを含むこととする。そして、規格項目ごとに、規
格値と対応する測定値を比較判定する（ステップＳ２
５）。

【００２９】以上説明したように、この実施の形態３に
おける製造情報の管理システムによれば、複数の異なる
品種、工程、または使用装置の間で処理条件テーブルお
よび規格条件テーブルを共有することが可能になり、デ
ータベース資源を節約できる。また、複数の異なる品
種、工程、または使用装置の間で共有している規格条件
テーブルの内容を変更する場合、複数の規格条件テーブ
ルの内容を変更するのでなく、１つの規格条件テーブル
の内容を変更するだけで作業を完了できるので作業効率
を向上できる。処理手順は、制御条件を規格条件におき
かえるだけで制御条件の場合とほぼ同じである。

【００３０】実施の形態４．この実施の形態４では、複
数の工程条件テーブルを用いる制御方法について説明す
る。実施の形態１で説明した工程条件テーブルでは、工
程、品種の著しい増加に対して工程条件テーブル自体が
大きくなる場合があるため、異なるが用途の類似する複
数の工程ごとに工程条件テーブルを分けて、複数の工程
条件テーブルで管理する場合の例を以下に示す。

【００３１】まず、図７に、工程ごとに工程条件テーブ
ルを分けた場合のマスタ、テーブルの関連の一例を示す
関連図を示す。この図７において、工程マスタは、製品
の品種ごとの工程の並び順を規定するが、各工程の属性
として工程条件テーブル名が各工程に定義される。ここ
では、工程ｍの工程条件テーブル名は[ＰＭ２]であり、
この工程条件テーブルは、品種名と工程を軸として処理
条件テーブル名を指定する。ここでは、品種Ａの工程ｍ
の処理条件テーブルは[Ａｍ]であり、処理条件テーブル
では、装置ごとに制御条件と規格条件を指定する。ここ
では、装置１３の制御条件は[Ｒ−Ａｍ１３]、規格条件
は[Ｍ−Ａｍ１３]である。なお、図８は図７との比較説
明用に記述したが、その内容は図４と同じなので、その
説明は省略する。

【００３２】次に、図９で変形例を用いた制御時の処理
手順について説明する。検査時の処理手順は、制御時の
処理手順と同様に変形させるものとして説明を省略す
る。まず、製品の品種の工程マスタを現在の工程で検索
して、工程条件ｉｄを取得する（ステップＳ４１）。次
に、当該工程条件ｉｄの工程条件テーブルを品種と現在
の工程で検索して、処理条件ｉｄを取得する（ステップ
Ｓ４２）。そして、処理する装置で当該処理条件ｉｄの
処理条件テーブルを検索して、制御条件ｉｄを取得する
（ステップＳ４３）。次に、当該制御条件ｉｄの制御条
件テーブル内の複数の制御項目とその制御項目に対応す
る制御値を取得する（ステップＳ４４）。そして、複数
の制御項目とその制御項目に対応する制御値を装置へ出
力する（ステップＳ４５）。ここで、装置への出力は、
制御項目と制御値を、端末に表示して作業者が装置に入
力、または装置に直接送信することを含むこととする。

【００３３】以上説明したように、この実施の形態４に
おける製造情報の管理システムによれば、工程または品
種が著しく増加する場合にも、有意な複数の工程条件テ
ーブルに分けることによって、品種や工程に比例して多
くなる組み合わせを減少させ、処理条件テーブルの管理
を比較的容易にできる。

【００３４】実施の形態５．この実施の形態５では、複
数の工程条件テーブルを用いる制御方法について説明す
る。前記実施の形態４では複数の工程のグループごとに
複数の工程条件テーブルに分けた例を説明したが、ここ
では、複数の品種のグループごとに複数の工程条件テー
ブルに分ける例を説明する。制御時および検査時の処理
手順は、前記実施の形態４と同様である。

【００３５】次に、工程条件テーブルの分け方を説明す
る。工程の並び順を規定する工程マスタは、製品の品種
ごとに一意に決まる。また、処理条件テーブルの検索に
必要な処理条件ｉｄは、品種の各工程ごとに一意に指定
される。したがって、同じ工程であっても異なる品種の
場合、異なる工程条件テーブルを指定できる。

【００３６】次に、図１０に基づいて説明する。品種Ａ
の工程ａの工程マスタで指定される工程条件ｉｄは[Ｐ
Ｍ１]であり、品種Ａの工程ａを検索条件に[ＰＭ１]の
工程条件テーブルを検索して、処理条件ｉｄの[Ａａ]を
取得する。異なる品種Ｄの同じ工程ａの工程マスタで指
定される工程条件ｉｄは[ＰＭ３]であり、品種Ｄの工程
ａを検索条件に[ＰＭ３]の工程条件テーブルを検索し
て、処理条件ｉｄの[Ａａ]を取得する。結果的に、処理
条件ｉｄの[Ａａ]を検索条件にして、同じ処理条件テー
ブルを検索可能なので処理条件の異なる複数の品種間で
の共有は可能である。

【００３７】

【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に示すような効果を奏する。

【００３８】第１、第４、第５又は第８の発明によれ
ば、複数の異なる品種、工程、または使用装置の間で処
理条件テーブル、制御条件テーブル及び規格条件テーブ
ルを共有することが可能になり、データベース資源を節
約できる。また、複数の異なる品種、工程、または使用
装置の間で共有している制御条件テーブル及び規格条件
テーブルの内容を変更する場合、複数の制御条件テーブ
ル及び規格条件テーブルの内容を変更するのでなく、１
つの制御条件テーブル及び規格条件テーブルの内容を変
更するだけで作業を完了できるので作業効率を向上でき
る。

【００３９】さらに、第２、第３、第６、第７、第９又
は第１０の発明によれば、工程または品種が著しく増加
する場合にも、有意な複数の工程条件テーブルに分ける
ことによって、品種や工程に比例して多くなる組み合わ
せを減少させ、処理条件テーブルの管理を容易にでき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１における、製造情報の
管理システムの構成を示すブロック図である。

【図２】この実施の形態１の製造情報の管理システムが
動作するコンピュータの構成図である。

【図３】この実施の形態１の製造情報の管理システムが
動作するコンピュータの構成図である。

【図４】この発明の実施の形態１における、マスタ、テ
ーブルの関連の一例を示す関連図である。

【図５】この発明の実施の形態１における、制御時の処
理手順を示すフロー図である。

【図６】この発明の実施の形態３における、検査時の処
理手順を示すフロー図である。

【図７】この発明の実施の形態４における、工程条件テ
ーブルを分割した場合のマスタ、テーブルの関連の一例
を示す関連図である。

【図８】この発明の実施の形態４における、マスタ、テ
ーブルの関連の一例を示す関連図である。

【図９】この発明の実施の形態４における、制御時の処
理手順を示すフロー図である。

【図１０】この発明の実施の形態５における、工程条件
テーブルを分割した場合のマスタ、テーブルの関連の一
例を示す関連図である。

【図１１】従来のマスタ、テーブルの関連の一例を示す
関連図である。

【図１２】従来の制御時の処理手順を示すフロー図であ
る。

【図１３】従来の検査時の処理手順を示すフロー図であ
る。

【符号の説明】

５ 工程条件指定手段 ６ 使用装置指定手段 ７ 制御条件規格条件指定手段 ８ 工程マスタ ９ 工程条件テーブル １０ 処理条件テーブル １８ 記録媒体 １９ 記録媒体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 勝也 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 大谷 雅樹 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 伊野部 隆昌 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 武智 隆次 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 丸目 康博 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 Ｆターム(参考） 3C042 RH01 RJ00 5B049 AA01 AA02 BB07 CC21 DD05 EE05

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 品種と工程を軸とする表形式のテーブル
   で工程条件を指定する工程条件指定手段と、 工程条件ごとに使用装置を指定する使用装置指定手段
   と、 装置ごとに、表形式のテーブルで、個別の制御項目と制
   御値とが登録された制御条件及び個別の検査項目と規格
   値が登録された規格条件を指定する制御条件規格条件指
   定手段とを備えた、制御条件や検査規格が品種、工程、
   装置によって一意に定まる製造情報の管理システム。
2. 【請求項２】 工程条件指定手段が、異なる複数の工程
   を類似する工程でグループ化して分割したことを特徴と
   する、請求項１に記載の製造情報の管理システム。
3. 【請求項３】 工程条件指定手段が、異なる複数の品種
   を、類似する品種でグループ化して分割したことを特徴
   とする、請求項１に記載の製造情報の管理システム。
4. 【請求項４】 製品の品種ごとの工程の並び順を規定し
   た工程マスタと、 使用装置ごとの制御条件ｉｄを登録した処理条件テーブ
   ルと、 品種、および工程をそれぞれの軸として処理条件テーブ
   ルの処理条件ｉｄを登録する表形式の工程条件テーブル
   とを有するデータが記録された、コンピュータ読み取り
   可能な記録媒体。
5. 【請求項５】 処理条件テーブルに、更に規格条件ｉｄ
   を登録したことを特徴とする、請求項４に記載のコンピ
   ュータ読み取り可能な記録媒体。
6. 【請求項６】 工程条件テーブルを用途の類似する複数
   の工程ごとに分けたことを特徴とする、請求項４または
   請求項５に記載のコンピュータ読み取り可能な記録媒
   体。
7. 【請求項７】 工程条件テーブルを複数の品種のグルー
   プごとに分けたことを特徴とする、請求項４または請求
   項５に記載のコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
8. 【請求項８】 コンピュータを以下の各手段として機能
   させるための製造情報の管理プログラムを記録した、コ
   ンピュータ読み取り可能な記録媒体。 (a)品種と工程を軸とする表形式のテーブルで工程条件
   を指定する工程条件指定手段； (b)工程条件ごとに使用装置を指定する使用装置指定手
   段； (c)装置ごとに、表形式のテーブルで、個別の制御項目
   と制御値とが登録された制御条件及び個別の検査項目と
   規格値が登録された規格条件を指定する制御条件規格条
   件指定手段。
9. 【請求項９】 工程条件指定手段が、異なる複数の工程
   を類似する工程でグループ化して分割したことを特徴と
   する、請求項８に記載のコンピュータ読み取り可能な記
   録媒体。
10. 【請求項１０】 工程条件指定手段が、異なる複数の品
    種を、類似する品種でグループ化して分割したことを特
    徴とする、請求項８に記載のコンピュータ読み取り可能
    な記録媒体。