JP6358863B2 - センサ配線確認システムおよび方法 - Google Patents
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Description
一方で、センサのFD/FPに関しては、温度、圧力、流量などのプロセス量が対象データになる。これらのデータについては、msec.レベルで全てのデータを保存するのが合理的とは言えない。そこで、センサのデータを装置が管理する処理単位毎に、あるいは一定の期間毎に代表値化して、代表値化した値をチェックするEES対応の基板処理装置(特許文献1参照)などが提案されている。代表値とは、最大値、最小値、平均値などである。これらの代表値によりFD/FPが実現できれば、全てのデータを監視する場合と比較して通信量、必要メモリ量などを大幅に削減できるので効率的である。
また、本発明のセンサ配線確認システムの1構成例において、前記センサは、さらに、外部からの指示に応じて前記確認実行履歴記憶手段の履歴情報を初期状態にリセットするリセット手段を備えることを特徴とするものである。
また、本発明のセンサ配線確認システムの1構成例において、前記処理装置は、さらに、前記計測値信号が示す計測値が予め規定された上限値あるいは下限値から逸脱しているときに、計測値が異常であることを示すアラームを出力する計測値アラーム出力手段を備えることを特徴とするものである。
発明者は、例えば特定のセンサ側からコントローラに対してループチェック信号を送信すると、遠隔のコントローラのモニタに表示される計測値が予め規定された数値分だけ変化するというように、センサからコントローラに送信されたループチェック信号にコントローラが反応する機能を備えることに想到した。この場合、センサは、ループチェック機能内蔵タイプのセンサということになる。
計測値が予め規定された数値分だけ変化する動作として、例えば温度センサであれば、単に温度表示値が上昇するだけではなく、アラームの出ない温度上昇、アラームが出るべき温度上昇、温度上昇と温度下降などが、別々に指定されて実行されるのではなく、規定された順序で自動実行されるようにすると、接続状態の適切さをさらに確認しやすくなる。また、アラームが出るべき温度上昇のような特殊状態については、一時的に起こるのではなく維持できるようにすると、例えば外したいセンサをまとめて確認できる状態を維持できることになるので、外す必要のある複数配線を外す作業のミスを低減できる。このように、アラーム発生のような特殊状態を適宜活用するのが好ましい。
接続確認実行の履歴を自動登録するのであれば、接続確認実行の履歴が全く登録されていない場合に、接続確認未実行のアラームを出力することが可能になる。アラーム出力は、例えばセンサ側でLEDを点滅させてもよいし、コントローラ側のモニタ画面でセンサID表示の色を変えてもよい。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態に係るセンサ配線確認システムの構成を示すブロック図である。本実施の形態は、上記発明の原理1、発明の原理2、発明の原理3に対応する例である。ここでは、センサ配線確認システムをセンサ1と、簡易型のコントローラ2(温調計)で実現する例として説明する。
センサ1とコントローラ2とを含む装置を工場などの現場に設置する作業員であるオペレータは、装置の設置後にセンサ1とコントローラ2の電源を投入する。また、装置のメンテナンスを行うオペレータは、必要に応じてセンサ1やコントローラ2の電源を切断した後に再度投入する。
センサ1の送信部13は、オペレータから指示入力部12を介して送信指示を受けると、シーケンス記憶部11に記憶されたシーケンス情報に従い、センサ機能部10を介してコントローラ2に一連のループチェック信号を送信する(図2ステップS4)。本実施の形態では、接続確認作業の実施時に、センサ1で計測した物理量を示す計測値信号の代わりに、計測値信号と同じ信号フォーマットでループチェック信号をコントローラ2に送信する。すなわち、センサ機能部10は、オペレータから指示入力部12を介して送信指示を受けると、物理量の計測によって得た計測値信号の代わりに、送信部13から受け取ったループチェック信号を計測値信号としてコントローラ2に送信する。
Claims (8)
- 物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理装置とからなるシステムにおいて、前記センサと前記処理装置との接続を、接続された通信処理を介して確認するセンサ配線確認システムであって、
前記センサは、
物理量を計測して計測値信号を前記処理装置に送信するセンサ機能手段と、
チェック信号の仕様を定義するシーケンス情報を予め記憶するシーケンス記憶手段と、
チェック信号の送信指示を入力する指示入力手段と、
前記送信指示を受けたときに、前記シーケンス情報で定義されたチェック信号を前記センサ機能手段から前記処理装置へ計測値信号として送信させる送信手段と、
接続確認実行の履歴情報を記憶する確認実行履歴記憶手段とを備え、
前記処理装置は、
前記センサからの計測値信号を受信する受信手段と、
この受信手段が受信した計測値信号に応じて計測値を表示する表示手段とを備え、
前記チェック信号は、前記表示手段による計測値表示出力が通常の計測値表示と異なる値になるように定められたものであり、
前記送信手段は、前記チェック信号を送信したときに、前記履歴情報を更新するものであることを特徴とするセンサ配線確認システム。 - 請求項1記載のセンサ配線確認システムにおいて、
前記センサは、さらに、前記確認実行履歴記憶手段に接続確認実行の履歴が全く登録されていないときに、センサと処理装置との接続確認が未実行であることを示すアラームを出力する接続確認未実行アラーム出力手段を備えることを特徴とするセンサ配線確認システム。 - 請求項1または2記載のセンサ配線確認システムにおいて、
前記センサは、さらに、外部からの指示に応じて前記確認実行履歴記憶手段の履歴情報を初期状態にリセットするリセット手段を備えることを特徴とするセンサ配線確認システム。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のセンサ配線確認システムにおいて、
前記処理装置は、さらに、前記計測値信号が示す計測値が予め規定された上限値あるいは下限値から逸脱しているときに、計測値が異常であることを示すアラームを出力する計測値アラーム出力手段を備えることを特徴とするセンサ配線確認システム。 - 物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理装置とからなるシステムにおいて、前記センサと前記処理装置との接続を、接続された通信処理を介して確認するセンサ配線確認方法であって、
前記センサが外部からの指示に応じてチェック信号の送信指示を入力する指示入力ステップと、
前記センサが、前記送信指示の入力に応じて、チェック信号の仕様を定義するシーケンス情報を予め記憶するシーケンス記憶手段を参照して、前記シーケンス情報で定義されたチェック信号を前記処理装置へ計測値信号として送信する送信ステップと、
前記センサが前記チェック信号を送信したときに、前記センサの確認実行履歴記憶手段に記憶されている接続確認実行の履歴情報を更新する更新ステップと、
前記処理装置が前記センサからの計測値信号を受信する受信ステップと、
前記処理装置が前記受信ステップで受信した計測値信号に応じて計測値を表示する表示ステップとを含み、
前記チェック信号は、前記表示ステップによる計測値表示出力が通常の計測値表示と異なる値になるように定められたものであることを特徴とするセンサ配線確認方法。 - 請求項5記載のセンサ配線確認方法において、
さらに、前記センサが、前記確認実行履歴記憶手段に接続確認実行の履歴が全く登録されていないときに、センサと処理装置との接続確認が未実行であることを示すアラームを出力する接続確認未実行アラーム出力ステップを含むことを特徴とするセンサ配線確認方法。 - 請求項5または6記載のセンサ配線確認方法において、
さらに、前記センサが外部からの指示に応じて前記確認実行履歴記憶手段の履歴情報を初期状態にリセットするリセットステップを含むことを特徴とするセンサ配線確認方法。 - 請求項5乃至7のいずれか1項に記載のセンサ配線確認方法において、
さらに、前記処理装置が、前記計測値信号が示す計測値が予め規定された上限値あるいは下限値から逸脱しているときに、計測値が異常であることを示すアラームを出力する計測値アラーム出力ステップを含むことを特徴とするセンサ配線確認方法。
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