JP2016018293A - センサ情報設定システムおよび方法 - Google Patents

Abstract

【課題】センサパラメータをコントローラ等の処理装置に設定する作業の効率を改善する。【解決手段】センサ１は、センサパラメータを記憶するセンサ情報記憶部１１と、読取実行信号の受信に応じて読取実行信号受信回数をセンサ情報記憶部１１に登録する読取実行自動登録処理部１２とを備える。コントローラ２は、センサ情報記憶部１１からセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示部２１と、読取指示部２１からの指示を受け、読取実行信号をセンサ１に送信し、この読取実行信号に応じてセンサ１のセンサ情報記憶部１１から出力されるセンサパラメータを読み取る読取登録処理部２２と、読取登録処理部２２が読み取ったセンサパラメータをコントローラ機能部２０が利用するセンサパラメータとして記憶するセンサパラメータ記憶部２３とを備える。【選択図】 図１

Description

本発明は、センサ種類等のセンサパラメータをコントローラ等の処理装置に設定する作業効率を改善するセンサ情報設定システムおよび方法に関するものである。

半導体製造装置では、ＥＥＳ（Equipment Engineering System）が実用段階へと移行してきている。ＥＥＳは、半導体製造装置が正常に機能しているかどうかをデータでチェックし、装置の信頼性や生産性を向上させるシステムである。ＥＥＳの主な目的は、装置自体を対象とする不具合検知（ＦＤ：Fault Detection）、不具合予知（ＦＰ：Fault Prediction）である（非特許文献１参照）。

ＦＤ／ＦＰには、装置コントロールレベル、モジュールレベル、サブシステムレベル、Ｉ／Ｏデバイスレベルという階層化の捉え方がある。装置コントロールレベルのＦＤ／ＦＰは、ホストまたはオペレータから指示された処理条件の基で装置機能が装置スペックの許容範囲内で動作しているかを監視／検知するＦＤ／ＦＰである。モジュールレベルのＦＤ／ＦＰは、デバイスもしくはサブシステムから構成されるモジュールが、指示値どおりに処理を行うことができるかを監視／検知するＦＤ／ＦＰである。サブシステムレベルのＦＤ／ＦＰは、フィードバック制御を行うような複数のデバイスからなる複合システムが、いくつかのパラメータ設定の基で安定して動作しているかを監視／検知するＦＤ／ＦＰである。Ｉ／ＯデバイスレベルのＦＤ／ＦＰは、装置を構成するセンサやアクチュエータが設計値どおりに安定して動作しているかを監視／検知するＦＤ／ＦＰである。このように、Ｉ／Ｏデバイスレベルの主体は、センサやアクチュエータである。

アクチュエータのＦＤ／ＦＰに関しては、（０，１）のビット列のデータ（アクチュエータデータ）で済むシーケンス制御的な動作については、特に実用段階にあると言える。
一方で、センサのＦＤ／ＦＰに関しては、温度、圧力、流量などのプロセス量が対象データになる。これらのデータについては、ｍｓｅｃ．レベルで全てのデータを保存するのが合理的とは言えない。そこで、センサのデータを装置が管理する処理単位毎に、あるいは一定の期間毎に代表値化して、代表値化した値をチェックするＥＥＳ対応の基板処理装置（特許文献１参照）などが提案されている。代表値とは、最大値、最小値、平均値などである。これらの代表値によりＦＤ／ＦＰが実現できれば、全てのデータを監視する場合と比較して通信量、必要メモリ量などを大幅に削減できるので効率的である。

また、多数のセンサをシステム内に備える場合に、センサＩＤも管理対象データとして扱う技術も提案されている（特許文献２参照）。この技術によれば、多数のセンサからの大量のデータを一元的に管理する場合に、データの取り違いなどが起こる危険性を低減できるので効率的である。

特開２０１０−２１９４６０号公報 再表２００７−１１０９６８号公報

「装置レベルでの装置機能の性能確認に関する解説書」，社団法人電子情報技術産業協会，２００５年３月２３日

上記の従来技術は、ＦＤ／ＦＰあるいは不具合低減としての意義は大きいが、いずれもセンサ自体は適切に設置・設定されていることが前提になっている。しかし、実際にはセンサ自体に多くの種別があり、センサ情報を取得する側の機器に正しくセンサパラメータ（センサ種類など）が適切に設定されないケースもある。

このようなケースを想定し、一般的にはセンサ実装作業者が一通りの確認作業を行なうようにしている。特にコントローラとセンサとを組合せ、フィードバックループを形成してフィードバック制御を行なう場合は、ループチェックという一連の作業として実施される。したがって、確認作業での見落としがないように作業者の注意が必要であり、作業効率は良好とは言えず、作業効率の改善が求められている。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、センサパラメータをコントローラ等の処理装置に設定する作業の効率を改善することができるセンサ情報設定システムおよび方法を提供することを目的とする。

本発明は、物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理装置とからなるシステムにおいて、センサパラメータを前記処理装置に設定するセンサ情報設定システムであって、前記センサは、センサパラメータを予め記憶するセンサ情報記憶手段と、読取実行信号の受信に応じて読取実行信号受信回数を前記センサ情報記憶手段に登録する読取実行自動登録処理手段とを備え、前記処理装置は、前記センサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理実行手段と、前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示手段と、前記処理実行手段が利用するセンサパラメータを記憶するセンサパラメータ記憶手段と、前記読取指示手段からの指示を受け、センサパラメータを読み取るための前記読取実行信号を前記センサに送信し、この読取実行信号に応じて前記センサのセンサ情報記憶手段から出力されるセンサパラメータを読み取って前記センサパラメータ記憶手段に登録する読取登録処理手段とを備えることを特徴とするものである。

また、本発明のセンサ情報設定システムの１構成例において、前記センサは、さらに、前記センサ情報記憶手段に記憶されているセンサパラメータ中の校正データの更新に応じてセンサ校正回数を前記センサ情報記憶手段に登録する校正実施自動登録処理手段を備えることを特徴とするものである。
また、本発明のセンサ情報設定システムの１構成例において、前記コントローラの読取登録処理手段は、前記センサパラメータの読み取りと同時に、前記センサのセンサ情報記憶手段に記憶されているセンサ校正回数を読み取り、前記コントローラは、さらに、前記読取登録処理手段が読み取ったセンサ校正回数をオペレータに提示する校正回数提示手段を備えることを特徴とするものである。
また、本発明のセンサ情報設定システムの１構成例において、前記センサは、さらに、前記センサ情報記憶手段に記憶されている読取実行信号受信回数が０の場合に、センサパラメータの読み取りが未実行であることを示すアラームを出力するアラーム出力手段を備えることを特徴とするものである。

また、本発明は、物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を処理実行手段で実行する処理装置とからなるシステムにおいて、前記処理実行手段が利用するセンサパラメータを前記処理装置に設定するセンサ情報設定方法であって、前記処理装置が、前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示ステップと、前記処理装置が、前記読取指示を受けて、センサパラメータを読み取るための読取実行信号を前記センサに送信する読取実行信号送信ステップと、前記処理装置が、前記読取実行信号に応じて前記センサのセンサ情報記憶手段から出力されるセンサパラメータを読み取って前記処理装置のセンサパラメータ記憶手段に登録する読取登録ステップと、前記センサが、前記読取実行信号の受信に応じて読取実行信号受信回数を前記センサ情報記憶手段に登録する読取実行自動登録ステップとを含むことを特徴とするものである。

本発明によれば、センサに、センサパラメータを予め記憶するセンサ情報記憶手段を設け、処理装置の読取登録処理手段が、読取指示手段からの指示を受け、センサ情報記憶手段からセンサパラメータを読み取り、センサパラメータ記憶手段に登録することにより、センサパラメータを処理装置に設定する作業の効率を改善することができる。具体的には、処理装置にセンサを初めて取り付けた場合や、異なる種類のセンサに交換した場合に、センサパラメータを適切に設定する作業が生じるわけであり、このようなときにオペレータは読取指示を実行するだけで済む。また、本発明では、読取実行信号の受信に応じて読取実行信号受信回数をセンサ情報記憶手段に登録する読取実行自動登録処理手段をセンサに設けることにより、センサパラメータの誤った設定が見過ごされていたときに、この誤りがセンサを納入・設置したセンサ提供企業の責任なのか、ループチェック作業を実施したループチェック実施企業の責任なのかを明確にする手掛かりを提供することができ、ビジネストラブルの発生を低減することができる。

また、本発明では、センサ情報記憶手段に記憶されているセンサパラメータ中の校正データの更新に応じてセンサ校正回数をセンサ情報記憶手段に登録する校正実施自動登録処理手段をセンサに設けることにより、センサ校正回数をセンサの寿命を推定する指標として利用することができる。

また、本発明では、センサ情報記憶手段に記憶されている読取実行信号受信回数が０の場合にアラームを出力することにより、センサパラメータの読み取りが未実行であることをオペレータに通知することができる。

本発明の実施の形態に係るセンサ情報設定システムの構成を示すブロック図である。 本発明の実施の形態に係るセンサ情報設定システムを適用する加熱装置の構成を示すブロック図である。 本発明の実施の形態に係るセンサ情報設定システムにおけるセンサパラメータとセンサ校正回数の読取動作を説明するフローチャートである。 本発明の実施の形態に係るセンサ情報設定システムにおけるセンサパラメータとセンサ校正回数の読取動作を説明するフローチャートである。 本発明の実施の形態に係るセンサ情報設定システムにおけるセンサ校正実施時の動作を説明するフローチャートである。 センサが温度センサである場合の校正データの１例を示す図である。

［発明の原理１］
発明者は、センサパラメータ（センサ種類など）を登録しておく記憶部をセンサに内蔵させ、コントローラなどのセンサ接続側の機器がセンサパラメータを読取可能なようにしておくことに想到した。この場合、センサは、ループチェック情報内蔵タイプのセンサということになる。

例えば多数の制御ループを有する製造装置内の計装であれば、コントローラがセンサからセンサパラメータを読み取ることは、多数の制御ループの確認作業（ループチェック）を行なうことになる。しかし、全てのセンサが上記のようなループチェック情報内蔵タイプになるとは限らない。ループチェック情報内蔵タイプと内蔵タイプでないセンサが混在していると、ループチェック情報内蔵タイプのセンサであるにも拘わらず、ループチェック情報内蔵タイプのセンサではないとオペレータが誤って認識し、手作業でセンサパラメータ設定を行なってしまうことがあり得る。

ここで、センサ提供者とループチェック実施者が、通常は異なる企業であることに着眼しなければならない。すなわち、読取実行のセンサパラメータの妥当性が分からないと、センサパラメータの誤った設定が見過ごされていたときに、この誤りがセンサを納入・設置したセンサ提供企業の責任なのか、ループチェック作業を実施した実施企業の責任なのかが不明になり、ビジネストラブルに発展する。このことから、センサパラメータの読取実行の履歴を、読み取られる側のセンサに自動登録することが好ましいことに想到した。すなわち、最低限の履歴情報として、例えば読取実行信号を受信した回数を自動登録し、この回数を読取可能にするというような構成とする。

［発明の原理２］
センサパラメータの読取実行が必要になるケースとして、正しく接続されているセンサの接続を一旦外して、再度接続し直すケースがあるが、この代表的なものがセンサの校正（センサのメンテナンス）を行なうケースである。センサパラメータや履歴を記録（登録）するのであれば、センサ校正の回数（実行履歴）もセンサ側に自動登録することで、そのセンサ校正回数がセンサ寿命を推定する指標として利用できることに想到した。

すなわち、センサ校正を行なう必要性が生じるケースとは、センサの使用実績時間に伴って性能劣化が起こっている状況であり、一旦センサ寿命が悪化したときに、センサを延命させるような状況でもある。しかし、センサの延命処置にも限界があり、多くの場合に経験的に限界はオペレータが把握できるので、センサ校正回数がセンサ寿命を推定する指標になる。

［発明の原理３］
読取実行の履歴を自動登録するのであれば、読取実行の履歴が全く登録されていない場合に、読取未実行のアラームを出力することが可能になる。アラーム出力は、例えばセンサ側でＬＥＤを点滅させてもよいし、コントローラ側のモニタ画面でセンサＩＤ表示の色を変えてもよい。

［実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態に係るセンサ情報設定システムの構成を示すブロック図である。本実施の形態は、上記発明の原理１、発明の原理２、発明の原理３に対応する例である。ここでは、センサ情報設定システムをセンサ１と、簡易型のコントローラ２（温調計）で実現する例として説明する。

センサ１は、物理量（例えば温度）を計測するセンサ機能部１０と、センサパラメータを予め記憶するセンサ情報記憶部１１と、読取実行信号の受信に応じて読取実行信号受信回数をセンサ情報記憶部１１に登録する読取実行自動登録処理部１２と、センサ情報記憶部１１に記憶されているセンサパラメータ中の校正データの更新に応じてセンサ校正回数をセンサ情報記憶部１１に登録する校正実施自動登録処理部１３と、センサ情報記憶部１１に記憶されている読取実行信号受信回数が０の場合に、センサパラメータの読み取りが未実行であることを示すアラームを出力するアラーム出力部１４とを備えている。

センサ情報記憶部１１と読取実行自動登録処理部１２とは上記発明の原理１に対応し、校正実施自動登録処理部１３は上記発明の原理２に対応し、アラーム出力部１４は上記発明の原理３に対応している。
センサ情報記憶部１１に記憶されるセンサパラメータとしては、センサ種類データ、校正データ、製造年月日、計測レンジデータ、ＴＡＧ（ポイント名称）データなどがある。

センサ種類データは、センサ１の種類を示すデータであり、センサ提供企業の責任でセンサ情報記憶部１１に登録されるデータである。例えばセンサ１が温度センサの場合、熱電対、白金測温抵抗体など主に規格化された材料でセンサ機能部１０が構成されるものがある。コントローラ２の後述するコントローラ機能部２０は、温度センサの種類によっては、例えば常温付近における特性を近似計算して温度を求める必要がある。このため、正しく装置運用するためにはセンサ１の種類をコントローラ２に適切に設定しておくことが必要になる。

校正データは、指定点における物理量の計測値と真値との差異（誤差）を示すデータであり、センサ提供企業およびセンサ校正実施企業の責任でセンサ情報記憶部１１に登録されるデータである。コントローラ２のコントローラ機能部２０は、センサ１が計測した物理量を真値にするために、校正データに従って物理量の補正を行なう。補正処理はセンサ１からのセンサ信号を電流値や電圧値で受信するコントローラ側で実行するので、この校正データを実際に利用するのはコントローラ２であり、理論的には校正データがコントローラ２にのみ適切に登録されていれば問題は生じない。補正が適正に実施されない場合、規程内精度での装置運用ができないことがある。

センサ１の製造年月日データは、センサ提供企業の責任でセンサ情報記憶部１１に登録されるデータである。特に熱電対は消耗品なので、センサ機能部１０として熱電対を用いる場合、センサ情報記憶部１１に製造年月日を登録しておくことはセンサ１の交換周期の把握に役立つ。

計測レンジデータは、センサ１の計測レンジを示すデータであり、センサ提供企業およびループチェック実施企業の責任でセンサ情報記憶部１１に登録されるデータである。センサ１が温度センサで、コントローラ２が温調計の場合、温度センサがレンジ外の温度を計測すると、通常は温調計のコントローラ機能部２０は、異常処理で温度制御を停止するようになっている。特に温度の上限値を超えて制御が継続した場合、温度センサや温度センサを用いる加熱装置そのものが破損することもあり、計測レンジデータをコントローラ２に正しく設定しておくことが必要になる。

ＴＡＧ（ポイント名称）データは、センサ１が物理量を計測するポイントを示すデータであり、ループチェック実施企業の責任でセンサ情報記憶部１１に登録されるデータである。ＴＡＧデータを確認することにより、センサ１の取り付け間違いを検出することができる。指定された名称以外のポイントがコントローラ２に接続された場合、コントローラ２がアラーム表示をする等の注意喚起に役立つ。

また、センサ情報記憶部１１には、センサパラメータの他に、読取実行信号受信回数とセンサ校正回数という２種類の情報が登録される。
読取実行信号受信回数は、センサ１がコントローラ２から読取実行信号を受信した回数を示す履歴情報である。読取実行信号受信回数のセンサ情報記憶部１１への自動登録機能は、センサ提供企業の責任で設けられる機能であるが、センサパラメータの読取は、ループチェック実施企業の責任で行われる。

センサ校正回数は、校正データが更新された回数（センサ１が校正された回数）を示す履歴情報である。センサ校正実施企業は、センサ提供企業になるケースや、ループチェック実施企業になるケースや、その他の第三者的企業になるケースがある。センサ校正回数のセンサ情報記憶部１１への自動登録機能は、センサ提供企業の責任で設けられる機能であるが、校正データの更新は、センサ校正実施企業の責任で行われる。
なお、センサ情報記憶部１１は、センサ１の電源が切断されても情報を保持できる不揮発性のメモリであることが好ましい。

コントローラ２は、センサ１が計測した物理量に応じた処理（例えば温度制御）を実行するコントローラ機能部２０（処理実行手段）と、センサ情報記憶部１１からセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示部２１と、読取指示部２１からの指示を受け、読取実行信号をセンサ１に送信し、この読取実行信号に応じてセンサ１のセンサ情報記憶部１１から出力されるセンサパラメータを読み取り、後述するセンサパラメータ記憶部２３に登録する読取登録処理部２２と、読取登録処理部２２が読み取ったセンサパラメータをコントローラ機能部２０が利用するセンサパラメータとして記憶するセンサパラメータ記憶部２３と、センサ校正回数をオペレータに提示する校正回数提示部２４とを備えている。

読取指示部２１と読取登録処理部２２とセンサパラメータ記憶部２３とは上記発明の原理１に対応し、校正回数提示部２４は上記発明の原理２に対応している。
なお、センサパラメータ記憶部２３は、コントローラ２の電源が切断されても情報を保持できる不揮発性のメモリでもよいし、電源が切断されると情報が失われる揮発性のメモリでもよい。

図２は本実施の形態のセンサ情報設定システムを適用する装置の例として、例えば半導体製造に使用される加熱装置の構成を示すブロック図である。図２の加熱装置は、被加熱物を加熱するための加熱処理炉３と、加熱処理炉３の内部に設置された複数のヒータ４−１〜４−４と、それぞれヒータ４−１〜４−４によって加熱される加熱処理炉３内の制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度を測定する複数の温度センサ１−１〜１−４と、ヒータ４−１〜４−４に出力する操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する温調計２−１〜２−４と、温調計２−１〜２−４から出力された操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をそれぞれヒータ４−１〜４−４に供給する電力調整器５−１〜５−４とから構成される。図１に示したセンサ１の構成は温度センサ１−１〜１−４の各々に設けられ、コントローラ２の構成は温調計２−１〜２−４の各々に設けられることは言うまでもない。

以下、本実施の形態のセンサ情報設定システムの動作として、最初にセンサパラメータとセンサ校正回数の読取動作を図３、図４を参照して説明する。図３はセンサ１の動作を示し、図４はコントローラ２の動作を示している。
まず、初期状態として、センサ１のセンサ情報記憶部１１には、読取実行信号受信回数として初期値０（受信回数０）が登録されている。

センサ１とコントローラ２とを含む装置を工場などの現場に設置する作業員であるオペレータは、装置の設置後にセンサ１とコントローラ２の電源を投入する。また、装置のメンテナンスを行なうオペレータは、必要に応じてセンサ１やコントローラ２の電源を切断した後に再度投入する。

センサ１のアラーム出力部１４は、センサ１の電源が投入されたとき、あるいはセンサ１が配線を介してコントローラ２に接続されたときに、センサ情報記憶部１１に記憶されている読取実行信号受信回数が初期値０である場合（図３ステップＳ１００においてＹＥＳ）、センサパラメータの読み取りが未実行であることを示すアラームを出力する（図３ステップＳ１０１）。アラームの出力方法としては、例えば赤のＬＥＤを点滅または点灯させる等の方法がある。なお、センサ１がコントローラ２に接続されると、センサ１のセンサ機能部１０とコントローラ２のコントローラ機能部２０との間で所定の通信処理が開始されるので、アラーム出力部１４は、センサ１がコントローラ２に接続されているかどうかを容易に認識することができる。

コントローラ２の読取指示部２１は、コントローラ２の電源が投入されたとき、センサ１とコントローラ２が接続されたとき、もしくはセンサ１のアラーム出力を認識したオペレータから指示があったときに、センサ１からセンサパラメータを読み取る指示を入力する。なお、センサの種類によっては、センサ１がコントローラ２に接続されると、センサ１のセンサ機能部１０とコントローラ２のコントローラ機能部２０との間で所定の通信処理が開始されるものもあり、読取指示部２１は、センサ１がコントローラ２に接続されているかどうかを容易に認識することができる。

コントローラ２の読取登録処理部２２は、読取指示部２１から読取指示を受けると（図４ステップＳ２００においてＹＥＳ）、センサ１に対して、センサパラメータとセンサ校正回数とを読み取るための読取実行信号を送信する（図４ステップＳ２０１）。この読取実行信号に応じて、センサ１のセンサ情報記憶部１１からセンサパラメータとセンサ校正回数とが出力されるので、読取登録処理部２２は、センサパラメータとセンサ校正回数とを読み取り（図４ステップＳ２０２）、センサパラメータをセンサパラメータ記憶部２３に登録する（図４ステップＳ２０３）。

センサ１の読取実行自動登録処理部１２は、コントローラ２からの読取実行信号を受信したときに（図３ステップＳ１０２においてＹＥＳ）、センサパラメータの読み取りが実行されたものとして、センサ情報記憶部１１に記憶されている読取実行信号受信回数を更新する（図３ステップＳ１０３）。ここでは、読取実行信号受信回数が初期値０から１（１回受信）に更新されることになる。

センサ１のアラーム出力部１４は、センサ情報記憶部１１に記憶されている読取実行信号受信回数が初期値０でなくなったことにより、アラームを停止する（図３ステップＳ１０４，Ｓ１０５）。アラーム出力として例えば赤のＬＥＤを点滅させていた場合には、赤のＬＥＤを消灯させる。

一方、コントローラ２の校正回数提示部２４は、読取登録処理部２２がセンサ１から読み取ったセンサ校正回数をオペレータに提示する（図４ステップＳ２０４）。提示方法としては、例えばセンサ校正回数を数値表示する等の方法がある。以上で、センサパラメータとセンサ校正回数の読取動作が終了する。

次に、本実施の形態のセンサ情報設定システムの動作として、センサ校正実施時の動作を図５を参照して説明する。図５はセンサ１の動作を示している。
センサ１の校正を行なった場合、コントローラ２のセンサパラメータ記憶部２３に登録されるべき校正データが修正されることになるので、センサ校正実施者は、センサ１のセンサ情報記憶部１１に登録されている校正データについても、通常の書込機能を利用して修正（更新）を行なう。

図６はセンサ１が温度センサである場合の校正データの１例を示す図である。図６の例では、センサ１からのセンサ信号として、温度に応じた電流が出力される場合を示しており、６０は更新前の校正データ、６１は更新後の校正データを示している。校正データの更新前であれば、コントローラ２のコントローラ機能部２０は、センサ１のセンサ機能部１０から出力されたセンサ信号が４ｍＡの場合、温度の計測値を１０℃とし、センサ信号が２０ｍＡの場合、計測値を１０２℃とする。一方、図６に示したように校正データが更新されると、コントローラ機能部２０は、センサ信号が４ｍＡの場合、計測値を１３℃とし、センサ信号が２０ｍＡの場合、計測値を１０７℃とする。

センサ１の校正実施自動登録処理部１３は、センサ情報記憶部１１に記憶されている校正データが修正（更新）されたときに（図５ステップＳ３００においてＹＥＳ）、センサ情報記憶部１１に記憶されているセンサ校正回数を更新する（図５ステップＳ３０１）。ここでは、センサ校正回数が初期値０から１（１回更新）に書き換えられることになる。こうして、センサ校正実施時の動作が終了する。

以上のようにして、本実施の形態では、センサパラメータをコントローラ２に設定する作業の効率を改善することができる。
本実施の形態でセンサ１に登録する読取実行信号受信回数は外部の装置によって読み出すことが可能である。したがって、センサパラメータの誤った設定が見過ごされていたときに、この誤りがセンサを納入・設置したセンサ提供企業の責任なのか、ループチェック作業を実施したループチェック実施企業の責任なのかを明確にする手掛かりを提供することができ、ビジネストラブルの発生を低減することができる。

また、本実施の形態では、センサ校正回数をセンサ１に記憶させ、センサパラメータと共に読み出せるようにしたので、センサ校正回数をセンサ１の寿命を推定する指標として利用することができる。

本実施の形態で説明したセンサ１とコントローラ２の各々は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。センサ１とコントローラ２の各々のＣＰＵは、各々の装置の記憶装置に格納されたプログラムに従って本実施の形態で説明した処理を実行する。

また、本実施の形態では、センサと接続される処理装置の例としてコントローラを例に挙げて説明しているが、これに限るものではなく、センサと有線または無線で接続され、センサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理装置であれば本発明を適用することが可能である。

本発明は、センサ種類等のセンサパラメータをコントローラ等の処理装置に設定する技術に適用することができる。

１…センサ、２…コントローラ、１０…センサ機能部、１１…センサ情報記憶部、１２…読取実行自動登録処理部、１３…校正実施自動登録処理部、１４…アラーム出力部、２０…コントローラ機能部、２１…読取指示部、２２…読取登録処理部、２３…センサパラメータ記憶部、２４…校正回数提示部。

Claims (8)

1. 物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理装置とからなるシステムにおいて、センサパラメータを前記処理装置に設定するセンサ情報設定システムであって、
   前記センサは、
   センサパラメータを予め記憶するセンサ情報記憶手段と、
   読取実行信号の受信に応じて読取実行信号受信回数を前記センサ情報記憶手段に登録する読取実行自動登録処理手段とを備え、
   前記処理装置は、
   前記センサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理実行手段と、
   前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示手段と、
   前記処理実行手段が利用するセンサパラメータを記憶するセンサパラメータ記憶手段と、
   前記読取指示手段からの指示を受け、センサパラメータを読み取るための前記読取実行信号を前記センサに送信し、この読取実行信号に応じて前記センサのセンサ情報記憶手段から出力されるセンサパラメータを読み取って前記センサパラメータ記憶手段に登録する読取登録処理手段とを備えることを特徴とするセンサ情報設定システム。
2. 請求項１記載のセンサ情報設定システムにおいて、
   前記センサは、さらに、前記センサ情報記憶手段に記憶されているセンサパラメータ中の校正データの更新に応じてセンサ校正回数を前記センサ情報記憶手段に登録する校正実施自動登録処理手段を備えることを特徴とするセンサ情報設定システム。
3. 請求項２記載のセンサ情報設定システムにおいて、
   前記コントローラの読取登録処理手段は、前記センサパラメータの読み取りと同時に、前記センサのセンサ情報記憶手段に記憶されているセンサ校正回数を読み取り、
   前記コントローラは、さらに、前記読取登録処理手段が読み取ったセンサ校正回数をオペレータに提示する校正回数提示手段を備えることを特徴とするセンサ情報設定システム。
4. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載のセンサ情報設定システムにおいて、
   前記センサは、さらに、前記センサ情報記憶手段に記憶されている読取実行信号受信回数が０の場合に、センサパラメータの読み取りが未実行であることを示すアラームを出力するアラーム出力手段を備えることを特徴とするセンサ情報設定システム。
5. 物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を処理実行手段で実行する処理装置とからなるシステムにおいて、前記処理実行手段が利用するセンサパラメータを前記処理装置に設定するセンサ情報設定方法であって、
   前記処理装置が、前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示ステップと、
   前記処理装置が、前記読取指示を受けて、センサパラメータを読み取るための読取実行信号を前記センサに送信する読取実行信号送信ステップと、
   前記処理装置が、前記読取実行信号に応じて前記センサのセンサ情報記憶手段から出力されるセンサパラメータを読み取って前記処理装置のセンサパラメータ記憶手段に登録する読取登録ステップと、
   前記センサが、前記読取実行信号の受信に応じて読取実行信号受信回数を前記センサ情報記憶手段に登録する読取実行自動登録ステップとを含むことを特徴とするセンサ情報設定方法。
6. 請求項５記載のセンサ情報設定方法において、
   さらに、前記センサが、前記センサ情報記憶手段に記憶されているセンサパラメータ中の校正データの更新に応じてセンサ校正回数を前記センサ情報記憶手段に登録する校正実施自動登録ステップを含むことを特徴とするセンサ情報設定方法。
7. 請求項６記載のセンサ情報設定方法において、
   前記読取登録ステップは、前記センサパラメータの読み取りと同時に、前記センサのセンサ情報記憶手段に記憶されているセンサ校正回数を読み取るステップを含み、
   さらに、前記コントローラが、前記読取登録ステップで読み取ったセンサ校正回数をオペレータに提示する校正回数提示ステップを含むことを特徴とするセンサ情報設定方法。
8. 請求項５乃至７のいずれか１項に記載のセンサ情報設定方法において、
   さらに、前記センサが、前記センサ情報記憶手段に記憶されている読取実行信号受信回数が０の場合に、センサパラメータの読み取りが未実行であることを示すアラームを出力するアラーム出力ステップを含むことを特徴とするセンサ情報設定方法。

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