JP6410456B2 - センサ情報設定システムおよび方法 - Google Patents
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Description
一方で、センサのFD/FPに関しては、温度、圧力、流量などのプロセス量が対象データになる。これらのデータについては、msec.レベルで全てのデータを保存するのが合理的とは言えない。そこで、センサのデータを装置が管理する処理単位毎に、あるいは一定の期間毎に代表値化して、代表値化した値をチェックするEES対応の基板処理装置(特許文献1参照)などが提案されている。代表値とは、最大値、最小値、平均値などである。これらの代表値によりFD/FPが実現できれば、全てのデータを監視する場合と比較して通信量、必要メモリ量などを大幅に削減できるので効率的である。
また、本発明のセンサ情報設定システムにおいて、前記センサは、前記処理装置に設定されるべきセンサパラメータを予め記憶するセンサ情報記憶手段を備え、前記処理装置は、前記センサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理実行手段と、前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示手段と、この読取指示手段からの指示に応じた登録処理またはオペレータからの入力によって登録されるセンサパラメータを前記処理実行手段が利用するセンサパラメータとして記憶する第1のセンサパラメータ記憶手段と、前記読取指示手段からの指示に応じた登録処理のみによって登録されるセンサパラメータを記憶する第2のセンサパラメータ記憶手段と、前記読取指示手段からの指示を受け、前記センサのセンサ情報記憶手段からセンサパラメータを読み取り、前記第1のセンサパラメータ記憶手段と前記第2のセンサパラメータ記憶手段とに登録する読取登録処理手段と、前記読取登録処理手段によって前記第2のセンサパラメータ記憶手段に登録された最新のセンサパラメータと前記第2のセンサパラメータ記憶手段に過去に登録されたセンサパラメータとが異なる場合に、登録結果異常のアラームを出力するアラーム出力手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明のセンサ情報設定システムの1構成例において、前記センサパラメータは、センサ種類データ、校正データ、製造年月日データ、計測レンジデータ、TAGデータの少なくとも1つを含むものである。
また、本発明は、物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を処理実行手段で実行する処理装置とからなるシステムにおいて、センサパラメータを前記処理装置に設定するセンサ情報設定方法であって、前記処理装置が、前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示ステップと、前記処理装置が、前記読取指示ステップによる指示を受けて、前記センサのセンサ情報記憶手段から前記処理装置に設定されるべきセンサパラメータを読み取る読取ステップと、前記処理装置が、前記読取指示ステップによる指示に応じた登録処理またはオペレータからの入力によって登録されるセンサパラメータを前記処理実行手段が利用するセンサパラメータとして記憶する第1のセンサパラメータ記憶手段と、前記読取指示ステップによる指示に応じた登録処理のみによって登録されるセンサパラメータを記憶する第2のセンサパラメータ記憶手段とに対して、前記センサ情報記憶手段から読み取ったセンサパラメータを登録する登録処理ステップと、前記処理装置が、前記登録処理ステップで登録された後にオペレータからの入力によって前記第1のセンサパラメータ記憶手段に登録されたセンサパラメータと、前記登録処理ステップで前記第2のセンサパラメータ記憶手段に登録されたセンサパラメータとが異なる場合に、前記登録処理ステップによる登録結果無効のアラームを出力するアラーム出力ステップとを含むことを特徴とするものである。
また、本発明は、物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を処理実行手段で実行する処理装置とからなるシステムにおいて、センサパラメータを前記処理装置に設定するセンサ情報設定方法であって、前記処理装置が、前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示ステップと、前記処理装置が、前記読取指示ステップによる指示を受けて、前記センサのセンサ情報記憶手段から前記処理装置に設定されるべきセンサパラメータを読み取る読取ステップと、前記処理装置が、前記読取指示ステップによる指示に応じた登録処理またはオペレータからの入力によって登録されるセンサパラメータを前記処理実行手段が利用するセンサパラメータとして記憶する第1のセンサパラメータ記憶手段と、前記読取指示ステップによる指示に応じた登録処理のみによって登録されるセンサパラメータを記憶する第2のセンサパラメータ記憶手段とに対して、前記センサ情報記憶手段から読み取ったセンサパラメータを登録する登録処理ステップと、前記処理装置が、前記登録処理ステップで前記第2のセンサパラメータ記憶手段に登録された最新のセンサパラメータと前記第2のセンサパラメータ記憶手段に過去に登録されたセンサパラメータとが異なる場合に、登録結果異常のアラームを出力するアラーム出力ステップとを含むことを特徴とするものである。
発明者は、センサパラメータ(センサ種類など)を登録しておく記憶部をセンサに内蔵させ、コントローラなどのセンサ接続側の機器がセンサパラメータを読取可能なようにしておくことに想到した。この場合、センサは、ループチェック情報内蔵タイプのセンサとなる。
センサパラメータの自動登録のみ可能な確認用のセンサパラメータ記憶部をコントローラが併せ持つのであれば、このセンサパラメータ記憶部にセンサパラメータが登録されていないときに、読取未実行のアラームを出力することが可能になる。
また、本来のセンサパラメータ記憶部と確認用のセンサパラメータ記憶部とで設定が異なっている場合には、自動登録後に過失による手作業での変更が行なわれた疑いがある状態に対して、自動登録結果無効のアラームを出力することが可能になる。
さらには、センサパラメータの自動登録を行なった結果として、それ以前に登録されていた自動登録結果と異なる場合に、自動登録結果異常のアラームを出力することが可能になる。これらのステータス通知機能により、利便性を向上できる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態に係るセンサ情報設定システムの構成を示すブロック図である。本実施の形態は、上記発明の原理1、発明の原理2に対応する例である。ここでは、センサ情報設定システムをセンサ1と、簡易型のコントローラ2(温調計)で実現する例として説明する。
なお、センサ情報記憶部11は、センサ1の電源が切断されても情報を保持できる不揮発性のメモリであることが好ましい。
なお、第1のセンサパラメータ記憶部23と第2のセンサパラメータ記憶部24とは、コントローラ2の電源が切断されても情報を保持できる不揮発性のメモリでもよいし、電源が切断されると情報が失われる揮発性のメモリでもよい。
センサ1とコントローラ2とを含む装置を工場などの現場に設置する作業員であるオペレータは、装置の設置後にセンサ1とコントローラ2の電源を投入する。また、装置のメンテナンスを行うオペレータは、必要に応じてセンサ1やコントローラ2の電源を切断した後に再度投入する。
なお、センサパラメータが複数ある場合、第2、第3のアラーム出力部26,27は、比較したセンサパラメータに1つでも相違があればアラームを出力する。
また、第3のアラーム出力部27は、第2のセンサパラメータ記憶部24へのセンサパラメータの登録方法が上書き方式である場合、過去に登録されたセンサパラメータが最新のセンサパラメータによって上書きされる前に、第2のセンサパラメータ記憶部24に登録されているセンサパラメータを予め読み出しておく必要がある。
Claims (8)
- 物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理装置とからなるシステムにおいて、センサパラメータを前記処理装置に設定するセンサ情報設定システムであって、
前記センサは、
前記処理装置に設定されるべきセンサパラメータを予め記憶するセンサ情報記憶手段を備え、
前記処理装置は、
前記センサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理実行手段と、
前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示手段と、
この読取指示手段からの指示に応じた登録処理またはオペレータからの入力によって登録されるセンサパラメータを前記処理実行手段が利用するセンサパラメータとして記憶する第1のセンサパラメータ記憶手段と、
前記読取指示手段からの指示に応じた登録処理のみによって登録されるセンサパラメータを記憶する第2のセンサパラメータ記憶手段と、
前記読取指示手段からの指示を受け、前記センサのセンサ情報記憶手段からセンサパラメータを読み取り、前記第1のセンサパラメータ記憶手段と前記第2のセンサパラメータ記憶手段とに登録する読取登録処理手段と、
前記第2のセンサパラメータ記憶手段にセンサパラメータが登録されていない場合に、読取未実行のアラームを出力するアラーム出力手段とを備えることを特徴とするセンサ情報設定システム。 - 物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理装置とからなるシステムにおいて、センサパラメータを前記処理装置に設定するセンサ情報設定システムであって、
前記センサは、
前記処理装置に設定されるべきセンサパラメータを予め記憶するセンサ情報記憶手段を備え、
前記処理装置は、
前記センサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理実行手段と、
前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示手段と、
この読取指示手段からの指示に応じた登録処理またはオペレータからの入力によって登録されるセンサパラメータを前記処理実行手段が利用するセンサパラメータとして記憶する第1のセンサパラメータ記憶手段と、
前記読取指示手段からの指示に応じた登録処理のみによって登録されるセンサパラメータを記憶する第2のセンサパラメータ記憶手段と、
前記読取指示手段からの指示を受け、前記センサのセンサ情報記憶手段からセンサパラメータを読み取り、前記第1のセンサパラメータ記憶手段と前記第2のセンサパラメータ記憶手段とに登録する読取登録処理手段と、
前記読取登録処理手段によって登録された後にオペレータからの入力によって前記第1のセンサパラメータ記憶手段に登録されたセンサパラメータと、前記読取登録処理手段によって前記第2のセンサパラメータ記憶手段に登録されたセンサパラメータとが異なる場合に、前記読取登録処理手段による登録結果無効のアラームを出力するアラーム出力手段とを備えることを特徴とするセンサ情報設定システム。 - 物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理装置とからなるシステムにおいて、センサパラメータを前記処理装置に設定するセンサ情報設定システムであって、
前記センサは、
前記処理装置に設定されるべきセンサパラメータを予め記憶するセンサ情報記憶手段を備え、
前記処理装置は、
前記センサが計測した物理量に応じた処理を実行する処理実行手段と、
前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示手段と、
この読取指示手段からの指示に応じた登録処理またはオペレータからの入力によって登録されるセンサパラメータを前記処理実行手段が利用するセンサパラメータとして記憶する第1のセンサパラメータ記憶手段と、
前記読取指示手段からの指示に応じた登録処理のみによって登録されるセンサパラメータを記憶する第2のセンサパラメータ記憶手段と、
前記読取指示手段からの指示を受け、前記センサのセンサ情報記憶手段からセンサパラメータを読み取り、前記第1のセンサパラメータ記憶手段と前記第2のセンサパラメータ記憶手段とに登録する読取登録処理手段と、
前記読取登録処理手段によって前記第2のセンサパラメータ記憶手段に登録された最新のセンサパラメータと前記第2のセンサパラメータ記憶手段に過去に登録されたセンサパラメータとが異なる場合に、登録結果異常のアラームを出力するアラーム出力手段とを備えることを特徴とするセンサ情報設定システム。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のセンサ情報設定システムにおいて、
前記センサパラメータは、センサ種類データ、校正データ、製造年月日データ、計測レンジデータ、TAGデータの少なくとも1つを含むことを特徴とするセンサ情報設定システム。 - 物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を処理実行手段で実行する処理装置とからなるシステムにおいて、センサパラメータを前記処理装置に設定するセンサ情報設定方法であって、
前記処理装置が、前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示ステップと、
前記処理装置が、前記読取指示ステップによる指示を受けて、前記センサのセンサ情報記憶手段から前記処理装置に設定されるべきセンサパラメータを読み取る読取ステップと、
前記処理装置が、前記読取指示ステップによる指示に応じた登録処理またはオペレータからの入力によって登録されるセンサパラメータを前記処理実行手段が利用するセンサパラメータとして記憶する第1のセンサパラメータ記憶手段と、前記読取指示ステップによる指示に応じた登録処理のみによって登録されるセンサパラメータを記憶する第2のセンサパラメータ記憶手段とに対して、前記センサ情報記憶手段から読み取ったセンサパラメータを登録する登録処理ステップと、
前記処理装置が、前記第2のセンサパラメータ記憶手段にセンサパラメータが登録されていない場合に、読取未実行のアラームを出力するアラーム出力ステップとを含むことを特徴とするセンサ情報設定方法。 - 物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を処理実行手段で実行する処理装置とからなるシステムにおいて、センサパラメータを前記処理装置に設定するセンサ情報設定方法であって、
前記処理装置が、前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示ステップと、
前記処理装置が、前記読取指示ステップによる指示を受けて、前記センサのセンサ情報記憶手段から前記処理装置に設定されるべきセンサパラメータを読み取る読取ステップと、
前記処理装置が、前記読取指示ステップによる指示に応じた登録処理またはオペレータからの入力によって登録されるセンサパラメータを前記処理実行手段が利用するセンサパラメータとして記憶する第1のセンサパラメータ記憶手段と、前記読取指示ステップによる指示に応じた登録処理のみによって登録されるセンサパラメータを記憶する第2のセンサパラメータ記憶手段とに対して、前記センサ情報記憶手段から読み取ったセンサパラメータを登録する登録処理ステップと、
前記処理装置が、前記登録処理ステップで登録された後にオペレータからの入力によって前記第1のセンサパラメータ記憶手段に登録されたセンサパラメータと、前記登録処理ステップで前記第2のセンサパラメータ記憶手段に登録されたセンサパラメータとが異なる場合に、前記登録処理ステップによる登録結果無効のアラームを出力するアラーム出力ステップとを含むことを特徴とするセンサ情報設定方法。 - 物理量を計測するセンサとセンサが計測した物理量に応じた処理を処理実行手段で実行する処理装置とからなるシステムにおいて、センサパラメータを前記処理装置に設定するセンサ情報設定方法であって、
前記処理装置が、前記センサからセンサパラメータを読み取る指示を入力する読取指示ステップと、
前記処理装置が、前記読取指示ステップによる指示を受けて、前記センサのセンサ情報記憶手段から前記処理装置に設定されるべきセンサパラメータを読み取る読取ステップと、
前記処理装置が、前記読取指示ステップによる指示に応じた登録処理またはオペレータからの入力によって登録されるセンサパラメータを前記処理実行手段が利用するセンサパラメータとして記憶する第1のセンサパラメータ記憶手段と、前記読取指示ステップによる指示に応じた登録処理のみによって登録されるセンサパラメータを記憶する第2のセンサパラメータ記憶手段とに対して、前記センサ情報記憶手段から読み取ったセンサパラメータを登録する登録処理ステップと、
前記処理装置が、前記登録処理ステップで前記第2のセンサパラメータ記憶手段に登録された最新のセンサパラメータと前記第2のセンサパラメータ記憶手段に過去に登録されたセンサパラメータとが異なる場合に、登録結果異常のアラームを出力するアラーム出力ステップとを含むことを特徴とするセンサ情報設定方法。 - 請求項5乃至7のいずれか1項に記載のセンサ情報設定方法において、
前記センサパラメータは、センサ種類データ、校正データ、製造年月日データ、計測レンジデータ、TAGデータの少なくとも1つを含むことを特徴とするセンサ情報設定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014078384A JP6410456B2 (ja) | 2014-04-07 | 2014-04-07 | センサ情報設定システムおよび方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014078384A JP6410456B2 (ja) | 2014-04-07 | 2014-04-07 | センサ情報設定システムおよび方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015200993A JP2015200993A (ja) | 2015-11-12 |
JP6410456B2 true JP6410456B2 (ja) | 2018-10-24 |
Family
ID=54552213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014078384A Expired - Fee Related JP6410456B2 (ja) | 2014-04-07 | 2014-04-07 | センサ情報設定システムおよび方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6410456B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10192763B2 (en) * | 2015-10-05 | 2019-01-29 | Applied Materials, Inc. | Methodology for chamber performance matching for semiconductor equipment |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006252145A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Yokogawa Electric Corp | パラメータ表示装置およびパラメータ表示方法 |
JP4710548B2 (ja) * | 2005-10-27 | 2011-06-29 | 横河電機株式会社 | フィールド機器管理装置 |
JP2011090542A (ja) * | 2009-10-23 | 2011-05-06 | Panasonic Electric Works Co Ltd | プログラマブル表示器及び使用電力量算出システム |
JP5170585B2 (ja) * | 2010-08-09 | 2013-03-27 | 横河電機株式会社 | プロビジョニング装置 |
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2014
- 2014-04-07 JP JP2014078384A patent/JP6410456B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015200993A (ja) | 2015-11-12 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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