KR20070000297A - 로드포트 페일 감지 방법 및 장치 - Google Patents

로드포트 페일 감지 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 로드포트 페일 감지 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명의 로드포트 페일 감지 방법 및 장치는, 로드포트에 웨이퍼 캐리어가 로딩된 후, 특정 시간, 예를 들어 알람 발생 기준 시간이 지나도록 호스트와 무응답 상태가 되거나, 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력 변화가 없을 경우, 알람을 발생시켜 작업자에게 알려 준다. 따라서 장시간 공정이 멈춘 상태로 방치되는 것을 방지하여, 설비 가동의 효율을 향상시킨다.

Description

로드포트 페일 감지 방법 및 장치{LOADPORT FAIL SENSING METHOD AND SYSTEM WITH THE SAME}
본 발명은 반도체 제조 방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 로드포트 페일 감지 방법 및 장치에 관한 것이다.
반도체 장치의 생산성을 향상시키고 제조원가를 절감하기 위하여 웨이퍼의 대구경화가 필수적으로 요구된다. 따라서 최근에는 300mm 직경의 반도체 웨이퍼가 사용되고 있다. 300mm 직경의 웨이퍼는 웨이퍼의 무게로 인하여 정면 개구 통합형 포드(Front Opening Unified Pod; 이하 'FOUP'이라 한다)와 같은 웨이퍼 용기 내에 수용한다. 상기 FOUP은 복수 개의 슬롯(slot)이 구비된 웨이퍼 캐리어(wafer carrier)와 상기 웨이퍼 캐리어를 적재한 상태로 이송하는 캐리어 박스 등과 같은 이송 도구를 통합한 것이다. 상기 FOUP은 부피가 크기 때문에 EFEM(Equipment Front End Module)과 같은 별도의 기판 이송 모듈을 둔다. 상기 FOUP을 EFEM의 로드포트(load port) 위에 로딩하고, 웨이퍼를 한 매씩 상기 EFEM을 통해 공정 챔버로 이송하는 방식을 채택하고 있다.
상기 EFEM 구성품의 하나인 로드포트는 공정 설비 당 2개에서 4개로 구성되어 있다. 투입되는 FOUP은 작업자 또는 자동 반송 장치를 통하여 로드포트에 로딩이 된다. 상기 FOUP 내의 모든 웨이퍼가 해당 단위공정, 예컨대 이온 주입, 식각 공정 등을 마치면 FOUP은 로드포트에서 언로딩되고, 작업자 또는 자동반송장치를 통하여 다음 공정으로 이동을 하게 된다.
상기 웨이퍼 캐리어가 로드포트에 로딩되고, 로드포트에서 하드웨어 상의 에러가 발생할 경우에는 알람이 발생하여 작업자가 쉽고 빠르게 조치를 취할 수 있다. 그러나 로드포트에서 전산상의 에러가 발생할 경우는 알람이 발생하지 않고, 그대로 공정이 멈춰지게 된다. 이 경우 작업자가 상기와 같은 로드포트 페일의 상태를 파악하기 매우 어려우며, 따라서 다음 공정의 진행이 지연되어 설비의 효율을 저하시킨다. 특히 무인화된 자동화 설비의 경우는 발생 자체를 감지 못하므로 생산에 막대한 지장을 초래한다.
본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 현장 작업자나 모니터링 통제실에 근무하는 작업자에게 로드포트 페일 발생을 신속하고 쉽게 알리는 로드포트 페일 감지 방법 및 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 특징에 의하면, 로드포트 페일 감지 방법은 로드포트에 웨이퍼 캐리어를 로딩하는 단계, 상기 웨이퍼의 각 단위 공정 작업을 진행하는 단계, 상기 각 단위 공정 작업의 완료시 호스트에 신호를 보내는 단계 및 상기 호스트가 신호를 전송받지 않은 경우, 알람 기준 시간의 초과 여부를 판단하여 작업자에게 알람을 표시하는 단계를 포함한다.
상기 알람이 표시된 경우 작업자가 로드포트의 이상을 알아차리고 조치를 취한다. 예를 들어, 상기 웨이퍼 캐리어를 상기 로드포트에 재로딩한다.
상기 알람은 작업 현장에 표시되어, 작업 현장에 작업자가 있을 경우 즉시 설비의 이상을 알게 한다. 또는 상기 알람은 모니터링 통제실에 표시되도록 하여 통제실에서 신속히 조치를 취할 수 있게 한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 로드포트 페일 감지 방법은 센서가 로드포트에 놓인 웨이퍼 캐리어를 감지하는 단계, 상기 웨이퍼의 단위 공정 작업의 완료 후 상기 웨이퍼 캐리어가 언로딩되고, 상기 센서가 상기 웨이퍼 캐리어의 부재를 감지하는 단계 및 상기 부재가 감지되지 않을 경우, 알람 발생 기준 시간이 경과하면 작업자에게 알람을 표시하는 단계를 포함한다.
상기 센서는 발광부와 수광부를 한 곳에 갖는 양방향 광센서이다.
상기 알람이 표시된 경우 작업자가 로드포트의 이상을 알아차리고 조치를 취한다. 예를 들어, 상기 웨이퍼 캐리어를 상기 로드포트에 재로딩한다.
상기 알람은 작업 현장에 표시되어, 작업 현장에 작업자가 있을 경우 즉시 설비의 이상을 알게 한다. 또는 상기 알람은 모니터링 통제실에 표시되도록 하여 통제실에서 신속히 조치를 취할 수 있게 한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 로드포트 페일 감지 장치는 웨이퍼 캐리어가 로딩되는 로드포트, 상기 로드포트 상에 상기 웨이퍼 캐리어가 존재/부재하느냐에 따라 출력 레벨이 변화되는 센서 및 상기 센서와 연결되고, 상기 센서의 출력 레벨 변화 없이 알람 발생 기준 시간이 경과된 경우 알람 신호를 발생하는 호스트를 포함한다. 상기 호스트는 상기 로드포트 상에 웨이퍼 캐리어가 로딩되어 상기 센서의 출력 레벨이 변화한 후 알람 발생 기준 시간이 경과하였는지를 판단하는 판단부와 상기 판단부의 결과에 따라 알람 신호를 발생하는 알람 신호 발생부를 포함한다.
상기 컨트롤러와 연결되고, 상기 컨트롤러의 알람 신호에 따라 알람이 표시되는 장치를 더 포함한다. 상기 알람이 표시되는 장치는 작업 현장 또는 모니터링 통제실 중의 어느 하나에 설치된다.
상기 센서는 양방향 광센서이다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 로드포트 페일 감지 장치는 웨이퍼 캐리어가 로딩되는 로드포트 및 상기 로드포트를 제어하고, 상기 로드포트와 신호를 주고 받는 호스트를 포함한다. 상기 호스트는, 상기 웨이퍼 캐리어가 상기 로드포트에 로딩된 후 알람 발생 기준 시간까지 상기 로드포트로부터의 신호가 없을 경우, 알람을 표시한다.
상기 알람의 표시는 작업 현장 또는 모니터링 통제실 중의 어느 하나에 표시된다.
이하 본 발명의 실시 예를 도 1 내지 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다. 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조번호를 명기한다.
도 1은 본 발명에 의한 로드포트 페일 감지 방법을 나타낸 순서도이다.
도 1을 참고하면, 웨이퍼 캐리어, 예컨대 FOUP이 작업자 또는 자동 반송 장치를 통해 로드포트에 로딩된다(S110). 그런 다음 단위 공정 작업들을 계속 진행한다(S120). 상기 단위 공정 작업들을 자세히 살펴보면, FOUP의 아이디에 해당하는 RF 태그를 읽어 확인하고 FOUP 도어를 연다. FOUP 도어가 열리면 매핑 센서를 통해 FOUP 내의 웨이퍼들의 개수와 위치 등을 센싱한다. 상기 센싱 결과를 호스트에 보내 호스트에서 오케이 신호가 오면 잡 프로파일을 생성한다. 상기 잡 프로파일 생성을 '트랙 인'이라 한다. 그러면 각 웨이퍼에 설정된 공정, 예컨대 식각 공정, 이온 주입 공정 등을 수행하기 위하여 웨이퍼를 공정 챔버로 이송시킨다. 모든 웨이퍼에 설정된 공정이 완료되면, '트랙 아웃'하고, FOUP 도어를 닫는다. 상기 단위 공정 작업들은 상기 호스트의 제어 아래 이루어진다. 각 단위 공정 작업들이 완료되어 신호를 호스트로 보내면, 호스트가 다음 작업을 진행하도록 명령을 내린다(S130). 그러나 로드포트에서 전산상의 에러가 발생하여 호스트에 신호가 전송되지 않을 경우 종래에는 공정 진행이 안 된 채로 정지하게 된다. 특히 무인 자동화된 시스템에서 상기와 같이 공정이 중단될 경우, 모니터링 통제실에서는 상기 상황을 알 수가 없어 오랜 시간 동안 방치되게 된다. 본 발명에서는 상기 호스트와 로드포트 사이에 통신 무응답 상태가 지속될 경우, 각 공정 작업에 설정된 알람 발생 기준 시간이 초과하였는지를 판단한다(S140). 호스트에 아무 신호가 도달하지 않는 상태로 알람 발생 기준 시간이 초과하였을 경우, 작업자가 로드포트의 페일 현상을 알아 차릴 수 있도록 알람을 표시한다(S150). 상기 알람은 반도체 제조 설비에 설치된 경고 램프를 통해 표시되어, 현장 작업자가 설비의 이상을 알아차리게 한다. 또는 상기 알람은 모니터링 통제실의 스크린에 표시되게 하여, 통제실의 작업자가 설비의 이상을 알아차리게 한다. 상기 알람에 의해 설비의 이상을 알아 차린 작업자는 로드포트를 점검하고, 정상으로 공정이 진행되도록 조치한다(S160). 예를 들어, 로드포트 상의 웨이퍼 캐리어를 점검하고 재로딩한다. 그럼 다시 공정 작업이 진행된다. 공정 작업이 완료되고, 정상적으로 통신이 이루어지면, 웨이퍼 캐리어를 로드포트에서 언로딩한다(S170). 상기 언로딩된 웨이퍼 캐리어는 다음 공정을 수행하기 위해 이동된다.
요약하면, 웨이퍼 캐리어가 로드포트에 로딩 후 호스트와 무응답 상태가 지속될 경우, 알람 발생 기준 시간이 초과하였는지 판단하여 알람을 표시한다. 따라서 전산상의 에러가 로드포트에서 발생하여 공정이 멈추었을 경우, 신속하고 쉽게 작업자가 조치를 취하게 한다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 의한 로드포트 페일 감지 방법의 순서도이다.
도 2를 참고하면, 웨이퍼 캐리어, 예컨대 FOUP이 작업자 또는 자동 반송 장치를 통해 로드포트에 로딩된다(S210). 그러면 상기 로드포트 상에 설치된 센서가 웨이퍼 캐리어의 존재를 감지하여 출력 신호 레벨이 변화하게 된다(S220). 예를 들어 로드포트 상에 웨이퍼 캐리어가 존재하지 않을 경우, 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력이 '로우' 레벨이다. 그리고 로드포트 상에 웨이퍼 캐리어가 로딩되면 상기 웨이퍼 캐리어 출력 감지 센서의 출력 신호 레벨이 '하이' 레벨로 변하게 된다. 상기 웨이퍼 캐리어 감지 센서는 발광부와 수신부를 한 곳에 갖춘 광센서로 로드포트 상에 설치된다. 상기 로드포트 상에 웨이퍼 캐리어가 존재하지 않을 경우, 발광부의 빛이 그대로 직진하여 수광부에 검출되지 않으므로 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력 신호 레벨이 '로우' 레벨을 나타낸다. 상기 로드포트 상에 웨이퍼 캐리어가 로딩될 경우, 발광부의 빛이 웨이퍼 캐리어에서 반사되어 수광부에서 검출되므로 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력 신호 레벨이 '하이' 레벨로 변화한다. 로드포트 상에 웨이퍼 캐리어가 존재하지 않을 경우, 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력이 '하이' 레벨을 나타내도록 하는 경우도 물론 가능하다.
그런 다음 단위 공정 작업들을 계속 진행한다(S230). 상기 단위 공정 작업들을 자세히 살펴보면, FOUP의 아이디에 해당하는 RF 태그를 읽어 확인하고 FOUP 도어를 연다. FOUP 도어가 열리면 매핑 센서를 통해 FOUP 내의 웨이퍼들의 개수와 위치 등을 센싱한다. 센싱 결과를 호스트에 보내 호스트에서 오케이 신호가 오면 잡 프로파일을 생성한다. 상기 잡 프로파일 생성을 '트랙 인'이라 한다. 그러면 각 웨이퍼에 설정된 공정, 예컨대 식각 공정, 이온 주입 공정 등을 수행하기 위하여 웨이퍼를 공정 챔버로 이송시킨다. 모든 웨이퍼에 설정된 공정이 완료되면, '트랙 아웃'하고, FOUP 도어를 닫는다. 상기 단위 공정 작업들은 호스트의 제어 아래 이루어진다. 상기 모든 단위 공정 작업들이 완료되면, 웨이퍼 캐리어를 로드포트에서 언로딩한다(S240). 그러면 상기 로드포트 상에 설치된 센서가 웨이퍼 캐리어의 부재를 감지하여 출력 신호 레벨이 변화하게 된다(S250). 예를 들어 로드포트 상에 웨이퍼 캐리어가 존재하여 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력이 '하이' 레벨로 지속되다가, 로드포트 상에 웨이퍼 캐리어가 언로딩되면 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력이 '로우' 레벨로 변화한다. 즉 정상적으로 공정 작업이 진행된 경우에는, 특정 기준 시간 이상이 지나면 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력 신호 레벨이 변화한다. 상기 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력 신호 레벨이 변화하지 않을 경우, 호스트는 설정된 알람 발생 기준 시간이 초과하였는지를 판단한다(S260). 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력 신호 레벨의 변화 없이 알람 발생 기준 시간이 초과하였을 경우, 호스트는 작업자가 로드포트의 페일 현상을 알아 차릴 수 있도록 알람을 표시한다(S270). 상기 알람은 반도체 제조 설비에 설치된 경고 램프를 통해 표시되어, 현장 작업자가 설비의 이상을 알아차리게 한다. 또는 상기 알람은 모니터링 통제실의 스크린에 표시되게 하여, 통제실의 작업자가 설비의 이상을 알아차리게 한다. 상기 알람에 의해 설비의 이상을 알아 차린 작업자는 로드포트를 점검하고, 정상으로 공정이 진행되도록 조치한다(S280). 예를 들어, 로드포트 상의 웨이퍼 캐리어를 점검하고 재로딩한다. 그럼 다시 공정 작업이 진행된다. 공정 작업이 완료되고, 정상적으로 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력 신호 레벨이 변화되면, 웨이퍼 캐리어는 다음 공정을 수행하기 위해 이동된다.
요약하면, 웨이퍼 캐리어가 로드포트에 로딩되어 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력 신호 레벨이 변화된다. 그리고 다시 상기 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력 신호 레벨이 변화되지 않을 경우에 알람 발생 기준 시간이 초과하였는지 판단한다. 상기 알람 발생 기준 시간이 초과하면, 정상적인 공정의 진행이 이루어지지 않은 경우이므로 알람을 표시한다. 이렇게 하여, 에러가 로드포트에 발생하였을 경우, 신속하고 쉽게 작업자가 조치를 취하게 한다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 의한 로드포트 페일 감지 장치의 구성도이다.
도 3을 참고하면, 로드포트 페일 감지 장치는 공정 설비들(1, 2, N-1, N)과, 상기 공정 설비를 제어하는 호스트(70)와, 상기 호스트의 신호에 따라 알람을 표시하는 장치(60, 80)를 포함한다. 상기 공정 설비(1)는 공정챔버(50)와, 웨이퍼 캐리어(20)가 로딩되는 다수의 로드포트(10)와, 센서(30) 및 기판 이송 챔버(40)를 포함한다. 상기 센서(30)는 상기 로드포트(10) 상에 설치되어 상기 로드포트(10) 상의 웨이퍼 캐리어(20)를 감지한다. 상기 기판 이송 챔버(40)는 상기 웨이퍼 캐리어(20)의 웨이퍼를 공정챔버로 이송한다. 상기 호스트(70)는 상기 공정 설비(1)와 상기 알림 표시 장치(60, 80)사이에 설치된다. 상기 호스트(70)는 공정 설비(1), 예컨대 로드 포트(10)에서 신호의 전송이 없을 경우에 알람 발생 기준 시간이 초과하였는지를 판단한다. 또는 상기 호스트(70)는 센서(30)의 출력 신호 레벨의 변화가 없는 경우에 알람 발생 기준 시간이 초과하였는지를 판단한다. 상기의 경우, 즉 로드 포트와 무응답 상태이거나 센서의 출력 레벨 변화가 없고, 알람 발생 기준 시간이 초과하는 경우에 알람 표시 장치(60, 80)에 알람이 표시되게 한다. 알람 표시 장치(60)는 각 공정 설비에 설치된 신호 타워이다. 상기 신호 타워(60)는 작업 현장에 위치하므로, 알람 발생시 현장의 작업자가 즉시 알라 차리도록 해 준다. 알람 표시 장치(80)는 모니터링 통제실에 위치한 스크린들이다. 상기 각 스크린은 각 공정 설비에 대응된다. 설비1(1)에 이상이 있을 경우 스크린(80a)에 알람이 표시되고, 설비2(2)에 이상이 있을 경우 스크린(80b)에 알람이 표시된다. 따라서 로드포트(10)에 전산상의 에러가 발생하여 공정이 멈추어 있는 경우, 통제실에서 신속하고 쉽게 알아차리게 해 준다. 상기 알람 표시 장치들(60, 80)에 알람이 표시되면, 작업자가 로드포트(10)를 점검하고, 정상으로 공정이 진행되도록 조치한다. 예를 들어, 로드포트(10) 상의 웨이퍼 캐리어(20)를 점검하고 재로딩한다.
도 4는 도 3의 로드포트 부분을 나타낸 도면이다.
도 4를 참고하면, 로드포트(10)에 웨이퍼 캐리어(20)가 위치해 있다. 상기 웨이퍼 캐리어(20)를 감지하기 위해 로드 포트(20) 상에 센서(30)가 존재한다. 상기 센서(30)는 발광부와 수광부를 같이 갖추고 있는 양방향 센서이다. 상기 센서(30)는 호스트(미도시)와 연결되어 있다. 로드포트(10)에 웨이퍼 캐리어(20)가 로딩되어 센서(30)에 웨이퍼 캐리어(20)가 감지되면 '하이' 레벨의 출력 신호를 호스트로 전송한다. 로드포트(20)에 웨이퍼 캐리어(20)가 언로딩되어 센서(30)에 웨이퍼 캐리어(20)가 감지되지 않으면, '로우' 레벨의 출력 신호를 호스트로 전송한다. 즉, 로드포트(10)에 웨이퍼 캐리어(20)가 로딩되면, 웨이퍼 캐리어 감지 센서(30)의 출력이 '로우' 레벨에서 '하이' 레벨로 변화하게 된다. 웨이퍼 캐리어 내의 모든 웨이퍼에 설정된 공정이 완료되면, 로드포트(10)로부터 웨이퍼 캐리어(20)가 언로딩된다. 즉 설비나 공정의 이상이 없으면 센서(30)의 출력이 '하이' 레벨에서 '로우' 레벨로 변화한다. 그러나 로드포트(10)에 이상이 발생하여, 예컨대 전산상의 에러가 발생하여 공정 진행이 중지된 경우, 웨이퍼 캐리어(20)가 로드포트(10)로부터 언로딩되지 않으므로, 계속 '하이' 레벨의 출력 신호를 유지한다. 알람 발생 기준 시간이 지날 때까지 센서(30)의 출력이 변화하지 않으면, 알람 표시 장치에 알람을 표시하여 작업자가 로드포트의 이상을 알게 한다.
상술한 바와 같이, 로드포트에 웨이퍼 캐리어가 로딩된 후, 특정 시간, 예를 들어 알람 발생 기준 시간이 지나도록 호스트와 무응답 상태가 되거나, 웨이퍼 캐리어 감지 센서의 출력 변화가 없을 경우, 알람을 발생시켜 작업자에게 알려 준다. 따라서 장시간 공정이 멈춘 상태로 방치되는 것을 방지하여, 설비 가동의 효율을 향상시킨다.
본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음은 자명하다.
본 발명에 의하면, 로드포트 페일 발생시 신속하게 작업자에게 알려 줌으로써, 장시간 공정의 진행이 중지되는 등의 생산 설비 효율의 저하를 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 의한 로드포트 페일 감지 방법을 나타낸 순서도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 의한 로드포트 페일 감지 방법을 나타낸 순서도이다.
도 3은 본 발명의 로드포트 페일 감지 장치의 구성도이다.
도 4는 도 3의 로드포트 부분을 자세히 나타낸 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 설명 >
1, 2, N-1, N : 공정 설비 10 : 로드포트
20 : 웨이퍼 캐리어 30 : 센서
40 : 기판 이송 챔버 50 : 공정 챔버
60, 80 : 알람 표시 장치 70 : 호스트

Claims (14)

  1. 로드포트에 웨이퍼 캐리어를 로딩하는 단계;
    웨이퍼의 각 단위 공정 작업을 진행하는 단계;
    상기 각 단위 공정 작업의 완료시 상기 로드포트에서 호스트로 신호를 보내는 단계 및;
    상기 호스트가 신호를 전송받지 않은 경우, 알람 발생 기준 시간이 초과하면 작업자에게 알람을 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 알람이 표시된 경우 작업자가 상기 웨이퍼 캐리어를 상기 로드포트에 재로딩하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 알람은 작업 현장 또는 모니터링 통제실 중의 어느 하나에 표시되는 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 방법.
  4. 센서가 로드포트에 놓인 웨이퍼 캐리어의 존재 여부를 감지하는 단계;
    웨이퍼의 단위 공정 작업들이 모두 완료되면 상기 웨이퍼 캐리어가 언로딩되고, 상기 센서가 상기 웨이퍼 캐리어의 부재 여부를 감지하는 단계;
    상기 부재가 감지되지 않을 경우, 알람 발생 기준 시간이 경과하면 작업자에게 알람을 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 센서는 양방향 광센서인 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 알람이 표시된 경우 작업자가 상기 웨이퍼 캐리어를 상기 로드포트에 재로딩하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 방법.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 알람의 표시는 작업 현장 또는 모니터링 통제실 중의 어느 한 곳에 표시되는 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 방법.
  8. 웨이퍼 캐리어가 로딩되는 로드포트;
    상기 로드포트 상에 상기 웨이퍼 캐리어가 존재하느냐에 따라 출력 레벨이 변화되는 센서 및;
    상기 센서와 연결되고, 상기 센서의 출력 레벨 변화 없이 알람 발생 기준 시간이 경과된 경우 알람 신호를 발생하는 호스트를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 호스트와 연결되고, 상기 호스트의 알람 신호에 따라 알람이 표시되는 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 알람이 표시되는 장치는 작업 현장 또는 모니터링 통제실 중의 어느 하나에 설치되는 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 호스트는 상기 센서의 출력 레벨 변화 후 알람 발생 기준 시간의 경과 여부를 판단하는 판단부와 상기 판단부의 결과에 따라 알람 신호를 발생하는 알람 신호 발생부를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 장치.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 센서는 양방향 광센서인 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 장치.
  13. 웨이퍼 캐리어가 로딩되는 로드포트 및
    상기 로드포트를 제어하고, 상기 로드포트와 신호를 송수신하는 호스트를 포함하되,
    상기 호스트는, 상기 웨이퍼 캐리어가 상기 로드포트에 로딩된 후 알람 발생 기준 시간까지 상기 로드포트의 신호가 없을 경우, 알람을 표시하는 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 장치.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 알람의 표시는 작업 현장 또는 모니터링 통제실 중의 어느 하나에 표시되는 것을 특징으로 하는 로드포트 페일 감지 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN111968927A (zh) * 2019-05-20 2020-11-20 爱思开海力士有限公司 用于处理晶片的装置以及操作其的方法

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