TW202338918A - 適當性判斷裝置以及適當性判斷方法 - Google Patents

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Abstract

適當性判斷裝置係具備：虛擬資訊生成部，係藉由將從基板處理裝置收集的複數個處理資訊中的至少一部分置換成虛擬資料從而生成虛擬資訊，且將虛擬資訊提供給資訊分析裝置；以及判斷部，係當虛擬資訊生成部已將虛擬資訊提供給資訊分析裝置時，基於資訊分析裝置是否檢測出基板處理裝置的異常來判斷資訊分析裝置中不變的關係性是否適合基板處理裝置，藉此判斷資訊分析裝置的檢測動作是否適當。

Description

適當性判斷裝置以及適當性判斷方法
本發明係關於一種用以判斷資訊分析裝置對基板處理裝置的異常檢測是否適當的適當性判斷裝置以及適當性判斷方法。
為了對半導體基板等各種基板進行各種處理而採用基板處理裝置。基板處理裝置中，例如按照預先制定的處理順序(處理處方(processing recipe))對基板實施一連串的處理。為了防止因基板處理裝置的異常而導致基板處理發生不良，提出了一種用以判斷基板處理裝置的異常的資料處理系統(例如，參照專利文獻1)。
該資料處理系統中，在基板的處理中測定與基板處理裝置相關的複數個物理量，將各測定結果按時間序列(time series)排列，從從而生成複數個時間序列資料(time series data)。複數個時間序列資料係包含例如從噴嘴噴出的處理液的流量以及腔室(chamber)內的壓力等物理量的資料。藉由將各時間序列資料與預先制定的基準資料進行比較而算出評價值。基於算出的評價值來判斷時間序列資料是否存在異常。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]特開2020-47847號公報。
[發明所欲解決之課題]
基板處理裝置的異常判斷中，在基板處理裝置的處理處方有變更或者構成基板處理裝置的各種機器有更新等情況下，需要調整資料處理系統的基準資料。當資料處理系統的基準資料不適當時，無法適當地進行基板處理裝置的異常判斷。當確認基板處理裝置的異常判斷是否適當時，需要進行基板處理裝置之狀態的確認以及資料處理系統之設定的確認。這些確認作業是繁瑣的。
本發明的目的在於提供一種容易判斷資訊分析裝置對基板處理裝置的異常檢測是否適當的適當性判斷裝置以及適當性判斷方法。 [用以解決課題之手段]
(1)本發明的一態樣中的適當性判斷裝置係用以判斷資訊分析裝置的檢測動作是否適當，該資訊分析裝置係構成為根據用以顯示基板處理裝置中與基板處理相關的動作或者狀態之複數個處理資訊間的不變(invariant)的關係性以及實際從基板處理裝置收集的複數個處理資訊來檢測基板處理裝置的異常；前述適當性判斷裝置係具備：虛擬資訊(dummy information)生成部，係藉由將從基板處理裝置收集的複數個處理資訊中的至少一部分置換成虛擬資料從而生成虛擬資訊，且將虛擬資訊提供給資訊分析裝置；以及判斷部，係當虛擬資訊生成部已將虛擬資訊提供給資訊分析裝置時，根據資訊分析裝置是否檢測出基板處理裝置的異常來判斷資訊分析裝置中不變的關係性是否適合基板處理裝置，藉此判斷資訊分析裝置的檢測動作是否適當；虛擬資料為以下述方式所設定的資料：當資訊分析裝置中的不變的關係性適合基板處理裝置時，在將虛擬資訊提供給資訊分析裝置後，藉由資訊分析裝置檢測出基板處理裝置的異常。
根據該適當性判斷裝置，藉由虛擬資訊生成部生成包含基板處理裝置的虛擬資料之虛擬資訊。虛擬資訊係藉由虛擬資訊生成部提供給資訊分析裝置。此處，虛擬資料係以下述方式所設定：當資訊分析裝置中的不變的關係性適合基板處理裝置時將虛擬資訊提供給資訊分析裝置後，藉由資訊分析裝置檢測出基板處理裝置的異常。亦即，當資訊分析裝置中的不變的關係性適合基板處理裝置時，一旦虛擬資訊被提供給資訊分析裝置，則藉由資訊分析裝置檢測出基板處理裝置的異常。另一方面，當資訊分析裝置中的不變的關係性不適合基板處理裝置時，在將虛擬資訊提供給資訊分析裝置後，存在資訊分析裝置未檢測出基板處理裝置的異常的情況。因此，當虛擬資訊被提供給資訊分析裝置時，根據資訊分析裝置是否檢測出基板處理裝置的異常，能判斷資訊分析裝置中的不變的關係性是否適合基板處理裝置。藉此，容易判斷資訊分析裝置的檢測動作是否適當。
(2)判斷部亦可在藉由虛擬資訊生成部將虛擬資訊已提供給資訊分析裝置時，若資訊分析裝置未檢測出基板處理裝置的異常，則判斷資訊分析裝置的檢測動作不適當。
該情況下，能通過簡單的判斷來判斷出資訊分析裝置的檢測動作不適當。
(3)適當性判斷裝置亦可進一步地具備：告知部，係當虛擬資訊被提供給資訊分析裝置時，在判斷部判斷出資訊分析裝置的檢測動作不適當的情況下，告知資訊分析裝置的檢測動作不適當。
該情況下，能容易且迅速地知曉資訊分析裝置的檢測動作不適當。
(4)適當性判斷裝置亦可進一步地具備：虛擬資訊發送指令部，係將用以指示由虛擬資訊生成部將虛擬資訊發送至資訊分析裝置之指令提供給虛擬資訊生成部；虛擬資訊生成部係在虛擬資訊發送指令部未指令發送虛擬資訊時將從基板處理裝置收集的複數個處理資訊發送至資訊分析裝置，而在虛擬資訊發送指令部已指令發送虛擬資訊時將虛擬資訊生成部所生成的虛擬資訊發送至資訊分析裝置。
該情況下，資訊分析裝置係能夠利用虛擬資訊發送指令部的指令而對基板處理裝置的異常檢測動作與適當性判斷裝置對於資訊分析裝置的檢測動作是否適當的判斷適當地進行切換。
(5)適當性判斷裝置亦可進一步地包含：輸出切換部，係接受資訊分析裝置所為的檢測動作的結果，且將所接收的檢測動作的結果發送至基板處理裝置或者判斷部；輸出切換部亦可當已將虛擬資訊提供給資訊分析裝置時，不將所接收到的檢測動作的結果發送至基板處理裝置。
該情況下，能防止對資訊分析裝置的檢測動作是否適當進行判斷時基於虛擬資訊得出的基板處理裝置的異常的檢測結果被提供給基板處理裝置。藉此，能防止使用者錯誤地識別基板處理裝置是否異常。
(6)虛擬資訊生成部亦可將與用以構成基板處理裝置之複數個構成要素中持續作動的構成要素相關的處理資訊置換成虛擬資料，虛擬資料亦可被設定為從與構成要素相關的處理資訊背離的值。
該情況下，當資訊分析裝置中的不變的關係性適合基板處理裝置時將虛擬資訊已提供給資訊分析裝置後，資訊分析裝置檢測出基板處理裝置異常的可能性增高。藉此，能更準確地判斷資訊分析裝置的檢測動作是否適當。
(7)本發明的另一態樣中的適當性判斷方法係用以判斷資訊分析裝置的檢測動作是否適當，該資訊分析裝置係構成為根據用以顯示基板處理裝置中與基板處理相關的動作或者狀態之複數個處理資訊間的不變的關係性以及實際從基板處理裝置收集的複數個處理資訊來檢測基板處理裝置的異常；該適當性判斷方法係包含下述步驟：藉由將從基板處理裝置收集的複數個處理資訊中的至少一部分置換成虛擬資料從而生成虛擬資訊，且將虛擬資訊提供給資訊分析裝置；以及當虛擬資訊被提供給資訊分析裝置時，根據資訊分析裝置是否檢測出基板處理裝置的異常而判斷資訊分析裝置中不變的關係性是否適合基板處理裝置，藉此判斷資訊分析裝置的檢測動作是否適當；虛擬資料為以下述方式所設定的資料：當資訊分析裝置中的不變的關係性適合基板處理裝置時將虛擬資訊提供給資訊分析裝置後，藉由資訊分析裝置檢測出基板處理裝置的異常。
根據該適當性判斷方法，當資訊分析裝置中的不變的關係性適合基板處理裝置時，一旦虛擬資訊被提供給資訊分析裝置，則藉由資訊分析裝置檢測出基板處理裝置的異常。另一方面，當資訊分析裝置中的不變的關係性不適合基板處理裝置時，在將虛擬資訊提供給資訊分析裝置後，資訊分析裝置未檢測出基板處理裝置的異常。因此，當虛擬資訊被提供給資訊分析裝置時，根據資訊分析裝置是否檢測出基板處理裝置的異常，能判斷資訊分析裝置中的不變的關係性是否適合基板處理裝置。藉此，容易判斷資訊分析裝置的檢測動作是否適當。 [發明功效]
能容易地判斷出資訊分析裝置對基板處理裝置的異常檢測是否適當。
以下，利用圖式說明本發明的一實施形態中的適當性判斷裝置以及適當性判斷方法。以下的說明中，基板係指半導體基板、液晶顯示裝置或者有機EL(Electro Luminescence)顯示裝置等的FPD(Flat Panel Display；平面顯示器)用基板、光碟用基板、磁碟用基板、光磁碟用基板、光罩用基板、陶瓷基板或者太陽電池用基板等。
(1)整體構成 圖1係用於說明一實施形態中的適當性判斷裝置的構成的圖。如圖1所示，適當性判斷裝置4係連接於基板處理裝置1以及資訊分析裝置3。適當性判斷裝置4係經由有線或者無線的通訊線或者通訊線路網而分別連接於基板處理裝置1以及資訊分析裝置3。例如，適當性判斷裝置4係經由網際網路等通訊線路網而分別連接於基板處理裝置1以及資訊分析裝置3。本實施形態中，適當性判斷裝置4係經由有線或者無線LAN(Local Area Network；區域網路)而分別連接於基板處理裝置1以及資訊分析裝置3。
(2)基板處理裝置1的構成例 圖1之例中，基板處理裝置1為批量式的基板洗淨裝置，包含處理槽11、基板保持部12、升降裝置13、洗淨液生成裝置14、濃度計20、搬送機器人30以及控制裝置40。再者，基板處理裝置1中除了設有複數個構上面所說明的成要素之外，還設有未圖示的顯示裝置、聲音輸出裝置以及操作部。
基板保持部12係以能夠保持複數個基板W的方式構成。處理槽11係以能夠收容藉由基板保持部12保持的複數個基板W的方式構成。處理槽11內蓄積有用於洗淨基板W的洗淨液。
升降裝置13係支持基板保持部12且使基板保持部12能夠在上下方向移動，並且藉由控制裝置40的控制而使基板保持部12在上下方向移動。藉此，升降裝置13係能將保持在基板保持部12的複數個基板W浸漬於處理槽11內蓄積的洗淨液中，且可將浸漬於洗淨液中的複數個基板W從處理槽11中提起。複數個基板W係藉由浸漬於洗淨液而被洗淨。而且，升降裝置13係設有未圖示的馬達作為用於使基板保持部12在上下方向移動的動力源。
洗淨液生成裝置14係具備蓄積箱14a以及未圖示的攪拌裝置(起泡(bubbling)裝置等)。於蓄積箱14a連接有藥液供給管91、純水供給管92、追加藥液供給管93以及排液管94。複數個配管(91至94)分別設有閥V1至V4。各個閥V1至V4為能夠藉由控制裝置40的控制而調整開放度之控制閥。
當閥V1打開時，藥液供給管91係將從未圖示的藥液供給系統所供給的藥液導入至蓄積箱14a。經過藥液供給管91供給至蓄積箱14a的藥液的流量(每單位時間的供給量)會根據閥V1的開放度而變化。
當閥V2打開時，純水供給管92係將從未圖示的純水供給系統所供給的純水供給至蓄積箱14a。經過純水供給管92供給至蓄積箱14a的純水的流量(每單位時間的供給量)會根據閥V2的開放度而變化。
如此，洗淨液生成裝置14的蓄積箱14a內蓄積預定量的藥液以及純水。而且，蓄積箱14a內，藉由未圖示的攪拌機構將所蓄積的藥液與純水混合，生成應蓄積在處理槽11中的洗淨液。作為藥液，可使用BHF(buffered hydrogen fluoride；緩衝氫氟酸)、DHF(dilute hydrofluoric acid；稀氫氟酸)、氫氟酸、鹽酸、硫酸、硝酸、磷酸、醋酸、草酸或者氨等。
當閥V3打開時，追加藥液供給管93係將從未圖示的藥液供給系統所供給的藥液導入至蓄積箱14a。關於藥液經過追加藥液供給管93而向蓄積箱14a的供給將於下文敘述。當閥V4打開時，排液管94係將洗淨液生成裝置14中蓄積的一部分或者全部的洗淨液排出至基板處理裝置1的外部。
蓄積箱14a係進一步地與液體供給管15連接。液體供給管15係設置成將處理槽11與洗淨液生成裝置14相連。而且，於液體供給管15設有泵16以及閥17。閥17為能夠藉由控制裝置40的控制來調整開放度之控制閥。在泵16的作動中閥17打開，藉此將蓄積箱14a中蓄積的洗淨液供給至處理槽11內。從蓄積箱14a向處理槽11供給的洗淨液的流量係根據閥17的開放度而變化。於洗淨液生成裝置14的蓄積箱14a設有加熱器21以及溫度感測器22。控制裝置40係控制供給至加熱器21的電力。藉此，可調整洗淨液的溫度。洗淨液的溫度係由溫度感測器22檢測。
在處理槽11的底部連接有液排出管18。於液排出管18設有閥19。閥19為能夠藉由控制裝置40的控制來調整開放度之控制閥。將閥19打開，藉此將處理槽11內蓄積的一部分的洗淨液經過液排出管18從基板處理裝置1排出。從處理槽11排出的洗淨液的流量係根據閥19的開放度而變化。在複數個基板W的洗淨處理時，從洗淨液生成裝置14向處理槽11供給洗淨液，且處理槽11的內部的洗淨液係經過液排出管18排出。
濃度計20係響應來自控制裝置40的指令來檢測蓄積箱14a中蓄積的洗淨液中的藥液濃度，並將檢測結果提供給控制裝置40。搬送機器人30係在處理槽11更上方的位置處搬送由基板保持部12保持的複數個基板W。控制裝置40例如由CPU(Central Processing Unit；中央處理單元)(中央運算處理裝置)以及記憶體構成，用以控制升降裝置13的動作、搬送機器人30的動作、閥V1至V4的開閉動作以及閥17、19的開放度等。控制裝置40的記憶體中記憶有用於執行上面所說明的基板處理裝置1的基板處理之基板處理程式。
而且，控制裝置40係根據濃度計20提供的藥液濃度的檢測結果，反饋控制被供給至蓄積箱14a的藥液的量以使蓄積箱14a中蓄積的洗淨液的藥液濃度處於預先制定的範圍內。例如，控制裝置40在濃度計20檢測出的洗淨液的藥液濃度低於預先制定的範圍時，將追加的藥液從未圖示的藥液供給系統經過追加藥液供給管93供給至洗淨液生成裝置14。
而且，控制裝置40係具有緊急停止功能，該緊急停止功能係在人員進入基板處理裝置1A的內部的預定空間或者基板處理裝置1內所設的預定的檢測器(例如濃度計20)失去功能時使基板處理裝置1停止動作。
(3)處理資訊 基板處理裝置1中，制定有用於顯示基板處理裝置1中與基板W的處理相關的動作或者狀態之複數個處理資訊作為用於管理該基板處理裝置1的異常之資訊。本實施形態中，這些處理資訊係如圖1中粗的實線箭頭所示，從基板處理裝置1的控制裝置40經由適當性判斷裝置4按預定週期發送至資訊分析裝置3。再者，這些處理資訊亦可從基板處理裝置1的控制裝置40按預定週期直接發送至資訊分析裝置3。
如圖1的對話框內所示，從基板處理裝置1經由適當性判斷裝置4發送至資訊分析裝置3的處理資訊係包含「a.藥液濃度」、「b.藥液供給量」、「c.泵I/O訊號」、「d.處理液供給量」、「e.馬達轉速」、「f.向馬達供給的電力」、「g.藥液追加量」、「h.藥液供給閥開放度」以及「i.洗淨液排出閥開放度」。
「a.藥液濃度」係顯示濃度計20檢測出的蓄積箱14a內的洗淨液的藥液濃度。「b.藥液供給量」係顯示從藥液供給管91供給至洗淨液生成裝置14的蓄積箱的洗淨液的流量。「b.藥液供給量」係藉由對例如藥液供給管91設置流量計來檢測。
基板處理裝置1中，泵16作動，閥17打開，藉此將蓄積箱14a中蓄積的處理液供給至處理槽11內。「c.泵I/O訊號」為從控制裝置40提供給泵16且用於指示泵16的作動或者指示泵16停止作動之訊號。「d.處理液供給量」係顯示蓄積箱14a中蓄積的處理液供給至處理槽11內的處理液的流量。「d.處理液供給量」係能藉由例如設置液體供給管15的流量計來檢測。
「e.馬達轉速」為於升降裝置13所設的馬達的轉速，例如可藉由使用旋轉速度感測器檢測馬達的旋轉速度而算出。「f.向馬達供給的電力」為供給至設在升降裝置13的馬達的電力量，例如能使用電力計來檢測。
「g.藥液追加量」係顯示為了使蓄積箱14a中蓄積的洗淨液的藥液濃度處於預先制定的範圍內而從追加藥液供給管93追加供給至該蓄積箱14a的藥液的流量。「g.藥液追加量」係能藉由例如在追加藥液供給管93設置流量計來檢測。「h.藥液供給閥開放度」係顯示於藥液供給管91所設的閥的開放度。「i.洗淨液排出閥開放度」係顯示於排液管94所設的閥的開放度。
「j.加熱器電力」係顯示供給至加熱器21的電力。「k.洗淨液溫度」係顯示供給至加熱器21的電力，且顯示洗淨液生成裝置14所生成的洗淨液的溫度。
(4)資訊分析裝置3對基板處理裝置1的異常檢測 資訊分析裝置3係例如為伺服器，包含CPU以及記憶體。資訊分析裝置3係收集基板處理裝置1所發送的複數個處理資訊。資訊分析裝置3中，針對從基板處理裝置1發送至資訊分析裝置3的複數個處理資訊，預先制定彼此不同的兩個處理資訊的複數個組合。
此時，在用以構成各組合之兩個處理資訊之間，維持預先制定的不變(不變動)的關係性(以下稱為不變關係)。不變關係是按照基板處理裝置1的預先制定的每種處理順序(處理處方)而被設定。
此處假定，在基板處理裝置1發生異常的狀態下執行基板處理，藉此執行不適合的基板處理。該情況下，用以構成複數個組合中的至少一個組合之兩個處理資訊之間的關係從不變關係背離。
因此，資訊分析裝置3係算出實際收集的複數個處理資訊的複數個組合的關係與針對這些複數個處理資訊所預先制定的複數個不變關係的背離程度作為複數個背離度。而且，資訊分析裝置3係根據所算出的複數個背離度算出該基板處理裝置1的異常程度作為異常分數。異常分數的算出方法的具體例將於下文敘述。
而且，資訊分析裝置3係如圖1中粗的一點鏈線的箭頭所示，將算出的異常分數發送至基板處理裝置1。異常分數的發送係在資訊分析裝置3中每次算出異常分數時進行。此時，各基板處理裝置1中記憶有從資訊分析裝置3發送的異常分數。
而且，資訊分析裝置3係針對基板處理裝置1判斷異常分數是否超過預先制定的異常判斷臨限值。當異常分數超過異常判斷臨限值時，資訊分析裝置3係如圖1中粗的二點鏈線的箭頭所示，經由適當性判斷裝置4向基板處理裝置1發送警報。以下，將這些動作稱為對基板處理裝置1的異常的檢測動作。
本實施形態中，關於異常分數(異常程度)，對於進行基板處理裝置1的維護以及檢查的人員(以下稱為維護作業者)的迅速應對要求越低則異常分數越低，而對於維護作業者的迅速應對要求越高則異常分數越高。
作為異常分數低的狀態，可列舉複數個處理資訊全部處於從分別對應於複數個組合的不變關係預測為正常的範圍內的狀態。
另一方面，異常分數高的狀態係包含例如「a.藥液濃度」的實際的時間性變化明顯大於根據「b.藥液供給量」的時間性變化預測的時間性變化的狀態。當持續該狀態時，會因無法調整洗淨液的藥液濃度而導致基板W的處理不良，產生有害氣體以及導致基板處理裝置1的構成零件受損。
而且，異常分數高的狀態係包含例如「f.向馬達供給的電力」的實際的值明顯大於預測的值的狀態。該狀態下，對馬達作用超出預想的負荷的可能性較大。因此，當持續該狀態時，會導致包含馬達在內的動作部的故障、基板W的搬送不良以及基板處理裝置1的構成零件受損。
而且，異常分數高的狀態係包含例如「g.藥液追加量」的實際的值超出預測的範圍而變動的狀態。該狀態下，難以將洗淨液的濃度保持固定。因此，該狀態的持續會導致基板W的處理不良。
而且，異常分數高的狀態係包含例如「h.藥液供給閥開放度」以及「i.洗淨液排出閥開放度」的實際的時間性變化與根據「a.藥液濃度」以及「b.藥液供給量」預測的時間性變化明顯不同的狀態。當基板處理裝置1處於該狀態時，認為基板處理裝置1處於緊急停止功能下的停止狀態或者處於主體上應停止的狀態。
(5)資訊分析裝置3中異常分數的算出例 如上文所述，在資訊分析裝置3中，制定了彼此不同的兩個處理資訊的複數個組合。為了算出異常分數，針對各個組合算出背離度。圖2係用於說明背離度的具體算出例的圖。此處，說明圖1的「e.馬達轉速」與「f.向馬達供給的電力」的組合所對應的背離度的算出例。以下的說明中，將「e.馬達轉速」的資料適宜地稱為「e」資料，將「f.向馬達供給的電力」的資料適宜地稱為「f」資料。
為了算出背離度，需要有基於「e.馬達轉速」與「f.向馬達供給的電力」之間的不變關係的基準資料。因此，於資訊分析裝置3中保持有在基板處理裝置1實際對基板W進行處理前該基板處理裝置1按照預先制定的處理處方理想地執行動作時的「e」資料以及「f」資料。
這些理想的「e」資料以及「f」資料係例如根據當基板處理裝置1實際上正常動作時從基板處理裝置1發送的複數個處理資訊而取得。或者，理想的「e」資料以及「f」資料亦可藉由模擬等方式生成。
在圖2的上部，利用曲線圖顯示理想的「e」資料以及「f」資料的時間性變化的一例。「e」資料的曲線圖中，橫軸係顯示時間，縱軸係顯示馬達的轉速。「f」資料的曲線圖中，橫軸係顯示時間，縱軸係顯示供給至於圖1的升降裝置13所設的馬達的電力量(供給電力)。「e」資料的曲線圖與「f」資料的曲線圖中的橫軸(時間軸)係共通的。
根據圖2的上部的兩個曲線圖可知，隨著馬達的轉速變大，向馬達供給的電力亦以大致固定的比例變大。亦即，馬達的轉速與向馬達供給的電力係具有不變關係。當基板處理裝置1理想地執行動作時，複數個處理資訊的各組合的關係等同於不變關係。因此，資訊分析裝置3中針對複數個處理資訊的各組合預先記憶有不變關係。藉此，資訊分析裝置3中設定有適合基板處理裝置1的不變關係。
該狀態下，基板處理裝置1中實施基板W的處理，藉由資訊分析裝置3收集實際的「e」資料以及「f」資料。在圖2的中央部利用曲線圖顯示實際收集的「e」資料以及「f」資料的時間性變化的一例。
當收集實際的「e」資料後，根據預先記憶的不變關係預測「f」資料。而且，當收集實際的「f」資料後，根據預先記憶的不變關係來預測「e」資料。在圖2的下部，利用曲線圖顯示根據不變關係預測的「e」資料以及「f」資料的時間性變化的一例。再者，圖2的下部的曲線圖中，以實線顯示預測的「e」資料以及「f」資料，以虛線顯示實際收集的「e」資料以及「f」資料。
當基板處理裝置1理想地執行動作時，實際的「e」資料與預測的「e」資料係一致或者大致一致。而且，實際的「f」資料與預測的「f」資料係一致或者大致一致。然而，當基板處理裝置1發生異常時，實際的「e」資料與預測的「e」資料背離的可能性較大。而且，實際的「f」資料與預測的「f」資料背離的可能性較大。關於該背離的程度，基板處理裝置1發生的異常的程度越大則該背離的程度越大，基板處理裝置1發生的異常的程度越小則該背離的程度越小。
因此，本實施形態中，算出作為實際收集的處理資訊的資料與作為預測的處理資訊的資料的差量值作為背離度。圖2之例中，資訊分析裝置3在某時間點算出背離度時，算出實際的「e」資料與預測的「e」資料的差量值作為背離度。而且，資訊分析裝置3算出實際的「f」資料與預測的「f」資料的差量值作為背離度。
圖3係用於說明異常分數的具體算出例的圖。資訊分析裝置3係針對複數個處理資訊的全部的組合算出上面所說明的背離度。圖3的左縱欄的處理資訊「a」至「k」各自的右側的列(row)中排列的複數個值係顯示根據上橫欄的處理資訊「a」至「k」分別預測出的處理資訊與實際取得的處理資訊之間的背離度。圖3的上橫欄的處理資訊「a」至「k」各自的下側的行(column)中排列的複數個值係顯示根據左縱欄的「a」至「k」分別預測出的處理資訊與實際取得的處理資訊之間的背離度。
例如，左縱欄的處理資訊「e」的右側的列與上橫欄的處理資訊「f」的下側的行之間的交叉部的欄內的值「30」係顯示根據處理資訊「f」預測出的處理資訊「e」與實際取得的處理資訊「e」之間的背離度。而且，上橫欄的處理資訊「e」的下側的行與左橫欄的處理資訊「f」的右側的列之間的交叉部的欄內的值「28」係顯示根據處理資訊「e」預測出的處理資訊「f」與實際取得的處理資訊「f」之間的背離度。
圖3中係顯示針對全部的複數個處理資訊而算出的複數個背離度。資訊分析裝置3係在算出全部背離度後，算出所算出的複數個背離度的合計值作為異常分數。圖3之例中，異常分數為264。
如上文所述，資訊分析裝置3內的不變關係是針對基板處理裝置1的每種處理處方而設定。因此，當基板處理裝置1的處理處方被變更為其他處理處方後，需要將資訊分析裝置3中設定的不變關係更新以適合變更後的其他處理處方。而且，當用以構成基板處理裝置1之各種機器被變更或者更新後，需要將資訊分析裝置3內的不變關係更新以適合已變更或者更新的機器。以下，將如基板處理裝置1的處理處方已被變更的情況或者構成基板處理裝置1的任一機器已被變更或者更新的情況般基板處理裝置1中與基板處理相關的動作或者狀態已被變更的情況統稱為基板處理裝置1的動作狀態的變更。
當基板處理裝置1的動作狀態被變更時，需要更新資訊分析裝置3中設定的不變關係以適合基板處理裝置1的變更後的動作狀態。當基板處理裝置1的動作狀態的變更後，在資訊分析裝置3的不變關係未更新為適合基板處理裝置1的變更後的動作狀態的情況下，資訊分析裝置3係無法準確檢測基板處理裝置1的異常。該情況下，資訊分析裝置3的檢測動作變得不適當。因此，使用用以判斷資訊分析裝置3的檢測動作是否適當的適當性判斷裝置4。
(6)適當性判斷裝置4 如圖1所示，適當性判斷裝置4係例如為個人電腦，包含CPU以及記憶體。該適當性判斷裝置4係具備顯示部4a以及操作部4b，例如供管理基板處理裝置1或者資訊分析裝置3的管理者使用。
本實施形態中，適當性判斷裝置4係將基板處理裝置1發送的複數個處理資訊(本例中為圖1所示的「a」至「j」)中的至少一部分置換成預先制定的值(以下稱為虛擬資料)。藉此，適當性判斷裝置4係生成包含從基板處理裝置1發送的處理資訊以及虛擬資料之虛擬資訊。再者，適當性判斷裝置4亦可藉由將從基板處理裝置1發送的複數個處理資訊全部置換成虛擬資料從而生成虛擬資訊。
此處，虛擬資料係以如下方式設定：當資訊分析裝置3中的不變關係適合基板處理裝置1時將虛擬資訊提供給資訊分析裝置3後，藉由資訊分析裝置3算出的異常分數確實地超出預先制定的異常判斷臨限值。該情況下，不論基板處理裝置1是正常還是異常，資訊分析裝置3中的不變關係適合基板處理裝置1時，資訊分析裝置3係在被提供虛擬資訊後，皆檢測基板處理裝置1的異常。當虛擬資訊提供給資訊分析裝置3後，資訊分析裝置3未檢測到異常時，可判斷資訊分析裝置3中的不變關係不適合基板處理裝置1。該情況下，判斷資訊分析裝置3的檢測動作不適當。
適當性判斷裝置4係如粗的虛線箭頭所示，按預先制定的週期(例如比複數個處理資訊發送至資訊分析裝置3之預定週期更長的週期)將虛擬資訊發送至資訊分析裝置3。藉此，資訊分析裝置3係對於適當性判斷裝置4所發送的虛擬資訊進行上面所說明的異常檢測動作。
作為置換成虛擬資料的處理資訊，亦可使用例如與用以構成基板處理裝置1之機器中之在基板處理裝置1的運轉過程中持續作動的機器相關的處理資訊。而且，虛擬資料係被設定為從與構成要素相關的處理資訊背離的值。與基板處理裝置1的運轉過程中持續作動的機器相關的處理資訊係顯示例如不同於0的值。該情況下，例如可將「c.泵I/O訊號」以及「d.處理液供給量」作為被置換成虛擬資料之處理資訊來使用。該情況下，在圖1的基板處理裝置1中，將在從控制裝置40向泵16指示了泵16的作動的狀態下供給至處理槽11內的處理液的流量係被置換成作為虛擬資料的0。而且，能將「k.藥液溫度」作為被置換成虛擬資料之處理資訊來使用。該情況下，在圖1的基板處理裝置1中，在從控制裝置40供給至加熱器21的電力得到控制的狀態下，溫度感測器22所檢測出的藥液溫度係被置換成最為虛擬資料的0。
當資訊分析裝置3的檢測動作適當時，資訊分析裝置3中包含「c.泵I/O訊號」以及「d.處理液供給量」之處理資訊間的關係從不變關係背離，且資訊分析裝置3算出的異常分數係超出預先制定的異常判斷臨限值。藉此，資訊分析裝置3係向適當性判斷裝置4發送警報。
另一方面，當資訊分析裝置3的檢測動作不適當時，資訊分析裝置3中包含「c.泵I/O訊號」以及「d.處理液供給量」之處理資訊之間的關係並不限於從不變關係背離。因此，發生資訊分析裝置3算出的異常分數不超出預先制定的異常判斷臨限值的情況。該情況下，資訊分析裝置3係不向適當性判斷裝置4發送警報。
藉此，適當性判斷裝置4係能在已發送虛擬資訊時根據是否從資訊分析裝置3接收到警報來判斷資訊分析裝置3中的不變關係是否適合基板處理裝置1。該情況下，能判斷資訊分析裝置3的檢測動作是否適當。
本實施形態中，適當性判斷裝置4係在已從資訊分析裝置3接收到警報時，判斷資訊分析裝置3中的不變關係適合基板處理裝置1，且判斷資訊分析裝置3的檢測動作適當。而且，適當性判斷裝置4係在未從資訊分析裝置3接收警報時，判斷資訊分析裝置3中的不變關係並不適合基板處理裝置1，且判斷資訊分析裝置3的檢測動作不適當。
本實施形態中，適當性判斷裝置4係在已將虛擬資訊發送至資訊分析裝置3時，不將從資訊分析裝置3接收的警報發送至基板處理裝置1。藉此，可防止向基板處理裝置1錯誤地發送警報。
當資訊分析裝置3的檢測動作不適當時，適當性判斷裝置4係使顯示部4a顯示警告，該警告係顯示資訊分析裝置3的檢測動作不適當。以下，將這些一連串的適當性判斷裝置4的動作稱為適當性判斷動作。
(7)適當性判斷裝置4的功能性構成以及適當性判斷動作的一例 圖4係主要用於說明本實施形態中的適當性判斷裝置4的功能性構成的方塊圖。再者，圖4中係顯示用於說明基板處理裝置1以及資訊分析裝置3的功能性構成的方塊圖。圖5係顯示基板處理裝置1的控制裝置40(參照圖1)中執行的處理的一例的流程圖。圖6係顯示對於資訊分析裝置3中執行的基板處理裝置1的異常的判斷動作的一例的流程圖。圖7係顯示適當性判斷裝置4中執行的適當性判斷動作的一例的流程圖。
如圖1中所說明，基板處理裝置1係包含控制裝置40。控制裝置40係將基板處理裝置1內取得的複數個處理資訊按預定週期經由適當性判斷裝置4而發送至資訊分析裝置3(圖5的步驟S10)。在複數個處理資訊發送時亦可將複數個處理資訊對應於發送時刻而記憶在控制裝置40中。
接著，控制裝置40係判斷是否從資訊分析裝置3接收到異常分數(步驟S11)。當未接收到異常分數時，控制裝置40係反復進行步驟S11的判斷。當接收到異常分數時，控制裝置40係將所接收的異常分數對應於接收時刻而進行記憶(步驟S12)。
而且，控制裝置40係判斷是否從資訊分析裝置3接收到警報(步驟S13)。當未接收到警報時，控制裝置40係結束處理。當接收到警報時，控制裝置40係利用基板處理裝置1的顯示裝置或者聲音輸出裝置以影像或者聲音的形式輸出警報(步驟S14)。
圖4中，資訊分析裝置3係包含資訊收集部31、分數算出部32、分數發送部33以及警報發送部34。資訊分析裝置3的記憶體中記憶有檢測動作執行程式，檢測動作執行程式係用於對上面所說明的基板處理裝置1執行異常檢測動作。藉由資訊分析裝置3的CPU執行檢測動作執行程式，藉此實現資訊分析裝置3的構成要素(31至34)的功能。圖4的資訊分析裝置3的構成要素(31至34)的一部分或者全部亦可由電子電路等硬體實現。
資訊收集部31係收集從基板處理裝置1經由適當性判斷裝置4而發送的複數個處理資訊或者虛擬資訊並提供給分數算出部32(圖6的步驟S20)。分數算出部32係根據複數個處理資訊或者虛擬資訊算出複數個背離度，且算出基板處理裝置1的異常分數，並將所算出的異常分數提供給分數發送部33以及警報發送部34(步驟S21)。
分數發送部33係將分數算出部32所算出的異常分數發送至基板處理裝置1(步驟S22)。此處，基板處理裝置1中，從分數發送部33發送的異常分數係例如以與異常分數的算出時刻、發送時刻或者接收時刻等時間相對應的狀態而記憶。
警報發送部34係判斷算出的異常分數是否超出異常判斷臨限值(步驟S23)。當異常分數未超出異常判斷臨限值時，警報發送部34係返回步驟S21。當異常分數超出異常判斷臨限值時，警報發送部34係向基板處理裝置1發送警報(步驟S24)。
圖4中，適當性判斷裝置4係包含虛擬資料記憶部41、虛擬資訊生成部42、虛擬資訊發送指令部43、警報接收部44、輸出切換部45、判斷部46以及顯示部4a。適當性判斷裝置4的記憶體中記憶有用於執行適當性判斷動作的適當性判斷程式。由適當性判斷裝置4的CPU執行適當性判斷程式，藉此實現適當性判斷裝置4的構成要素(41至46)的功能。圖4的適當性判斷裝置4的構成要素(41至46)的一部分或者全部亦可由電子電路等硬體實現。
虛擬資料記憶部41中預先記憶有虛擬資料。虛擬資訊生成部42係判斷是否從基板處理裝置1接收到複數個處理資訊(圖7的步驟S30)。虛擬資訊生成部42係在未從基板處理裝置1接收到複數個處理資訊時，反復進行步驟S30的判斷。當虛擬資訊生成部42從基板處理裝置1接收到複數個處理資訊時，虛擬資訊發送指令部43係判斷當前時間點是否為適當性判斷動作的開始時間點(步驟S31)。
步驟S31中，若當前時間點並非適當性判斷動作的開始時間點，則虛擬資訊生成部42係將從基板處理裝置1接收的複數個處理資訊發送至資訊分析裝置3(步驟S32)。此處，在資訊分析裝置3內執行異常檢測動作(上面所說明的圖6的步驟S20至S24)。警報接收部44係判斷輸出切換部45是否從資訊分析裝置3接收到警報(步驟S33)。當輸出切換部45未從資訊分析裝置3接收到警報時，執行步驟S30的動作。當輸出切換部45從資訊分析裝置3接收到警報時，輸出切換部45係向基板處理裝置1發送警報(步驟S34)。之後，執行步驟S30的動作。
步驟S31中，若當前時間點為適當性判斷動作的開始時間點，則虛擬資訊生成部42係將從基板處理裝置1接收的複數個處理資訊中的至少一部分置換成虛擬資料，藉此生成虛擬資訊(步驟S35)。接著，虛擬資訊生成部42係根據來自虛擬資訊發送指令部43的指令而將虛擬資訊發送至資訊分析裝置3的資訊收集部31(步驟S36)。此處，在資訊分析裝置3內執行異常檢測動作(上面所說明的圖6的步驟S20至S24)。警報接收部44係判斷輸出切換部45是否從資訊分析裝置3接收到警報(步驟S37)。當輸出切換部45從資訊分析裝置3接收到警報時，判斷部46係判斷資訊分析裝置3的檢測動作適當(步驟S40)。之後，判斷部46係返回步驟S30。當輸出切換部45未從資訊分析裝置3接收到警報時，判斷部46係判斷資訊分析裝置3的檢測動作不適當(步驟S38)。該情況下，適當性判斷裝置4的顯示部4a中顯示出用以顯示資訊分析裝置3的檢測動作不適當的警告(步驟S39)。之後，實施步驟S30的判斷。
(8)實施形態的功效 根據上述實施形態的適當性判斷裝置4，當資訊分析裝置3中的不變關係不適合基板處理裝置1時，若將虛擬資訊提供給資訊分析裝置3，則藉由資訊分析裝置3檢測基板處理裝置1的異常。另一方面，當資訊分析裝置3中的不變關係不適合基板處理裝置1時，若將虛擬資訊提供給資訊分析裝置3，則資訊分析裝置3有時未檢測出基板處理裝置1的異常。因此，當將虛擬資訊提供給資訊分析裝置3後，可根據資訊分析裝置3是否檢測出基板處理裝置1的異常來判斷資訊分析裝置3中的不變關係是否適合基板處理裝置1。藉此，能容易地判斷出資訊分析裝置3的檢測動作是否適當。
而且，當虛擬資訊生成部42已將虛擬資訊提供給資訊分析裝置3時，若資訊分析裝置3未檢測出基板的異常，則適當性判斷裝置4的判斷部46係判斷為資訊分析裝置3的檢測動作不適當。該情況下，能藉由簡單判斷來判斷出資訊分析裝置的檢測動作不適當。
而且，當判斷為資訊分析裝置3的檢測動作不適當時，顯示部4a中顯示出用以顯示資訊分析裝置3的檢測動作不適當的警告。藉此，管理作業者係能容易且迅速地知曉資訊分析裝置的檢測動作不適當。
而且，虛擬資訊生成部42係根據虛擬資訊發送指令部43發出的虛擬資訊發送的指令，發送從基板處理裝置1收集的複數個處理資訊以及虛擬資訊中的任一個。該情況下，能夠利用虛擬資訊發送指令部43的指令適宜地切換資訊分析裝置3對基板處理裝置1的異常的檢測動作及適當性判斷裝置4對資訊分析裝置3的檢測動作是否適當的判斷。
而且，當已將虛擬資訊提供給資訊分析裝置3時，輸出切換部45並不將所接收的資訊分析裝置3的檢測動作的結果發送至基板處理裝置1。該情況下，能防止當判斷資訊分析裝置3的檢測動作是否適當時虛擬資訊所為之基板處理裝置1的異常的檢測結果被提供給基板處理裝置1。藉此，能防止使用者識別基板處理裝置1時錯誤地識別基板處理裝置1是否異常。
而且，虛擬資訊生成部42係將與用以構成基板處理裝置1之複數個構成要素中的持續作動的構成要素相關的處理資訊置換成虛擬資料。而且，虛擬資料係被設定為從與構成要素相關的處理資訊背離的值。該情況下，當資訊分析裝置3中的不變關係適合基板處理裝置1時，在將虛擬資訊提供給資訊分析裝置3後，資訊分析裝置3檢測出基板處理裝置1異常的可能性增高。藉此，能更準確地判斷資訊分析裝置3的檢測動作是否適當。
(9)其他實施形態 (9-1)上述實施形態中，基板處理裝置1為批量式的基板洗淨裝置，但本發明並不限於此。基板處理裝置1亦可並非批量式的基板洗淨裝置而是單片式的基板洗淨裝置，亦可具有用以實施洗淨處理以外的處理之構成。例如，基板處理裝置1亦可為塗佈裝置、顯影裝置、加熱裝置、冷卻裝置或者搬送裝置等其他的基板處理裝置。
(9-2)上述實施形態中，雖然適當性判斷裝置4係包含虛擬資料記憶部41，但亦可不包含虛擬資料記憶部41。該情況下，適當性判斷裝置4的虛擬資訊生成部42亦可例如從網際網路上的雲端(cloud)等取得虛擬資料。該情況下，適當性判斷裝置4的構成要素的數量會減少。而且，虛擬資料記憶部41係能由複數個適當性判斷裝置4共用。
(9-3)上述實施形態中，基板處理裝置1的複數個處理資訊係經由適當性判斷裝置4發送至資訊分析裝置3，但複數個處理資訊亦可直接發送至資訊分析裝置3。該情況下，亦可僅在適當性判斷裝置4的適當性判斷動作的開始時間點將基板處理裝置1的複數個處理資訊發送至適當性判斷裝置4。或者，亦可僅在適當性判斷裝置4的適當性判斷動作的開始時間點，藉由虛擬資訊生成部42將複數個處理資訊全部置換成虛擬資料從而將虛擬資訊發送至資訊分析裝置3。
(9-4)上述實施形態中，虛擬資訊生成部42係基於來自虛擬資訊發送指令部43的指令而將虛擬資訊發送至資訊分析裝置3的資訊收集部31，但本發明並不限於此。例如，虛擬資訊生成部42亦可經由適當性判斷裝置4的操作部4b而在管理者發出指令的時序將虛擬資訊發送至資訊分析裝置3的資訊收集部31。該情況下，適當性判斷裝置4中，亦可不設置虛擬資訊發送指令部43。藉此，適當性判斷裝置4的功能性構成要素的數量減少。
(9-5)上述實施形態中，資訊分析裝置3的警報係經由適當性判斷裝置4而發送至基板處理裝置1，但亦可直接發送至基板處理裝置1。該情況下，輸出切換部45亦可僅取得適當性判斷裝置4的適當性判斷動作時發送的警報。
(9-6)上述實施形態中，當適當性判斷裝置4中資訊分析裝置3的檢測動作不適當時，顯示部4a中顯示出用以顯示資訊分析裝置3的檢測動作不適當的警告，但本發明並不限於此。當適當性判斷裝置4中資訊分析裝置3的檢測動作不適當時，亦可藉由燈等的點亮而通知警告，又亦可藉由聲音通知顯示裝置的畫面上的顯示或者警告。
(9-7)上述實施形態中，基板處理裝置1以及資訊分析裝置3係分開設置，但基板處理裝置1以及資訊分析裝置3亦可一體設置。而且，上述實施形態中，資訊分析裝置3以及適當性判斷裝置4係分開設置，但資訊分析裝置3以及適當性判斷裝置4亦可一體設置。
1:基板處理裝置 3:資訊分析裝置 4:適當性判斷裝置 11:處理槽 12:基板保持部 13:升降裝置 14:洗淨液生成裝置 14a:蓄積箱 15:液體供給管 16:泵 17,19:閥 18:液排出管 20:濃度計 21:加熱器 22:溫度感測器 30:搬送機器人 31:資訊收集部 32:分數算出部 33:分數發送部 34:警報發送部 40:控制裝置 41:虛擬資料記憶部 42:虛擬資訊生成部 43:虛擬資訊發送指令部 44:警報接收部 45:輸出切換部 46:判斷部 4a:顯示部 91:藥液供給管 92:純水供給管 93:追加藥液供給管 94:排液管 W:基板 V1至V4:閥
[圖1]係用於說明一實施形態中的適當性判斷裝置的構成的圖。 [圖2]係用於說明背離度的具體算出例的圖。 [圖3]係用於說明異常分數的具體算出例的圖。 [圖4]係主要用於說明本實施形態中的適當性判斷裝置的功能性構成的方塊圖。 [圖5]係顯示基板處理裝置的控制裝置中執行的處理的一例的流程圖。 [圖6]係顯示資訊分析裝置中對基板處理裝置執行的異常判斷動作的一例的流程圖。 [圖7]係顯示適當性判斷裝置中執行的適當性判斷動作的一例的流程圖。
1:基板處理裝置
3:資訊分析裝置
4:適當性判斷裝置
4a:顯示部
31:資訊收集部
32:分數算出部
33:分數發送部
34:警報發送部
40:控制裝置
41:虛擬資料記憶部
42:虛擬資訊生成部
43:虛擬資訊發送指令部
44:警報接收部
45:輸出切換部
46:判斷部

Claims (7)

  1. 一種適當性判斷裝置，係用以判斷資訊分析裝置的檢測動作是否適當，前述資訊分析裝置係構成為基於用以顯示基板處理裝置中與基板處理相關的動作或者狀態之複數個處理資訊間的不變的關係性以及實際從前述基板處理裝置收集的複數個處理資訊來檢測前述基板處理裝置的異常； 前述適當性判斷裝置係具備： 虛擬資訊生成部，係藉由將從前述基板處理裝置收集的複數個前述處理資訊中的至少一部分置換成虛擬資料從而生成虛擬資訊，並且將前述虛擬資訊提供給前述資訊分析裝置；以及 判斷部，係當前述虛擬資訊生成部已將前述虛擬資訊提供給前述資訊分析裝置時，根據前述資訊分析裝置是否檢測出前述基板處理裝置的異常來判斷前述資訊分析裝置中的前述不變的關係性是否適合前述基板處理裝置，藉此判斷前述資訊分析裝置的檢測動作是否適當； 前述虛擬資料為以下述方式所設定的資料：當前述資訊分析裝置中的前述不變的關係性適合前述基板處理裝置時，在前述虛擬資訊提供給前述資訊分析裝置後，藉由前述資訊分析裝置檢測出前述基板處理裝置的異常。
  2. 如請求項1所記載之適當性判斷裝置，其中前述判斷部係當前述虛擬資訊生成部已將前述虛擬資訊提供給前述資訊分析裝置時，在前述資訊分析裝置未檢測出前述基板處理裝置的異常的檢測的情況下，判斷前述資訊分析裝置的檢測動作不適當。
  3. 如請求項1或2所記載之適當性判斷裝置，其中進一步地具備：告知部，係當前述虛擬資訊已提供給前述資訊分析裝置時，在前述判斷部判斷前述資訊分析裝置的檢測動作不適當的情況下，告知前述資訊分析裝置的檢測動作不適當。
  4. 如請求項1或2所記載之適當性判斷裝置，其中進一步地具備：虛擬資訊發送指令部，係將用以指示由前述虛擬資訊生成部將前述虛擬資訊發送至前述資訊分析裝置之指令提供給前述虛擬資訊生成部； 前述虛擬資訊生成部係當前述虛擬資訊發送指令部未指令發送前述虛擬資訊時將前述基板處理裝置收集的複數個前述處理資訊發送至前述資訊分析裝置，當前述虛擬資訊發送指令部已指令發送前述虛擬資訊時將前述虛擬資訊生成部生成的前述虛擬資訊發送至前述資訊分析裝置。
  5. 如請求項1或2所記載之適當性判斷裝置，其中進一步地包含：輸出切換部，係接收前述資訊分析裝置的檢測動作的結果，且將所接收的前述檢測動作的結果發送至前述基板處理裝置或者前述判斷部； 當前述虛擬資訊已提供給前述資訊分析裝置時，前述輸出切換部係不將接收到的前述檢測動作的結果發送至前述基板處理裝置。
  6. 如請求項1或2所記載之適當性判斷裝置，其中前述虛擬資訊生成部係將與用以構成前述基板處理裝置之複數個構成要素中持續作動的構成要素相關的處理資訊置換成前述虛擬資料，前述虛擬資料係被設定為從與前述構成要素相關的處理資訊背離的值。
  7. 一種適當性判斷方法，係用以判斷資訊分析裝置的檢測動作是否適當，前述資訊分析裝置係構成為基於用以顯示基板處理裝置中與基板處理相關的動作或者狀態之複數個處理資訊間的不變的關係性以及實際從前述基板處理裝置收集的複數個處理資訊來檢測前述基板處理裝置的異常； 前述適當性判斷方法係具備下述步驟： 藉由將從前述基板處理裝置收集的複數個前述處理資訊中的至少一部分置換成虛擬資料從而生成虛擬資訊，並且將前述虛擬資訊提供給前述資訊分析裝置；以及 當前述虛擬資訊已提供給前述資訊分析裝置時，根據前述資訊分析裝置是否檢測出前述基板處理裝置的異常來判斷前述資訊分析裝置中的前述不變的關係性是否適合前述基板處理裝置，藉此判斷前述資訊分析裝置的檢測動作是否適當； 前述虛擬資料為以下述方式所設定的資料：當前述資訊分析裝置中的前述不變的關係性適合前述基板處理裝置時，在前述虛擬資訊提供給前述資訊分析裝置後，藉由前述資訊分析裝置檢測前述基板處理裝置的異常。
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