WO2006016436A1

WO2006016436A1 - 制御システム、制御方法、および処理システム、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体およびコンピュータプログラム

Info

Publication number: WO2006016436A1
Application number: PCT/JP2005/005805
Authority: WO
Inventors: Kazushi Mori
Original assignee: Tokyo Electron Limited
Priority date: 2004-08-11
Filing date: 2005-03-29
Publication date: 2006-02-16
Also published as: TW200606607A; TWI311697B

Abstract

　制御システムは、ウエハＷに所定の処理を施す処理装置１０において検出される複数のプロセス情報に基づいて処理装置１０を制御する制御装置１７と、検出されたプロセス情報が所定の範囲から外れた場合にアラームを発するアラーム発生手段２１とを具備し、制御装置１７は、アラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する。

Description

明細書

制御システム、制御方法、および処理システム、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体およびコンピュータプログラム

技術分野

[0001] 本発明は、例えば半導体デバイスの製造の際に被処理体に所定の処理を行う処理装置を含む制御システム、制御方法、および処理システム、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体およびコンピュータプログラムに関する。

背景技術

[0002] 例えば半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウェハ（以下、単にウェハと記す）に種々の処理が施され、そのために種々の処理装置が用いられている。このような処理装置としては、例えば、処理液を貯留した 1または複数の処理槽にウェハを浸漬させて処理を行った後、乾燥処理を行う洗浄処理装置が挙げられる。

[0003] このような洗浄処理装置は、基板に供給する処理液の温度を検出する温度センサや、処理液の濃度を検出する濃度センサ、槽内の処理液の位置を検出する位置センサ等の種々の検出データを入力し、処理装置の状態を検知するとともに、種々の検出データに基づ!/、て処理装置を制御する制御システムが設けられて!/、る。この制御システムは、また、処理装置の稼働中にセンサの検出値が予め設定された許容値を超えた場合には、処理装置に障害が発生するおそれがあるとしてアラームを発する。

[0004] 一方、ウェハの処理にお、ては、複数の処理装置を配置して処理システムを構築するが、近年このような処理システムは大規模ィ匕しており、そのため多数の処理装置を一元管理する要求が益々高まって!/、る。

[0005] このため、各処理装置に制御部を設け、これら制御部をホストコンピュータに接続し、ホストコンピュータは各処理装置の制御部との間での各種データのやりとりを通じて各処理装置のトラッキング処理や、各処理装置力受信したプロセスデータを履歴として蓄積し、その内容を表示装置に表示したり、そのプロセスデータに基づいて処理装置の各種パラメータ補正や異常検出等を行うようにしてヽる。 [0006] また、特許文献 1では、このようなホストコンピュータを用いた一元管理方式では、蓄積されるプロセスデータが限定的であり、また処理装置の異常や特性劣化を早期に発見することが困難であるとして、ホストコンピュータの他に、各処理装置の制御部で生成された全てのプロセスデータを収集し、収集したプロセスデータを解析し、解析結果を出力するコントローラを設けることが開示されている。これにより、把握するプロセスデータを増加させることができ、各処理装置の状態の経時的な変化も早期に発見することができるとして、る。

[0007] しかしながら、このようなシステムにおいて各処理装置からのプロセスデータは膨大であり、したがって、各処理装置力ものアラーム情報も膨大であるため、このような情報から処理装置の状態を判断することは容易ではなぐ装置異常や装置寿命等を十分に管理することが求められてきた。また、ユーザーによって装置の使用状況は異なり、プロセスデータから装置異常や装置寿命を一律に判断しても、実際に装置異常や装置寿命に達して、な、場合もある。

特許文献 1：特開平 11― 16797号公報

発明の開示

[0008] 本発明の目的は、アラーム情報に基づいて、処理装置の状態を判断することが可能であり、装置異常や装置寿命等を十分に管理することができる制御システムおよび制御方法およびそのような制御システムを備えた処理システム、さらにはそのような制御を行うコンピュータ読取可能な記憶媒体およびコンピュータプログラムを提供することにある。

[0009] また、本発明の他の目的は、ユーザーレベルで確実に実際の装置異常や装置寿命を予測ないし発見することができる制御システムおよび制御方法および処理システム、さらにはそのような制御を行うコンピュータ読取可能な記憶媒体およびコンビユータプログラムを提供することにある。

[0010] 本発明の第 1の観点によれば、被処理体に所定の処理を施す処理装置において検出される情報に基づいて前記処理装置を制御する制御手段と、検出された情報が所定の範囲から外れた場合にアラームを発するアラーム発生手段とを具備し、前記制御手段は、前記アラーム発生手段から発生するアラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する制御システムが提供される。

[0011] 本発明の第 2の観点によれば、被処理体に所定の処理を施す複数の処理装置において検出される情報に基づいて前記複数の処理装置を制御する制御手段と、前記検出される情報が所定の範囲力外れた場合にアラームを発するアラーム発生手段とを具備し、前記制御手段は、前記各処理装置において検出される複数の情報に基づいて前記複数の処理装置を個別に制御する複数の装置制御部と、前記各装置制御部から一部の情報を受信し、その情報に基づ、て前記各処理装置を制御するホストコンピュータと、前記各装置制御部から全てのまたはほぼ全ての情報を受信し、その情報に基づいて前記各処理装置を制御する制御装置とを有し、前記制御装置は、前記各装置制御部力受信した情報およびアラーム発生手段力受信したァラーム情報を収集する手段と、前記収集した情報を解析する手段と、前記アラーム情報に基づいて前記アラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する手段とを有する、制御システムが提供される。

[0012] 本発明の第 3の観点によれば、被処理体に所定の処理を施す処理装置において検出される複数の情報に基づ、て前記処理装置を制御する制御方法であって、検出された情報が所定の範囲から外れた場合に発生されるアラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する制御方法が提供される。

[0013] 本発明の第 4の観点によれば、被処理体に所定の処理を施す処理装置と、前記処理装置を制御する制御システムとを具備し、前記制御システムは、被処理体に所定の処理を施す処理装置において検出される情報に基づ!/、て前記処理装置を制御する制御手段と、検出された情報が所定の範囲力外れた場合にアラームを発するァラーム発生手段とを備え、前記制御手段は、前記アラーム発生手段から発生するァラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する処理システムが提供される。

[0014] 本発明の第 5の観点によれば、被処理体に所定の処理を施す処理装置と、前記処理装置を制御する制御システムとを具備し、前記制御システムは、被処理体に所定の処理を施す複数の処理装置において検出される情報に基づいて前記複数の処理装置を制御する制御手段と、前記検出される情報が所定の範囲力外れた場合にァラームを発するアラーム発生手段とを備え、前記制御手段は、前記各処理装置において検出される複数の情報に基づいて前記複数の処理装置を個別に制御する複数の装置制御部と、前記各装置制御部から一部の情報を受信し、その情報に基づいて前記各処理装置を制御するホストコンピュータと、前記各装置制御部から全てのまたはほぼ全ての情報を受信し、その情報に基づ!/、て前記各処理装置を制御する制御装置とを有し、前記制御装置は、前記各装置制御部から受信した情報およびアラーム発生手段から受信したアラーム情報を収集する手段と、前記収集した情報を解析する手段と、前記アラーム情報に基づいて前記アラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する手段とを有する、処理システムが提供される。

[0015] 本発明の第 6の観点によれば、コンピュータが被処理体に所定の処理を施す処理装置において検出される複数の情報に基づいて前記処理装置を制御するソフトゥェァを含むコンピュータにより読み取り可能な記憶媒体であって、前記ソフトウェアは、検出された情報が所定の範囲から外れた場合に発生されるアラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する、記憶媒体が提供される。

[0016] 本発明の第 7の観点によれば、コンピュータが被処理体に所定の処理を施す処理装置において検出される複数の情報に基づいて前記処理装置を制御するソフトゥェァを含むコンピュータプログラムであって、前記ソフトウェアは、検出された情報が所定の範囲から外れた場合に発生されるアラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する、コンピュータプログラムが提供される

[0017] 本発明によれば、アラーム発生手段力発生するアラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知するので、装置異常や装置寿命を早期に発見または予測することができる。また、アラーム発生手段から発生するアラームの発生状態の閾値を設定可能とし、任意に設定した異常設定に応じてァラームの発生状態を解析し、装置異常を検出することができるので、ユーザーにとって実際に把握したい処理異常等の装置状態となったときに警告を通知するようにすることができ、より早期にかつ確実に処理装置の異常や寿命を発見ないし予測することができる。具体的には、例えば所定時間内のアラーム発生数、およびアラーム発生してから次回のアラーム発生までの時間等、装置アラームの発生状態の警告を通知する閾値をユーザーが設定し、この閾値に達した場合に装置異常が生じたと判断することにより、処理装置の状態をユーザーレベルで確実に判断することが可能であり、装置異常や装置寿命をより早期にかつ確実に発見ないし予測することができる。

図面の簡単な説明

[0018] [図 1]本発明の一実施形態に係る処理システムの全体的な構成を示すブロック図。

[図 2]本発明の一実施形態に係る処理システムに用いられる処理装置のメインコントローラ (MC)におけるプロセスデータ転送に係る部分の構成を示す図。

[図 3]本発明の一実施形態に係る処理システムに用いられる処理装置の一例を示す斜視図。

[図 4]本発明の一実施形態に係る処理システムに用いられる処理装置の一例を示す平面図。

[図 5]本発明の一実施形態に係る処理システムに用いられる処理装置の第 1の薬液槽およびその配管系を示す概略図。

[図 6]ブロックコントローラ (BC)に接続している主な検出手段を示すブロック図。

[図 7]AGCの FDC機能部において検出すべきアラーム発生状態の一例を示す図。

[図 8] AGCの FDC機能部において検出すべきアラーム発生状態の他の例を示す図

[図 9]AGCの FDC機能部において検出条件を指定した際のアラーム発生状況のグラフ表示の一例を示す図。

[図 10]AGCの FDC機能部において検出条件を指定した際のアラーム発生状況のグラフ表示の他の例を示す図。

発明を実施するための最良の形態

[0019] 以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。ここでは、基板としてのウェハに液処理を施して洗浄する処理装置を備えた処理システムについて説明する。図 1は本実施形態に係る処理システムの全体的な構成を示すブロック図である。

[0020] この処理システム 1は、ウェハに液処理を施して洗浄する複数の処理装置 10を有しており、各処理装置 10は、下位制御系であるブロックコントローラ（BC) 11と、上位制御系であるメインコントローラ（MC) 12により制御されるようになっている。また、処理システム 1は、システム全体の制御を行うホストコンピュータ 15と、各処理装置の制御系で生成されたプロセスデータを解析してその結果を出力するアドバンスド 'グループ 'コントローラ（以下、 AGCと記す） 17とを有して、る。

[0021] 図 2に示すように、メインコントローラ（MC) 12は、ブロックコントローラ（BC) 11を介して検出信号を受信し、その検出信号に基づいて処理装置 10の各構成部に制御信号を送信する制御部 12aと、制御部 12aから受け取ったプロセス情報を解析して異常を検出する異常検出部 20と、異常検出部 20の異常検出情報に基づいてアラームを発生させるアラーム発生部 21と、処理装置 10からブロックコントローラ (BC) 11を介して受信され制御部 12aで信号処理された全プロセス情報およびアラーム情報が一時的に蓄積されるメモリ 18と、メモリ 18から予め設定された一部の種類のプロセスデータ（データ 1, 3)を取り出して情報を書き込む HCI送信バッファ 19と、ホストコンビュータ 15との論理的なインターフェイス手段である HCI (Host Communication Interface ) 13と、 AGC 17との論理的なインターフェイス手段である RAP (Remote Agent Process) 16とを有している。そして、 HCI13によって、 TCPZlP等のデータ伝送系 1 4を通じたホストコンピュータ 15との間での各種データのやりとりが行われる。また、 R AP16によって AGC17との間での各種データのやりとりがデータ伝送系 14を通じて行われる。

[0022] HCI13は、メインコントローラ 12にて処理装置 10から得た全てのプロセスデータの中から予め設定された一部の種類のプロセスデータだけを選択してホストコンビユータ 15に送信する。すなわち、 HCI13は、メインコントローラ（MC) 12にて生成された全プロセスデータが一時的に蓄積されるメモリ 18から予め設定された一部の種類のプロセスデータ（データ 1, 3)を取り出して HCI送信バッファ 19に書き込み、 HCI送信バッファ 19の内容をまとめてホストコンピュータ 15に送信する。また、メインコント口ーラ（MC) 12で生成されたステータスデータ等も送信される。

[0023] RAP16は、メインコントローラ（MC) 12にて処理装置 10から得た全てのプロセスデータを無条件に AGC 17に送信する。すなわち、 RAP16は、メインコントローラ（MC ) 12内のプロセスデータ蓄積用メモリ 18に蓄積されたプロセスデータを先頭力順次読み出し、そのデータ構造のまま AGC 17に転送する。ただし、データの順番を並び換えたり、ごく一部のデータを排除する程度の操作をここで行ってもよい。

[0024] ホストコンピュータ 15は、各処理装置 10のメインコントローラ（MC) 12との間での各種データをやりとりを通じて各処理装置 10のトラッキング処理を行うなど各処理装置 1 0の全体的な動作制御を行う。

[0025] AGC17は、各処理装置毎のレシピ (プロセス条件値）の集中管理やレシピに基づく各処理装置 10のプロセスコントロールをはじめとして、各処理装置 10から得られる全てのプロセスデータを対象に、その解析処理、統計処理、プロセスデータやその解析 Z統計結果の集中モニタリング処理、さらには解析 Z統計結果をレシピに反映させる処理等を行う。

[0026] AGC17は AGCサーバ 17aと AGCクライアント 17bから構成されている。

[0027] AGCサーバ 17aは、通信 iZF (インターフェース部） 22と、 EQM制御部 23と、データベース 24とを有している。通信 IZF (インターフェース部） 22は、各処理装置 10 のメインコントローラ（MC) 12および AGCクライアント 17bとの間でデータ伝送系 14 を通じて各種テータを送受信する。 EQM制御部 23は、予め定義されたプロセス条件と各処理装置 10から得られるプロセスデータに基づいて処理装置毎のプロセスの各種パラメータ補正を行うとともに、受信したパラメータのデータベース 24への格納、および AGCクライアント 17bに転送すべきプロセスデータをデータベース 24から検索する処理等を主に行う。

[0028] AGCクライアント 17bは、 AGCサーバ 17aより転送されてきたプロセスデータの解析処理および統計処理を行うデータ解析部 25と、取り込んだプロセスデータやその解析結果等をクライアントユーザの利用 ·加工可能な形式のデータに変換するデータ変換部 26と、変換データをモニタ等に表示するデータ表示部 27と、被処理体上の膜厚等の測定データを含むプロセスデータの解析結果に基づ、てレシピ (プロセス条件)を最適化するように更新するレシピ修正部 28と、装置アラーム発生とは別に、ユーザーレベルで装置異常を定義し、任意に設定した異常設定に応じてアラームの発生状態を解析し、装置異常をリアルタイムで検出する等の機能を有する FDC ( Fault Detection and Classification)機能部 29とを有する。なお、レシピはハードディスクゃ半導体メモリーに記憶されていてもよいし、 CDROM、 DVD等の可搬性の記憶媒体に収容された状態で所定位置にセットするようになっていてもよい。さらに、他の装置から、例えば専用回線を介してレシピを適宜伝送させるようにしてもよい。

[0029] 次に、処理装置 10の一例について説明する。図 3は処理装置 10の斜視図であり、図 4はその平面図である。

[0030] 処理装置 10は、ウェハ Wが水平状態で収納されたキャリア Cを搬入出し、また保管等する搬入出部 31と、ウエノ、 Wに所定の薬液を用いた洗浄処理を行い、また乾燥処理等を行う処理部 32と、搬入出部 31と処理部 32との間でウェハ Wを搬送するインタ一フェイス部 33とで主に構成されて、る。

[0031] 搬入出部 31は、所定枚数、例えば 25枚のウェハ Wを収容可能なキャリア Cを載置するためのステージ 41が形成されたキャリア搬入出部 34と、複数のキャリア Cが保管可能となっているキャリアストック部 35とで構成されている。キャリア Cは、ウェハ Wを略水平に所定間隔で収容し、その一側面がウェハ Wの搬入出口となっており、この搬入出口が蓋体により開閉可能となっている構造を有する。また、キャリアストック部 3 5は、複数のキャリア保持部材 43が設けられており、これらキャリア保持部材 43によりキャリア Cが保持されるようになっている。ステージ 41に載置された処理前のウェハ W が収納されたキャリア Cは、キャリア搬送装置 42によりキャリアストック部 35へ搬入され、一方、処理後のウエノ、 Wが収納されたキャリア Cは、キャリアストック部 35からキヤリア搬送装置 42を用いて、ステージ 41へと搬出される。

[0032] キャリア搬入出部 34とキャリアストック部 35との間にはシャッター 44が設けられており、キャリア搬入出部 34とキャリアストック部 35との間でのキャリア C受け渡しの際にシャッター 44が開かれ、それ以外のときにはキャリア搬入出部 34とキャリアストック部 35 との間の雰囲気分離を行うベぐシャッター 44は閉じた状態とされる。 [0033] キャリア搬送装置 42は、例えば、少なくともキャリア Cを X方向に移動させることが可能なように駆動される多関節アームまたは伸縮アーム等のアーム 42aを有しており、このようなアーム 42aがキャリア Cを把持してキャリア Cの搬送を行う。また、キャリア搬送装置 42は、図示しない Y軸駆動機構と Z軸駆動機構により、 Y方向及び Z方向（高さ方向）へも駆動可能となっており、これにより所定位置に配設されたキャリア保持部材 43にキャリア Cを載置することが可能となって、る。

[0034] キャリア保持部材 43は、図 4では、キャリアストック部 35を形成する壁面近傍に設けられており、各箇所において高さ方向に複数段に，例えば 4段設けられている。キヤリァストック部 35は、処理前のウェハ Wが収納されたキャリア Cを一時的に保管し、また ,ウェハ Wが取り出された内部が空となったキャリア Cを保管する役割を果たす。

[0035] キャリアストック部 35とインターフェイス部 33との境界には窓部 46が形成されており、この窓部 46のキャリアストック部 35側には、キャリア Cの蓋体が窓部 46に対面するようにキャリア Cを載置することができるように、キャリア保持部材 43と同様の構造を有する検査 Z搬入出ステージ 45が設けられている。なお、検査 Z搬入出ステージ 45を配設することなぐ窓部 46に対面した所定のスペースにおいてキャリア搬送装置 42 がキャリア Cを所定時間保持するようにしてもょ、。窓部 46のキャリアストック部 35側には、検査 Z搬入出ステージ 45に載置されたキャリア Cの蓋体の開閉を行うための蓋体開閉機構 47が設けられており、窓部 46およびキャリア Cの蓋体を開けた状態とすることで、キャリア C内のウエノ、 Wをインターフェイス部 33側へ搬出することが可能となっており、逆に、インターフェイス部 33側力も空のキャリア C内へウェハ Wを搬入することも可能である。なお、蓋体開閉機構 47は窓部 46のインターフェイス部 33側に設けてもよい。

[0036] 窓部 46のインターフェイス部 33側には、キャリア C内のウェハ Wの枚数を計測するためのウェハ検査装置 48が設けられている。ウェハ検査装置 48は、例えば、送信部と受信部を有する赤外線センサヘッドを、キャリア C内に収納されたウェハ Wの X方向端近傍において Z方向にスキャンさせながら、送信部と受信部との間で赤外線の透過光または反射光の信号を検知して、ウェハ Wの枚数を検査する。ウェハ検査装置 48としては、ウェハ Wの枚数の検査と並行して、ウェハ Wの収納状態、例えば、キヤリア C内にウェハ Wが所定のピッチで平行に 1枚ずつ配置されているかどうか、ゥェハ wが段差ずれして斜めに収納されていないかどうか等を検出する機能を具備したものを用いることが好ましい。また、ウェハ wの収納状態を確認した後に、同センサを用いてウェハ Wの枚数を検出するようにしてもよい。このウェハ検査装置 48は、ブロックコントローラ (BC) 11に信号入力機器として配線接続されており、検出した収納枚数および収納状態を出力信号としブロックコントローラ (BC) 11に送信する。

[0037] キャリア搬送装置 42とウェハ検査装置 48とは、ブロックコントローラ（BC) 11およびメインコントローラ（MC) 12を介してホストコンピュータ 15によりその動作が制御される。例えば、キャリア C内のウェハ Wの枚数をウェハ検査装置 48により検査した後に、そのキャリア Cをキャリアストック部 35に保管するように、キャリア搬送装置 42を制御する。なお、シャッター 44の開閉や窓部 46の開閉、蓋体開閉機構 47の動作がキヤリァ搬送装置 42の動きに連動して制御される。

[0038] インターフェイス部 33には、ウェハ搬入出装置 49と、ウェハ移し替え装置 51と、ゥェハ搬送装置 52とが設けられている。ウェハ移し替え装置 51は、ウェハ搬入出装置 49との間でウェハ Wの受け渡しを行い、かつ、ウェハ Wの姿勢を変換する姿勢変換機構 51aと、姿勢変換機構 51aとウェハ搬送装置 52との間でウェハ Wの受け渡しを行うウェハ垂直保持機構 51bとから構成されている。

[0039] ウェハ搬入出装置 49は、窓部 46を通してキャリア C内のウエノ、 Wを搬出して姿勢変換機構 51aへ受け渡し、また、液処理が終了したウェハ Wを姿勢変換機構 51aから受け取ってキャリア Cへ搬入する。このウェハ搬入出装置 49は、未処理のウェハ W の搬送を行うアーム 49aと、処理済みのウェハ Wの搬送を行うアーム 49bの 2系統のアームを有している。アーム 49aおよび 49bは、キャリア C内に収納された複数のゥェハ Wを一括して保持することができるように、キャリア C内におけるウェハ Wの配列ピツチに適合させて、所定数 Z方向に所定間隔で並べられている。また、図 4に示した状態において、アーム 49aおよび 49bは矢印 A方向に移動 (スライド)または伸縮自在であり、かつ、 Z方向に所定距離昇降可能となっている。さらに、ウェハ搬入出装置 49全体は Θ方向に回転可能に構成されており、これにより、アーム 49aおよび 49bは、検査 Z搬入出ステージ 45に載置されたキャリア Cおよび姿勢変換機構 51aのいずれにもアクセス可能となって、る。

[0040] ウェハ搬入出装置 49においては、例えば、アーム 49aがウェハ移し替え装置 51側にある状態において、アーム 49aをウェハ Wの下側に挿入し、アーム 49aを所定距離上昇させてウェハ Wをアーム 49aに保持させ、その後アーム 49aを逆方向に移動させてキャリア C内のウェハ Wを搬出する。次いで、ウェハ搬入出装置 49全体を 90° 回転させた後、アーム 49aを移動させることにより、アーム 49aに保持したウェハ Wを姿勢変換機構 51aへ受け渡す。一方、アーム 49bが処理部 32側にある状態において、アーム 49bを移動させて姿勢変 «構 5 laから液処理済みのウエノ、 Wを取り出した後、ウェハ搬入出装置 49全体を 90° 回転させた後、アーム 49bをウェハ移し替え装置 51側にある状態とし、アーム 49bを移動させることにより、アーム 49bに保持されたウェハ Wを空のキャリア Cへ搬入する。

[0041] ウェハ移し替え装置 51の姿勢変換機構 51aにおいては、ガイド部材によりウェハ搬入出装置 49から水平方向の複数のウェハ Wを受け取り、その状態でガイド部材を回転させてウェハの姿勢を垂直状態へ変換する。

[0042] ウェハ垂直保持機構 51bは、姿勢変換機構 51aで垂直状態に姿勢変換されたキヤリア 2個分の 50枚のウェハ Wをキャリア C内におけるウェハ配列ピッチの半分の配列ピッチで収納可能となっており、このキャリア 2個分のウエノ、 Wをウェハ搬送装置 52 へ受け渡す。

[0043] ウェハ搬送装置 52は、ウェハ垂直保持機構 5 lbとの間で垂直状態のウェハ Wの受け渡しを行い、未処理のウェハ Wを処理部 32へ搬入し、逆に、液処理等の終了したウェハ Wを処理部 32から搬出して、ウェハ垂直保持機構 5 lbに受け渡す。ウェハ搬送装置 52においては、ウェハ Wは 3本のチャック 58a〜58cにより保持される。ゥェハ搬送装置 52がウェハ垂直保持機構 51bとの間でウェハ Wの受け渡しを行い、また，処理部 32へウェハ Wを搬送することができるように，ウェハ搬送装置 52は、ガイドレール 53に沿って X方向に移動し、処理部 32へ進入 Z退出することができるようになっている。

[0044] また、液処理後のウェハ Wに損傷や位置ずれ等の発生がないかどうかを確認するために、ウェハ垂直保持機構 5 lbとウェハ搬送装置 52との間でウェハ Wの受け渡しが行われる位置に、ウェハ Wの配列状態を検査するウェハ検出センサ 57が設けられている。なお、ウェハ検出センサ 57は、このような位置に限定されず、処理後のゥェハ Wがウェハ搬入出装置 49へ搬送されるまでの間で検査を行うことができる位置にあればよい。ウェハ検出センサ 57は、ブロックコントローラ (BC) 11に信号入力機器として配線接続されており、検出値を出力信号としてブロックコントローラ (BC) 11に送信する。

[0045] インターフェイス部 33には、ウェハ垂直保持機構 51bとウェハ搬送装置 52との間でウェハ Wの受け渡しが行われる位置の側方に、パーキングエリア 40aが設けられており、このパーキングエリア 40aには、例えば、未処理のウェハ Wを待機させることが可能となっている。例えば、あるロットのウェハ Wについて液処理または乾燥処理が行われている際に、ウェハ搬送装置 52を運転させることが必要でない時間を利用して、次に液処理を開始すべきウェハ Wをパーキングエリア 40aに搬送しておく。これにより、例えば、キャリアストック部 35からウェハ Wを搬送してくる場合と比較すると、ゥェハ Wの処理部 32への移動時間を短縮することが可能となり、スループットを向上させることがでさる。

[0046] 処理部 32は、液処理ユニット 38と、乾燥ユニット 39と、ノーキングエリア 40bと力ら構成されており、インターフェイス部 33側から、乾燥ユニット 39、液処理ユニット 38、パーキングエリア 40bの順で配置されている。ウェハ搬送装置 52は、 X方向に延在するガイドレール 53に沿って処理部 32内を移動することができるようになつている。

[0047] パーキングエリア 40bは、パーキングエリア 40aと同様に、未処理のウェハ Wを待機させる場所である。液処理または乾燥処理があるロットのウェハ Wにつ、て行われており、ウェハ搬送装置 52を運転させることが必要でない時間を利用して次に液処理を開始すべきウェハ Wがパーキングエリア 40bへ搬送される。パーキングエリア 40b は液処理ユニット 38に隣接していることから、液処理開始にあたってウェハ Wの移動時間を短縮することが可能となり、スループットを向上させることができる。

[0048] 液処理ユニット 38は、第 1の薬液槽 61、第 2の薬液槽 63、第 3の薬液槽 65、第 1の水洗槽 62、第 2の水洗槽 64、第 3の水洗槽 66を有しており、図 4に示すように、パーキングエリア 40b側から、第 1の薬液槽 61、第 1の水洗槽 62、第 2の薬液槽 63、第 2 の水洗槽 64、第 3の薬液槽 65、第 3の水洗槽 66の順に配置されている。また、第 1 の薬液槽 61と第 1の水洗槽 62との間でウェハ Wを搬送するための搬送装置 67、第 2の薬液槽 63と第 2の水洗槽 64との間でウエノ、 Wを搬送するための搬送装置 68、第 3の薬液槽 65と第 3の水洗槽 66との間でウエノ、 Wを搬送するための搬送装置 69 とを備えている。

[0049] 第 1の薬液槽 61には、有機性汚れ除去や表面金属不純物除去を行うための薬液が貯留されて、る。有機性汚れ除去や表面金属不純物除去を行うための薬液としては，例えば 130°C前後に加熱された SPM液 (濃硫酸と過酸ィ匕水素水の混合溶液）が貯留される。また、第 2の薬液槽 63には、パーティクル等の付着物を除去するための薬液、例えば SC— 1液 (アンモニアと過酸ィ匕水素と水の混合溶液）が貯留されており、第 3の薬液槽 65には、ウェハ Wの表面に形成された酸ィ匕膜をエッチングするためのエッチング液、例えば希フッ酸 (DHF)が貯留されている。エッチング液としては、希フッ酸の他、フッ酸（HF)とフッ化アンモ-ゥムとの混合物（バッファドフッ酸 (BHF) )を用いることもできる。また、ウエノ、 Wの表面に形成された窒化膜をエッチングする場合は、エッチング液としてリン酸を用いることができる。第 1〜第 3の水洗槽 62, 64 , 66は、それぞれ第 1〜第 3の薬液槽 61, 63, 65による液処理によってウェハ Wに付着した薬液を除去するものであり、例えば、オーバーフローリンスやクイックダンプリンス等の各種の水洗手法が用いられる。

[0050] 搬送装置 67は、 Z方向に昇降可能な駆動機構を有しており、ウェハ搬送装置 52から受け渡されたウェハ Wを下降させて第 1の薬液槽 61に浸して所定時間経過後に引き上げ、次いで、ウェハ Wを X方向に平行移動させてウェハ Wを第 1の水洗槽 62に浸して所定時間保持し、引き上げるように動作する。第 1の水洗槽 62での処理を終えたウェハ Wは、一度、ウェハ搬送装置 52のチャック 58a〜58cに戻された後、ウェハ搬送装置 52から搬送装置 68へ搬送される。搬送装置 68, 69は、搬送装置 67と同様の構成を有し、また、同様に動作する。

[0051] 液処理ユニット 38には、液処理ユニット 38内の雰囲気の温度を検出する液処理ュニット温度計 59および圧力を検出する液処理ユニット圧力計 60が設置されている。液処理ユニット温度計 59および液処理ユニット圧力計 60は、ブロックコントローラ（B C) 11に信号入力機器として配線接続されており、それぞれ検出した温度および圧力を出力信号としてブロックコントローラ（BC) 11に送信する。

[0052] 乾燥ユニット 39は、水洗槽 54とウェハ搬送装置 52のチャック 58a〜58cを洗浄するチャック洗浄機構 56が配設されており、水洗槽 54の上部には、例えばイソプロピルアルコール (IPA)の蒸気が供給されてウェハ Wを乾燥する乾燥室（図示せず)が設けられている。また、水洗槽 54と乾燥室との間でウェハ Wを搬送する搬送装置 55が設けられており、水洗槽 54で水洗されたウェハ Wが搬送装置 55で引き上げられ、乾燥室において IPA乾燥されるようになっている。搬送装置 55は X方向の移動ができない他は前述した搬送装置 67等と同様に構成されており、ウェハ搬送装置 52との間でウェハ Wの受け渡しが可能となって!/、る。

[0053] 第 1の薬液槽 61は、図 5に示すように、ウェハ Wを収納するのに充分な大きさを有する箱形の内槽 80と外槽 81から構成されている。内槽 80の上面は開口しており，この上面の開口部を介して内槽 80に対するウェハ Wの出し入れが行われる。外槽 81 は、内槽 80の上端力もオーバーフローした薬液を受けとめるように、内槽 80の開口部を取り囲んで装着されている。さらに、内槽 80および外槽 81に貯留される薬液の液面には、それぞれ液面の位置を計測するための液面センサ 82a, 82bが設けられている。これら液面センサ 82a, 82bは、ブロックコントローラ（BC) 11に信号入力機器として配線接続されており、検出した液面の位置を出力信号としてブロックコント口ーラ（BC) 11に送信する。

[0054] 内槽 80と外槽 81との間には、ウェハ Wのエッチング処理中に薬液を循環流通させて供給する循環供給回路 84が接続されて、る。この循環供給回路 84の一方は外槽 81の底面に接続されており、循環供給回路 84の途中には、ポンプ 86、温度制御部 88、フィルタ 90が順に配列され、循環供給回路 84の他方は内槽 80内のノズルに接続されている。したがって、内槽 80から外槽 81にオーバーフローした薬液は循環供給回路 84に流入し、ポンプ 86の稼働によって温度制御部 88、フィルタ 90の順に通過し温調および清浄化された後、ノズルを経て再び内槽 80内に供給されるようになつている。ノズルは外槽 81の下方に配置されており、ウェハ Wの表面に向かって薬液を供給するように構成されてヽる。 [0055] 温度制御部 88は、内槽 80内の薬液が所定の処理温度よりも低くまたは高くならないように、循環供給回路 84から内槽 80内に供給される薬液をウェハ Wの浸漬前に予め冷却または加熱しておく機能を有している。このように、予め冷却または加熱された薬液を内槽 80内に供給することにより、内槽 80内の薬液の温度を維持することが可能となる。また，温度制御部 88はブロックコントローラ（BC) 11に信号出力機器として配線接続されており、ブロックコントローラ (BC) 11から出力された制御信号を受信する。例えば、温度制御部 88はヒータと熱交換器および冷却水供給手段とから構成されており、熱交換器内部に冷却水を導入する冷却水供給路の途中に配置された弁とヒータ力ブロックコントローラ（BC) 11に接続されている。そして、ヒータまたは弁の何れかに、必要に応じてブロックコントローラ (BC) 11を介して所定の制御信号が送信される。

[0056] 循環供給回路 84の途中には、循環供給回路 84内の薬液を外槽 81に流入させる分岐管 92が接続されており、さらに分岐管 92には、薬液の温度および濃度を検出するための濃度 ·温度検出部 95が設けられている。濃度 ·温度検出部 95はブロックコントローラ (BC) 11に信号入力機器として配線接続されている。濃度'温度検出部 95には、薬液の温度を検出する温度計 95aと、薬液の濃度を検出する濃度計 95bが設けられており、それぞれ検出した温度および濃度を出力信号としてブロックコント口ーラ（BC) 11に送信する。

[0057] 分岐管 92は循環供給回路 84の管より細ぐ例えば分岐管 92の直径が循環供給回路 84の直径の 1Z3となっている。この場合、乱流の発生を防止できるので、濃度'温度検出部 95において超音波濃度計を使用した場合であっても、濃度の計測に用いる超音波は乱流渦の影響を受けない。また、ポンプ 86の駆動によって生じる薬液の圧力変動が濃度の計測に与える影響を抑制する。したがって、高精度な濃度測定が可能となる。

[0058] 第 1の薬液槽 61には薬液を槽内に充填するための薬液供給回路 100が設けられている。薬液供給回路 100は、薬液供給源 101、純水供給源 102および薬液と純水を混合する混合供給部 103とを備えている。混合供給部 103はブロックコントローラ（ BC) 11に信号出力機器として配線接続されている。なお、薬液供給回路 100は薬液の補充手段としての機能を有し、薬液槽 61内の薬液の濃度が低下した際に、薬液供給源 101、純水供給源 102から薬液を補充するように制御される。

[0059] 薬液供給回路 100の他端は外槽 81へ接続されており、調整された薬液はー且循環供給回路 84を流れて、温度を調整された後、内槽 80の下方力ウェハ Wに対して供給されるようになって、る。

[0060] 以上が第 1の薬液槽 61および配管系の構成である力第 1および第 2の薬液槽 63 , 65もほぼ同様の構成と機能を有しているので説明は省略する。また、第 1〜第 3の水洗槽 62, 64, 66も、基本的には同様の構成と機能を有している。すなわち、内槽および外槽からなる水洗槽と、循環供給回路とを有し、水洗槽に対して純水供給回路から純水が供給されるようになって!/ヽる。

[0061] 以上のように、処理装置 10は各構成部の状態を検知する種々の検出手段を備えている。すなわち、上述したように、液処理ユニット 38内の雰囲気の状態を検出する検出手段としては、液処理ユニット温度計 59および液処理ユニット圧力計 60が設置されている。また、第 1の薬液槽 61およびその配管系の各部の状態を検出する検出手段としては、液面センサ 82a, 82b、温度'濃度検出部 95の温度計 95aおよび濃度計 95bが設置されている。第 2および第 3の薬液槽 63, 65および配管系にも同様の液面センサ、温度 ·濃度検出部の温度計および濃度計が設置されている。さらに、ゥエノ、 Wの収納状態を検出する検出手段として、インターフェイス部 33にウェハ検査装置 48が設置され、ウェハ Wの配列状態を検出する検出手段として、ウェハ検出センサ 57が設置されている。その他にも種々の検出手段が設けられている。これらは、上述したように所定の検出を行い、図 6に示すように、検出値を出力信号としてブロックコントローラ（BC) 11に送信するようになって!/、る。

[0062] ウェハ検査装置 48、ウェハ検出センサ 57、液処理ユニット温度計 59、液処理ュ- ット圧力計 60、液面センサ 82a, 82b、温度'濃度検出部 95に設置された温度計 95 aおよび濃度計 95b、およびその他多数の検出手段の出力信号は所定の時間間隔でブロックコントローラ（BC) 11に送信され、メインコントローラ（MC) 12を介して AG C17に送信され、処理装置の各部の状態を表す検知信号として検知し、処理装置の各部の状態変化を検知することができる。さらに、メインコントローラ（MC) 12の異常検出部 20で許容値を超えた検知信号が検知されると、アラーム発生部 21によって、オペレータに対してアラームを発生させる。

[0063] 次に、このような処理システムの制御動作について説明する。

処理装置 10では、まず、 1ロットを構成するキャリア Cを搬入出部 31またはキャリアストック部 35からキャリア搬送装置 42を用いて検査 Z搬入出ステージ 45に載置し、蓋体開閉機構 47によりキャリア Cの蓋体を開き、さらに窓部 46を開いて、キャリアじに収納されたウェハ Wの枚数と収納状態をウェハ検査装置 48によって検査する。検査により異常が検出されな力つたキャリア Cはアーム 49aにより姿勢変 «構 51aへ受け渡され、姿勢変構 51aにおいて姿勢変換されてウェハ垂直保持機構 51bに受け渡される。もう一つのキャリア Cについても姿勢変換機構 51aにてウェハ Wの姿勢変換が行われ、ウェハ Wはアーム 49aウェハ垂直保持機構 5 lbに受け渡される。こうして、ウェハ垂直保持機構 5 lbには、 50枚のウェハ Wが配列される。

[0064] ウェハ垂直保持機構 5 lbはウェハ搬送装置 52側へスライド移動され、ウェハ Wがチャック 58a〜58cへ移し替えられる。ウェハ Wを保持したウェハ搬送装置 52を、ガイドレール 53に沿って液処理ユニット 38の第 1の薬液槽 61または第 1の水洗槽 62の位置へ移動させ、ウェハ Wを第 1の搬送装置 67へ移し替え、ウェハ Wの液処理を開始する。ウェハ Wの液処理は、例えば、第 1の薬液槽 61への浸漬と第 1の水洗槽 62 による洗浄、第 2の薬液槽 63への浸漬と第 2の水洗槽 64による洗浄、第 3の薬液槽 6 5への浸漬と第 3の水洗槽 66による洗浄の順で行われる。

[0065] 液処理ユニット 38での処理が終了したウェハ Wは、一度、ウェハ搬送装置 52に移し替えられた後、乾燥ユニット 39の搬送装置 55へ移し替えられ、乾燥処理が施される。乾燥処理が終了したウェハ Wは、ウェハ搬送装置 52に移し替えられて、インターフェイス部 33に戻され、検出センサ 57によりウェハ Wの状態を検査する。ここで、ゥェハ Wの状態に異常が検出されれば、例えば、液処理装置 1を停止してメンテナンスを行う等の処置をとる。液処理が終了してインターフェイス部 33へ戻されたウェハ W は、先に未処理のウェハ Wをキャリアストック部 35からウェハ搬送装置 52まで搬送した手順と逆の手順により、検査 Z搬入出ステージ 45に載置された空のキャリア Cへ収納することができる。液処理が終了したウェハ Wが収納されたキャリア Cは、キャリア搬入出部 34へ搬送されて、次工程へと送られる。

[0066] 以上の被処理体であるウェハ Wに対する処理動作が、ホストコンピュータ 15および AGC17よるプロセスコントロールの下、対応するブロックコントローラ（BC) 11およびメインコントローラ (MC) 12により制御されつつ実行される。

[0067] 個々のメインコントローラ（MC) 12にて、ブロックコントローラ（BC) 11を介して処理装置 10から得たプロセスデータは、図 2に示したプロセスデータ蓄積用メモリ 18に書き込まれる。プロセスデータ蓄積用メモリ 18に書き込まれたプロセスデータは、その外部転送に係る論理的なインターフェイス手段である HCI13と RAP16によって、 TC PZIP等のデータ伝送系 14の独立したチャンネルを通じてホストコンピュータ 15と A GC17に転送される。

[0068] ここで、 HCI13は、プロセスデータ蓄積用メモリ 18に保持されたすベてのプロセスデータの中から予め設定された一部の種類のプロセスデータだけを引き出して HCI 送信バッファ 19に書き込み、 HCI送信バッファ 19の内容をデータ伝送系 14を通じてホストコンピュータ 15に送信する。一方、 RAP16は、プロセスデータ蓄積用メモリ 18 力全てのプロセスデータを読み出して AGC 17に転送する。

[0069] AGC17の AGCサーバ 17aは、各処理装置 10のメインコントローラ（MC) 12の RA P16によって送信されたプロセスデータを受信し、このプロセスデータをデータべ一ス 24に蓄積するとともに、このプロセスデータとレシピデータ力各処理装置のパラメータ補正値を生成してこれをメインコントローラ (MC) 12に送信することによってプロセスコントローノレを行う。

[0070] また、 AGCサーバ 17aは、 AGCクライアント 17bからプロセステータ転送要求を受けると、データベース 24から該当するプロセスデータを読み出し、通信 IZF22を通じて AGCクライアント 17bに送信する。 AGCクライアント 17bに転送されたプロセスデータは、データ変換部 26にてクライアントユーザの利用 ·加工可能な形式のデータに変換され、データ表示部 27によってモニタに表示される。さらに、 AGCクライアント 1 7bに転送されたプロセスデータは、データ解析部 25にて解析および統計処理され、その解析結果はデータ変換部 26にてプロセスデータと同様にユーザ利用可能な形式のデータに変換され、モニタに表示される。これにより AGCクライアント 17b上での基板処理システム全体の一元管理が実現される。

[0071] また、 AGCクライアント 17bのデータ解析部 25は、プロセスデータの解析結果から処理装置の異常検出や異常予測を行い、異常を検出した場合および予測した場合は、その旨をデータ表示部 27を通してモニタに出力するとともに AGCサーバ 17aに通知する。この通知に従って AGCサーバ 17aは、例えば、異常検出あるいは異常予測された処理装置 10を制御しているメインコントローラ（MC) 12に対して処理装置の停止を指示するなどの制御を行う。

[0072] さらに、 AGCクライアント 17bのレシピ修正部 28は、基板上の膜厚測定結果等の測定データを含むプロセスデータに対する解析結果からレシピ (プロセス条件）を最適化するための更新処理を行う。

[0073] ところで、上記データ解析部 25では、解析するプロセスデータが膨大であり、各処理装置からのアラーム情報も膨大であるため、実際には、解析部 25での解析情報から処理装置の状態を判断することは容易ではなぐ装置異常や装置寿命等を迅速かつ十分に管理することは困難となる場合が多い。また、ユーザーによって装置の使用状況は異なり、データ解析部 25での解析情報から装置異常や装置寿命を一律に判断しても、実際に装置異常や装置寿命に達していない場合もある。そこで、本実施形態では、 AGCクライアント 17bに上述したように FDC機能部 29を設け、装置の異常検出（装置アラーム発生）に加えて、ユーザーレベルで異常を定義し、任意に設定した異常設定をリアルタイムで検出する機能を持たせ、装置異常や装置寿命を十分かつ確実に発見な、し予測することができるようにする。

[0074] ウェハ検査装置 48、ウェハ検出センサ 57、液処理ユニット温度計 59、液処理ュ- ット圧力計 60、液面センサ 82a, 82b、温度'濃度検出部 95に設置された温度計 95 aおよび濃度計 95b等からの出力信号が所定の時間間隔でブロックコントローラ (BC ) 11およびメインコントローラ（MC) 12の1^?16を経て八0じ17に送信されて八0じクライアント 17aのデータベース 24に蓄積される他、異常検出部 20がこれら検出手段からの許容値を超えた検知信号を検知した場合にアラーム発生部 21により発せられるアラーム情報も AGC 17へ送信され、これらが AGCサーバー 17aのデータべ一ス 24に蓄積される。 FDC機能部 29では、これらアラームの発生状態について、所定の閾値をユーザーレベルで設定可能とし、所定のアラームの発生状態を監視してその発生状態が前記閾値に達した場合に警告を通知する。

[0075] 具体例としては、ある検出手段におけるアラームが発生した場合に、自動的にェントリーされて FDC機能がオンとなり、 FDC機能部 29が自動的に監視を開始するようにする自動監視機能を持たせることができる。この場合には、種々の検出手段におけるアラームが発生する毎に順次自動的に FDC機能がエントリーされるようにする。また、このように自動監視機能ではなぐ任意の検出手段を設定し、設定した検出手段のアラームが発生した場合に FDC機能がオンとなるようにしてもょ、。

[0076] アラーム発生対象である検出手段は上記の他にも多数あり、自動監視の場合には、エントリー数の上限を設定する必要がある。このため、一定時間前記閾値に達しな V、場合には装置に不具合が生じて、るおそれが小さ!/、として自動的にエントリーを削除する機能を設け、この機能のオン'オフおよびその時間をユーザーが設定できるようにすることが好ましい。また、あるアラームについて監視を始めて力も警告が通知されるまでの時間、または一度警告が通知された後、次の警告が通知されるまでの時間が所定時間を超えた場合に、自動監視のエントリーを削除する機能を設け、この機能のオン'オフおよびその時間をユーザーが設定できるようにすることもできる。さらに、このようにアラームの種類が多いため、全アラームを例えば処理装置 10の各構成部毎に分類することも好ましい。

[0077] 把握すべきアラーム発生状態の典型例としては、所定時間内のアラーム発生数、およびアラーム発生して力も次回のアラーム発生までの時間を挙げることができ、これらを検出条件として設定することができる。すなわち、前者の場合は、所定時間内のアラーム発生数が所定回数に達すると警告を通知するように設定する。例えば、図 7に示すように、 1時間のアラーム発生数が 4回に達した場合に警告を通知するようにする。また、後者の場合は、アラームが発生して力も次回のアラーム発生までの時間が所定時間内になると警告を通知するように設定する。例えば、図 8に示すように、ァラームが発生して力次回のアラームが 1時間で発生した場合に警告を通知するようにする。そして、前者の場合には、前記「所定時間」および所定時間内の「アラーム発生数」をユーザーが設定できるようにし、後者の場合には、アラームが発生して力も次回のアラーム発生までの時間をユーザーが設定できるようにする。

[0078] この FDC機能部 29に関する情報もデータ表示部 27によってモニタに表示される。

すなわち、 FDC機能の IDを指定することにより表示画面力FDC機能画面となり、この画面力も種々の設定および状態表示を行うことができる。例えば、アラームを一覧表示し、アラームを個別指定できるようにする。この場合、アラームを分類別に表示するようにすることが好ましい。また、この表示画面力 FDC機能のオン'オフを設定することができる。処理装置毎に FDC機能を有効にするか否かを設定することもできる。さらに上記検出条件設定もこの表示画面により行うことができる。さらにまた、この表示画面には、所定のアラームの発生が上記閾値に達した場合に通知される警告が表示される。この場合に警告をどのようにして報告するかについても設定することができる。例えば、メッセンジャーサービス報告、メール報告、報告なし等を設定することができる。警告発生の累積回数も表示させることができる。

[0079] 検出条件を指定した際のアラーム発生状況をグラフ表示することもできる。図 9は、横軸に時間をとり、縦軸にアラーム発生の累積回数をとつて、所定時間内のアラーム発生数をグラフ表示した場合であり、白抜き丸ポイントが閾値を超え、警告が通知される点である。また、図 10は、横軸にアラーム発生回数をとり、縦軸に累積時間をとつて、アラーム発生して力も次回のアラーム発生までの時間をグラフ表示した場合であり、白抜き丸ポイントが閾値を超え、警告が通知される点である。

[0080] これに加えて、本実施形態では、ホストコンピュータ 15がダウンした場合に AGC17 によるプロセスデータのスプーリング処理が行われる。すなわち、ホストコンピュータ 1 5は、復旧後、ダウン期間のプロセスデータを AGC17から直ちに取り込むことができる。これにより、ホストコンピュータ 15による各処理装置 10のトラッキング処理を復旧後直ちに再開することができる。

[0081] 以上説明したように、本実施形態によれば、各処理装置 10から得られるウェハ検査装置 48、ウェハ検出センサ 57、液処理ユニット温度計 59、液処理ユニット圧力計 60 、液面センサ 82a, 82b、温度'濃度検出部 95に設置された温度計および濃度計等力の検出信号に代表される全てあるいはほぼ全ての詳細なプロセスデータを AGC 17に取り込んで集中モニタリングすることができるので、各処理装置の状態の経時的な変化を早期に発見することができる。これにより、多数の処理装置 10を含む処理システムの保守信頼性を高めることが可能となる。また、本実施形態では、基板上の膜厚測定結果等の測定データを含む詳細なプロセスデータに対する解析結果や統計結果からレシピにおける各データをより好ましい値に更新することによって、各処理装置 10の経時的な特性の変動をも考慮した様々な観点力も最適なプロセス条件を自動的に得ることが可能となり、ウェハ Wの液処理の信頼性の向上を図ることができる。

[0082] また、このように各処理装置 10から得られるプロセスデータを AGC17に取り込んで集中モニタリングすることにより、各処理装置の状態として掴むことのできる情報の幅が広がり、処理装置異常や劣化状態、寿命を AGC17を設けない場合に比べてより詳細かつ早期に発見することが可能となる。ここで、従来のように AGC17のデータ解析部 25ですベての処理を行って、処理装置の状態を把握しょうとする場合には、解析するデータが膨大であるため、実際には、異常検出や異常予測の機能を十分に発揮させるのが困難となる場合が多いが、本実施形態では、 AGCクライアント 17bに FDC機能部 29を設け、装置アラーム発生とは別に、アラームの発生状態を解析し、装置異常をリアルタイムで検出することができるので、装置異常や装置寿命を早期に発見または予測することができる。また、ユーザーレベルで異常を定義可能とし、異常設定を任意に行うことができ、任意に設定した異常設定に応じてアラームの発生状態を解析し、装置異常を検出することができるので、ユーザーにとって実際に把握したい処理異常等の装置状態となったときに警告を通知するようにすることができ、より早期にかつ確実に処理装置の異常や寿命を発見な、し予測することができる。具体的には、例えば所定時間内のアラーム発生数、およびアラーム発生してから次回のアラーム発生までの時間等、装置アラームの発生状態の警告を通知する閾値をユーザ一が設定し、この閾値に達した場合に装置異常が生じたと判断することにより、処理装置の状態をユーザーレベルで確実に判断することが可能であり、装置異常や装置寿命をより早期にかつ確実に発見ないし予測することができる。

[0083] なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、所定の検出手段について初回のアラーム発生を検出して力 F DC機能を実行するようにした力アラーム発生の検出の有無にかかわらず、初期状態力も FDC機能を実行するようにしてもよい。また、 FDC機能部を AGC内に設けた力処理装置のコントローラに設けるようにしてもよい。さらに、本発明は必ずしも AG Cを前提にする必要はなぐ上記 FDC機能を単独で用いるようにしてもょヽ。

[0084] また、上記実施形態では処理装置としてウェハに対して液処理を施して洗浄する装置を例にとって説明したが、これに限らず、他の処理装置に適用可能である。また、被処理体もウェハに限るものではない。ただし、上記実施形態で示した処理装置のように、被処理体に対して一連の複数の処理を施す装置の場合には、検出すべき情報の種類が多ぐそれに応じてアラームの種類も膨大であるため、本発明が特に有効である。

[0085] さらに、上記実施形態では、処理システムとして複数の処理装置を有するものを例にとつて説明したが、処理装置は 1台でも構わない。

Claims

請求の範囲

[1] 被処理体に所定の処理を施す処理装置において検出される情報に基づいて前記処理装置を制御する制御手段と、

検出された情報が所定の範囲力外れた場合にアラームを発するアラーム発生手段と

を具備し、

前記制御手段は、前記アラーム発生手段から発生するアラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する制御システム。

[2] 請求項 1に係る制御システムにお、て、前記制御手段は、前記アラーム発生手段力発生するアラームの発生状態の閾値を設定可能であり、前記アラームの発生状態を把握し、その発生状態が前記設定された閾値に達した場合に警告を通知する、制御システム。

[3] 請求項 1に係る制御システムにおいて、前記処理装置は複数の検出手段を有し、前記制御手段は、ある検出手段からアラームが発生した場合に、自動的に前記ァラーム発生状態の把握を開始する、制御システム。

[4] 請求項 1に係る制御システムにおいて、前記処理装置は複数の検出手段を有し、前記制御手段は、予め設定された検出手段からアラームが発生した場合に、前記ァラーム発生状態の把握を開始する、制御システム。

[5] 請求項 1に係る制御システムにお、て、前記アラーム発生手段は、前記制御手段に設けられている、制御システム。

[6] 請求項 1に係る制御システムにおいて、前記アラームの発生状態は、所定時間内のアラーム発生数である、制御システム。

[7] 請求項 1に係る制御システムにおいて、前記アラームの発生状態は、アラーム発生して力も次回のアラーム発生の時間である、制御システム。

[8] 被処理体に所定の処理を施す複数の処理装置において検出される情報に基づいて前記複数の処理装置を制御する制御手段と、

前記検出される情報が所定の範囲力外れた場合にアラームを発するアラーム発生手段とを具備し、

前記制御手段は、

前記各処理装置において検出される複数の情報に基づいて前記複数の処理装置を個別に制御する複数の装置制御部と、

前記各装置制御部から一部の情報を受信し、その情報に基づ!、て前記各処理装置を制御するホストコンピュータと、

前記各装置制御部力全てのまたはほぼ全ての情報を受信し、その情報に基づいて前記各処理装置を制御する制御装置と

を有し、

前記制御装置は、

前記各装置制御部から受信した情報およびアラーム発生手段から受信したアラーム情報を収集する手段と、

前記収集した情報を解析する手段と、

前記アラーム情報に基づいて前記アラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する手段とを有する、制御システム。

[9] 請求項 8に係る制御システムにおいて、前記警告を通知する手段は、前記アラーム発生手段力発生するアラームの発生状態の閾値を設定可能である、制御システム

[10] 請求項 8に係る制御システムにお、て、前記制御装置は、前記解析の結果および前記アラームの発生状態を出力する手段をさらに有する、制御システム。

[11] 請求項 8に係る制御システムにおいて、前記各処理装置は、複数の検出手段を有し、前記制御装置は、ある検出手段力アラームが発生した場合に、自動的に前記アラーム発生状態の把握を開始する、制御システム。

[12] 請求項 8に係る制御システムにおいて、前記各処理装置は複数の検出手段を有し

、前記制御装置は、予め設定された検出手段からアラームが発生した場合に、前記アラーム発生状態の把握を開始する、制御システム。

[13] 請求項 8に係る制御システムにおいて、前記アラーム発生手段は、前記制御手段に設けられている、制御システム。

[14] 請求項 8に係る制御システムにおいて、前記アラームの発生状態は、所定時間内のアラーム発生数である、制御システム。

[15] 請求項 8に係る制御システムにおいて、前記アラームの発生状態は、アラーム発生して力も次回のアラーム発生の時間である、制御システム。

[16] 被処理体に所定の処理を施す処理装置において検出される複数の情報に基づいて前記処理装置を制御する制御方法であって、

検出された情報が所定の範囲力外れた場合に発生されるアラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する制御方法。

[17] 請求項 16に係る制御方法において、検出されたプロセス情報が所定の範囲から外れた場合に発生されるアラームの発生状態の閾値を設定し、前記アラームの発生状態を把握し、その発生状態が前記設定された閾値に達した場合に前記警告を通知する、制御方法。

[18] 請求項 16に係る制御方法において、前記処理装置は複数の検出手段を有し、ある検出手段力アラームが発生した場合に、自動的に前記アラーム発生状態の把握を開始する、制御方法。

[19] 請求項 16に係る制御方法において、前記処理装置は複数の検出手段を有し、予め設定された検出手段力もアラームが発生した場合に、前記アラーム発生状態の把握を開始する、制御方法。

[20] 請求項 16に係る制御方法において、前記アラームの発生状態は、所定時間内のアラーム発生数である、制御方法。

[21] 請求項 16に係る制御方法において、前記アラームの発生状態は、アラーム発生して力も次回のアラーム発生の時間である、制御方法。

[22] 被処理体に所定の処理を施す処理装置と、前記処理装置を制御する制御システムとを具備し、

前記制御システムは、

被処理体に所定の処理を施す処理装置において検出される情報に基づいて前記処理装置を制御する制御手段と、

を備え、

前記制御手段は、前記アラーム発生手段から発生するアラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する処理システム。

[23] 被処理体に所定の処理を施す処理装置と、前記処理装置を制御する制御システムとを具備し、

前記制御システムは、

被処理体に所定の処理を施す複数の処理装置において検出される情報に基づいて前記複数の処理装置を制御する制御手段と、

前記検出される情報が所定の範囲力外れた場合にアラームを発するアラーム発生手段と

を備え、

前記制御手段は、

を有し、

前記制御装置は、

前記収集した情報を解析する手段と、

前記アラーム情報に基づいて前記アラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する手段とを有する、処理システム。

[24] コンピュータが被処理体に所定の処理を施す処理装置にお!、て検出される複数の情報に基づ、て前記処理装置を制御するソフトウェアを含むコンピュータにより読み取り可能な記憶媒体であって、

前記ソフトウェアは、検出された情報が所定の範囲から外れた場合に発生されるァラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する、記憶媒体。

コンピュータが被処理体に所定の処理を施す処理装置において検出される複数の情報に基づいて前記処理装置を制御するソフトウェアを含むコンピュータプログラムであって、

前記ソフトウェアは、検出された情報が所定の範囲から外れた場合に発生されるァラームの発生状態を把握し、その発生状態が所定の閾値に達した場合に警告を通知する、コンピュータプログラム。