JP5042225B2 - 熱処理システムのビルトイン・セルフテスト - Google Patents
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Description
CPV−下限(LB)>警告動作閾値(1)
上限(UB)−CPV>警告動作閾値(2)
である。
誤差=IPV−MPV
のように計算されることができる。
1)圧力設定点の0から3Torrへの階段状変化、
2)3から6Torrへの階段状変化、及び
3)6から9Torrへの階段状変化、
といった変更が加えられる。
出力を基準値に駆動 ys→yref、故に、‖ys−yref‖≦ε、
入力を基準値に対して検査 ‖us−uref‖≦ε?
ただし、εは具体的なシステムに関して十分に小さい値になるように選択される。
“誤差≦動作閾値(OT)”が動作状態を規定し;
“OT<誤差≦警告閾値(WT)”が警告状態を規定し;
“WT<誤差”が故障状態を規定する;
ように構造化されることができる。他の例では、その他の構造が使用されてもよい。
Claims (29)
- 熱処理システムをリアルタイムに監視するためのビルトイン・セルフテスト(BIST)テーブルを作成且つ/或いは変更する方法であって:
前記熱処理システムの処理チャンバー内に、相異なる高さ位置で複数のウェハを配置する段階;
前記複数のウェハを前処理プロセスにかけながら、測定による動的な前処理プロセス応答を作り出す段階であり、該前処理プロセスにおいて、少なくとも1つの第一プロセスパラメータが、該前処理プロセスに関して確立された動作限界内で第一の値から第二の値に変化させられる、段階;
前記少なくとも1つの第一プロセスパラメータが前記第一の値から前記第二の値に変化させられるときに、前記複数のウェハに関して、予測による動的な前処理プロセス応答を生成するために、前処理用の実時間動的モデルを実行する段階;
前記予測による動的な前処理プロセス応答と前記測定による動的な前処理プロセス応答との間の差を用いて、前記前処理プロセスに関して、前処理における動的な推定誤差を決定する段階;及び
前記前処理における動的な推定誤差が、1つ以上の既存の第一動作閾値及び第一警告閾値を有する前記BISTテーブル内の既存の第一BISTルールに関連付けられ得るかを決定する段階であり、前記前処理における動的な推定誤差が前記BISTテーブル内の前記既存の第一BISTルールの何れにも関連付けられ得ないとき、
前記前処理プロセス用の新たな第一BISTルールを作成する、あるいは
新たな第一BISTルールが作成され得ないとき、前記前処理プロセスを停止させる、
の何れかを行う段階;
を有する方法。 - 前記複数のウェハをウェハ処理プロセスにかけながら、測定による動的なウェハプロセス応答を作り出す段階であり、該ウェハ処理プロセスにおいて、少なくとも1つの第二プロセスパラメータが動作値に維持される、段階;
前記ウェハ処理プロセス中に、前記複数のウェハに関して、予測による動的なウェハプロセス応答を生成するために、ウェハ処理用の実時間動的モデルを実行する段階;
前記予測による動的なウェハプロセス応答と前記測定による動的なウェハプロセス応答との間の差を用いて、前記ウェハ処理プロセスに関して、ウェハ処理における動的な推定誤差を決定する段階;及び
前記ウェハ処理における動的な推定誤差が、1つ以上の既存の第二動作閾値及び第二警告閾値を有する前記BISTテーブル内の既存の第二BISTルールに関連付けられ得るかを決定する段階であり、前記ウェハ処理における動的な推定誤差が前記BISTテーブル内の前記既存の第二BISTルールの何れにも関連付けられ得ないとき、
前記ウェハ処理プロセス用の新たな第二BISTルールを作成する、あるいは
新たな第二BISTルールが作成され得ないとき、前記ウェハ処理プロセスを停止させる、
の何れかを行う段階;
を更に有する請求項1に記載の方法。 - 前記複数のウェハを後処理プロセスにかけながら、測定による動的な後処理プロセス応答を作り出す段階であり、該後処理プロセスにおいて、少なくとも1つの第三プロセスパラメータが動作値から変化させられる、段階;
前記後処理プロセス中に、前記複数のウェハに関して、予測による動的な後処理プロセス応答を生成するために、後処理用の実時間動的モデルを実行する段階;
前記予測による動的な後処理プロセス応答と前記測定による動的な後処理プロセス応答との間の差を用いて、前記後処理プロセスに関して、後処理における動的な推定誤差を決定する段階;及び
前記後処理における動的な推定誤差が、1つ以上の既存の第三動作閾値及び第三警告閾値を有する前記BISTテーブル内の既存の第三BISTルールに関連付けられ得るかを決定する段階であり、前記後処理における動的な推定誤差が前記BISTテーブル内の前記既存の第三BISTルールの何れにも関連付けられ得ないとき、
前記後処理プロセス用の新たな第三BISTルールを作成する、あるいは
新たな第三BISTルールが作成され得ないとき、前記後処理プロセスを停止させる、
の何れかを行う段階;
を更に有する請求項2に記載の方法。 - 前記新たな第一BISTルールに関して、前記既存の第一動作閾値に基づく新たな第一動作閾値を確立する段階;
前記新たな第一動作閾値に基づく新たな第一警告閾値を確立する段階;
前記新たな第一BISTルールに関連付けるべき警告メッセージを作成する段階であり、該警告メッセージは、前処理プロセス中に決定された前処理における動的な推定誤差が、前記新たな第一BISTルールに関して確立された前記新たな第一警告閾値の範囲内にあるときに、送信されるように設定される、段階;及び
前記新たな第一BISTルールに関連付けるべき障害メッセージを作成する段階であり、該障害メッセージは、前処理プロセス中に決定された前処理における動的な推定誤差が、前記新たな第一BISTルールに関して確立された前記新たな第一警告閾値の範囲内にないときに、送信されるように設定される、段階;
を更に有する請求項1に記載の方法。 - 前記前処理プロセス中に、前記複数のウェハに関して、新たな、予測による動的な前処理プロセス応答を生成するために、新たな、前処理用の実時間動的モデルを実行する段階;
前記新たな予測による動的な前処理プロセス応答と前記測定による動的な前処理プロセス応答との間の差を用いて、前記前処理プロセスに関して、新たな、前処理における動的な推定誤差を決定する段階;及び
前記新たな前処理における動的な推定誤差が、前記BISTテーブル内の前記既存の第一BISTルールの何れかに関連付けられ得るかを決定する段階であり、前記新たな前処理における動的な推定誤差が前記BISTテーブル内の前記既存の第一BISTルールの何れにも関連付けられ得ないとき、
前記前処理プロセス用の新たな第一BISTルールを作成する、あるいは
新たな第一BISTルールが作成され得ないとき、前記前処理プロセスを停止させる、
の何れかを行う段階;
を更に有する請求項1に記載の方法。 - 前記新たな第一BISTルールに関して、前記既存の第一動作閾値に基づく新たな第一動作閾値を確立する段階;
前記新たな第一動作閾値に基づく新たな第一警告閾値を確立する段階;
前記新たな第一BISTルールに関連付けるべき警告メッセージを作成する段階であり、該警告メッセージは、前処理プロセス中に決定された前処理における動的な推定誤差が、前記新たな第一BISTルールに関して確立された前記新たな第一警告閾値の範囲内にあるときに、送信されるように設定される、段階;及び
前記新たな第一BISTルールに関連付けるべき障害メッセージを作成する段階であり、該障害メッセージは、前処理プロセス中に決定された前処理における動的な推定誤差が、前記新たな第一BISTルールに関して確立された前記新たな第一警告閾値の範囲内にないときに、送信されるように設定される、段階;
を更に有する請求項5に記載の方法。 - 前記前処理プロセスにおいて、前記第一プロセスパラメータが、前記前処理プロセスに関して確立された前記動作限界の外側にある第三の値に変化させられるとき、前記複数のウェハに関して、新たな、測定による動的な前処理プロセス応答を作り出す段階;
前記予測による動的な前処理プロセス応答と前記新たな測定による動的な前処理プロセス応答との間の差を用いて、前記前処理プロセスに関して、新たな、前処理における動的な推定誤差を決定する段階;及び
前記新たな前処理における動的な推定誤差が、前記BISTテーブル内の前記既存の第一BISTルールの何れかに関連付けられ得るかを決定する段階であり、前記新たな前処理における動的な推定誤差が前記BISTテーブル内の前記既存の第一BISTルールの何れにも関連付けられ得ないとき、
前記前処理プロセス用の新たな第一BISTルールを作成する、あるいは
新たな第一BISTルールが作成され得ないとき、前記前処理プロセスを停止させる、
の何れかを行う段階;
を更に有する請求項1に記載の方法。 - 前記新たな第二BISTルールに関して、前記既存の第二動作閾値に基づく新たな第二動作閾値を確立する段階;
前記新たな第二動作閾値に基づく新たな第二警告閾値を確立する段階;
前記新たな第二BISTルールに関連付けるべき警告メッセージを作成する段階であり、該警告メッセージは、ウェハ処理プロセス中に決定されたウェハ処理における動的な推定誤差が、前記新たな第二BISTルールに関して確立された前記新たな第二警告閾値の範囲内にあるときに、送信されるように設定される、段階;及び
前記新たな第二BISTルールに関連付けるべき障害メッセージを作成する段階であり、該障害メッセージは、ウェハ処理プロセス中に決定されたウェハ処理における動的な推定誤差が、前記新たな第二BISTルールに関して確立された前記新たな第二警告閾値の範囲内にないときに、送信されるように設定される、段階;
を更に有する請求項2に記載の方法。 - 前記ウェハ処理プロセス中に、前記複数のウェハに関して、新たな、予測による動的なウェハプロセス応答を生成するために、新たな、ウェハ処理用の実時間動的モデルを実行する段階;
前記新たな予測による動的なウェハプロセス応答と前記測定による動的なウェハプロセス応答との間の差を用いて、前記ウェハ処理プロセスに関して、新たな、ウェハ処理における動的な推定誤差を決定する段階;及び
前記新たなウェハ処理における動的な推定誤差が、前記BISTテーブル内の前記既存の第二BISTルールの何れかに関連付けられ得るかを決定する段階であり、前記新たなウェハ処理における動的な推定誤差が前記BISTテーブル内の前記既存の第二BISTルールの何れにも関連付けられ得ないとき、
前記ウェハ処理プロセス用の新たな第二BISTルールを作成する、あるいは
新たな第二BISTルールが作成され得ないとき、前記ウェハ処理プロセスを停止させる、
の何れかを行う段階;
を更に有する請求項2に記載の方法。 - 前記新たな第二BISTルールに関して、前記既存の第二動作閾値に基づく新たな第二動作閾値を確立する段階;
前記新たな第二動作閾値に基づく新たな第二警告閾値を確立する段階;
前記新たな第二BISTルールに関連付けるべき警告メッセージを作成する段階であり、該警告メッセージは、ウェハ処理プロセス中に決定されたウェハ処理における動的な推定誤差が、前記新たな第二BISTルールに関して確立された前記新たな第二警告閾値の範囲内にあるときに、送信されるように設定される、段階;及び
前記新たな第二BISTルールに関連付けるべき障害メッセージを作成する段階であり、該障害メッセージは、ウェハ処理プロセス中に決定されたウェハ処理における動的な推定誤差が、前記新たな第二BISTルールに関して確立された前記新たな第二警告閾値の範囲内にないときに、送信されるように設定される、段階;
を更に有する請求項9に記載の方法。 - 前記ウェハ処理プロセスにおいて、前記第二プロセスパラメータが、前記ウェハ処理プロセスに関して確立された動作限界の外側にある非動作値に変化させられるとき、前記複数のウェハに関して、新たな、測定による動的なウェハプロセス応答を作り出す段階;
前記予測による動的なウェハプロセス応答と前記新たな測定による動的なウェハプロセス応答との間の差を用いて、前記ウェハ処理プロセスに関して、新たな、ウェハ処理における動的な推定誤差を決定する段階;及び
前記新たなウェハ処理における動的な推定誤差が、前記BISTテーブル内の前記既存の第二BISTルールの何れかに関連付けられ得るかを決定する段階であり、前記新たなウェハ処理における動的な推定誤差が前記BISTテーブル内の前記既存の第二BISTルールの何れにも関連付けられ得ないとき、
前記ウェハ処理プロセス用の新たな第二BISTルールを作成する、あるいは
新たな第二BISTルールが作成され得ないとき、前記ウェハ処理プロセスを停止させる、
の何れかを行う段階;
を更に有する請求項2に記載の方法。 - 前記新たな第三BISTルールに関して、前記既存の第三動作閾値に基づく新たな第三動作閾値を確立する段階;
前記新たな第三動作閾値に基づく新たな第三警告閾値を確立する段階;
前記新たな第三BISTルールに関連付けるべき警告メッセージを作成する段階であり、該警告メッセージは、後処理プロセス中に決定された後処理における動的な推定誤差が、前記新たな第三BISTルールに関して確立された前記新たな第三警告閾値の範囲内にあるときに、送信されるように設定される、段階;及び
前記新たな第三BISTルールに関連付けるべき障害メッセージを作成する段階であり、該障害メッセージは、後処理プロセス中に決定された後処理における動的な推定誤差が、前記新たな第三BISTルールに関して確立された前記新たな第三警告閾値の範囲内にないときに、送信されるように設定される、段階;
を更に有する請求項3に記載の方法。 - 前記後処理プロセス中に、前記複数のウェハに関して、新たな、予測による動的な後処理プロセス応答を生成するために、新たな、後処理用の実時間動的モデルを実行する段階;
前記新たな予測による動的な後処理プロセス応答と前記測定による動的な後処理プロセス応答との間の差を用いて、前記後処理プロセスに関して、新たな、後処理における動的な推定誤差を決定する段階;及び
前記新たな後処理における動的な推定誤差が、前記BISTテーブル内の前記既存の第三BISTルールの何れかに関連付けられ得るかを決定する段階であり、前記新たな後処理における動的な推定誤差が前記BISTテーブル内の前記既存の第三BISTルールの何れにも関連付けられ得ないとき、
前記後処理プロセス用の新たな第三BISTルールを作成する、あるいは
新たな第三BISTルールが作成され得ないとき、前記後処理プロセスを停止させる、
の何れかを行う段階;
を更に有する請求項3に記載の方法。 - 前記新たな第三BISTルールに関して、前記既存の第三動作閾値に基づく新たな第三動作閾値を確立する段階;
前記新たな第三動作閾値に基づく新たな第三警告閾値を確立する段階;
前記新たな第三BISTルールに関連付けるべき警告メッセージを作成する段階であり、該警告メッセージは、後処理プロセス中に決定された後処理における動的な推定誤差が、前記新たな第三BISTルールに関して確立された前記新たな第三警告閾値の範囲内にあるときに、送信されるように設定される、段階;及び
前記新たな第三BISTルールに関連付けるべき障害メッセージを作成する段階であり、該障害メッセージは、後処理プロセス中に決定された後処理における動的な推定誤差が、前記新たな第三BISTルールに関して確立された前記新たな第三警告閾値の範囲内にないときに、送信されるように設定される、段階;
を更に有する請求項13に記載の方法。 - 前記後処理プロセスにおいて、前記第三プロセスパラメータが、前記後処理プロセスに関して確立された動作限界の外側にある非動作値に変化させられるとき、前記複数のウェハに関して、新たな、測定による動的な後処理プロセス応答を作り出す段階;
前記予測による動的な後処理プロセス応答と前記新たな測定による動的な後処理プロセス応答との間の差を用いて、前記後処理プロセスに関して、新たな、後処理における動的な推定誤差を決定する段階;及び
前記新たな後処理における動的な推定誤差が、前記BISTテーブル内の前記既存の第三BISTルールの何れかに関連付けられ得るかを決定する段階であり、前記新たな後処理における動的な推定誤差が前記BISTテーブル内の前記既存の第三BISTルールの何れにも関連付けられ得ないとき、
前記後処理プロセス用の新たな第三BISTルールを作成する、あるいは
新たな第三BISTルールが作成され得ないとき、前記後処理プロセスを停止させる、
の何れかを行う段階;
を更に有する請求項3に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの第一プロセスパラメータを前記第一の値から前記第二の値に、一連のステップを用いて変化させる段階;
を更に有する請求項1に記載の方法。 - 前記予測による動的な前処理プロセス応答は、予測による動的な温度勾配、予測による動的なチャンバー圧力、予測による動的なガス流量、若しくは予測による処理時間、又はこれらの組み合わせを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記処理チャンバーは複数の温度制御区画を有し、前記処理チャンバーに関して前記測定による動的な前処理プロセス応答を作り出す段階は、前記複数の温度制御区画の各々の温度を測定することを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記処理チャンバーは複数の温度制御区画を有し、当該方法は更に:
前記処理チャンバーの前記温度制御区画間の熱的相互作用をモデル化する段階;及び
前記熱的相互作用のモデルを前記前処理用の実時間動的モデルに組み込む段階;
を有する、請求項1に記載の方法。 - 前記処理チャンバーと周囲環境との間の熱的相互作用をモデル化する段階;及び
前記熱的相互作用のモデルを前記前処理用の実時間動的モデルに組み込む段階;
を更に有する請求項1に記載の方法。 - 前記複数のウェハと前記処理チャンバー内の処理空間との間の熱的相互作用をモデル化する段階;及び
前記熱的相互作用のモデルを前記前処理用の実時間動的モデルに組み込む段階;
を更に有する請求項1に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの第一プロセスパラメータはウェハの曲率を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記複数のウェハに少なくとも1枚のテストウェハが含められる、請求項1に記載の方法。
- フィードフォワードデータを受信する段階;及び
前記フィードフォワードデータを用いて、前記前処理用の実時間動的モデルを決定する段階;
を更に有する請求項1に記載の方法。 - フィードバックデータを受信する段階;及び
前記フィードバックデータを用いて、前記前処理用の実時間動的モデルを決定する段階;
を更に有する請求項1に記載の方法。 - 熱処理システムの処理チャンバー内に、相異なる高さ位置で複数のウェハを配置する段階;
前記複数のウェハを前処理プロセスにかけながら、測定による動的な前処理プロセス応答を作り出す段階であり、該前処理プロセスにおいて、少なくとも1つの第一プロセスパラメータが、該前処理プロセスに関して確立された動作限界内で第一の値から第二の値に変化させられる、段階;
前記少なくとも1つの第一プロセスパラメータが前記第一の値から前記第二の値に変化させられるときに、前記複数のウェハに関して、予測による動的な前処理プロセス応答を生成するために、前処理用の実時間動的モデルを実行する段階;
前記予測による動的な前処理プロセス応答と前記測定による動的な前処理プロセス応答との間の差を用いて、前記前処理プロセスに関して、前処理における動的な推定誤差を決定する段階;及び
前記前処理における動的な推定誤差が、1つ以上の既存の第一動作閾値及び第一警告閾値を有するビルトイン・セルフテスト(BIST)テーブル内の既存の第一BISTルールに関連付けられ得るかを決定する段階であり、前記前処理における動的な推定誤差が前記BISTテーブル内の前記既存の第一BISTルールの何れにも関連付けられ得ないとき、
前記前処理プロセス用の新たな第一BISTルールを作成する、あるいは
新たな第一BISTルールが作成され得ないとき、前記前処理プロセスを停止させる、
の何れかを行う段階;
を実行するためのコンピュータ実行可能命令を格納したコンピュータ読み取り可能媒体。 - 基板を処理するように構成された熱処理システムのコントローラを動作させる方法であって:
前記熱処理システムに、該熱処理システムの処理チャンバー内に、相異なる高さ位置で複数のウェハを配置するよう命令する段階;
前記熱処理システムに、前記複数のウェハを前処理プロセスにかけながら、測定による動的な前処理プロセス応答を作り出すよう命令する段階であり、該前処理プロセスにおいて、少なくとも1つの第一プロセスパラメータが、該前処理プロセスに関して確立された動作限界内で第一の値から第二の値に変化させられる、段階;
前記熱処理システムに、前記少なくとも1つの第一プロセスパラメータが前記第一の値から前記第二の値に変化させられるときに、前記複数のウェハに関して、予測による動的な前処理プロセス応答を生成するために、前処理用の実時間動的モデルを実行するよう命令する段階;
前記熱処理システムに、前記予測による動的な前処理プロセス応答と前記測定による動的な前処理プロセス応答との間の差を用いて、前記前処理プロセスに関して、前処理における動的な推定誤差を決定するよう命令する段階;及び
前記熱処理システムに、前記前処理における動的な推定誤差が、1つ以上の既存の第一動作閾値及び第一警告閾値を有するビルトイン・セルフテスト(BIST)テーブル内の既存の第一BISTルールに関連付けられ得るかを決定するよう命令する段階であり、前記前処理における動的な推定誤差が前記BISTテーブル内の前記既存の第一BISTルールの何れにも関連付けられ得ないとき、前記熱処理システムに、
前記前処理プロセス用の新たな第一BISTルールを作成する、あるいは
新たな第一BISTルールが作成され得ないとき、前記前処理プロセスを停止させる、
の何れかを行うよう命令する段階;
を有する方法。
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