JPH0850162A - 半導体装置の試験方法及び試験装置 - Google Patents
半導体装置の試験方法及び試験装置Info
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- JPH0850162A JPH0850162A JP6184794A JP18479494A JPH0850162A JP H0850162 A JPH0850162 A JP H0850162A JP 6184794 A JP6184794 A JP 6184794A JP 18479494 A JP18479494 A JP 18479494A JP H0850162 A JPH0850162 A JP H0850162A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 操作の効率化，試験システムの集積化と汎用
化を行う。 【構成】 １）ラインコントローラにおいて，型格ごと
の試験条件及び試験設備等の情報が含まれる試験レシピ
データをホストコンピュータから読み込み，且つ被試験
物を試験設備に呼び込み，且つ呼び込まれた被試験物に
対応する試験レシピデータをコントローラに送り出し，
該コントローラにおいて，該被試験物に対応する試験レ
シピデータに従って, 試験プログラムの編集及び試験プ
ログラムの条件設定, 試験条件の設定，試験結果の判
定，試験実績データの作成を行う, ２）試験プログラムの編集及び試験プログラムの条件設
定を行うテスタエミュレータ部を含み，且つ試験条件の
設定, 試験結果の判定，試験実績データの作成を行うコ
ントローラを有する半導体装置試験装置，３）コントロ
ーラが，多種類のテスタに対して試験条件を設定するテ
スタセットアップセレクト部を有する。
化を行う。 【構成】 １）ラインコントローラにおいて，型格ごと
の試験条件及び試験設備等の情報が含まれる試験レシピ
データをホストコンピュータから読み込み，且つ被試験
物を試験設備に呼び込み，且つ呼び込まれた被試験物に
対応する試験レシピデータをコントローラに送り出し，
該コントローラにおいて，該被試験物に対応する試験レ
シピデータに従って, 試験プログラムの編集及び試験プ
ログラムの条件設定, 試験条件の設定，試験結果の判
定，試験実績データの作成を行う, ２）試験プログラムの編集及び試験プログラムの条件設
定を行うテスタエミュレータ部を含み，且つ試験条件の
設定, 試験結果の判定，試験実績データの作成を行うコ
ントローラを有する半導体装置試験装置，３）コントロ
ーラが，多種類のテスタに対して試験条件を設定するテ
スタセットアップセレクト部を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の試験方法お
よび試験装置に関する。近年, 半導体装置は多品種, 小
量生産の傾向にあり，ユーザから短納期化が要求されて
いる。このため, 主として試験装置の改善のみで対処し
ているが，この場合でも試験工程において，試験装置の
試験データ設定等人手による工数が多くあり, 試験装置
の稼働率を低下させるおそれがあるため，これに対応し
た試験方法の改良も望まれる。
よび試験装置に関する。近年, 半導体装置は多品種, 小
量生産の傾向にあり，ユーザから短納期化が要求されて
いる。このため, 主として試験装置の改善のみで対処し
ているが，この場合でも試験工程において，試験装置の
試験データ設定等人手による工数が多くあり, 試験装置
の稼働率を低下させるおそれがあるため，これに対応し
た試験方法の改良も望まれる。
【０００２】
【従来の技術】従来の試験方法においては，半導体装置
のパッケージは多種類あり，且つ試験装置の試験データ
設定, 品種の切替え, 及び試験装置への半導体装置の供
給等人手による工程が多い。これらの問題を解決する手
段として図４に示されるような試験管理システムを導入
している。
のパッケージは多種類あり，且つ試験装置の試験データ
設定, 品種の切替え, 及び試験装置への半導体装置の供
給等人手による工程が多い。これらの問題を解決する手
段として図４に示されるような試験管理システムを導入
している。
【０００３】図６は従来の試験装置の構成図である。図
６(A) において， 1は被試験物で半導体装置またはウエ
ハ, 2は試験器具で被試験物を収納するトレイ (コンテ
ナ) またはキャリア, 3は試験装置でプローバ (ハンド
ラ), 4 はコントローラ, 5はラインコントローラ, 7
はICテスタ,8はテスタエミュレータである。
６(A) において， 1は被試験物で半導体装置またはウエ
ハ, 2は試験器具で被試験物を収納するトレイ (コンテ
ナ) またはキャリア, 3は試験装置でプローバ (ハンド
ラ), 4 はコントローラ, 5はラインコントローラ, 7
はICテスタ,8はテスタエミュレータである。
【０００４】図において，半導体装置（ウエハも含む)
1をロット単位で搬送器具 2に収納し，この搬送器具の
管理番号を記憶装置に入力し，半導体装置に相当する試
験レシピデータ（型格ごとの試験条件, 設備条件, ロッ
ト情報, 測定ボード，品種等の情報が含まれている）を
予め登録されているホストコンピュータの記憶装置から
読み出し，その試験レシピデータから自動負荷山積計画
を実行し，各工程における最良の設備を自動的に計画す
る。
1をロット単位で搬送器具 2に収納し，この搬送器具の
管理番号を記憶装置に入力し，半導体装置に相当する試
験レシピデータ（型格ごとの試験条件, 設備条件, ロッ
ト情報, 測定ボード，品種等の情報が含まれている）を
予め登録されているホストコンピュータの記憶装置から
読み出し，その試験レシピデータから自動負荷山積計画
を実行し，各工程における最良の設備を自動的に計画す
る。
【０００５】ラインコントローラ 5に前記記憶装置に予
め登録されている試験レシピデータを読み込む。また，
搬送器具を試験設備 (コントローラ，ICテスタ, プロー
バまたはハンドラの組み合わせ) 3に呼び込み, この呼
び込まれた搬送器具に収納されている半導体装置に対応
する試験レシピデータを前記のラインコントローラより
送り出し, この送り出された試験レシピデータにしたが
って, テスタエミュレータ 8で試験プログラムを設定
し，コントローラ 4で試験条件の設定, 判定, 歩留監
視，試験データ収集を実行して，試験実績データを作成
している。
め登録されている試験レシピデータを読み込む。また，
搬送器具を試験設備 (コントローラ，ICテスタ, プロー
バまたはハンドラの組み合わせ) 3に呼び込み, この呼
び込まれた搬送器具に収納されている半導体装置に対応
する試験レシピデータを前記のラインコントローラより
送り出し, この送り出された試験レシピデータにしたが
って, テスタエミュレータ 8で試験プログラムを設定
し，コントローラ 4で試験条件の設定, 判定, 歩留監
視，試験データ収集を実行して，試験実績データを作成
している。
【０００６】ここで着眼したいのはテスタエミュレータ
8である。ICテスタ 7に付属されているテスタエミュレ
ータ 8は主に, テストプログラムの編集, テストプログ
ラムの条件設定, テスタコントロール等に使用される
が，テスト仕様の変更に迅速に対応するために用いられ
る。
8である。ICテスタ 7に付属されているテスタエミュレ
ータ 8は主に, テストプログラムの編集, テストプログ
ラムの条件設定, テスタコントロール等に使用される
が，テスト仕様の変更に迅速に対応するために用いられ
る。
【０００７】図６(B) はラインコントローラ 5，コント
ローラ 4，ICテスタ 3，テスタエミュレータ 8の相互接
続図で, 各部をつなぐ線に沿って記載された記号はイン
タフェイスを示す。
ローラ 4，ICテスタ 3，テスタエミュレータ 8の相互接
続図で, 各部をつなぐ線に沿って記載された記号はイン
タフェイスを示す。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし試験管理システ
ムを導入しても，ICテスタの大型化, CIM (ComputerInt
egration Manufacturing;コンピュータによる知的生産)
化にともない端末機の増加による工場内の有効スペー
スの低下によるオペレータの操作性の低減及び複数の端
末操作による作業工数が大きい。
ムを導入しても，ICテスタの大型化, CIM (ComputerInt
egration Manufacturing;コンピュータによる知的生産)
化にともない端末機の増加による工場内の有効スペー
スの低下によるオペレータの操作性の低減及び複数の端
末操作による作業工数が大きい。
【０００９】また，試験設備の多種化により，システム
の汎用化が要求されている。本発明は，上記の欠点を解
消するために，試験する上での操作の効率化，および試
験システムの集積化と省スペース化と汎用化を行うこと
を目的とする。
の汎用化が要求されている。本発明は，上記の欠点を解
消するために，試験する上での操作の効率化，および試
験システムの集積化と省スペース化と汎用化を行うこと
を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題の解決は， １）ラインコントローラにおいて，型格ごとの試験条件
及び試験設備等の情報が含まれる試験レシピデータをホ
ストコンピュータから読み込み，且つ被試験物を試験設
備に呼び込み，且つ呼び込まれた被試験物に対応する試
験レシピデータをコントローラに送り出し，該コントロ
ーラにおいて，該被試験物に対応する試験レシピデータ
に従って, 試験プログラムの編集及び試験プログラムの
条件設定,試験条件の設定，試験結果の判定，試験実績
データの作成を行う半導体装置の試験方法，あるいは ２）試験レシピデータをホストコンピュータから読み込
み，被試験物を試験設備に呼び込み，呼び込まれた被試
験物に対応する試験レシピデータをコントローラに送り
出すラインコントローラと，該被試験物に対応する試験
レシピデータに従って, 試験プログラムの編集及び試験
プログラムの条件設定を行うテスタエミュレータ部を含
み，且つ試験条件の設定, 試験結果の判定，試験実績デ
ータの作成を行う前記コントローラとを有する半導体装
置の試験装置，あるいは ３）前記コントローラが，多種類のテスタに対して試験
条件を設定するテスタセットアップセレクト部を有する
前記２記載の半導体装置の試験装置により達成される。
及び試験設備等の情報が含まれる試験レシピデータをホ
ストコンピュータから読み込み，且つ被試験物を試験設
備に呼び込み，且つ呼び込まれた被試験物に対応する試
験レシピデータをコントローラに送り出し，該コントロ
ーラにおいて，該被試験物に対応する試験レシピデータ
に従って, 試験プログラムの編集及び試験プログラムの
条件設定,試験条件の設定，試験結果の判定，試験実績
データの作成を行う半導体装置の試験方法，あるいは ２）試験レシピデータをホストコンピュータから読み込
み，被試験物を試験設備に呼び込み，呼び込まれた被試
験物に対応する試験レシピデータをコントローラに送り
出すラインコントローラと，該被試験物に対応する試験
レシピデータに従って, 試験プログラムの編集及び試験
プログラムの条件設定を行うテスタエミュレータ部を含
み，且つ試験条件の設定, 試験結果の判定，試験実績デ
ータの作成を行う前記コントローラとを有する半導体装
置の試験装置，あるいは ３）前記コントローラが，多種類のテスタに対して試験
条件を設定するテスタセットアップセレクト部を有する
前記２記載の半導体装置の試験装置により達成される。
【００１１】
【作用】本発明では，従来例のシステムを以下のように
変更することで，システムの集積化，汎用化を図っ
ている。 ICテスタ 7に付属されているテスタエミュレータ 8
を, コントローラ 4にテスタエミュレータ部を設けるこ
とで, テスタエミュレータ 8を無くすことができる。 また, コントローラ 4に，多数のICテスタの異なる
試験条件の設定を支援するテスタセットアップセレクト
部を設けることでシステムの汎用化を可能にしている。
変更することで，システムの集積化，汎用化を図っ
ている。 ICテスタ 7に付属されているテスタエミュレータ 8
を, コントローラ 4にテスタエミュレータ部を設けるこ
とで, テスタエミュレータ 8を無くすことができる。 また, コントローラ 4に，多数のICテスタの異なる
試験条件の設定を支援するテスタセットアップセレクト
部を設けることでシステムの汎用化を可能にしている。
【００１２】本発明は外付けのテスタエミュレータをコ
ントローラに内蔵させたため，当然省スペースになり操
作性は楽になる。ここで，従来，上記内蔵が困難であっ
た理由は以下の通りである。 テスタのタイプによりテスタエミュレータの仕様が
異なる。 コントローラ側のハードの仕様が異なる (テンキー
のみのためアルファベット入力が不可である等) 。 コントローラのディスプレイ仕様が違い, 画面が見
にくい。 テスタから受信したデータに制御文字があると画面
が乱れる。 コントローラにマルチ画面制御がなく, エミュレー
タ画面をリアルタイムに出せない。
ントローラに内蔵させたため，当然省スペースになり操
作性は楽になる。ここで，従来，上記内蔵が困難であっ
た理由は以下の通りである。 テスタのタイプによりテスタエミュレータの仕様が
異なる。 コントローラ側のハードの仕様が異なる (テンキー
のみのためアルファベット入力が不可である等) 。 コントローラのディスプレイ仕様が違い, 画面が見
にくい。 テスタから受信したデータに制御文字があると画面
が乱れる。 コントローラにマルチ画面制御がなく, エミュレー
タ画面をリアルタイムに出せない。
【００１３】これに対し本発明で, テスタエミュレータ
をコントローラに内蔵させるために, 以下の処置を行っ
た。 ハードウエアの面で, テスタエミュレータに対応で
きるコントローラを導入した。 テスタエミュレータ機能の文字制御部において，制
御文字の判断を可能にし，図面の乱れをなくした。 マルチジョブ機能により，図面切替えが可能にな
り，リアルタイムにエミュレータ画面を表示でき，入出
力が可能になった。
をコントローラに内蔵させるために, 以下の処置を行っ
た。 ハードウエアの面で, テスタエミュレータに対応で
きるコントローラを導入した。 テスタエミュレータ機能の文字制御部において，制
御文字の判断を可能にし，図面の乱れをなくした。 マルチジョブ機能により，図面切替えが可能にな
り，リアルタイムにエミュレータ画面を表示でき，入出
力が可能になった。
【００１４】すなわち, 従来からテスタエミュレータを
内蔵する考えはあったが，コントローラの本来の目的で
ある, 試験条件の設定, 試験結果の判定, 実績データの
作成とテスタエミュレータを同時に動作させることはで
きなかった。これは，テスタの自動セットアップ時に,
テスタエミュレータで認識できなかったためである。
内蔵する考えはあったが，コントローラの本来の目的で
ある, 試験条件の設定, 試験結果の判定, 実績データの
作成とテスタエミュレータを同時に動作させることはで
きなかった。これは，テスタの自動セットアップ時に,
テスタエミュレータで認識できなかったためである。
【００１５】これに対し, 本発明では外部からのデータ
を取り込み, オペレータがマニュアル操作を行うことと
変わらない自動セットアップ対応のテスタエミュレータ
機能の開発により，従来のテスタエミュレータ機能と自
動化とを共存できるようにしたものである。
を取り込み, オペレータがマニュアル操作を行うことと
変わらない自動セットアップ対応のテスタエミュレータ
機能の開発により，従来のテスタエミュレータ機能と自
動化とを共存できるようにしたものである。
【００１６】以下に図１を用いて，本発明のシステム構
成を説明する。図１において，従来例と同様に, 半導体
装置 1をロット単位で搬送器具 2に収納し，この搬送器
具の管理番号を記憶装置に入力し，半導体装置に相当す
る試験レシピデータ（型格ごとの試験条件, 設備条件,
ロット情報, 測定ボード，品種等の情報が含まれてい
る）を予め登録されているホストコンピュータの記憶装
置から読み出し，その試験レシピデータから自動負荷山
積計画を実行し，各工程における最良の設備を自動的に
計画する。
成を説明する。図１において，従来例と同様に, 半導体
装置 1をロット単位で搬送器具 2に収納し，この搬送器
具の管理番号を記憶装置に入力し，半導体装置に相当す
る試験レシピデータ（型格ごとの試験条件, 設備条件,
ロット情報, 測定ボード，品種等の情報が含まれてい
る）を予め登録されているホストコンピュータの記憶装
置から読み出し，その試験レシピデータから自動負荷山
積計画を実行し，各工程における最良の設備を自動的に
計画する。
【００１７】ラインコントローラ 5に前記記憶装置に予
め登録されている試験レシピデータを読み込む。また，
搬送器具を試験設備 (コントローラ 4，ICテスタ 7, プ
ローバまたはハンドラ 3の組み合わせ) に呼び込み, こ
の呼び込まれた搬送器具に収納されている半導体装置に
対応する試験レシピデータを前記のラインコントローラ
より送り出し, この送り出された試験レシピデータにし
たがってコントローラ4のみで, 試験プログラムの設定,
試験条件の設定, 判定, 歩留監視，テストデータ収集
を実行して，試験実績データを作成している。
め登録されている試験レシピデータを読み込む。また，
搬送器具を試験設備 (コントローラ 4，ICテスタ 7, プ
ローバまたはハンドラ 3の組み合わせ) に呼び込み, こ
の呼び込まれた搬送器具に収納されている半導体装置に
対応する試験レシピデータを前記のラインコントローラ
より送り出し, この送り出された試験レシピデータにし
たがってコントローラ4のみで, 試験プログラムの設定,
試験条件の設定, 判定, 歩留監視，テストデータ収集
を実行して，試験実績データを作成している。
【００１８】
実施例１：以下に図１，２を用いて本発明の実施例を説
明する。図１は半導体装置の試験ラインの構成図で，図
２のフローチャートにしたがって説明する。 バーコードリーダを使用してトレイ 2のロットをホ
ストコンピュータの記憶装置に登録する。 該当するロット (ロットID) から型格, 仕掛工程名
を仕掛データベース(DB)より参照し，型格データを検索
する。 上記で求めたデータ (設備タイプ) を基に, 設備
機器ファイルから該当するラインNoをすべて検索する。 該当ラインNoの設備条件 (設備タイプまたは設備限
定号機, ボード, 品種情報, 設定可能温度, 設備のオン
ライン／オフライン状態等）と，ロット情報（手番区分
＋ロット区分，出荷予定日等）と，履歴情報（設備測定
回数，半導体装置の想定回数）より負荷山積計画を行
う。 ホストコンピュータの記憶装置に予め登録されてい
る試験レシピデータをラインコントローラ 5が読み込
む。また，ラインコントローラよりリアルタイムで優先
ロットを選ぶ。 優先ロットはラインコントローラ 5より対象となる
設備 3に付属するコントローラ 4へ試験レシピデータを
送り出す。
明する。図１は半導体装置の試験ラインの構成図で，図
２のフローチャートにしたがって説明する。 バーコードリーダを使用してトレイ 2のロットをホ
ストコンピュータの記憶装置に登録する。 該当するロット (ロットID) から型格, 仕掛工程名
を仕掛データベース(DB)より参照し，型格データを検索
する。 上記で求めたデータ (設備タイプ) を基に, 設備
機器ファイルから該当するラインNoをすべて検索する。 該当ラインNoの設備条件 (設備タイプまたは設備限
定号機, ボード, 品種情報, 設定可能温度, 設備のオン
ライン／オフライン状態等）と，ロット情報（手番区分
＋ロット区分，出荷予定日等）と，履歴情報（設備測定
回数，半導体装置の想定回数）より負荷山積計画を行
う。 ホストコンピュータの記憶装置に予め登録されてい
る試験レシピデータをラインコントローラ 5が読み込
む。また，ラインコントローラよりリアルタイムで優先
ロットを選ぶ。 優先ロットはラインコントローラ 5より対象となる
設備 3に付属するコントローラ 4へ試験レシピデータを
送り出す。
【００１９】試験レシピデータには型格ごとの試験条
件, 設備条件, ロット情報, 試験材料(測定ボード, 品
種情報) が含まれており, この試験レシピデータを設備
3に入力し，半導体装置の試験を実行する。 試験回数ごとに, 結果はコントローラ 4よりライン
コントローラ 5へ送り出され, ラインコントローラのデ
ィスプレイ画面にリアルタイムで表示される。 試験実績データ (カテゴリ等) をコントローラ 4よ
りラインコントローラ 5を経由してホストコンピュータ
の記憶装置に入力し，試験済の半導体装置は判定結果に
より工程管理を行う。
件, 設備条件, ロット情報, 試験材料(測定ボード, 品
種情報) が含まれており, この試験レシピデータを設備
3に入力し，半導体装置の試験を実行する。 試験回数ごとに, 結果はコントローラ 4よりライン
コントローラ 5へ送り出され, ラインコントローラのデ
ィスプレイ画面にリアルタイムで表示される。 試験実績データ (カテゴリ等) をコントローラ 4よ
りラインコントローラ 5を経由してホストコンピュータ
の記憶装置に入力し，試験済の半導体装置は判定結果に
より工程管理を行う。
【００２０】実施例２：図３に実施例のコントローラの
ブロック図を示す。その構成は，コントローラ制御部4
7，歩留監視／判定部45，画面表示部48，ロギング管理
部46，設備通信部42, テスタエミュレータ部41，テスタ
セットアップセレクタ部44，データ群（試験レシピデー
タ，実績データ等）43, コントローラディスプレイ49か
らなる。次にそれぞれの機能をデータの流れに従って説
明する。 測定ロットはラインコントローラ 5より，対象とな
る設備 3に付属するコントローラ 4へ設備通信部42を通
じて試験レシピデータを送り出す。
ブロック図を示す。その構成は，コントローラ制御部4
7，歩留監視／判定部45，画面表示部48，ロギング管理
部46，設備通信部42, テスタエミュレータ部41，テスタ
セットアップセレクタ部44，データ群（試験レシピデー
タ，実績データ等）43, コントローラディスプレイ49か
らなる。次にそれぞれの機能をデータの流れに従って説
明する。 測定ロットはラインコントローラ 5より，対象とな
る設備 3に付属するコントローラ 4へ設備通信部42を通
じて試験レシピデータを送り出す。
【００２１】試験レシピデータには型格ごとの試験条
件, 設備条件, ロット情報, 試験材料(測定ボード, 品
種情報) が含まれており, この試験レシピデータをデー
タ群に登録し，設備 3に入力する。 テスタセットアップセレクト部44が試験レシピデー
タよりテスタタイプを取得し，セットアップを選択し，
テスタエミュレータ部41を経由し，ICテスタ 7に入力
し，セッティングを行う。 セッティング中にテストプログラムの試験仕様変更
が発生した場合, 図面表示部48の切替えによりテスタエ
ミュレータ部41を表示し，操作者の手入力変更にて対処
する。 設定完了後, 半導体装置の試験を実行する。 試験回数ごとに, 結果はコントローラ 4のデータ群
(実績データ) に登録し，設備通信部42よりラインコン
トローラ 5へ送り出される。 試験結果データ (カテゴリ等) を基に, 歩留監視／
判定部45で判定し，判定異常の場合設備 3とラインコン
トローラ 5へアラーム／オペコールを要求し，異常解析
を行う。 ロギング管理部46は障害対策として履歴データを参
照し，メンテナンスの向上を図る。 試験実績データをコントローラ 4よりラインコント
ローラ 5を経由してホストコンピュータの記憶装置に入
力し，試験済の半導体装置は判定結果により工程管理を
行う。
件, 設備条件, ロット情報, 試験材料(測定ボード, 品
種情報) が含まれており, この試験レシピデータをデー
タ群に登録し，設備 3に入力する。 テスタセットアップセレクト部44が試験レシピデー
タよりテスタタイプを取得し，セットアップを選択し，
テスタエミュレータ部41を経由し，ICテスタ 7に入力
し，セッティングを行う。 セッティング中にテストプログラムの試験仕様変更
が発生した場合, 図面表示部48の切替えによりテスタエ
ミュレータ部41を表示し，操作者の手入力変更にて対処
する。 設定完了後, 半導体装置の試験を実行する。 試験回数ごとに, 結果はコントローラ 4のデータ群
(実績データ) に登録し，設備通信部42よりラインコン
トローラ 5へ送り出される。 試験結果データ (カテゴリ等) を基に, 歩留監視／
判定部45で判定し，判定異常の場合設備 3とラインコン
トローラ 5へアラーム／オペコールを要求し，異常解析
を行う。 ロギング管理部46は障害対策として履歴データを参
照し，メンテナンスの向上を図る。 試験実績データをコントローラ 4よりラインコント
ローラ 5を経由してホストコンピュータの記憶装置に入
力し，試験済の半導体装置は判定結果により工程管理を
行う。
【００２２】次に, 本発明の要点であるテスタエミュレ
ータ部41の構成及び機能を図４を用いて説明する。図に
おいて，キー入力部412 はキーボードにより入力された
データをエミュレータ制御部411 に送信する。
ータ部41の構成及び機能を図４を用いて説明する。図に
おいて，キー入力部412 はキーボードにより入力された
データをエミュレータ制御部411 に送信する。
【００２３】セットアップ情報413 はテスタタイプ別セ
ットアップ情報を管理するデータである。エミュレータ
制御部411 はテスタセットアップセレクト部44とプロセ
ス間通信（各処理間の通信）を行う仮想端末機能を持
つ。
ットアップ情報を管理するデータである。エミュレータ
制御部411 はテスタセットアップセレクト部44とプロセ
ス間通信（各処理間の通信）を行う仮想端末機能を持
つ。
【００２４】文字制御部414 は制御文字の判断を行う。
エミュレータ制御部411 及び文字制御部414 はICテスタ
7とインタフェイスRS-232C で結ばれる。
エミュレータ制御部411 及び文字制御部414 はICテスタ
7とインタフェイスRS-232C で結ばれる。
【００２５】以上の構成を持つテスタエミュレータ部41
の機能は次のようである。 テスタエミュレータ (上記の仮想端末機能) この中には以下の機能等が含まれる。
の機能は次のようである。 テスタエミュレータ (上記の仮想端末機能) この中には以下の機能等が含まれる。
【００２６】(A) エディタ機能；テストプログラムを編
集する。 (B) コントローラ機能；テストを実行する。 (C) モニタ機能；ファイルの出力をする。
集する。 (B) コントローラ機能；テストを実行する。 (C) モニタ機能；ファイルの出力をする。
【００２７】(D) デバッガ機能；プログラムのデバッグ
をする。 (E) プロット機能；測定データを出力する。 テスタセットアップの自動起動機能 これは，テスタセットアップセレクト部44よりプロセス
間通信による。 制御文字判断機能 次に, 本発明の第２の要点であるテスタセットアップセ
レクト部44の構成及び機能を図５を用いて説明する。
をする。 (E) プロット機能；測定データを出力する。 テスタセットアップの自動起動機能 これは，テスタセットアップセレクト部44よりプロセス
間通信による。 制御文字判断機能 次に, 本発明の第２の要点であるテスタセットアップセ
レクト部44の構成及び機能を図５を用いて説明する。
【００２８】図において，セレクト部442 はテスタタイ
プを識別する。テスタセットアップ制御部441 はテスタ
セットアップを行い, コントローラ制御部47及びテスタ
エミュレータ部41との間にプロセス間通信を行う。
プを識別する。テスタセットアップ制御部441 はテスタ
セットアップを行い, コントローラ制御部47及びテスタ
エミュレータ部41との間にプロセス間通信を行う。
【００２９】命令群443 はテスタセットアップのための
命令群である。以上の構成を持つテスタセットアップセ
レクト部44の機能は次のようである。 テスタタイプの識別機能 テスタタイプ別セットアップ機能 テスタアップ機能の中には以下の機能等が含まれる。
命令群である。以上の構成を持つテスタセットアップセ
レクト部44の機能は次のようである。 テスタタイプの識別機能 テスタタイプ別セットアップ機能 テスタアップ機能の中には以下の機能等が含まれる。
【００３０】(A) テスタリューム (テスタプログラムの
サーバシステム) の切離しおよび接続命令 (B) CPU スイッチの設定命令 (C) ディレクトリ名の設定命令 (D) プログラム名の設定命令 (E) データクリア命令 (F) データをロギングする命令 (G) テストカテゴリクリア命令 (H) カテゴリリストアウト命令 ロット開始または終了時の自動セットアップ機能 これは，コントローラ制御部47よりプロセス間通信によ
る。 テスタエミュレータ部41とのプロセス間通信が可能
サーバシステム) の切離しおよび接続命令 (B) CPU スイッチの設定命令 (C) ディレクトリ名の設定命令 (D) プログラム名の設定命令 (E) データクリア命令 (F) データをロギングする命令 (G) テストカテゴリクリア命令 (H) カテゴリリストアウト命令 ロット開始または終了時の自動セットアップ機能 これは，コントローラ制御部47よりプロセス間通信によ
る。 テスタエミュレータ部41とのプロセス間通信が可能
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば， コントローラにテスタエミュレータを設けることに
より, テストシステムをコンパクトにし，工場の省スペ
ース化, 操作者の操作性の向上が図れる。 テストシステムの集積化により操作性が向上する。 コントローラにテスタセットアップセレクト部を設
けることで, 多種のテスタに対応でき, テストシステム
の汎用化が図れる。
より, テストシステムをコンパクトにし，工場の省スペ
ース化, 操作者の操作性の向上が図れる。 テストシステムの集積化により操作性が向上する。 コントローラにテスタセットアップセレクト部を設
けることで, 多種のテスタに対応でき, テストシステム
の汎用化が図れる。
【図１】 本発明の試験システムの構成図
【図２】 試験方法のフローチャート
【図３】 実施例のコントローラのブロック図
【図４】 テスタエミュレータ部の構成及び機能の説明
図
図
【図５】 テスタセットアップセレクト部の構成及び機
能の説明図
能の説明図
【図６】 従来例の試験システムの構成図
1 被試験物 2 試験器具で被試験物を収納するトレイ (コンテナ)
またはキャリア 3 試験装置でプローバ (ハンドラ) 4 コントローラ 41 テスタエミュレータ部 411 エミュレータ制御部 412 キー入力部 413 セットアップ情報 414 文字制御部 42 設備通信部 43 データ群（試験レシピデータ，実績データ等） 44 テスタセットアップセレクタ部 441 テスタセットアップ制御部 442 セレクト部 443 命令群 45 歩留監視／判定部 46 ロギング管理部 47 コントローラ制御部 48 画面表示部 49 コントローラディスプレイ 5 ラインコントローラ 7 ICテスタ 8 テスタエミュレータ
またはキャリア 3 試験装置でプローバ (ハンドラ) 4 コントローラ 41 テスタエミュレータ部 411 エミュレータ制御部 412 キー入力部 413 セットアップ情報 414 文字制御部 42 設備通信部 43 データ群（試験レシピデータ，実績データ等） 44 テスタセットアップセレクタ部 441 テスタセットアップ制御部 442 セレクト部 443 命令群 45 歩留監視／判定部 46 ロギング管理部 47 コントローラ制御部 48 画面表示部 49 コントローラディスプレイ 5 ラインコントローラ 7 ICテスタ 8 テスタエミュレータ
Claims (3)
- 【請求項１】 ラインコントローラにおいて，型格ごと
の試験条件及び試験設備等の情報が含まれる試験レシピ
データをホストコンピュータから読み込み，且つ被試験
物を試験設備に呼び込み，且つ呼び込まれた被試験物に
対応する試験レシピデータをコントローラに送り出し，
該コントローラにおいて，該被試験物に対応する試験レ
シピデータに従って,試験プログラムの編集及び試験プ
ログラムの条件設定, 試験条件の設定，試験結果の判
定，試験実績データの作成を行うことを特徴とする半導
体装置の試験方法。 - 【請求項２】 試験レシピデータをホストコンピュータ
から読み込み，被試験物を試験設備に呼び込み，呼び込
まれた被試験物に対応する試験レシピデータをコントロ
ーラに送り出すラインコントローラと，該被試験物に対
応する試験レシピデータに従って, 試験プログラムの編
集及び試験プログラムの条件設定を行うテスタエミュレ
ータ部を含み，且つ試験条件の設定, 試験結果の判定，
試験実績データの作成を行う前記コントローラとを有す
ることを特徴とする半導体装置の試験装置。 - 【請求項３】 前記コントローラが，多種類のテスタに
対して試験条件を設定するテスタセットアップセレクト
部を有すること特徴とする請求項２記載の半導体装置の
試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6184794A JPH0850162A (ja) | 1994-08-05 | 1994-08-05 | 半導体装置の試験方法及び試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6184794A JPH0850162A (ja) | 1994-08-05 | 1994-08-05 | 半導体装置の試験方法及び試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0850162A true JPH0850162A (ja) | 1996-02-20 |
Family
ID=16159413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6184794A Pending JPH0850162A (ja) | 1994-08-05 | 1994-08-05 | 半導体装置の試験方法及び試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0850162A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7345493B2 (en) | 1993-11-16 | 2008-03-18 | Formfactor, Inc. | Wafer-level burn-in and test |
| JP2008141211A (ja) * | 1996-05-17 | 2008-06-19 | Formfactor Inc | ウェーハレベルのバーンインおよびテスト |
| US7944225B2 (en) | 2008-09-26 | 2011-05-17 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for providing a tester integrated circuit for testing a semiconductor device under test |
| US8095841B2 (en) | 2008-08-19 | 2012-01-10 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for testing semiconductor devices with autonomous expected value generation |
| US8122309B2 (en) | 2008-03-11 | 2012-02-21 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for processing failures during semiconductor device testing |
| US8872534B2 (en) | 2007-09-27 | 2014-10-28 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for testing devices using serially controlled intelligent switches |
-
1994
- 1994-08-05 JP JP6184794A patent/JPH0850162A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7345493B2 (en) | 1993-11-16 | 2008-03-18 | Formfactor, Inc. | Wafer-level burn-in and test |
| JP2008141211A (ja) * | 1996-05-17 | 2008-06-19 | Formfactor Inc | ウェーハレベルのバーンインおよびテスト |
| US8872534B2 (en) | 2007-09-27 | 2014-10-28 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for testing devices using serially controlled intelligent switches |
| US8122309B2 (en) | 2008-03-11 | 2012-02-21 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for processing failures during semiconductor device testing |
| US8095841B2 (en) | 2008-08-19 | 2012-01-10 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for testing semiconductor devices with autonomous expected value generation |
| US7944225B2 (en) | 2008-09-26 | 2011-05-17 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for providing a tester integrated circuit for testing a semiconductor device under test |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020305 |