KR20140111110A - 자동 테스트 장비 및 그 제어방법 - Google Patents

자동 테스트 장비 및 그 제어방법 Download PDF

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KR20140111110A KR1020130024211A KR20130024211A KR20140111110A KR 20140111110 A KR20140111110 A KR 20140111110A KR 1020130024211 A KR1020130024211 A KR 1020130024211A KR 20130024211 A KR20130024211 A KR 20130024211A KR 20140111110 A KR20140111110 A KR 20140111110A
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Abstract

자동 테스트 장비는 적어도 하나 이상의 작업자들 각자의 테스트 요청을 입력하고 테스트 응답을 표시하기 위한 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들과, 적어도 하나 이상의 DUT들을 테스트하기 위한 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들과, 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들 및 테스트 사이트들과 네트워크 통신하고, 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들의 테스트 요청에 응답하여 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들을 분할 구동하고, 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들의 응답들을 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들에 전달하는 테스트 서버를 포함한다. 따라서 둘 이상의 작업자들이 서로 독립적으로 동시에 테스트 요청을 인터페이싱하고 서로 다른 테스트 사이트들을 통해 서로 다른 DUT들을 각각 테스트 할 수 있다.

Description

자동 테스트 장비 및 그 제어방법 {Automated Test Equipment and Method of Controlling thereof }
본 발명은 자동 테스트 장비및 방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 다중 작업자가 적어도 하나 이상의 피측정 소자를 동시에 테스트할 수 있는 자동 테스트 장비 및 방법에 관한 것이다.
반도체 칩이 고성능, 고집적화 됨에 따라 반도체 칩을 테스트 하는데 많은 시간과 자원이 소요된다. 반도체 칩의 품질을 유지하고 테스트 효율을 향상시키기 위해 테스트를 위한 설계(Design For Testability, DFT) 기술이 널리 사용되고 있다.
또한 최근에는 하나의 자동 테스트 장비(ATE : Automated Test Equipment)에서 복수의 사이트 테스팅을 지원하는 멀티 사이트 테스트 기술을 사용한다. 각 사이트 단위로 사이트 컨트롤러를 구비하고 ATE로부터 테스트 프로그램을 다운받아 디바이스, 즉 피측정 소자(DUT : Device Under Test)를 테스트한다.
그러나 기존의 멀티 사이트 테스팅 기능을 가진 ATE라 하더라도 작업자 인터페이스가 1:1로 구성되어 있으므로 한 작업자가 테스트 요청 중에는 다른 작업자는 테스트 요청을 입력할 수 없으므로 멀티 사이트 테스팅 기능을 충분히 발휘할 수 없었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일 목적은 다중 동시 접속으로 적어도 두명 이상의 작업자들이 동시에 테스트 요청 작업을 독립적으로 수행함으로써 자동 테스트 장비의 이용 효율을 극대화 할 수 있는 자동 테스트 장비 및 방법을 제공하는 데 있다.
상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 자동 테스트 장비는 적어도 하나 이상의 작업자들 각자의 테스트 요청을 입력하고 테스트 응답을 표시하기 위한 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들과, 적어도 하나 이상의 DUT들을 테스트하기 위한 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들과, 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들 및 테스트 사이트들과 네트워크 통신하고, 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들의 테스트 요청에 응답하여 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들을 분할 구동하고, 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들의 응답들을 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들에 전달하는 테스트 서버를 포함한다. 따라서 둘 이상의 작업자들이 서로 독립적으로 동시에 테스트 요청을 인터페이싱 하고 서로 다른 테스트 사이트들을 통해 서로 다른 DUT들을 각각 테스트 할 수 있다.
여기서 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들 각각은 테스트 서버로부터 다운로드 된 테스트 프로그램을 실행하여 적어도 하나 이상의 DUT들을 테스트할 수 있다.
또한 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들은 적어도 2 종류 이상의 DUT들에 대해 서로 다른 테스트 프로그램을 실행하여 각각 테스트할 수도 있다.
또한 적어도 하나 이상의 테스트 사이트 각각은 내부에서 적어도 2 종류 이상의 DUT들에 대해 서로 다른 테스트 프로그램을 각각 실행하여 테스트하는 것도 가능하다.
일실시예에서 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들과 상기 테스트 서버 사이의 네트워크 통신은 IPC(Inter-Process Communication) 또는 RPC(Remote Procedure Call) 중 어느 하나로 할 수 있다.
일실시예에서 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들은 비동기적으로 동작할 수도 있다.
본 발명에 의한 자동 테스트 장비의 제어방법은 테스트 서버에서, 클라이언트/서버 방식으로 결합된 상기 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들로부터 테스트 요청을 접수하고, 접수된 테스트 요청에 응답하여 복수의 테스트 사이트들 중 대응하는 테스트 사이트에 해당 DUT의 테스트를 지시한다. 이어서 테스트 서버에서, 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들로부터 테스트 결과의 업로드를 접수하고, 테스트 서버에서, 접수된 테스트 결과를 대응하는 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들에 전송한다.
상기와 같은 본 발명의 실시예들에 따른 자동 테스트 장비는 두 명 이상의 작업자들이 동시에 하나의 자동 테스트 장비를 공유하면서 서로 독립적인 테스트 작업을 수행할 수 있으므로 사이트 분할 구동 도는 혼류 테스트 작업이 가능하다. 그러므로 멀티 사이트 테스팅 기능을 가진 자동 테스트 장비의 운영 효율을 극대화 시킬 수 있으며 테스트 작업 능률을 향상시킬 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기에서 언급된 효과로 제한되는 것은 아니며, 상기에서 언급되지 않은 다른 효과들은 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 자동 테스트 장비의 바람직한 일실시예를 설명하기 위한 개념도.
도 2는 테스트 클라이언트(110)의 테스트 요청 정보(112)의 일실시예를 설명하기 위한 도면.
도 3은 테스트 서버(130)의 테스트 결과 정보(136)의 일실시예를 설명하기 위한 도면.
도 4는 본 발명의 자동 테스트 장비의 바람직한 다른 실시예를 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 테스트 클라이언트(110)의 테스트 요청 정보(114)의 일실시예를 설명하기 위한 도면.
도 6은 테스트 서버(130)의 테스트 결과 정보(138)의 일실시예를 설명하기 위한 도면.
도 7은 본 발명에 의한 일실시예의 테스트 제어방법을 설명하기 위한 흐름도.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시(說示)된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
한편, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정 블록 내에 명기된 기능 또는 동작이 순서도에 명기된 순서와 다르게 일어날 수도 있다. 예를 들어, 연속하는 두 블록이 실제로는 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 관련된 기능 또는 동작에 따라서는 상기 블록들이 거꾸로 수행될 수도 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 자동 테스트 장비의 바람직한 일실시예를 설명하기 위한 개념도이다.
도 1을 참조하면, 일실시예에 의한 자동 테스트 장비(100)는 테스트 클라이언트들(110), 테스트 사이트들(120) 및 테스트 서버(130)를 포함한다.
테스트 클라이언트들(110)은 네트워크(140)를 통해 테스트 서버(130)와 통신하며 상호 정보를 교환한다. 테스트 사이트들(120)은 네트워크(150)를 통해 테스트 서버(130)와 통신하며 상호 정보를 교환한다.
테스트 클라이언트들(110)은 작업자들 각자의 테스트 요청을 입력하고 테스트 응답을 표시하기 위한 별개의 컴퓨터, 예컨대 데크탑 컴퓨터, 노트 북 컴퓨터, 태블릿 컴퓨터 또는 스마트 폰 일 수 있다. 테스트 클라이언트들(110)은 작업자가 피측정 소자(DUT)의 특성에 맞는 테스트 프로그램을 작성할 수 있는 환경을 제공할 수 있다. 작성된 테스트 프로그램은 테스트 서버(130)에 업로딩 된다. 또한 테스트 클라이언트들(110)은 테스트 결과 데이터를 다운받아 분석할 수 있는 환경을 제공할 수 있다.
테스트 서버(130)는 복수의 테스트 클라이언트들(110)과 통신하기 위한 통신 서비스(132)와 제어유닛(134)을 포함한다. 즉 테스트 서버(130)는 적어도 하나 이상의 DUT들을 테스트하기 위한 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들(120)과, 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들(110) 및 테스트 사이트들(120)과 네트워크 통신하고, 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들(110)의 테스트 요청에 응답하여 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들(120)을 분할 구동하고, 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들(120)의 응답들을 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들(110)에 전달한다.
네트워크(140)는 IPC(inter Process Communication) 또는 RPC(Remote Procedure Call)로 구성할 수 있다. IPC(inter Process Communication)는 테스트 서버(130)의 프로세서와 메모리를 공유하여 테스트 클라이언트의 프로세서들과 서로 독립적으로 상호 통신하면서 정보를 교환한다. RPC(Remote Procedure Call)은 컴퓨터 프로그램이 다른 주소공간에서 원격제어를 위해 함수나 프로시저의 실행을 허용하는 것으로 네트워크 프로그래밍을 함수 호출레벨 수준으로 작성하여 원격호출 클라이언트/서버 구조로 구성된 것이다. 그러므로 테스트 서버(130)의 통신 서비스(132)는 네트워크(140)와 제어유닛(134) 사이의 인터페이스를 수행한다.
도 2는 테스트 클라이언트(110)의 테스트 요청 정보(112)의 일실시예를 설명하기 위한 도면이고 도 3은 테스트 서버(130)의 테스트 결과 정보(132)의 일실시예를 설명하기 위한 도면이다.
각 작업자들은 각자의 테스트 클라이언트(110)를 사용하여 테스트 서버(130)와 통신하면서 각자의 독립적인 테스트를 요청 정보(112)를 전송한다. 테스트 요청 정보(112)는 도 2에 도시한 바와 같이 클라이언트 식별코드(112a), 테스트 사이트 데이터(112b), DUT 데이터(112c), 테스트 프로그램 데이터(112d)를 포함할 수 있다. 테스트 프로그램 데이터(112d)는 새롭게 작성된 테스트 프로그램일 수도 있고 테스트 서버(130)에 이전에 업로딩 되어 저장된 테스트 프로그램의 지정 데이터일 수도 있다.
테스트 서버(130)는 각 작업자의 테스트 요청을 서로 독립적으로 처리하고 그 테스트 결과 정보(136)를 각 작업자의 테스트 클라이언트(110)에 전달한다. 테스트 결과 정보(136)는 도 3에 도시한 바와 같이 서버 식별코드(136a), 테스트 사이트 데이터(136b), DUT 데이터(136c), 테스트 결과 데이터(136d)를 포함할 수 있다.
제어 유닛(134)은 테스트에 사용하는 테스트 제어 프로그램, 테스트 프로그램 및 테스트 데이터 등을 네트워크(140)를 통해 수신하고, 메모리에 저장한다. 네트워크(150)는 제어 유닛(134)과 테스트 사이트(120)를 접속하고, 이들의 사이의 통신을 중계한다. 여기서 테스트 제어 프로그램은 테스트 사이트들(120)을 각각 제어하기 위하여 서로 간섭 없이 독립적으로 수행되는 복수의 테스트 사이트 제어 프로그램들을 포함한다.
테스트 사이트(120)는 테스트 사이트 제어기(122)와 복수의 테스트 모듈(124)을 포함한다. 복수의 테스트 모듈(124)에 연결된 DUT(126)들을 병렬 테스트 한다. 테스트 사이트(120)는 DUT(126)의 입출력 핀 수, 테스트 모듈(124)의 종류에 따라 스위칭 매트릭스를 제어하여 접속 형태를 설정한다.
보다 구체적으로는, 테스트 사이트 제어기(122)는 네트워크(150)를 통해 제어 유닛(134)로부터 테스트 제어 프로그램을 취득하여 실행한다. 다음으로, 테스트 사이트 제어기(122)는 테스트 제어 프로그램에 기초하여, DUT(126)의 테스트에 사용되는 테스트 프로그램 및 테스트 데이터를 제어 유닛(134)로부터 취득하고, DUT(126)의 테스트에 사용하는 테스트 모듈(124)에 격납한다. 다음으로, 테스트 사이트 제어기(122)는 테스트 프로그램 및 테스트 데이터에 기초하여 테스트의 개시를 테스트 모듈(124)에 지시한다. 테스트 사이트 제어기(122)는 테스트 종료된 것을 지시하는 인터럽트 등을 예를 들어 테스트 모듈(124)로부터 수신하고, 테스트 결과에 기초하여 다음의 테스트를 각 모듈에게 수행시킨다. 즉, 복수의 테스트 사이트 제어기(122)의 각각은 복수의 DUT(126)의 각각의 테스트 결과에 따라 복수의 테스트 모듈(124)을 제어하고, 복수의 DUT(126)에 대하여 서로 다른 테스트 시퀀스를 병행하여 실행한다.
도 1의 실시예에서는 테스트 사이트들(120) 마다 서로 다른 DUT(126)들을 테스트한다. 즉 테스트 사이트 제어기(SITE #1)는 DUT-A를 테스트하고 테스트 사이트 제어기(SITE #N)는 DUT-B를 테스트할 수 있도록 서로 독립적으로 제어 가능하므로 테스트 사이트를 분할 구동하여 작업자A와 작업자B 가 동시에 서로 다른 DUT-A 와 DUT-B를 각각 테스트할 수 있다. 일실시예에서 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들(120)은 서로 비동기적으로 동작할 수도 있다.
도 4는 본 발명의 자동 테스트 장비의 바람직한 다른 실시예를 설명하기 위한 개념도이다.
도 4의 다른 실시예는 상술한 일실시예와 비교하여 테스트 사이트 내 서로 다른 종류의 DUT(126)를 테스트하는 혼류 테스팅 방식을 나타낸다. 그러므로 동일 부분은 동일 부호로 처리한다.
도 5는 테스트 클라이언트(110)의 테스트 요청 정보(114)의 일실시예를 설명하기 위한 도면이고 도 6은 테스트 서버(130)의 테스트 결과 정보(138)의 일실시예를 설명하기 위한 도면이다.
각 작업자들 A, B는 각자의 테스트 클라이언트(110)를 사용하여 테스트 서버(130)와 통신하면서 각자의 독립적인 테스트를 요청 정보(112)를 전송한다. 테스트 요청 정보(114)는 도 5에 도시한 바와 같이 클라이언트 식별코드(114a), 테스트 사이트 데이터(114b), DUT-A 데이터(114c), 테스트 프로그램 데이터(114d), DUT-B 데이터(114e), 테스트 프로그램 데이터(114f)를 포함할 수 있다. 테스트 프로그램 데이터(114d)는 새롭게 작성된 DUT-A의 테스트 프로그램일 수도 있고 테스트 서버(130)에 이전에 업로딩 되어 저장된 테스트 프로그램의 지정 데이터일 수도 있다. 테스트 프로그램 데이터(114f)는 새롭게 작성된 DUT-B의 테스트 프로그램일 수도 있고 테스트 서버(130)에 이전에 업로딩 되어 저장된 테스트 프로그램의 지정 데이터일 수도 있다. 테스트 결과 정보(138)는 도 6에 도시한 바와 같이 서버 식별코드(138a), 테스트 사이트 데이터(138b), DUT-A 데이터(138c), 테스트 결과 데이터(138d), DUT-B 데이터(138e), 테스트 결과 데이터(138f)를 포함할 수 있다.
즉 작업자 A는 테스트 사이트(120)를 통해 DUT-A 와 DUT-B를 동시에 테스트 할 수 있다. 이 때 DUT-A의 테스트 모듈(124)와 DUT-B의 테스트 모듈(124)의 종류가 서로 다르고 테스트 사이트 제어기(122)의 스위칭 매트릭스의 접속형태가 DUT-A 와 DUT-B 각각에 대해서 서로 다르게 설정될 것이다.
도 7은 본 발명에 의한 제어유닛(134)의 테스트 제어방법의 일 실시예를 설명하기 위한 흐름도이다.
도 7을 참조하면, 제어 유닛(134)에서는 통신 서비스(132)를 통해 테스트 클라이언트들(110)로부터 테스트 요청이 있는가를 체크한다(S102). S102단계에서 테스트 요청이 없으면 테스트 사이트들(120)로부터 테스트 결과 업로드 요청이 발생하였는지를 체크한다(S104).
S102단계에서 테스트 요청이 수신되면 수신된 테스트 요청 정보(112)의 클라이언트 식별코드(112a)를 확인하고 테스트 요청된 테스트 사이트 데이터에 응답하여 해당 테스트 사이트(120)로 DUT 데이터와 관련하여 테스트 프로그램 및 테스트 데이터를 다운로딩 한다(S106).
S104단계에서 테스트 결과 업로드가 발생되면 업로드된 테스트 결과 데이터를 포함하는 테스트 결과 정보(136)를 생성한다. 생성된 테스트 결과 정보(136)는 통신 서비스(132)를 통해 해당 테스트 클라이언트(110)로 전송한다.
이상 본 발명의 실시예들에 따른 자동 테스트 장비는 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들과 테스트 서버를 클라이언트/서버방식으로 결합함으로서 복수이 작업자들이 동시에 서로 다른 테스트 요청을 할 수 있으므로 반도체 소자의 다품종 생산시스템에서 테스트 작업환경의 유연성을 배가시킬 수 있고 서로 다른 이종의 DUT들에 대해서도 서로 간섭 없이 동시에 병행 테스트가 가능하다.
본 발명은 자동 테스트 장비의 작업 능률을 극대화시키고 서로 다른 DUT들의 동시 병행 테스트가 가능하므로 소규모 다품종의 반도체 소자를 테스트하는 시스템 등에 더욱 유용하게 이용될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (10)

  1. 적어도 하나 이상의 작업자들 각자의 테스트 요청을 입력하고 테스트 응답을 표시하기 위한 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들;
    적어도 하나 이상의 DUT들을 테스트하기 위한 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들; 및
    상기 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들 및 테스트 사이트들과 네트워크 통신하고, 상기 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들의 테스트 요청에 응답하여 상기 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들을 분할 구동하고, 상기 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들의 응답들을 상기 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들에 전달하는 테스트 서버를 구비한 것을 특징으로 하는 다중 동시 테스트 작업이 가능한 반도체 디바이스의 자동 테스트 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들 각각은
    상기 테스트 서버로부터 다운로드 된 테스트 프로그램을 실행하여 적어도 하나 이상의 DUT를 테스트하는 것을 특징으로 하는 다중 동시 테스트 작업이 가능한 반도체 디바이스의 자동 테스트 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들은
    적어도 2 종류 이상의 DUT들에 대해 서로 다른 테스트 프로그램을 실행하여 각각 테스트하는 것을 특징으로 하는 다중 동시 테스트 작업이 가능한 반도체 디바이스의 자동 테스트 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 테스트 사이트 각각은
    내부에서 적어도 2 종류 이상의 DUT들에 대해 서로 다른 테스트 프로그램을 각각 실행하여 테스트하는 것을 특징으로 하는 다중 동시 테스트 작업이 가능한 반도체 디바이스의 자동 테스트 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들과 상기 테스트 서버 사이의 네트워크 통신은
    IPC(Inter-Process Communication) 또는 RPC(Remote Procedure Call) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 다중 동시 테스트 작업이 가능한 반도체 디바이스의 자동 테스트 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들은 비동기적으로 동작하는 것을 특징으로 하는 다중 동시 테스트 작업이 가능한 반도체 디바이스의 자동 테스트 장치.
  7. 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들과 테스트 서버를 포함하고 멀티 테스트 사이트 테스팅이 가능한 자동 테스트 장비의 제어방법에 있어서,
    상기 테스트 서버에서, 클라이언트/서버 방식으로 결합된 상기 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들로부터 테스트 요청을 접수하는 단계;
    상기 테스트 서버에서, 접수된 테스트 요청에 응답하여 복수의 테스트 사이트들 중 대응하는 테스트 사이트에 해당 DUT의 테스트를 지시하는 단계;
    상기 테스트 서버에서, 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들로부터 테스트 결과의 업로드를 접수하는 단계;
    상기 테스트 서버에서, 접수된 테스트 결과를 대응하는 적어도 하나 이상의 테스트 클라이언트들에 전송하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 다중 동시 테스트 작업이 가능한 반도체 디바이스의 자동 테스트 장치의 제어방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들 각각은
    상기 테스트 서버로부터 다운로드 된 테스트 프로그램을 실행하여 적어도 하나 이상의 DUT를 테스트하는 것을 특징으로 하는 다중 동시 테스트 작업이 가능한 반도체 디바이스의 자동 테스트 장치의 제어방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 테스트 사이트들은
    적어도 2 종류 이상의 DUT들에 대해 서로 다른 테스트 프로그램을 실행하여 각각 테스트하는 것을 특징으로 하는 다중 동시 테스트 작업이 가능한 반도체 디바이스의 자동 테스트 장치의 제어방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 테스트 사이트 각각은
    내부에서 적어도 2 종류 이상의 DUT들에 대해 서로 다른 테스트 프로그램을 각각 실행하여 테스트하는 것을 특징으로 하는 다중 동시 테스트 작업이 가능한 반도체 디바이스의 자동 테스트 장치의 제어방법.
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