CN109541426B - 一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法 - Google Patents

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    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601—Apparatus or methods therefor

Abstract

本发明揭示了一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法，包括：探针台将探针卡识别号传输至伺服器，由伺服器传输给测试仪；测试仪识别探针卡识别号，并根据探针卡识别号在伺服器内选取对应的测试程序；测试仪读取并下载测试程序，将其载入测试软件，载入完成后发送完成信号给探针台；探针台接收到完成信号，发出警报告知测试操作人员。本发明既保证了晶圆测试程序的有效性，又减少过多返工对晶圆的损耗，增加良率。

Description

一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法
技术领域
本发明涉及一种晶圆测试，尤其是涉及一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法。
背景技术
在晶圆量产的测试过程中，测试开始前都会根据晶圆的参数指标，测试仪器选取相对应的测试程序，对应探针台会选取相对应的产品测试所需参数(recipe)来针对不同种的晶圆选取相对应的测试目录。
在操作测试仪时，通常由于测试工位人员对于正确测试程序的选择不熟知或不认识，选取测试程序时常会因为疏忽而造成测试程序错误选择目录。另外，测试程序通常都是由测试工程师单独管理，且其是根据晶圆测试时所需的特定程序，使用特殊的名称对其命名。
在量产测试时，由于晶圆型号过多，与每步测试的程序不同。继而造成相对应的测试程序在不同的时候需要更换。CP(晶圆测试)测试中大量的不同种的测试程序将影响待测晶圆的良率或造成返工测试的原因，一个错误的程序调入将会造成整片晶圆测试时，因为各种测试参数的输入错误整片晶圆都会产生丢失晶粒的情况出现，解决错误的程序调入影响，可避免因为程序错误进行测试时晶圆的良率提高。
结合图1所示，目前测试工厂的通用做法是在测试仪器端利用产品型号在伺服器中按照晶圆产品的命名对测试程序进行选择。首先，不同的晶圆和不同的recipe对测试的要求不一，往往要通过反复的选择，不断的核对才能十分正确的找到所需的测试程序；同样的晶圆产品不同的测试温度条件，这个程序也需要更改。其次，随着测试程序增多，测试步骤的增加，样测的程序与正测的程序的不同，手动选取测试程序的方法已不满足要求，又需要根据人为操作的情况来选取。但是往往测试单位不会针对每次误测详细的分析，为保证测试良率的情况下，通常会使用返工的工艺来覆盖误测带来的损失，如此大大浪费了测试时间。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法。
为实现上述目的，本发明提出如下技术方案：一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法，包括：
S1，探针台将探针卡识别号传输至伺服器，由伺服器传输给测试仪；
S2，所述测试仪识别所述探针卡识别号，并根据所述探针卡识别号在伺服器内选取对应的测试程序；
S3，所述测试仪读取并下载所述测试程序，将其载入测试软件，载入完成后发送完成信号给探针台；
S4，所述探针台接收到所述完成信号，发出警报告知测试操作人员。
优选地，所述探针台与测试仪之间建立GPIB数据连接接口。
优选地，在伺服器中设置每台测试仪和探针台之间的一一对应关系。
优选地，S1中，探针台在每次更换产品所需探针卡时将所输入的探针卡识别号传输到伺服器。
优选地，S4中，所述测试操作人员先进行探针台探针接触，检查针接触点，在勘察所述针接触点完整接触到晶圆上无异样时，由测试操作人员在探针台控制面板上选择开始测试，并发送开始测试信号给测试仪。
优选地，所述方法还包括：所述测试仪接收到探针台发出的所述开始测试信号，且探针接触在晶圆接触点上时，所述测试仪开始自动运行测试程序，测试结束后，测试仪输入第一矩阵测试已经结束的信号至探针台，移至第二矩阵继续测试。
优选地，S2中，所述测试仪识别所述探针卡识别号后，由GPIB数据连接接口发送已识别信号告知探针台。
优选地，所述探针台接收到所述已识别信号后，识别晶圆管理系统发送的晶圆数量是否匹配，并输送匹配信号给测试仪，所述测试仪收到所述匹配信号后根据所述探针卡识别号在伺服器内选取对应的测试程序。
优选地，S2中，若测试仪识别所述探针卡识别号错误，则测试程序读取失败，测试仪报错。
本发明的有益效果是：本发明针对测试程序的调入错误，探针台选取recipe时错误的选取，测试程序无法把控正确录入造成测试时间浪费和探针卡损坏的问题，本发明将原本的手动选取与目测输入程序变成通过伺服器的对比，随时监测与自动选取正确的晶圆测试程序，以及确保测试程序选取后程序正确。既保证了晶圆测试程序的有效性，又减少过多返工对晶圆的损耗，增加良率。
附图说明
图1是现有晶圆测试测试仪读取参数的方法的原理示意图；
图2是本发明方法的原理示意图；
图3是本发明方法的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。
本发明所揭示的一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法，通过伺服器关联测试仪与探针台之间信号传输，可对测试程序自动读取，并在读取完成后使探针台告知操作人员所有测试准备就绪，提高测试程序选取错误的防错方法，从而提高测试效率，降低晶圆的测试成本，避免晶圆因错误的测试程序测试，造成不必要的良率损失，从而有效提高晶圆的良率，同时对探针台的自动化操作进行优化。
结合图2和图3所示，本发明实施例所揭示的一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法，包括：
S1，探针台将探针卡识别号传输至伺服器，由伺服器传输给测试仪。
探针台用于：将晶圆载入和载出，对晶圆进行精确定位和测试；伺服器为：工业内网伺服器，负责数据传输，建立连接等；测试仪：进行晶圆测试中测试芯片的输入设备。
具体地，探针台与测试仪之间使用GPIB链接，即建立GPIB数据连接接口，使得测试仪与探针台同步连入它们之间的工业内部网络，进而使得能够在探针台或测试仪传输数据中获取产品信息与相对应的测试程序，得到测试仪与探针台之间的协作联系。另外，对伺服器进行设置，设置每台测试仪与探针台之间的一一对应关系(如电脑IP单独联系)。
探针台在每次更换产品所需探针卡时，将所输入的探针卡识别号传输到伺服器，由伺服器传输给测试仪。
S2，所述测试仪识别所述探针卡识别号，并根据所述探针卡识别号在伺服器内选取对应的测试程序。
具体地，测试仪识别到伺服器发送的所述探针卡识别号后，根据该探针卡识别号识别产品类型，识别完之后，由GPIB连接发送已识别信号告知探针台，使得探针台自动选取相对应产品recipe。具体地，探针台在接收到所述已识别信号后，开始工作，识别晶圆管理系统发送的晶圆数量是否匹配，若匹配，则输送匹配信号给测试仪。所述测试仪收到所述匹配信号后，根据所述探针卡识别号在伺服器内选取对应的测试程序。本实施例中，测试仪识别探针卡识别号由相应指定代码识别，相对应的测试程序是自动选取。
测试仪若识别到探针卡识别号错误，则测试仪读取测试程序失败，则说明探针卡与产品不符不能使用，测试机台软件会马上报错；如果探针卡识别号与产品相符，则继续读取测试程序。
S3，所述测试仪读取并下载所述测试程序，将其载入测试软件，载入完成后发送完成信号给探针台。
具体地，测试仪自动录入进测试程序，等待测试程序读取完毕，测试程序载入完毕后，由测试仪发送完成信号给探针台接收。
S4，所述探针台接收到所述完成信号，发出警报告知测试操作人员。
具体地，探针台接收到测试程序载入完毕的完成信号后，开始警示测试操作人员可进行探针台先进行探针台探针接触，检查针接触点。在勘察针接触点完整接触到晶圆Pad上无任何异样时，由测试人员在探针台控制面板上选择开始测试，并发送开始测试信号给测试仪。
测试仪接收到探针台发出的上述开始测试信号后，探针接触在晶圆接触点Pad上，测试仪开始自动运行测试程序，测试结束后，测试仪输入第一矩阵测试已经结束的信号至探针台，移至第二矩阵继续测试。
本发明的技术内容及技术特征已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基于本发明的教示及揭示而作种种不背离本发明精神的替换及修饰，因此，本发明保护范围应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本发明的替换及修饰，并为本专利申请权利要求所涵盖。

Claims (1)

1.一种晶圆测试中测试仪自动读取参数的方法，其特征在于，包括：
S1，探针台将探针卡识别号传输至伺服器，由所述伺服器传输给测试仪，其中，在所述探针台与测试仪之间建立GPIB数据连接接口，在所述伺服器中设置每台测试仪和探针台之间的一一对应关系，并且，所述探针台在每次更换产品所需探针卡时将所输入的探针卡识别号传输到伺服器；
S2，所述测试仪识别所述探针卡识别号后，由GPIB数据连接接口发送已识别信号告知探 针台， 所述探针台接收到所述已识别信号后，识别晶圆管理系统发送的晶圆数量是否匹配，并输送匹配信号给测试仪，所述测试仪收到所述匹配信号后根据所述探针卡识别号在伺服器内选取对应的测试程序，其中，若所述测试仪识别所述探针卡识别号错误，则测试程序读取失败，测试仪报错；
S3，所述测试仪读取并下载所述测试程序，将其载入测试软件，载入完成后发送完成信号给探针台；
S4，所述探针台接收到所述完成信号，发出警报告知测试操作人员，以及，测试操作人员先进行探针台探针接触，检查针接触点，在勘察所述针接触点完整 接触到晶圆上无异样时，由测试操作人员在探针台控制面板上选择开始测试，并发送开始测试信号给测试仪，测试仪接收到探针台发出的所述开始测试信号，且探针接触在晶圆接触点上时，所述测试仪开始自动运行测试程序，测试结束后，测试仪输入第一矩阵测试已经结束的信号至探针台，移至第二矩阵继续测试。
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