JP2006237365A - 半導体特性評価装置の管理方法及びそのプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】 複数のプロジェクトにわたるウエハ開発において、半導体特性評価装置の試験プログラムや設定データや試験結果のデータの管理及び再利用を容易にする試験装置またはその管理プログラムを提供する。
【解決手段】 制御部１２と、記憶部６０と、入出力部１３、１４、１５とを備えた半導体特性評価装置１０におけるデータの管理方法であって、複数のウエハタイプを試験する試験プログラムを含むワークスペースを選択し、この選択されたワークスペースの中での試験結果を履歴として格納し、この格納された試験結果の履歴から所望の試験結果を検索するステップを含む管理方法。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体特性の評価装置に関し、ウエハ段階での半導体の開発及び製造における評価・測定のプログラム及びデータの管理に関する。

半導体素子の開発・製造においては、ウエハのプロセス管理のために、特許文献１に記載の半導体パラメトリック試験装置のような半導体特性評価装置が利用される。ウエハのプロセス管理は、集積回路などの半導体素子の量産時に重要なのはもちろんのこと、スムーズに量産に移行するためにも、半導体素子の開発段階からノウハウを蓄積して確立することが望ましい。ウエハの製造プロセスは、例えば２００４年の各社での３００ｍｍウエハの導入が記憶に新しいが、年々進化するため、常に新しいプロセスに対して開発を続ける必要がある。

なお、本明細書では、簡単のために、以降、ウエハのプロセス管理を伴う半導体素子の開発を「ウエハ開発」と呼ぶことにする。

図５に、簡単な例を用いて、ウエハ開発の際のパラメトリック試験について説明する。図５では、プロジェクトＡ（４００）として、一連のウエハ開発の各種プログラム及び各種データの推移について示されている。プロジェクト内の各ウエハの開発段階は、ここではフェーズ１（４０１）、フェーズ２（４１１）、フェーズ３（４２１）に分かれ、それぞれウエハタイプＡ１のウエハ（４０２）、ウエハタイプＡ２のウエハ（４１０）、ウエハタイプＡ３のウエハ（４２０）が開発される。ここで、ウエハタイプとは、各フェーズ毎で試作されるウエハのタイプ（型）をいい、ウエハ上に形成されるＤＵＴの種類・数量により区別される。ウエハタイプは、フェーズ内ではほぼ型は同じだが、フェーズ内の試作数が進むにしたがって少しずつ型が変更される場合もある。

一例として、プロジェクトＡはウエハに新しい評価項目に対応した試験用素子を追加することを目的とし、フェーズ１では、初歩段階としてその試験用素子の基本形を作って評価し、フェーズ２とフェーズ３では、それを少しずつ変更を加えて発展させ、最終的にその試験用素子をウエハ上に完成させる場合について考える。

各フェーズでの従来のパラメトリック試験のプログラムとデータについて考察する。フェーズ１ではウエハタイプＡ１（４０２）を複数枚を試作し、試験プログラムＰＡ１（４０４）と、その設定データあるいはパラメータ設定データＳＡ１（４０６）が試験のために作成され、それらによる試験結果ＲＡ１（４０８）として、各試作ウエハの試験結果が生成され、格納される。同様に、フェーズ２では、ウエハタイプＡ２（４１０）を複数枚試作し、試験プログラムＰＡ２（４１２）と設定データＳＡ２（４１４）が作成され、試験結果ＲＡ２（４１６）が生成され格納される。フェーズ３では、ウエハタイプＡ３（４２０）を複数枚試作し、試験プログラムＰＡ３（４２２）と設定データＳＡ３（４２４）が試験のために用意され、試験結果ＲＡ３（４２６）が生成され格納される。

従来は、これらのプログラム、設定データ、結果は、それぞれユーザがファイル名をつけて、フロッピー（登録商標）やハードディスクなどに保存していた。しかし、ユーザがファイル名に注意を払わないと、昔作ったプログラムや設定データや結果を上書きしてしまう危険性があった。さらには、別のプロジェクトで使用したプログラムや設定データを探し出すことや、最新の試験結果を別のプロジェクトの試験結果と比較するために探し出すことも困難であった。それらの検索は、全てユーザ側での管理として任せられていた。そのためにユーザは、ファイル名を細かい規則にしたがって入力したり、ファイル毎に設けられた属性などを保存するメモフィールドなどを、各自で管理する必要があった。

また、各フェーズで保存される設定データは、意図的にファイル名を変更して複製を作らない限り上書きされてしまうので、あるフェーズの最初のウエハ試作の試験に使われた設定データを利用したくても残ってないこともあった。

すなわち、上記のような複数のプロジェクトによる半導体の開発・製造の複雑な過程の中で、各種のプログラム、設定データ、試験結果を再利用できるようにユーザが管理するのは容易なことではなかった。

図５では簡単な例を用いて説明したが、実際のウエハ開発では、一つのウエハに、複数種類のＤＵＴが複数個ずつ形成されている場合もある。試験プログラムも複数本用意され、その中には複数種類のＤＵＴに使われる試験プログラムもある。一つの試験プログラムを複数の設定データで実行することもあり、測定結果のデータ数は膨大となる。このような複雑な状況で、ユーザが各種のプログラム、設定データ、試験結果を再利用できるように管理するのは大変難しいことである。

特開平２−５６９４７号公報

本発明の目的は、以上のような課題を解決し、複数のプロジェクトにわたるウエハ開発において、半導体パラメトリック試験などの半導体特性評価装置の各種試験プログラムや各種データ（設定データ及び試験結果のデータ）の管理及び再利用を容易にする試験装置またはその方法を提供することである。

本発明の別の目的は、上記のようなウエハ開発における半導体特性評価試験の試験プログラムや各種データの管理を容易にするプログラムを提供することである。

本発明のさらに別の目的は、ウエハ開発のライフサイクルにあった管理を行うために、ワークスペースという単位で複数のプロジェクト内の試験プログラムや各種データをまとめた評価装置及びそのプログラムを提供することである。

本発明のさらに別の目的は、ワークスペースという単位で、作業内容あるいはユーザのアクセス権限を区別することで、意図しない上書きなどでデータが消失することを防ぐことができる評価装置及びそのプログラムを提供することである。

本発明による管理方法は、制御部と、記憶部と、入出力部を備えた半導体特性評価装置における、データの管理方法であって、複数のウエハタイプを試験する試験プログラムを含むワークスペースを選択し、この選択されたワークスペースの中での試験結果を履歴として格納し、また、この格納された試験結果の履歴から所望の試験結果を検索するステップを含む。

さらに、本発明による管理方法は、選択されたワークスペースの中で設定データを履歴として格納し、格納された設定データの履歴から、所望の設定データを検索するステップをさらに含む。

さらに、本発明による別の管理方法は、この試験結果を格納するステップと、この試験結果を検索するステップと、この設定データを格納するステップと、この設定データを検索するステップが、複数のウエハタイプに対して行われることを特徴とする。

さらに、本発明による別の管理方法は、この試験結果を検索するステップが、試験の日付及び時刻について検索することを特徴とする。

さらに、本発明による別の管理方法は、この試験結果を格納するステップが、ファイル名を入力しないことを特徴とする。

さらに、本発明による別の管理方法は、このワークスペースが、複数のウエハ開発プロジェクトを試験する試験プログラムを含むことを特徴とする。

さらに、本発明によるコンピュータプログラムは、以上のいずれかの管理方法を実行することを特徴とする。

以上のように、本発明を用いると、複数のプロジェクトにわたるウエハ開発のライフサイクル中での各種試験プログラムや各種データの管理が容易になり、不用意な上書きによる試験プログラムや各種データの消失を免れることができ、過去の試験プログラムや各種データの検索が容易になるので、これら試験プログラムや各種データの再利用が容易になり、ウエハ開発にかかる時間やコストを低減することができる。

図１を参照して、本発明の最良の実施形態による半導体特性評価装置１０を説明する。半導体特性評価装置１０は、ウエハ上の被測定対象（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ（デバイスアンダーテスト））１１に複数のピンで接続された各種の測定ユニット（２０、２１、２２）を備える。各測定ユニット２０〜２２は、制御部１２に接続される。制御部１２は、キーボード１３、マウス１５、モニタ１４のいわゆる入出力部に接続される。制御部１２は、キーボード１３、マウス１５などの入力デバイスからの入力や、記憶部６０に記憶された試験プログラムやその試験プログラムの実行時の設定データにしたがって、各測定ユニット２０〜２２を制御し、試験結果を得て、その試験結果を記憶部に格納する。制御部１２には、格納部１６及び検索部１８が備えられる。格納部１６は、試験プログラム、設定データ、試験結果を記憶部６０に格納する機能を備える。検索部１８は、試験プログラム、設定データ、試験結果を記憶部６０から検索する機能を備える。制御部１６、記憶部６０、キーボード１３、マウス１５、モニタ１４には、例えば、Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）ＯＳが搭載されたＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ（パーソナルコンピュータ））などのコンピュータを用いることができる。

記憶部６０には、複数のワークスペースについての各種プログラム、各種データを格納することができる。図1では、ワークスペース１（６２）、ワークスペース２（６４）、ワークスペース３（６６）の３つのワークスペースのエリアすなわち領域が例示されている。各ワークスペースは複数のプロジェクトにわたる各種プログラム、各種データを管理することができる。ワークスペース１（６２）には、このワークスペースに関する各種試験プログラムの履歴が格納された試験プログラム履歴エリア８２、このワークスペースの試験プログラムに関する設定データの履歴が格納された設定データ履歴エリア８４、このワークスペースに関する試験の結果の履歴が格納された試験結果履歴エリア８６を備えることができる。これらの３つの履歴エリア（８２〜８６）には、複数のプロジェクトにわたる各種プログラムや各種データを格納することができるし、あるいは複数のウエハタイプにわたる各種プログラムや各種データを格納することができる。このように、ワークスペース内では、プロジェクト名により区別されたプログラムまたはデータが格納されるわけではなく、各履歴エリア内では、多数のプロジェクトに渡るプログラムまたはデータが混在して格納される。

ここで、本明細書で「履歴」と表現しているものは、ユーザがファイル名を明示的に指定せずに保管したプログラムまたはデータを蓄積したものであり、変更の目的や趣旨の記述を残したリストなどではないことに注意されたい。例えば、試験プログラム履歴エリア８２には、ワークスペース１（６２）に属するウエハタイプの試験に使われる試験プログラムと、ユーザが保存を望んだ試験プログラムの各バージョンが格納される。設定データ履歴エリア８４には、ワークスペース１（６２）に属する試験プログラムで使用される設定データと、ユーザが保存を望んだ設定データの各バージョンが格納される。試験結果履歴８６には、ワークスペース１（６２）に関して実行された試験の全試験結果が格納される。

ここで各履歴エリアに格納されるプログラムまたはデータについて、ユーザが望んで新しいバージョンを保存する場合には、前のバージョンのプログラムまたはデータの複製を作りながら保存し、前のバージョンを上書きしてしまうわけではないことに注意されたい。なお、保存の形態としては、保存されるプログラムまたはデータ本体が完全な形で保存されていてもよいし、差分を管理するような圧縮された形で保存されていてもよい。また、ユーザが望んで試験プログラムまたは設定データの新しいバージョンを保存す場合には、ユーザはその新バージョンのファイル名ではないタイトルあるいは名称を与えて保存することができる。この場合、タイトルは、ファイル名よりも書式の制約が極めて少ないことに注意されたい。

試験結果履歴エリア８６は、ワークスペース１（６２）における試験実行毎の結果を蓄積したものである。この場合も、ユーザは試験実行時には保存ファイル名を指定することなしに、格納部１６により、自動的に試験結果を記憶部６０に格納することができる。ユーザは、試験結果の履歴の中から、所望のものを選んで、表示あるいはさらなる評価を実行することができる。この試験結果の履歴の中には、複数のプロジェクトやウエハタイプに渡る試験結果が格納されることも可能であるし、複数種類または複数個のＤＵＴに対する複数回の試験結果を蓄積することもできる。例えば、あるＤＵＴに対して「試し」の測定を行った後に、本測定を行った場合にも、それぞれの試験結果が履歴に格納される。

試験プログラム履歴８２では、ユーザは試験プログラムにファイル名ではないタイトルをつけて保存を行うことで、試験プログラムの各バージョンを複製を作りながら保存することができる。

さらに、ワークスペース２のエリア６４には、このワークスペースに関する試験プログラムの履歴（７０）、設定データの履歴（７２）、試験結果の履歴（７４）が格納される。同様に、ワークスペース３のエリア６６についても、このワークスペースに関する試験プログラムの履歴（７６）、設定データの履歴（７７）、試験結果の履歴（７８）が格納される。

次に図４を参照して、本発明による実施形態での、一つのワークスペースとして管理されるプロジェクトとウエハタイプと各種プログラムと各種データの関係を説明する。図４は、横軸に時間の経過を、縦軸にプロジェクトの種類を示し、ウエハ開発のライフサイクルから見たプロジェクトの推移を例示したものである。

図４では、特にプロジェクトＡのフェーズごとに、上から、ウエハタイプ、試験プログラム、設定データ、試験結果が示されており、それらの数も概念的に把握でるように記載されている。

まず、プロジェクトＡに着目して説明する。フェーズ１（３３１）ではあるウエハタイプ（３０２）のウエハが所定枚試作され、使用される試験プログラム（３０３）としては、３０６と３０８で示される２本が用意される。これらの試験プログラム（３０３）で使用される設定データ３０４は、３１０、３１２、３１３の３セットが用意される。これらによる試験結果（３０５）として、３１４、３１５、３１６、３１７の４セットの結果が蓄積される。

次に、フェーズ２（３３２）では、途中で開発方針が変更され、３２０と３２１の２種類のウエハタイプのウエハが所定枚試作され、これらのウエハタイプに適用する試験プログラム、設定データが必要数作られ、試験結果が蓄積される。なお、フェーズ２のウエハタイプの中のＤＵＴには、フェーズ１のウエハタイプの中のＤＵＴと同じものがある場合もあり、その場合、フェーズ２の試験プログラムと設定データの中には、フェーズ１と同じ物が使われることもある。

さらに、フェーズ３（３３３）では、１種類のウエハタイプのウエハが所定枚思索され、このウエハタイプの試験に必要な試験プログラム、設定データが用意され、それらによる試験結果が蓄積される。

次に、プロジェクトＢに着目すると、プロジェクトＡのフェーズ３の開始と同時期に、プロジェクトＢのフェーズ１（３５０）が開始され、ここには、プロジェクトＡのフェーズ２までの試験プログラムや設定データが使われる場合もある。その場合、本発明では、以前プロジェクトＡで作成した試験プログラムや設定データを、後述のモニタ１４に表示される画面（図２）から、図１の検索部１８により検索することにより、容易にプロジェクトＢでの試験に利用することができる。また、このように再利用した試験プログラムの試験結果を検討する際も、本発明では、図１の検索部１８により、プロジェクトＡの試験結果から同じ試験プログラムによる試験結果を検索することができるので、今回の試験結果の不具合傾向が以前にも起こっていたかなどを容易に比較検討することができる。

さらに、プロジェクトＢは、最終フェーズ（３５４）まで達してプロジェクトを終了する。その後、プロジェクトＣのフェーズ１（３６０）が開始され、最終フェーズ（３６４）まで遂行される。プロジェクトＣのいずれかのフェーズにおいても、本発明による検索部１８を使用して、プロジェクトＡあるいはプロジェクトＢの対応するプログラムまたは対応するデータを容易に検索できることは言うまでもない。

また、従来の半導体特性評価装置ではユーザに管理が任されていたことも、ウエハ開発のライフサイクルから見直され、改良されている。例えば、プロジェクトＡのフェーズ１（３３１）では、試験プログラムが２種類作られ、使われた設定データが３種類、残された試験結果が４セットある。設定データの中には、わずかしか内容が変更されてないものがあるかもしれない。本発明によれば、ユーザが明示的にファイル名をつけなくても、容易に履歴を残すことができる。また、残される内容は、完全な１セットの設定データとして残されるので、例えばプロジェクトＢのフェーズ１で使う設定データは、プロジェクトＡのフェーズ２で使用した設定データの最終バージョンの一つ前のバージョンを使用する、ということも容易である。試験結果も、やり直しを含めてユーザがファイル名をつけることなく保存されるので、不具合部分の解析を容易に行うことができる。

本発明では、ウエハ開発における一連のプロジェクトあるいは複数のウエハタイプに関するプログラム及びデータの管理を、同じワークスペース内の事象として取り扱うことができるので、上述のようなメリットを得ることができる。

次に図２を参照して、本発明による実施形態における、設定データと試験結果の履歴の管理を説明する。図２は、あるワークグループが選択され、試験プログラムＭＯＳ Ｖｔｈが選択された状態での、本発明による実施形態のモニタ１４に表示される試験の実行環境を示す。カテゴリー１００が試験プログラムの属する技術分野を選択する部分であり、その下の参照番号１０１で囲まれた部分が、選択された技術分野での試験プログラム（アプリケーションとも呼ばれる）を選択する部分である。

選択された試験プログラムに対応する設定データを設定する画面領域が１０３で囲まれたエリアである。このエリア１０３は試験プログラムを選択することで表示され、このエリア内の各フィールドに、所望の設定データすなわちパラメータを入力または選択することで、パラメータを設定することができる。なお、設定データのタイトルは１０８で示されるフィールドに示されている。１セット分の設定データを履歴に格納するには、参照番号１０３で囲まれた部分の右端のＳｔｏｒｅ（ストア）ボタンをクリックする。ここで、格納時にファイル名を入力する必要はない。Ｓｔｏｒｅボタンがクリックされると、エリア１０３に表示されていた設定データが領域１０４のＯｎ ｈａｎｄ Ｓｅｔｕｐ（オンハンドセットアップ）のアイコンリスト部分にアイコンとして追加表示される。エリア１０４内には、Ｖｔｈの試験プログラムに関する設定データとして既に３セットの履歴が保存されている。このように、設定データに関しては、エリア１０３のＳｔｏｒｅボタンをクリックするだけで保存することができる。

試験の実行は、エリア１０６に囲まれた部分で行われる。例えば、Ｓｉｎｇｌｅ（シングル）ボタンをクリックすれば、１回だけ試験プログラムが実行され、Ｔｅｓｔ ｃｏｕｎｔ（テストカウント）フィールドに所望の繰り返し回数を設定して、Ｒｅｐｅａｔ（リピート）ボタンをクリックすると、所望回数試験プログラムを繰り返して実行することができる。

試験結果はエリア１０２に囲まれた部分に試験の実行履歴としてリストされる。ここでは、設定データのタイトル（Ｓｅｔｕｐ Ｔｉｔｌｅ（セットアップタイトル））、実行時間（Ｄａｔｅ（デート））、実行回数（Ｃｏｕｎｔ（カウント））、Ｔａｒｇｅｔ ＩＤ（ターゲットアイディー）と呼ばれるいわゆる測定対象のＩＤ、Ｒｅｍａｒｋｓ（リマークス）というメモを書き込むフィールドが、試験結果を判別するために表示されているが、所望の見出しをクリックすることでその見出し内容でのソートを実行した表示に変更することができる。このように、試験結果についても、試験プログラムの実行により自動的に保管され、ユーザが毎回ファイル名を指定する必要はないし、所望の試験結果を判別して選択するのも、日付などから可能である。判別が難しい場合にもＲｅｍａｒｋｓに判別のヒントを記入したり、Ｆｌａｇｓ（フラグズ）フィールドに各種のフラグを立てておくことで容易にすることができる。なお、試験結果には、対応する試験プログラム名と設定データ名も関連付けて格納されており、再実行が容易となっている。

以上の説明から理解できるように、本発明による実施形態においては、各プロジェクト名を明示的には管理しない。ユーザは、試験プログラムのタイトル、設定データのタイトル、Ｔａｒｇｅｔ ＩＤ、Ｒｅｍａｒｋｓなどにプロジェクト名を含めてもよい。ユーザが、これらのフィールドにプロジェクト名を書かなかったとしても、これらのフィールドの内容や実行時刻などから、所望の試験結果を判別することができる。言い換えると、エリア１０４に表示される設定データの履歴のリストや、エリア１０２に表示される試験結果の履歴のリストには、同じワークスペースに属するものなら、複数のプロジェクトに関するものが混在して表示される。しかし、現在関わっているプロジェクトの結果に限ってリストを表示したいのなら、試験結果を時刻順にソートすればよい。過去のデータを検索したいのなら、それにふさわしいソートをすることで、見つけ出すのが容易になる。ユーザにとっては、保存時に毎回煩雑な操作を免れる上に、検索が必要なときには簡単な操作で柔軟に対応できるので、非常に負担が少なくて済む。そして、これらのメリットは、本発明特有のファイル名入力を必要としない格納部１６と、見出しをクリックするだけでソートしなおす検索部１８を、制御部１２が備えていることによるものである。

次に図３を参照して、ワークスペースの選択画面２００を示す。ユーザが本発明による実施形態である半導体特性評価装置の使用を開始するとき、ワークスペースの選択画面２００が表示され、どのワークスペースについての作業をはじめるかを選択することができる。Ｔａｒｇｅｔ Ｗｏｒｋｓｐａｃｅ（ターゲットワークスペース）と表示された枠の中で、新しくワークスペースを作る場合には、エリア２０２を選択する。ユーザが、既存のワークスペースを選択する場合には、エリア２０４で選択を行う。ここには、ユーザごとのワークスペースの情報が表示され、他ユーザのワークスペースの利用を可能とする（ｐｕｂｌｉｃ（パブリック））か、自分だけにそのワークスペースの利用を限定するか（ｐｒｉｖａｔｅ（プライベート））の表示もされる。これらの設定を変更することもできる。また、ユーザ毎にそのワークスペースの使用を許可するか否かという設定をしてもよい。

このように、ワークスペースを作り、一人のユーザが関わる仕事内容によりワークスペースを選択するようにすることや、複数のユーザに対しては、ワークスペース毎に利用可能ユーザを登録することで、意図しない消失からプログラムやデータを保護することもできる。すなわち、ワークスペースが異なれば、設定データや試験結果はアクセスできないので、あるユーザがはるか昔に行ったプロジェクトの設定データを間違って上書きしてしまうことも、意図しないユーザが間違って権限のないプロジェクトの設定データを変更してしまうのも防ぐことができる。

最後に図６を参照して、本発明による管理方法のフローの概略を説明する。まず、ステップ５０２で本プログラムを開始する。次に、ステップ５０４で、ユーザ名を用いてログインする。なお、このログインはＰＣに設けられたユーザのログイン機能を利用するのでもよい。なお、ステップ５０４は省略することもできる。さらに、ステップ５０６で、作業をするワークスペースを選択する。この時、新しくワークスペースを作ることもできる。

次に、ステップ５１０で、これから試験するウエハ上のＤＵＴに対応した試験プログラムを指定あるいは選択し、必要なら変更を加え格納する。この時、試験プログラムは、既に半導体特性評価装置中に格納されているものを検索して選択し、指定することもできる。あるいは、試験プログラムを新しく作成して、それを指定することもできる。

次に、ステップ５１２で、試験プログラムの実行に使う設定データを指定あるいは選択し、必要なら変更を加えて格納する。設定データを、既存のものを検索して指定するか、新しく作成して指定するかは、試験プログラムについてと同様なことが可能である。

次に、ステップ５１４で試験を実行する。このとき、何回か実行を繰り返したり、結果を見て再実行することもできる。

次に、ステップ５１６で、試験結果を検索して評価する。この時、今回の結果だけを検索して表示することもあれば、過去の試験結果を検索して比較することもこのステップに含まれる。

次に、ステップ５１８で、さらに別の試験を続けるか判断し、続けるなら（Ｙ）、ステップ５１０に戻り、続けないなら（Ｎ）ステップ５２０に進んで終了する。

以上、本発明による実施形態を説明してきた。なお、この実施形態は例示のためであって、当業者は、本発明の請求の範囲に含まれながらも、さまざまな変形・変更を施すことができることを理解されよう。例えば、上記の説明でのマウス１５を、トラックボール、タッチパッド、タッチパネルなどのポインティングデバイスと置き換えることができる。

本発明による実施形態を示すブロック図である。 本発明の実施形態による半導体特性評価装置の実行画面を説明する図である。 本発明の実施形態によるワークスペースの選択画面を示す図である。 本発明によるワークスペースの効果を説明するためのウエハ開発過程を示す図である。 従来技術による、プロジェクト管理による上は開発過程を示す図である。 本発明による管理方法を説明するフローチャートである。

符号の説明

１０ 半導体特性評価装置
１１ 被測定対象（ＤＵＴ）
１２ 制御部
１３ キーボード
１４ モニタ
１５ マウス
１６ 格納部
１８ 検索部
２０、２１、２２ 測定ユニット
６０ 記憶部
６２、６４、６６ ワークスペースエリア
７０、７６、８２ 試験プログラム履歴エリア
７２、７７、８４ 設定データ履歴エリア
７４、７８、８６ 試験結果履歴エリア

Claims (7)

1. 制御部と、記憶部と、入出力部を備えた半導体特性評価装置における、データの管理方法であって、
   複数のウエハタイプを試験する試験プログラムを含むワークスペースを選択し、
   前記選択されたワークスペースの中での試験結果を履歴として格納し、
   前記格納された試験結果の履歴から所望の試験結果を検索する
   ステップを含む半導体特性評価装置における管理方法。
2. 前記選択されたワークスペースの中で設定データを履歴として格納し、
   前記格納された設定データの履歴から、所望の設定データを検索する
   ステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の管理方法。
3. 前記試験結果を格納するステップと、前記試験結果を検索するステップと、前記設定データを格納するステップと、前記設定データを検索するステップは、複数のウエハタイプに対して行われることを特徴とする請求項２に記載の管理方法。
4. 前記試験結果を検索するステップは、試験の日付及び時刻について検索することを特徴とする請求項１に記載の管理方法。
5. 前記試験結果を格納するステップは、ファイル名を入力しないことを特徴とする請求項４に記載の管理方法。
6. 前記ワークスペースは、複数のウエハ開発プロジェクトを試験する試験プログラムを含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の管理方法。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載の方法を実行するコンピュータプログラム。
   

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