CN111435146A - 一种基于mes的晶圆测试方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种基于MES的晶圆测试方法及系统，该方法包括：根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取对应的测试信息，并将批次信息及测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动测试机UI模块；测试机UI模块通过读取配置文件获取测试程序存储路径，调用测试程序存储路径中存储的测试程序，启动测试机利用测试程序对待测晶圆进行测试。本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法及系统，克服了直接使用UI样本程序的不足和缺陷，将之前在UI上的大量手动录入操作代替为系统自动操作，减轻操作员工作量，降低误操作的可能性。

Description

一种基于MES的晶圆测试方法及系统

技术领域

本发明实施例涉及集成电路测试技术领域，具体涉及一种基于MES的晶圆测试方法及系统。

背景技术

Teradyne与Advantest是目前全球最大的两家半导体自动测试设备供应商，为广泛的半导体电路提供测试解决方案。

Teradyne公司的J750自动测试机是一种高度集成化的数字信号测试机，是为了满足半导体生产厂商低成本数字信号测试需要而开发的，由于它的集成度非常高，所以在测试功能上与其他测试机相比有性价比高的优点，全球装机量已达5000台左右，成为装机量最大的一款全自动测试机。

IG-XL是Teradyne为J750系列测试机开发的，专门用于编写和调试测试程序的软件。该软件集成了测试机硬件接口指令，可以使测试机与电脑、测试机与探针台之间进行实时数据通讯。

J750UI(J750 Production User Interface)是使用J750测试机进行批量化生产的人机交互界面，J750UI模块主要实现如下功能：

1)方便快捷从后台调取测试程序；

2)建立测试机与探针台之间的通讯；

3)实时显示当前测试结果及测试状态；

4)存储测试数据。

Teradyne已提供简单的J750UI样本程序，能实现上述功能，但是很多测试信息需要手动输入，比如：

a)测试程序调取路径；

b)探针台设置相关信息(对应探针台型号、探针卡site排列)；

c)待测晶圆相关信息(批次号和片号)，需要每片更新输入；

d)测试数据存储路径及文件名称，需要每片更新输入。

大范围的人工录入操作增加了操作员的负担，加大了误操作的可能性。更有甚者，用测试错误的芯片进行封装并应用到产品上，对测试厂、芯片供应商和终端用户都有可能造成不可挽回的经济损失。其他型号的测试机同样存在J750测试机的上述问题。因此，需要改进自动化量产用测试机以实现更安全、有效的晶圆测试。

发明内容

为解决现有晶圆测试中依赖于人工操作、自动化程度低、可靠性低等问题，本发明实施例提供一种基于MES的晶圆测试方法及系统。

第一方面，本发明实施例提供一种基于MES的晶圆测试方法，该方法包括：根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，并将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，所述测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动测试机UI模块；所述测试机UI模块通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径，调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，启动测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。

第二方面，本发明实施例提供一种基于MES的晶圆测试系统，该系统包括：测试机与探针台，所述测试机包括测试机UI模块，其特征在于，所述系统还包括MES模块；所述MES模块用于：根据待测晶圆的批次信息获取与所述待测晶圆对应的测试信息，并将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，所述测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动所述测试机UI模块；所述测试机UI模块用于：在启动后，通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径；调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，启动所述测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。

本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法及系统，通过利用MES获取测试信息并存储入测试机的配置文件，测试机UI模块自动读取配置文件获取测试程序存储路径，调用测试程序存储路径中存储的测试程序并启动测试，克服了直接使用UI样本程序的不足和缺陷，将之前在UI上的大量手动录入操作代替为系统自动操作，减轻操作员工作量，降低误操作的可能性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法流程图；

图2是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法中的测试数据的文件名的示意图；

图3是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试系统的结构示意图；

图4是本发明另一实施例提供的基于MES的晶圆测试方法流程图；

图5是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法中MES的“批次管理”模块的部分显示界面示意图；

图6是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法中MES的“产品管理”模块的部分显示界面示意图；

图7是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法中MES传递给J750UI的配置文件中的信息的示意图；

图8是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法中J750UI的程序调用窗口界面示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法流程图。如图1所示，所述方法包括：

步骤101、根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，并将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，所述测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动测试机UI模块；

本发明实施例通过改进现有测试机UI模块以及开发与之配合的MES，实现自动化程度更高、安全性更好的晶圆测试。其中，MES(Manufacturing Execution System，制造企业生产过程执行系统)是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统。

测试机的主机包括测试机UI模块，测试机UI模块主要用于从后台调取测试程序、建立测试机与探针台之间的通讯、实时显示当前测试结果及测试状态以及存储测试数据等。MES可以运行在测试机的主机上。

首先，根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，MES进一步将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机的配置文件中。MES上预先存储有晶圆的批次信息和对应的测试信息的数据。根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，可以通过查询的方式获取。在MES上获取到与所述待测晶圆对应的测试信息之后，可以通过点击预设的功能按钮，触发将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机的配置文件中。

其中，所述测试信息包括测试程序存储路径。根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试程序存储路径，并将所述批次信息及所述与所述待测晶圆对应的测试程序存储路径存储到测试机的配置文件中。

启动测试机UI模块，MES可以自行触发测试机UI模块的启动。比如，可以在通过点击预设的功能按钮，触发将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机的配置文件中之后，自动触发测试机UI模块启动。测试机UI模块的启动包括但不限于测试机UI界面的显示。

步骤102、所述测试机UI模块通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径，调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，启动测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。

测试机UI模块启动后，自动读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径，调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，进而启动测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。由于所述测试信息为最新添加到配置文件中的信息，因此测试机UI模块可以直接获取到配置文件中的所述测试信息。

测试机UI模块通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径，调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，启动测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试的整个过程不需人工在测试机UI上进行手动录入操作，提高了自动化水平及安全性。

本发明实施例通过利用MES获取测试信息并存储入测试机的配置文件，测试机UI模块自动读取配置文件获取测试程序存储路径，调用测试程序存储路径中存储的测试程序并启动测试，克服了直接使用UI样本程序的不足和缺陷，将之前在UI上的大量手动录入操作代替为系统自动操作，减轻操作员工作量，降低误操作的可能性。

进一步地，基于上述实施例，所述测试信息还包括探针台程序名信息；所述方法还包括：所述测试机UI模块通过读取所述配置文件获取所述探针台程序名信息；根据所述探针台程序名信息建立所述测试机与探针台的连接。

根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，所述测试信息包括测试程序存储路径及探针台程序名信息；MES进一步将包括测试程序存储路径及探针台程序名信息的测试信息存储到测试机的配置文件中。

在MES上，可以通过点击预设的功能按钮触发将包括测试程序存储路径及探针台程序名信息的测试信息存储到测试机的配置文件中，并在存储完成后直接启动测试机UI模块。测试机UI模块启动后，通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径以及所述探针台程序名信息；调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序并根据所述探针台程序名信息建立所述测试机与所述探针台的连接；进而启动测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。

其中，在根据所述探针台程序名信息建立所述测试机与所述探针台的连接时，实现了对与所述探针台程序名信息对应的探针台程序的调用。

在实际应用中，有的型号的测试机需要在测试时建立测试机与探针台的连接；而有的型号则不需要，测试机与探针台的连接是预先就建立好的。因此，本发明实施例适用于需要在测试时建立测试机与探针台的连接的场合，并且可实现测试机与探针台的自动连接。

在上述实施例的基础上，本发明实施例通过从MES获取探针台程序名信息，并根据探针台程序名信息建立测试机与探针台的连接，实现了测试机与探针台连接的自动化。

进一步地，基于上述实施例，所述根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，具体包括：根据待测晶圆的批次信息，获取与所述待测晶圆的批次信息对应的产品代码，根据所述产品代码获取与所述待测晶圆对应的测试信息。

由于对于同一产品，通常采用同样的测试方法。因此，在MES中可以将测试信息与产品代码对应存储。同时，同一批次的晶圆只能对应一个产品，也即同一批次信息对应于一个产品代码。因此，晶圆的批次信息(如批次号)可以作为搜索产品代码的唯一关键字。

所述根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，可以先根据待测晶圆的批次信息，获取与所述待测晶圆的批次信息对应的产品代码，进一步根据所述产品代码获取与所述待测晶圆对应的测试信息。

由于同一产品对应同样的测试信息。因此，将测试信息与产品代码对应存储与将测试信息直接与批次信息对应存储相比，减少了重复存储，节约了存储空间。

在上述实施例的基础上，本发明实施例通过根据待测晶圆的批次信息，获取与待测晶圆的批次信息对应的产品代码，根据产品代码获取与待测晶圆对应的测试信息，减少了存储成本。

进一步地，基于上述实施例，所述调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，具体包括：自动弹窗显示所述测试程序的信息，在弹窗上的确认按钮被点击后，实现所述调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序；所述根据所述探针台程序名信息建立所述测试机与探针台的连接，具体包括：自动弹窗显示所述探针台程序名信息，在弹窗上的确认按钮被点击后，实现所述根据所述探针台程序名信息建立所述测试机与探针台的连接。

测试机UI模块启动后，所述测试机UI模块通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径，根据所述测试程序存储路径获取到所述测试程序存储路径中的测试程序的信息，比如测试程序的名称，并自动弹窗显示所述测试程序的信息。在显示所述测试程序的信息的弹窗上，可以设置确认按钮，在确认按钮被点击后，实现调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，做好利用所述测试程序进行测试的准备。

同样，在测试机UI模块启动后，所述测试机UI模块通过读取所述配置文件获取所述探针台程序名信息，在获取到所述探针台程序名信息后，自动弹窗显示所述探针台程序名信息。在显示所述探针台程序名信息的弹窗上，可以设置确认按钮，在确认按钮被点击后，通过调用与所述探针台程序名信息对应的探针台程序实现根据所述探针台程序名信息建立所述测试机与所述探针台的连接，做好测试准备。

在上述实施例的基础上，本发明实施例通过在显示测试程序的信息的弹窗上以及显示探针台程序名信息的弹窗上分别设置确认按钮，在点击确认后再进行测试程序的调用及探针台的连接，进一步提高了可靠性。

进一步地，基于上述实施例，在所述测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试之前，所述方法还包括：测试机UI模块自动从探针台获取当前晶圆的批次信息，并将所述当前晶圆的批次信息与所述待测晶圆的批次信息进行比对，若二者一致，则启动测试。

由于在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息时，其中的待测晶圆的信息是人工输入的。因此，为进一步避免输入错误的可能性，在做好进行晶圆测试的准备工作之后，比如完成测试程序存储路径中存储的测试程序的调用之后或者完成测试程序存储路径中存储的测试程序的调用并且建立好测试机与探针台的连接之后，测试机UI模块并不马上启动测试机对待测晶圆的测试，而是，自动从探针台获取当前晶圆的批次信息，并将所述当前晶圆的批次信息与所述待测晶圆的批次信息进行比对。其中，当前晶圆即此时放置于探针台上的晶圆。

若所述当前晶圆的批次信息与所述待测晶圆的批次信息一致，说明当前晶圆即是待进行测试的待测晶圆，则启动测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试；若所述当前晶圆的批次信息与所述待测晶圆的批次信息不一致，则说明当前晶圆不是待进行测试的待测晶圆，则不启动测试，并可以进行报错。

在上述实施例的基础上，本发明实施例通过测试前测试机UI模块自动从探针台获取当前晶圆的批次信息，并将当前晶圆的批次信息与待测晶圆的批次信息进行比对，若二者一致，则启动测试，进一步避免了测试错误的发生，提高了可靠性。

进一步地，基于上述实施例，在所述测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试的过程中，测试机存储测试数据到所述配置文件中的预设路径；其中，所述测试数据包括获取的实时测试数据以及在结束一片晶圆的测试后，生成的整片晶圆的测试统计数据。

在测试机的配置文件中，预先配置好测试数据的存储路径，即所述预设路径。所述预设路径可以由预先设定的部分路径及根据晶圆的批次号和/或片号的信息进一步生成的较低层次的路径共同构成。

在所述测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试的过程中，测试机实时存储实时测试数据到所述配置文件中的预设路径；并且，在结束一片晶圆的测试后，生成整片晶圆的测试统计数据，同样存储到所述预设路径。

在上述实施例的基础上，本发明实施例通过将实时的测试数据及测试统计数据存储到预设路径，避免了每次测试完成后手动输入测试数据存储路径，进一步提高了自动化水平及可靠性。

进一步地，基于上述实施例，所述测试数据的文件名包括测试机信息、测试程序信息、晶圆批号信息、晶圆片号信息及测试时间信息。

测试数据及所述测试统计数据的文件名上包含测试机台、测试程序、晶圆批号/片号、测试时间等基本信息，其好处是当出现测试异常等需要后续追溯情况时，无需重建异常测试状态，就可以通过测试数据名称准确定位到相应数据文件，进而从测试机、测试程序、测量值等已保存信息推断异常发生的原因。

图2是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法中的测试数据的文件名的示意图。如图2所示，在测试数据文件名为CA-J06_D002A_V4P01_4site_CP1_h842350-22_181212_0723.txt时，每段字节含义及信息获取方式如下：

①测试机台名称——一台测试机配套一台计算机，测试机UI模块从计算机名得到对应测试机名称；

②～⑤产品代码/程序版本号/并测数/测试序号——通过配置文件中的测试程序路径字段，由MES传递给测试机UI模块；

⑥～⑦晶圆批次/片号——测试机UI模块从探针台获取，与MES传递给测试机UI模块的信息进行比较；

⑧～⑨测试日期(格式为YYMMDD)/测试时间(格式为HHMM)——测试机UI模块从电脑系统时间上得到。

在上述实施例的基础上，本发明实施例通过在测试数据的文件名包括测试机信息、测试程序信息、晶圆批号信息、晶圆片号信息及测试时间信息，便利了后续的异常原因追溯。

进一步地，基于上述实施例，在探针台更换晶圆之后，若测试机判断获知更换之后的晶圆的批次信息与所述待测晶圆的批次信息一致，则利用所述测试信息直接对更换后的晶圆进行测试。

在探针台更换晶圆之后，测试机UI模块自动获取更新后的晶圆的批次信息，并与测量完毕的上一晶圆(所述待测晶圆)的批次信息进行比对，若二者一致，则说明待测晶圆与更换后的晶圆属于同一批次。由于同一批次晶圆只对应同一产品，因此待测晶圆与更换后的晶圆属于同一产品，可以采用同一测试信息进行测试。

所以，在探针台更换晶圆之后，若测试机判断获知更换之后的晶圆的批次信息与所述待测晶圆的批次信息一致，则利用所述测试信息直接对更换后的晶圆进行测试。否则，若测试机判断获知更换之后的晶圆的批次信息与所述待测晶圆的批次信息不一致，则需重新在MES中根据更新后的晶圆的批次号获取对应的测试信息，并利用获取到的测试信息对更新后的晶圆进行测试。

在上述实施例的基础上，本发明实施例通过在探针台更换晶圆之后，若测试机判断获知更换之后的晶圆的批次信息与待测晶圆的批次信息一致，则利用待测晶圆的测试信息直接对更换后的晶圆进行测试，有效提高了测试效率。

进一步地，基于上述实施例，在所述测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试的过程中，测试机UI上与测试无关的按钮置于不可点击状态。

在所述测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试的过程中，为避免误操作，测试机UI上仅保留有用按钮可点击，与测试无关的按钮置于不可点击状态(如置灰)。

在上述实施例的基础上，本发明实施例通过在测试机利用测试程序对待测晶圆进行测试的过程中，测试机UI上与测试无关的按钮置于不可点击状态，进一步提高了测试的可靠性。

图3是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试系统的结构示意图。如图3所示，所述系统包括测试机10与探针台20，所述测试机10包括测试机UI模块100，其特征在于，所述系统还包括MES模块30；所述MES模块30用于：根据待测晶圆的批次信息获取与所述待测晶圆对应的测试信息，并将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机10的配置文件中；其中，所述测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动所述测试机UI模块100；所述测试机UI模块100用于：在启动后，通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径；调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，启动所述测试机10利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。

所述晶圆测试系统包括测试机10、探针台20及MES模块30，所述测试机10包括测试机UI模块100；MES模块30可以设置于测试机10的主机上，也可以设置于其他的位置，如其他的主机上。

所述MES模块30用于：根据待测晶圆的批次信息获取与所述待测晶圆对应的测试信息，并将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机10的配置文件中；其中，所述测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动所述测试机UI模块100。MES模块30可以通过点击预设的功能按钮触发将包括测试程序存储路径的测试信息存储到测试机10的配置文件中，并在存储完成后直接启动测试机UI模块100。

所述测试机UI模块100用于：在启动后，通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径；调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，进而启动所述测试机10利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。

本发明实施例通过利用MES获取测试信息并存储入测试机的配置文件，测试机UI模块自动读取配置文件获取测试程序存储路径，调用测试程序存储路径中存储的测试程序并启动测试，克服了直接使用UI样本程序的不足和缺陷，将之前在UI上的大量手动录入操作代替为系统自动操作，减轻操作员工作量，降低误操作的可能性。

进一步地，基于上述实施例，所述系统包括测试机10与探针台20，所述测试机10包括测试机UI模块100，其特征在于，所述系统还包括MES模块30；所述MES模块30用于：根据待测晶圆的批次信息获取与所述待测晶圆对应的测试信息，并将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机10的配置文件中；其中，所述测试信息包括测试程序存储路径及探针台程序名信息；然后，启动所述测试机UI模块100；所述测试机UI模块100用于：在启动后，通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径及所述探针台程序名信息；调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，并且根据所述探针台程序名信息建立所述测试机10与所述探针台20的连接；进而启动所述测试机10利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。

所述MES模块30用于：根据待测晶圆的批次信息获取与所述待测晶圆对应的测试信息，并将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机10的配置文件中；其中，所述测试信息包括测试程序存储路径及探针台程序名信息；然后，启动所述测试机UI模块100。MES模块30可以通过点击预设的功能按钮触发将包括测试程序存储路径及探针台程序名信息的测试信息存储到测试机10的配置文件中，并在存储完成后直接启动测试机UI模块100。

所述测试机UI模块100用于：在启动后，通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径及所述探针台程序名信息；调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，并且根据所述探针台程序名信息建立所述测试机10与所述探针台20的连接；进而启动所述测试机10利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。

在上述实施例的基础上，本发明实施例通过从MES获取探针台程序名信息，并根据探针台程序名信息建立所述测试机与所述探针台的连接，实现了测试机与探针台连接的自动化。

本发明实施例提供的系统是用于上述方法的，具体功能可参照上述方法流程，此处不再赘述。

下面以J750测试机为例进一步详细描述本发明实施例提供的晶圆测试方法。其中，J750UI表示J750测试机的UI模块。

图4是本发明另一实施例提供的基于MES的晶圆测试方法流程图。如图4所示，在测试一片晶圆的过程中，J750UI会利用到MES提供的多个信息。根据待测晶圆的批号，在MES中获取对应的产品代码后，可以查询到与所述待测晶圆对应的测试程序路径及探针台程序名。MES将与所述待测晶圆对应的测试程序路径、探针台程序名以及待测晶圆的批号信息存储入J750的配置文件中以供J750UI查询。

在J750UI测试一片晶圆的过程中，首先通过读取配置文件获取测试程序存储路径，进而调用测试程序存储路径中的测试程序；并且，通过读取配置文件获取探针台程序名，所述探针台程序名与探针台程序对应，通过调用与所述探针台程序名对应的探针台程序实现选择探针台类型、选择探针台程序，从而实现根据所述探针台程序名建立J750与探针台的连接。其中，探针台程序中包括通讯接口、探卡排列等相关设置。

做好测试的准备工作后，J750UI自动获取探针台上当前晶圆的批次信息，并与配置文件中(从MES获取)的批号进行比较，若二者一致，则启动测试。测试完毕一片晶圆后，保存测试数据，结束此片晶圆的测试。

本发明实施例的主要目的在于用J750测试机量产时，克服直接使用Teradyne提供的UI样本程序的不足和缺陷，将之前在UI上的大量手动录入操作代替为系统自动录入操作，减轻操作员工作量，降低误操作的可能性。

为了达成上述目的，本发明实施例引入了制造企业生产过程执行系统MES配合更新后的J750UI使用。MES是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统。MES内含有产品管理和批次管理模块，且能保证同一晶圆批次号仅用于一款产品中，所以将晶圆批次号作为搜索产品代码的唯一关键字。

每批晶圆在测试过程中，在MES和J750UI上的信息传递步骤如下：

步骤1：根据晶圆批次号，在MES上查找对应产品代码，同时将批次号放到配置文件中；

步骤2：根据产品代码，在MES上查询出测试程序存储路径，并放到配置文件中；

步骤3：根据产品代码，在MES上查询出探针台程序名称，并放到配置文件中；

步骤4：启动J750UI，读取配置文件信息，调用MES指定测试程序；

步骤5：连接探针台到J750测试机，根据配置文件中指定探针台程序名称连接；

步骤6：J750UI从探针台读取当前晶圆批号/片号信息，并与MES提供批次号进行比对，仅一致时才能开始测试，实时存储测试数据到配置文件中定义的路径；

步骤7：结束一片晶圆测试，生成一整片晶圆的统计文件，同样存储到配置文件中定义的路径；

另外，更换同一批次不同片号晶圆时，无需重新启动J750UI，跳到步骤6；若更换不同批次晶圆时，与配置文件中前一批次的产品代码进行比较，如果一致，则跳到步骤6，否则，跳到步骤1重新开始；

采用上述方案，经使用已验证真实可靠，人工操作的工作量大大减少，从MES到J750UI操作，将所有手动输入均改为鼠标点选后，误操作率也显著降低。

下面进一步通过实例详细说明本发明实施例提供的晶圆测试方法。

图5是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法中MES的“批次管理”模块的部分显示界面示意图。图6是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法中MES的“产品管理”模块的部分显示界面示意图。图7是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法中MES传递给J750UI的配置文件中的信息的示意图。图8是本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法中J750UI的程序调用窗口界面示意图。如图5～图8所示：

首先，待测晶圆的批次信息已通过“批次管理”模块输入到MES系统中，并与已有的“产品管理”模块进行对接。在MES上可以看到该批次属于哪个产品代码，并且通过产品代码，在“产品管理”界面的“数据配置”和“参数配置”中定义好测试程序路径和探针台程序名。比如，可以在“数据配置”中定义好测试程序路径，在“参数配置”中定义好探针台程序名。

其次，测试该批次待测晶圆前，使用配置文件方式，从对应“产品管理”和“批次管理”信息中传递测试程序路径、探针台信息、当前测试晶圆的批次号等实时、有效信息到J750UI。比如，可以通过点击图5中的“调用UI”实现将测试程序路径、探针台信息、当前测试晶圆的批次号存储到J750UI的配置文件。

再次，启动J750UI，自动弹出的程序调用窗口直接指向测试程序存储路径下的文件，选择程序并确定，减少了量产时误操作的概率。

然后，J750UI自动弹出探针台程序选择窗口，选择默认项即可连接当前J750对接的探针台。

最后，开始测试，在测试过程中，J750UI上实时更新当前测试状态。正在测试中的UI界面，可以显示当前测试晶圆的批次号/片号、整体良率，以及参与并测的每个site的良率，以便随时监控，有问题及时暂停。同时，在J750UI测试过程中，为避免误操作，仅保留有用按钮可点击，置灰其余所有按钮。

在J750测试过程中，测试数据会同步存储到指定目录下。

本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法，MES配合更新后的J750UI，将之前在UI上的大量手动录入操作代替为系统自动录入操作；使用配置文件方式传递测试程序路径、探针台信息、当前测试晶圆的批次号等实时、有效信息；J750UI从探针台读取当前晶圆批次号/片号信息，并与MES提供批次号进行比对，仅一致时才能开始测试；从MES到J750UI操作，将所有手动输入均改为鼠标点选；当出现测试异常等需要后续追溯情况时，无需重建异常测试状态，就可以通过测试数据名称准确定位到相应数据文件；在J750UI测试过程中，为避免误操作，仅保留有用按钮可点击，置灰其余所有按钮。

本发明实施例克服了直接使用UI样本程序的不足和缺陷，将之前在UI上的大量手动录入操作代替为系统自动操作，减轻操作员工作量，降低误操作的可能性；有效提高了晶圆测试的自动化水平，同时提高了测试的可靠性及安全性。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现。

以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种基于MES的晶圆测试方法，其特征在于，包括：

根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，并将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，所述测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动测试机UI模块；

所述测试机UI模块通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径，调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，启动测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测试信息还包括探针台程序名信息；

所述方法还包括：所述测试机UI模块通过读取所述配置文件获取所述探针台程序名信息；根据所述探针台程序名信息建立所述测试机与探针台的连接。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取与所述待测晶圆对应的测试信息，具体包括：

根据待测晶圆的批次信息，获取与所述待测晶圆的批次信息对应的产品代码，根据所述产品代码获取与所述待测晶圆对应的测试信息。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，具体包括：自动弹窗显示所述测试程序的信息，在弹窗上的确认按钮被点击后，实现所述调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序；

所述根据所述探针台程序名信息建立所述测试机与探针台的连接，具体包括：自动弹窗显示所述探针台程序名信息，在弹窗上的确认按钮被点击后，实现所述根据所述探针台程序名信息建立所述测试机与探针台的连接。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试之前，所述方法还包括：

测试机UI模块自动从探针台获取当前晶圆的批次信息，并将所述当前晶圆的批次信息与所述待测晶圆的批次信息进行比对，若二者一致，则启动测试。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试的过程中，测试机存储测试数据到所述配置文件中的预设路径；其中，所述测试数据包括获取的实时测试数据以及在结束一片晶圆的测试后，生成的整片晶圆的测试统计数据。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述测试数据的文件名包括测试机信息、测试程序信息、晶圆批号信息、晶圆片号信息及测试时间信息。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在探针台更换晶圆之后，若测试机判断获知更换之后的晶圆的批次信息与所述待测晶圆的批次信息一致，则利用所述测试信息直接对更换后的晶圆进行测试。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试的过程中，测试机UI上与测试无关的按钮置于不可点击状态。

10.一种基于MES的晶圆测试系统，包括测试机与探针台，所述测试机包括测试机UI模块，其特征在于，所述系统还包括MES模块；

所述MES模块用于：根据待测晶圆的批次信息获取与所述待测晶圆对应的测试信息，并将所述批次信息及所述测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，所述测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动所述测试机UI模块；

所述测试机UI模块用于：在启动后，通过读取所述配置文件获取所述测试程序存储路径；调用所述测试程序存储路径中存储的测试程序，启动所述测试机利用所述测试程序对所述待测晶圆进行测试。

Images