CN113012410B - 一种晶圆测试预警方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种晶圆测试预警方法，将测试机台与连接外网的服务器通信连接；包括：用户在测试软件中定义预警条件并开启测试流程；所述测试机台选择待测晶圆并开始测试，当在测试过程中触发了预警条件，则将当前在测晶圆中失败的测试项信息输出到所述服务器中。能够根据预定义的预警条件触发报警并将异常信息实时反馈给用户，用户不限场地也能获取信息，并及时进行相关操作，缩短了测试时间，有利于提高测试效率，帮助改进测试工艺，优化设计，利于节约生产成本。

Description

一种晶圆测试预警方法

技术领域

本发明属于半导体器件测试技术领域，具体涉及一种晶圆测试的预警方法。

背景技术

在半导体器件制造工艺中，测试是保证器件出厂品质的重要环节，通过测试，能将制造过程中产生的一些残次品，或者性能不合格产品挑选出来，或者是通过测试，获知器件的性能参数，能对产品进行等级的区分。

为了确保晶圆上每个裸片(Die)能基本满足器件的特征或设计规格书(Specification)，通常包括电压、电流、时序和功能的验证。晶圆测试所用到的设备是测试机台，一般包括：测试机(IC Tester)、探针卡(Probe Card)、探针台(Prober)以及测试机与探针卡之间的接口(Mechanical Interface)。WAT（Wafer Acceptance Test晶圆允收测试）是半导体硅片在完成所有制程工艺后，采用测试机与探针台配合完成对Wafer划片槽（Scribe Line）测试（Test Key）所进行的电性测试，通过电性参数来监控各步工艺是否正常和稳定。通过对WAT数据的分析，可以发现半导体制程工艺中的问题，帮助指导半导体制程工艺进行调整，以实现更高的成品率。

随着集成电路的快速发展，WAT测试过程中测试数量越来越多，使测试时间非常长，而在测试过程中会出一些异常及错误，例如软件内容泄露导致软件卡死、文件读写错误、测试机软件与硬件模块交互过程中的错误等，都会影响整个测试流程是否能够顺利进行。对某些非正常原因导致了测试结果不正确时，需要等到当前批次的晶圆测试完成后才能知道测试结果是否正确，大大浪费了人工成本与时间成本。此外在现有的半导体测试中，生产过程通常在恒温恒湿车间进行，技术操作人员（主要用户）如果需要查看远程测试结果(不进生产现场)，在一片晶圆测试完成或者一批成品电路测试完成后才能通过测试Map图等查看测试结果。如果在测试过程中有生产异常，只能在该晶圆测试完成后看到，或者在生产现场巡视时看到，这样用户很难在第一时间处理生产异常。因此需要对晶圆测试中的一些异常进行预警的方法，以提高晶圆的测试效率，能够及时处理测试异常，提高生产质量。

发明内容

本发明是基于上述现有技术的部分和/或全部问题而进行的，目的在于提供一种晶圆测试预警方法，对一些非正常原因导致的一些失败的测试项时，能及时发现并反馈给用户，即使用户不在生产现场也能得到反馈，让用户决定是否继续进行测试，并帮助用户快速定位问题。

本发明提供一种晶圆测试预警方法，将测试机台与连接外网的服务器通信连接；包括：用户在测试软件中定义预警条件并开启测试流程；所述测试机台选择待测晶圆并开始测试，当在测试过程中触发了预警条件，则将当前在测晶圆中失败的测试项信息输出到所述服务器中。

根据用户预先定义的预警条件，将触发预警条件时的测试项信息作为失败的测试项信息输出到能够连接外网的服务器中，所述服务器例如是一台可以连接外网的计算机或者其他终端，其可以设置在生产现场也可以设置在生产现场之外，根据实际生产环境布局，因其可以连接外网，其他固定终端或如笔记本电脑等移动终端在不同的地方都能够通过网络访问所述服务器获得所述失败的测试项信息。便于记录和分析失败的测试项信息，也能够及时的获得反馈，便于用户控制测试过程，帮助用户快速定位问题，提高测试效率，利于生产质量的提高和指导工艺的优化。

一般的情况中当前在测晶圆测试结束后，所述测试机台停止测试并弹出报警信息。所述报警信息包括失败的测试项在所述在测晶圆中的位置信息与测试值。便于用户分析失败原因，进一步优化设计及测试工艺。

在定义所述预警条件之前，还包括步骤：用户在常规测试项中进行预警配置并导入所述测试机台。

测试机台与连接外网的服务器通信连接的方法是：所述测试机台中设置网络映射驱动盘；并通过映射网络驱动器的方式与所述服务器通信连接。"映射网络驱动器"是实现磁盘共享的一种方法，以具体来说就是利用局域网将自身的数据保存在另外一个终端（如一台电脑）上或者把另外一个终端里的文件虚拟到自身的机器上。所述服务器与所述测试机台就能够有一个共享文件夹或共享磁盘，当前在测晶圆中失败的测试项信息就输出到这个共享文件夹或共享磁盘中，用户可以根据不同的权限设置，访问所述共享文件或共享磁盘获取当前在测晶圆中失败的测试项信息。这种方式便于访问，操作方便。

一个较好的实施例中，通过映射网络驱动器的方式与所述服务器通信连接的方法是：所述服务器上设置有邮件发送服务器，所述邮件发送服务器中设置有共享文件夹，所述测试机台与所述共享文件夹通信连接。

具体情况中，所述预警条件为：待测晶圆中设置连续测试die的数量记为X，目标良品率预定一设定值，连续测试X个die实际成品率小于所述设定值。

所述服务器设置定时任务计划，进行加载脚本；所述脚本用于读取失败的测试项信息，并将其发送给用户。所述服务器及时的主动将失败的测试项信息提供给用户，用户能够根据接收到的信息，进行人为判断，更合理的介入所述测试流程，而不必等待整个测试流程结束才能进行处理，节约人工成本，提高了生产效率，减少了生产资源的浪费。

在一个实施例中所述脚本用于将所述失败的测试项信息以邮件附件的形式发送给用户。所述失败的测试项信息以文件的形式，便于用户下载和进行记录保存。

用户根据所述失败的测试项信息检查错误的测试项是否为客户关注点，并确认是否继续所述测试流程或者结束测试。用户可以根据实际情况进一步检查错误的测试项是否为客户关注点，并判断是否需要终止测试流程，检查错误的测试项信息是否是一些可忽略的问题引起的，如果是关注的问题引起的就需要停止测试，如果是一些非正常原因引起的就可以继续测试。错误的测试项不是客户的关注点则不必因此而停止测试。用户根据所述失败的测试项信息确认是否继续所述测试流程或者直接立即结束测试，即用户判断为否时，就直接点击STOP停止测试，不会等到当前wafer run完后再停止。能够更加合理的控制整个测试流程，及时处理测试中的异常，同时也避免了一些非客户关注点的错误而使测试过程重新来过，降低生产效率。

本发明具有如下主要的有益效果：根据本发明所涉及的一种晶圆测试预警方法，因为定义预警条件，测试机台将失败的测试项信息输出到所述服务器，服务器能够连接外网，根据预警条件触发报警，用户能够通过所述服务器及时获取失败的测试项信息。用户可以人为介入检查错误的测试项，并判断是否需要终止测试流程，提高了测试效率。能够根据所述报警信息记录和分析，有利于用户优化设计和测试工艺，节约生产成本，进一步提高生产效率和质量。

附图说明

图1是本发明的实施例一中晶圆测试预警方法的过程示意图。

图2是本发明的实施例一中晶圆测试系统的示意图。

图3是本发明的实施例二中晶圆测试预警方法的过程的示意图。

具体实施方式

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解。附图中，相同结构或功能的部分利用相同的附图标记来标记，出于显示清楚的原因必要时并不是所有示出的部分在全部附图中用所属的附图标记来标记。

在下述实施例中采用特定次序描绘了实施例的操作，这些次序的描述是为了更好的理解实施例中的细节以全面了解本发明，但这些次序的描述并不一定与本发明的晶圆测试预警方法一一对应，也不能以此限定本发明的范围。

需要说明的是，附图中的流程图和框图，图示出按照本发明实施例的方法可能实现的操作过程。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以并不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以穿插的执行，依所涉及的步骤要实现的目的而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与人工操作结合来实现。

实施例一

如图1所示，结合参考图2，本发明实施例一中，晶圆测试预警方法，具体包括下述步骤：步骤S1.用户在测试软件中定义预警条件并开启测试流程；步骤S2.测试机台1选择待测晶圆并开始测试，当在测试过程中触发了预警条件，则将当前在测晶圆中失败的测试项信息输出到服务器2中；步骤S3.继续测试，在当前在测晶圆测试结束后，所述测试机台停止测试并弹出报警信息。本实施例中，如图2所示，测试系统包括测试机台1和服务器2，测试机台1包括测试机11、探针卡12、探针台13。测试机11包括存储器11a和处理器11b，处理器11b运行存储器11a上的测试软件执行测试流程。本实施例中，存储器11a上设置网络映射驱动盘；所述测试机台1通过映射网络驱动器的方式与服务器2进行通信连接。服务器2与外网3通信连接。本实施例中，服务器2可以是一台可以连接外网的计算机或者其他终端，其可以设置在生产现场也可以设置在生产现场之外，根据实际生产环境布局，因其可以连接外网3，其他固定终端或如笔记本电脑等移动终端在不同的地方都能够通过网络访问服务器2，服务器2也可以通过外网3与其他终端实现通信。通过"映射网络驱动器"实现磁盘共享是本实施例较好的一种方法示例，并不限定。这个实施方式具体来说就是利用局域网将自身的数据保存在另外一个终端（如一台电脑）上或者把另外一个终端里的文件虚拟到自身的机器上。服务器2与所述测试机台1就能够有一个共享文件夹或共享磁盘，当前咋测晶圆中失败的测试项信息就输出到这个共享文件夹或共享磁盘中，用户可以根据不同的权限设置，访问所述共享文件或共享磁盘获取当前在晶圆中失败的测试项信息。这种实施方式中，更加便于用户访问，操作方便快捷。

本实施例中，在定义所述预警条件之前，还包括步骤：用户在常规测试项中进行预警配置并导入所述测试机台。即步骤S1之前，还有步骤S10.用户在常规测试项中进行预警配置并导入所述测试机台。测试机是一些特定工作模式中，也可以没有步骤S0，并不限定。本实施例中，预警条件设定为：待测晶圆中设置连续测试die的数量记为X，目标良品率预定一设定值，连续测试X个die实际成品率小于所述设定值。预警条件成立被触发。在测试流程结束后，测试机11弹出报警信息，本实施例中，报警信息包括失败的测试项在所述在测晶圆中的位置信息与测试值。便于用户分析失败原因，进一步优化设计及测试工艺。

实施例二

本实施例与实施例一不同的是，服务器2设置了定时任务计划，进行加载脚本；所述脚本用于读取失败的测试项信息，并将其发送给用户。结合图2，如图3所示，当所述预警条件被触发时，本实施例中，脚本将所述失败的测试项信息以邮件附件的形式实时发送给用户。所述失败的测试项信息是文件的形式，便于用户下载和进行记录保存。本实施例在步骤S2中，用户能够根据所述失败的测试项信息检查错误的测试项是否是客户关注点，一个较好的做法是由用户确认是否继续所述测试流程，用户决定当前的错误是否需要终止测试，如不需要，可继续执行测试。在也有的实施例中，用户收到所述失败的测试项信息，但并不介入所述测试流程的运行，在此并不限定。

本实施例中所述服务器及时的主动将失败的测试项信息提供给用户，用户能够根据接收到的信息，进行人为判断，更合理的介入所述测试流程，而不必等待整个测试流程结束才能进行处理，节约人工成本，提高了生产效率，减少了生产资源的浪费。

上述实施方式为本发明的优选案例，并不用来限制本发明的保护范围。各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种晶圆测试预警方法，其特征在于，将测试机台与连接外网的服务器通信连接；包括：

用户在测试软件中定义预警条件并开启测试流程；

所述测试机台选择待测晶圆并开始测试，当在测试过程中触发了预警条件，则将当前在测晶圆中失败的测试项信息输出到所述服务器中；

用户根据所述失败的测试项信息检查错误的测试项是否为客户关注点，并确认是否继续所述测试流程或者结束测试，若错误的测试项不是客户的关注点则不停止测试，若错误的测试项是客户的关注点则停止测试。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，测试机台与连接外网的服务器通信连接的方法是：所述测试机台中设置网络映射驱动盘；并通过映射网络驱动器的方式与所述服务器通信连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，通过映射网络驱动器的方式与所述服务器通信连接的方法是：所述服务器上设置有邮件发送服务器，所述邮件发送服务器中设置有共享文件夹，所述测试机台与所述共享文件夹通信连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，所述预警条件为：待测晶圆中设置连续测试die的数量记为X，目标良品率预定一设定值，连续测试X个die实际成品率小于所述设定值。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，在当前在测晶圆测试结束后，所述测试机台停止测试并弹出报警信息。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，所述报警信息包括失败的测试项在所述在测晶圆中的位置信息与测试值。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，在定义所述预警条件之前，还包括步骤：用户在常规测试项中进行预警配置并导入所述测试机台。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，所述服务器设置定时任务计划，进行加载脚本；所述脚本用于读取失败的测试项信息，并将其发送给用户。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，所述脚本用于将所述失败的测试项信息以邮件形式发送给用户。

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