JP2003197496A - 製造装置管理方法及び製造装置管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】レシピＩＤ（製造処理条件に関するデータ）を
必要とする製造装置（例えば、ウエハ工程で使用する半
導体製造装置）を管理する場合に使用して好適な製造装
置管理方法に関し、レシピＩＤの取得ミスや製造装置へ
のレシピＩＤの設定ミスという事態を避け、歩留まりの
向上を図ることができるようにする。 【解決手段】ホストパソコン２を使用して装置オンライ
ンサーバ７から、処理対象のロットの型格のレシピＩＤ
を自動取得し、このレシピＩＤを半導体製造装置（例え
ば、エッチング装置）１に送信して処理開始指示を行
う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レシピＩＤ（製造
処理条件に関するデータ）を必要とする製造装置を管理
する場合に使用して好適な製造装置管理方法及び製造装
置管理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ウエハ工程で使用する半導体製
造装置（例えば、エッチング装置）を稼動する場合、こ
れから処理するロットの型格に対応するレシピＩＤを半
導体製造装置に設定して処理開始指示を行う必要があ
る。この場合、従来においては、オペレータが型格毎に
用意されているレシピＩＤ対応表からレシピＩＤを求
め、これを半導体製造装置に付随するパーソナルコンピ
ュータ（以下、パソコンという）を用いてマニュアルで
設定して処理開始指示を行っていた。

【０００３】また、半導体製造装置の処理実績データの
活用については、半導体製造装置に付随するパソコンの
ディスクに保存されていたものをフロッピィなどに一旦
保存し、表計算ツールにデータを移し替えて活用すると
いうことが行われていた。

【０００４】また、ロット着手情報（１枚目のウエハの
処理が開始された時刻）及びロット完了情報（最終ウエ
ハの処理が完了した時刻）の入力は、別に用意された工
程管理システムで行うことが一般的であった（特開平９
−２９５９０号公報、特開２０００−１１４１３１号公
報）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このように、半導体製
造装置を稼動する場合、オペレータがレシピＩＤ対応表
からレシピＩＤを求め、これを半導体製造装置に付随す
るパソコンを使用してマニュアルで設定して処理開始指
示を行うのでは、誤レシピＩＤの取得や、半導体製造装
置へのレシピＩＤの設定ミスが発生してしまう場合があ
るという問題点があった。

【０００６】また、複数の半導体製造装置を使用する場
合において、半導体製造装置の処理実績データを活用す
る場合、半導体製造装置に付随するパソコンのディスク
に保存されていたものをフロッピィなどに一旦保存し、
表計算ツールにデータを移し替えて活用するのでは、処
理実績データの収集に多大な工数を要してしまうという
問題点があった。

【０００７】また、ロット着手情報及びロット完了情報
を保存する必要があるとしても、これらの入力を別に用
意された工程管理システムで行うのでは、入力工数が増
えてしまうという問題点があった。

【０００８】また、半導体製造装置の処理完了時間はオ
ペレータの予測によるものであり、都度確認が必要であ
り、作業効率が低いという問題点があった。更に、同機
種の複数の半導体製造装置を使用している場合、どの半
導体製造装置が先に空くかは不明であり、この点も作業
効率の低下の要因となっていた。

【０００９】本発明は、かかる点に鑑み、少なくとも、
レシピＩＤの取得ミスや製造装置へのレシピＩＤの設定
ミスという事態を避け、歩留まりの向上を図ることがで
きるようにした製造装置管理方法及び製造装置管理シス
テムを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の製造装置管理方
法は、コンピュータを使用し、製造装置の情報を保存、
管理するサーバに保存されている製造処理対象物のレシ
ピＩＤを自動取得し、このレシピＩＤを製造装置に送信
して処理開始指示を行う工程を有するというものであ
る。

【００１１】本発明の製造装置管理方法によれば、コン
ピュータを使用し、製造装置の情報を保存、管理するサ
ーバに保存されている製造処理対象物のレシピＩＤを自
動取得し、このレシピＩＤを製造装置に送信して処理開
始指示を行う工程を有しているので、レシピＩＤの取得
ミスや製造装置へのレシピＩＤの設定ミスという事態を
避けることができる。

【００１２】本発明の製造装置管理システムは、製造装
置の情報を保存、管理するサーバに保存されている製造
処理対象物のレシピＩＤを自動取得し、このレシピＩＤ
を製造装置に送信して処理開始指示を行うことができる
コンピュータを有するというものである。

【００１３】本発明の製造装置管理システムによれば、
製造装置の情報を保存、管理するサーバに保存されてい
る製造処理対象物のレシピＩＤを自動取得し、このレシ
ピＩＤを製造装置に送信して処理開始指示を行うことが
できるコンピュータを有しているので、レシピＩＤの取
得ミスや製造装置へのレシピＩＤの設定ミスという事態
を避けることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１は本発明の製造装置管理シス
テムの一実施形態の構成図であり、本発明の製造装置管
理システムの一実施形態は、ウエハ工程で使用する半導
体製造装置を管理するシステムに本発明の製造装置管理
システムを適用した例である。

【００１５】図１中、１はウエハについて一定の製造処
理（たとえば、エッチング）を行う半導体製造装置（以
下、単に「装置」という場合もある）、２は装置１を管
理するホストパソコン、３は装置１とホストパソコン２
とを接続するＲＳ２３２Ｃインタフェース、４はホスト
パソコン２に接続されたバーコードリーダである。

【００１６】５は装置１による処理対象ウエハのロット
の型格、ロット番号、数量などを管理する工程管理シス
テムを構成する工程管理サーバ、６は工程管理サーバ５
が備える工程管理データベースである。

【００１７】７は装置１を含む各種装置の情報を保存し
て管理する装置オンラインサーバ、８は装置オンライン
サーバ７が備える装置オンラインデータベース、９はホ
ストパソコン２、工程管理サーバ５及び装置オンライン
サーバ７が接続されたＬＡＮ（Local Area Network）で
ある。

【００１８】ＲＳ２３２Ｃインタフェース３は、ホスト
パソコン２による装置１の制御（ホストパソコン２から
装置１へのレシピＩＤの送信及び処理開始指示など）
や、ホストパソコン２による装置１の処理実績データの
収集などを可能としている。

【００１９】なお、表１はＲＳ２３２Ｃインタフェース
３の通信方式を示し、表２は装置１とホストパソコン２
との間に設定される半導体業界の国際規格であるＳＥＭ
Ｉ（Semiconductor Equipment and Materrials Interna
tional）規定によるＳＥＣＳ（SEMI Equipment Communi
cations Standards）規格に基づいた１０種の通信機能
を示している。

【００２０】

【表１】

【００２１】

【表２】

【００２２】ＬＡＮ９は、ホストパソコン２と工程管理
サーバ５とのデータ連携（工程管理システムから発行さ
れたロットカードのロットＩＤをホストパソコン２に読
み込むことによる処理対象ウエハのロットの型格、ロッ
ト番号、数量情報の取得や、ホストパソコン２から工程
管理サーバ５への１枚目のウエハの処理開始日時、最終
ウエハの処理完了日時の送信など）を可能にしている。

【００２３】また、ＬＡＮ９は、ホストパソコン２と装
置オンラインサーバ７とのデータ連携（ホストパソコン
２による装置オンラインサーバ７からのレシピＩＤ及び
ウエハ処理時間の取得や、装置オンラインサーバ７によ
るホストパソコン２から送信される装置１の処理実績デ
ータの保存など）も可能にしている。

【００２４】図２は本発明の製造装置管理システムの一
実施形態を使用したウエハの処理フローを示す図（本発
明の製造装置管理方法の一実施形態を示す図）であり、
装置１でウエハを処理する場合、まず、装置１に処理対
象ウエハのロットをセットする。

【００２５】次に、工程管理システムから発行される図
３に示すようなロットカード１０にバーコードで記載さ
れたロットＩＤ１１をバーコードリーダ４でホストパソ
コン２に読み込み、ホストパソコン２によって、工程管
理サーバ５から、これから処理するロットの型格、ロッ
ト番号、数量情報を自動取得する。これによって、誤レ
シピＩＤの取得という事態を避けることができる。

【００２６】次に、取得した型格情報をキーにして装置
オンラインサーバ７が有する図４に示すようなレシピＩ
Ｄ・ウエハ処理時間管理ファイルから、対応するレシピ
ＩＤをホストパソコン２によって取得し、図５に示すよ
うにホストパソコン２の画面に表示する。

【００２７】次に、ホストパソコン２において、型格及
び数量情報とレシピＩＤ・ウエハ処理時間管理ファイル
に保存されているウエハ処理時間からロット処理時間を
算出する。なお、装置１に予約分のロットをセットして
いる場合には、装置１にセットしている全ロットの処理
時間を算出する。

【００２８】ここで、ウエハ処理時間は、設計変更によ
りマスク等の変更が有り得るため、変動することが予想
される。そこで、ホストパソコン２によって、図６に示
すような装置オンラインサーバ７が備える処理実績デー
タファイルから、たとえば、最新の２０ロット分の処理
実績データを取得し、ホストパソコン２において、１ウ
エハ処理時間の平均計算を行い、精度を高めるようにす
る。

【００２９】なお、この処理実績データの取得及び平均
計算は、処理時間を要するため（約１分）、処理開始時
に行うと作業に支障が出る。そこで、たとえば、装置１
の稼動後、１日１回、定時間隔で実行し、図４に示すレ
シピＩＤ・ウエハ処理時間管理ファイルの内容を更新す
ることが好適である。

【００３０】次に、装置１と同機種の装置を複数使用し
ている場合には、装置１と他の装置との残処理時間を比
較し、残処理時間が最も少ない装置の順に順位付けを行
い、すなわち、装置の空く順番を算出し、図７に示すよ
うにホストパソコン２の画面に残枚数、残処理時間、空
き順を表示する。これによって、オペレータは、次のロ
ットをどの装置にセットするかを一目で確認することが
でき、オペレータの段取り作業軽減を図ることができ
る。なお、空き順の算出は、図８に示すような装置処理
状態管理ファイルを装置オンラインサーバ７に備えるこ
とによりホストパソコン２において行うことができる。

【００３１】次に、ホストパソコン２によって自動取得
したレシピＩＤを表２に示すプロセスプログラム送信機
能のコマンドに設定し、装置１に送信してロットの処理
開始指示を行い、装置１においてウエハの処理を行わせ
る。これによって、装置１へのレシピＩＤの設定ミスと
いう事態を避けることができる。

【００３２】ここで、１ウエハの処理が完了する毎に、
ホストパソコン２において、残枚数をもとに残処理時
間、空き順を再算出し、残枚数、残処理時間、空き順を
示すホストパソコン２の画面を更新する。これによっ
て、オペレータの段取り作業軽減を図ることができる。

【００３３】また、ホストパソコン２によって装置１の
現在の処理状況や装置１の状態変化などの処理実績デー
タを取得し、これをオペレータに通知すると共に、ＬＡ
Ｎ９を介して装置オンラインサーバ７に処理実績データ
を蓄積できるようにする。これによって、技術部門の各
担当者の端末において処理実績データの収集、活用が可
能となる。なお、図９は技術部門の担当者の端末の処理
実績データ収集画面の例を示す図である。

【００３４】また、ホストパソコン２は、装置１からロ
ット着手情報（１枚目のウエハの開始時刻）とロット完
了情報（最終ウエハの完了時刻）を取得し、これらを工
程管理サーバ５とのインタフェースファイルに書き込
み、工程管理サーバ５は、このファイルから必要な情報
を取り込み、ロットの進捗管理ファイルに書き込むこと
ができるようにする。これによって、通常は手入力して
いるロット進度情報の入力手番短縮を図ると共に、正確
な実工程作業手番が得られ、顧客に対する納期回答を支
援するものとなる。

【００３５】そして、装置１にセットしたロットの処理
が完了した場合には、装置１からマガジンを取り出し、
次のロットの処理に移行する。なお、図１０は本発明の
製造装置管理システムの一実施形態におけるマニュアル
モードからセミオートモードへの移行フローを示す図、
図１１は本発明の製造装置管理システムの一実施形態に
おける処理完了フローを示す図であり、表３は図１０、
図１１で使用している通信メッセージの内容を示してい
る。

【００３６】

【表３】

【００３７】以上のように、本発明の製造装置管理シス
テムの一実施形態によれば、ホストパソコン２を使用し
て装置オンラインサーバ７から、処理対象ウエハのロッ
トの型格のレシピＩＤを自動取得し、このレシピＩＤを
装置１に送信して処理開始指示を行うことができるの
で、誤レシピＩＤの取得や装置１に対するレシピＩＤの
設定ミスという事態を避けることができ、歩留まりの向
上を図ることができる。

【００３８】また、ＲＳ２３２Ｃインタフェース３を介
してホストパソコン２による装置１の処理実績データの
収集を行い、これを装置オンラインサーバ７に送信する
ことができるので、装置１の処理実績データの収集工数
を低減化することができ（例えば、従来では２０分を要
していたが、これを３分とすることができ）、作業効率
の向上を図ることができる。

【００３９】また、工程管理システムでのロット開始情
報及びロット完了情報の入力工数を削減することができ
（例えば、従来では３０秒を要していたが、これを３秒
とすることができ）、この点からも作業効率の向上を図
ることができる。

【００４０】また、従来では、空き時間の確認に都度確
認を必要としていたが、本発明の一実施形態によれば、
１回のみの確認で空き時間を確認することができ（例え
ば、従来では３分を要していたが、これを３０秒とする
ことができ）、この点からも作業効率の向上を図ること
ができる。

【００４１】なお、本発明の一実施形態においては、装
置１とホストパソコン２とをＲＳ２３２Ｃインタフェー
スで接続しているが、この代わりに、ＬＡＮで接続する
ようにしても良い。

【００４２】また、本発明の一実施形態においては、本
発明を半導体製造装置を管理するシステムに適用した場
合について説明したが、本発明は、レシピＩＤを必要と
する製造装置を管理する場合に一般に適用することがで
きるものである。

【００４３】ここで、本発明を整理すると、本発明に
は、以下の製造装置管理方法及び製造装置管理システム
が含まれる。

【００４４】（付記１）コンピュータを使用し、製造装
置の情報を保存、管理する第１のサーバに保存されてい
る製造処理対象物のレシピＩＤを自動取得し、該レシピ
ＩＤを前記製造装置に送信して処理開始指示を行う工程
を有することを特徴とする製造装置管理方法。

【００４５】（付記２）前記レシピＩＤの自動取得は、
前記製造処理対象物のロットカードに記載されたロット
ＩＤを自動読込み装置を使用して前記コンピュータに読
込む工程を通して行われることを特徴とする付記１記載
の製造装置管理方法。

【００４６】（付記３）前記コンピュータから前記製造
装置の処理実績データを前記第１のサーバに送信する工
程を有することを特徴とする付記１記載の製造装置管理
方法。

【００４７】（付記４）前記製造処理対象物の処理開始
前に、前記第１のサーバが保存する前記製造装置の処理
実績データに基づいて、前記コンピュータが前記製造処
理対象物の処理時間を算出して表示する工程を有するこ
とを特徴とする付記１記載の製造装置管理方法。

【００４８】（付記５）前記製造処理対象物の１個の処
理が完了する毎に、前記コンピュータが残処理時間を計
算して表示する工程を有することを特徴とする付記１記
載の製造装置管理方法。

【００４９】（付記６）同機種の製造装置が複数台稼動
している場合、前記コンピュータが残処理時間から空き
順位を算出してオペレータに通知する工程を有すること
を特徴とする付記１記載の製造装置管理方法。

【００５０】（付記７）前記製造処理対象物のロット着
手情報及びロット完了情報を前記コンピュータから第２
のサーバに送信する工程を有することを特徴とする付記
１記載の製造装置管理方法。

【００５１】（付記８）製造装置の情報を保存、管理す
る第１のサーバに保存されている製造処理対象物のレシ
ピＩＤを自動取得し、該レシピＩＤを前記製造装置に送
信して処理開始指示を行うことができるコンピュータを
有することを特徴とする製造装置管理システム。

【００５２】（付記９）前記コンピュータと通信可能と
され、前記製造処理対象物のロット着手情報及びロット
完了情報を前記コンピュータから受け取る第２のサーバ
を有することを特徴とする付記８記載の製造装置管理シ
ステム。

【００５３】

【発明の効果】以上のように、本発明の製造装置管理方
法によれば、コンピュータを使用し、製造装置の情報を
保存、管理するサーバに保存されている製造処理対象物
のレシピＩＤを自動取得し、このレシピＩＤを製造装置
に送信して処理開始指示を行う工程を有しているので、
レシピＩＤの取得ミスや製造装置へのレシピＩＤの設定
ミスという事態を避けることができ、歩留まりの向上を
図ることができる。

【００５４】また、本発明の製造装置管理システムによ
れば、製造装置の情報を保存、管理するサーバに保存さ
れている製造処理対象物のレシピＩＤを自動取得し、こ
のレシピＩＤを製造装置に送信して処理開始指示を行う
ことができるコンピュータを有しているので、レシピＩ
Ｄの取得ミスや製造装置へのレシピＩＤの設定ミスとい
う事態を避けることができ、歩留まりの向上を図ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造装置管理システムの一実施形態の
構成図である。

【図２】本発明の製造装置管理システムの一実施形態を
使用したウエハの処理フローを示す図（本発明の製造装
置管理方法の一実施形態を示す図）である。

【図３】工程管理システムから発行されるロットカード
を示す図である。

【図４】装置オンラインサーバが備えるレシピＩＤ・ウ
エハ処理時間管理ファイルを示す図である。

【図５】レシピＩＤを表示したホストパソコンの画面を
示す図である。

【図６】装置オンラインサーバが備える処理実績データ
ファイルを示す図である。

【図７】残枚数、残処理時間及び空き順を表示したホス
トパソコンの画面を示す図である。

【図８】装置オンラインサーバが備える装置処理状態管
理ファイルを示す図である。

【図９】処理実績データ収集画面の例を示す図である。

【図１０】本発明の製造装置管理システムの一実施形態
におけるマニュアルモードからセミオートモードへの移
行フローを示す図である。

【図１１】本発明の製造装置管理システムの一実施形態
における処理完了フローを示す図である。

【符号の説明】

１…半導体製造装置 ２…ホストパソコン ３…ＲＳ２３２Ｃインタフェース ４…バーコードリーダ ５…工程管理サーバ ６…工程管理データベース ７…装置オンラインサーバ ８…装置オンラインデータベース ９…ＬＡＮ １０…ロットカード １１…ロットＩＤを示すバーコード

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C100 AA29 BB03 BB15 BB33 CC03 CC08 DD03 DD05 DD22 DD23 EE06 5H215 AA06 BB09 CC09 CX09 GG02 GG05 JJ10 KK04 KK06

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】コンピュータを使用し、製造装置の情報を
   保存、管理する第１のサーバに保存されている製造処理
   対象物のレシピＩＤを自動取得し、該レシピＩＤを前記
   製造装置に送信して処理開始指示を行う工程を有するこ
   とを特徴とする製造装置管理方法。
2. 【請求項２】前記コンピュータから前記製造装置の処理
   実績データを前記第１のサーバに送信する工程を有する
   ことを特徴とする請求項１記載の製造装置管理方法。
3. 【請求項３】前記製造処理対象物のロット着手情報及び
   ロット完了情報を前記コンピュータから第２のサーバに
   送信する工程を有することを特徴とする請求項１記載の
   製造装置管理方法。
4. 【請求項４】前記製造処理対象物の１個の処理が完了す
   る毎に、前記コンピュータが残処理時間を計算して表示
   する工程を有することを特徴とする請求項１記載の製造
   装置管理方法。
5. 【請求項５】製造装置の情報を保存、管理するサーバに
   保存されている製造処理対象物のレシピＩＤを自動取得
   し、該レシピＩＤを前記製造装置に送信して処理開始指
   示を行うことができるコンピュータを有することを特徴
   とする製造装置管理システム。