JP2014165269A - 群管理システム及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】群管理システムのクライアント装置70は、ユーザからの入力を受け付ける入力受付部73と、接続されているサーバ装置を特定するとともに、該サーバ装置から送信されたプロセス情報を受信するプロセス情報受信部71と、クライアント装置70用の入力画面に関する情報を記憶し、当該情報にプロセス情報受信部71が受信したサーバ装置に関するプロセス情報を登録して、クライアント装置70用の入力画面を作成する入力画面作成部72と、作成されたクライアント装置70用の入力画面を表示する表示部75と、表示されたクライアント装置70用の入力画面に入力受付部73から処理内容が受け付けられて処理要求情報が作成されると、作成された処理要求情報をサーバ装置に送信する処理要求情報送信部74と、を備えている。
【選択図】図4
Description
被処理体に所定のプロセスを実行する1以上の製造装置と、当該1以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている1以上のクライアント装置とを有する群管理システムであって、
前記サーバ装置は、当該サーバ装置からの指示により前記製造装置が実行可能なプロセスに関するプロセス情報を前記クライアント装置に送信するプロセス情報送信部を備え、
前記クライアント装置は、
ユーザからの入力を受け付ける入力受付部と、
当該クライアント装置に接続されているサーバ装置を特定するとともに、前記接続されているサーバ装置から送信されたプロセス情報を受信するプロセス情報受信部と、
クライアント装置用の入力画面に関する情報を記憶し、当該情報に前記プロセス情報受信部が受信したサーバ装置に関するプロセス情報を登録して、クライアント装置用の入力画面を作成する入力画面作成部と、
前記入力画面作成部により作成されたクライアント装置用の入力画面を表示する表示部と、
前記表示部に表示されたクライアント装置用の入力画面に前記入力受付部から処理内容が受け付けられて処理要求情報が作成されると、前記作成された処理要求情報を前記サーバ装置に送信する処理要求情報送信部と、を備え、
前記サーバ装置は、
前記処理要求情報送信部から送信された処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部と、
前記処理要求情報受付部で受け付けた処理要求情報に応じて対応する製造装置に命令する命令情報を作成する命令実行部と、
前記命令実行部により作成された命令情報を前記対応する製造装置に送信する命令情報送信部と、をさらに備え、
前記対応する製造装置は、当該装置の各部を制御して、前記命令情報に従ったプロセスを実行する、
ことを特徴とする。
前記入力画面作成部は、例えば、前記サーバ装置毎に区分けられたクライアント装置用の入力画面を作成する。
前記入力画面作成部は、例えば、前記表示部の一画面中に表示可能なクライアント装置用の入力画面を作成する。
被処理体に所定のプロセスを実行する1以上の製造装置と、当該1以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている1以上のクライアント装置とを有する群管理システムとして機能させるためのプログラムであって、
コンピュータに、
前記サーバ装置が、当該サーバ装置からの指示により前記製造装置が実行可能なプロセスに関するプロセス情報を前記クライアント装置に送信するプロセス情報送信ステップを実行させ、
前記クライアント装置が、
ユーザからの入力を受け付ける入力受付ステップと、
当該クライアント装置に接続されているサーバ装置を特定するとともに、前記接続されているサーバ装置から送信されたプロセス情報を受信するプロセス情報受信ステップと、
クライアント装置用の入力画面に関する情報を記憶し、当該情報に前記プロセス情報受信ステップで受信したサーバ装置に関するプロセス情報を登録して、クライアント装置用の入力画面を作成する入力画面作成ステップと、
前記入力画面作成ステップで作成されたクライアント装置用の入力画面を表示する表示ステップと、
前記表示ステップで表示されたクライアント装置用の入力画面に前記入力受付ステップから処理内容が受け付けられて処理要求情報が作成されると、前記作成された処理要求情報を前記サーバ装置に送信する処理要求情報送信ステップと、を実行させ、
前記サーバ装置が、
前記処理要求情報送信ステップで送信された処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付ステップと、
前記処理要求情報受付ステップで受け付けた処理要求情報に応じて対応する製造装置に命令する命令情報を作成する命令実行ステップと、
前記命令実行ステップで作成された命令情報を前記対応する製造装置に送信する命令情報送信ステップと、をさらに実行させ、
前記対応する製造装置が、当該装置の各部を制御して、前記命令情報に従ったプロセスを実行するステップをさらに実行させることを特徴とする。
なお、本実施の形態では、サーバ装置60に半導体プロセスに関するプロセス関連情報(レシピ等)が記憶されているが、製造装置30内にレシピ等を記憶し、そのレシピを用いてプロセス制御等を実行してもよい。
まず、ユーザは、クライアント装置70を起動し、例えば、入力受付部73を操作して表示部75のデスクトップに表示されたアイコンを選択することにより、表示部75にクライアント装置70用の入力画面を表示させる。次に、ユーザは、入力受付部73を操作してクライアント装置70用の入力画面を希望する処理内容を入力することにより、処理要求情報を作成する。そして、作成された処理要求情報を通信ネットワーク80を介して対応するサーバ装置60に送信する。
30 製造装置
31 処理室
32 隔壁
33 ロードポート
34 フープ搬送機
35 トランスファーステージ
36 保管部
37 搬送口
38 シャッター
41 移載機構
42 ウエハボート
45 ボート載置台
46 熱処理炉
47 処理容器
48 加熱ヒータ
49 昇降機構
50 キャップ
51 ボート移載機構
51a アーム
60 サーバ装置
61 製造装置情報記憶部
62 プロセス関連情報記憶部
63 処理要求情報受付部
64 命令実行部
65 プロセス情報送信部
66 命令情報送信部
70 クライアント装置
71 プロセス情報受信部
72 入力画面作成部
73 入力受付部
74 処理要求情報送信部
75 表示部
80 通信ネットワーク
D ドア
F フープ
S1 作業エリア
S2 ローディングエリア
W 半導体ウエハ
Claims (5)
- 被処理体に所定のプロセスを実行する1以上の製造装置と、当該1以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている1以上のクライアント装置とを有する群管理システムであって、
前記サーバ装置は、当該サーバ装置からの指示により前記製造装置が実行可能なプロセスに関するプロセス情報を前記クライアント装置に送信するプロセス情報送信部を備え、
前記クライアント装置は、
ユーザからの入力を受け付ける入力受付部と、
当該クライアント装置に接続されているサーバ装置を特定するとともに、前記接続されているサーバ装置から送信されたプロセス情報を受信するプロセス情報受信部と、
クライアント装置用の入力画面に関する情報を記憶し、当該情報に前記プロセス情報受信部が受信したサーバ装置に関するプロセス情報を登録して、クライアント装置用の入力画面を作成する入力画面作成部と、
前記入力画面作成部により作成されたクライアント装置用の入力画面を表示する表示部と、
前記表示部に表示されたクライアント装置用の入力画面に前記入力受付部から処理内容が受け付けられて処理要求情報が作成されると、前記作成された処理要求情報を前記サーバ装置に送信する処理要求情報送信部と、を備え、
前記サーバ装置は、
前記処理要求情報送信部から送信された処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部と、
前記処理要求情報受付部で受け付けた処理要求情報に応じて対応する製造装置に命令する命令情報を作成する命令実行部と、
前記命令実行部により作成された命令情報を前記対応する製造装置に送信する命令情報送信部と、をさらに備え、
前記対応する製造装置は、当該装置の各部を制御して、前記命令情報に従ったプロセスを実行する、
ことを特徴とする群管理システム。 - 前記入力画面作成部は、前記クライアント装置用の入力画面を起動するアイコンを前記表示部のデスクトップに配置する、ことを特徴とする請求項1に記載の群管理システム。
- 前記入力画面作成部は、前記サーバ装置毎に区分けられたクライアント装置用の入力画面を作成する、ことを特徴とする請求項1または2に記載の群管理システム。
- 前記入力画面作成部は、前記表示部の一画面中に表示可能なクライアント装置用の入力画面を作成する、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の群管理システム。
- 被処理体に所定のプロセスを実行する1以上の製造装置と、当該1以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている1以上のクライアント装置とを有する群管理システムとして機能させるためのプログラムであって、
コンピュータに、
前記サーバ装置が、当該サーバ装置からの指示により前記製造装置が実行可能なプロセスに関するプロセス情報を前記クライアント装置に送信するプロセス情報送信ステップを実行させ、
前記クライアント装置が、
ユーザからの入力を受け付ける入力受付ステップと、
当該クライアント装置に接続されているサーバ装置を特定するとともに、前記接続されているサーバ装置から送信されたプロセス情報を受信するプロセス情報受信ステップと、
クライアント装置用の入力画面に関する情報を記憶し、当該情報に前記プロセス情報受信ステップで受信したサーバ装置に関するプロセス情報を登録して、クライアント装置用の入力画面を作成する入力画面作成ステップと、
前記入力画面作成ステップで作成されたクライアント装置用の入力画面を表示する表示ステップと、
前記表示ステップで表示されたクライアント装置用の入力画面に前記入力受付ステップから処理内容が受け付けられて処理要求情報が作成されると、前記作成された処理要求情報を前記サーバ装置に送信する処理要求情報送信ステップと、を実行させ、
前記サーバ装置が、
前記処理要求情報送信ステップで送信された処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付ステップと、
前記処理要求情報受付ステップで受け付けた処理要求情報に応じて対応する製造装置に命令する命令情報を作成する命令実行ステップと、
前記命令実行ステップで作成された命令情報を前記対応する製造装置に送信する命令情報送信ステップと、をさらに実行させ、
前記対応する製造装置が、当該装置の各部を制御して、前記命令情報に従ったプロセスを実行するステップをさらに実行させるためのプログラム。
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