KR101050813B1 - 서버 장치 및 기록 매체 - Google Patents

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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

종래의 서버 장치에서는, 용이하며 또한 효과적으로 이상(異常) 분석을 할 수 없다고 하는 과제가 있었다. 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시(時) 계열의 정보이며, 제조 장치를 식별하는 장치 식별자와, 시각(時刻)을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장하고 있고, 이상을 나타내는 정보인 이상 정보와 1 개 이상(以上)의 측정 정보의 대응을 1 개 이상 저장하고 있고, 1 개 이상의 이상 정보를 출력하는 이상 정보 출력부와, 이상 정보 출력부가 출력한 1 개 이상의 이상 정보 중의 1 개 이상의 이상 정보에 대한 지시인 이상 정보 지시를 받은 경우에, 이상 정보 지시에 대응하는 1 개 이상의 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보로부터 1 개 이상의 차트를 구성하는 차트 구성부와, 차트 구성부가 구성한 1 개 이상의 차트를 출력하는 출력부를 구비하는 서버 장치에 의해, 용이하며 또한 효과적으로 이상 분석을 할 수 있다.

Description

서버 장치 및 기록 매체 {SERVER AND STORAGE MEDIUM}
본 발명은, 예를 들면, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치와, 해당 복수의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비하는 군(群) 관리 시스템, 서버 장치 등에 관한 것이다.
종래의 군 관리 시스템에서, 측정기로부터 전송되는 데이터를 자동적으로 또한 정확하게 가공할 수 있는 반도체 제조 장치의 군 관리 시스템에서의 측정 데이터 가공 방법을 실현한다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 본 측정 데이터 가공 방법에 있어서, 군 관리 시스템의 군 관리부의 측정기 통신부가, 측정기가 송신해오는 여러 종류의 측정 데이터를 수신한다. 본 측정 데이터 가공 방법은, 상기 측정 데이터를 가공하는 계산식을 사전에 등록해 두고, 상기 측정 데이터를 수신했을 때에, 상기 측정 데이터를 측정 데이터 수신 버퍼에 저장하고, 또한, 상기 측정 데이터가 갖는 레시피 명칭에 기초하여, 상기 등록된 계산식 중에서, 상기 측정 데이터를 가공하는 데에 적합한 적어도 하나의 동일한 레시피 명칭을 갖는 계산식을 선택하여 계산식 저장 버퍼에 저장하고, 저장된 상기 측정 데이터를 상기 선택된 계산식에 적용하여 계산하여, 계산 결과를 가공이 끝난 데이터 저장 버퍼에 기억시키는 것이다.
또한, 종래의 반도체 제조 장치의 군 관리 시스템에서는, 반도체 제조 장치에서 측정된 시 계열(時系列)의 정보(이하, 차트로 기재)를 표시하는 기능을 갖고 있었다. 이 차트에는, 군 관리 시스템이 관리하는 복수의 반도체 제조 장치의 정보가 표시되어 있다. 그리고, 종래의 군 관리 시스템에서는, 차트를 이용하여 이상 검지를 실시하고, 그 후, 이상 분류를 행하는 FDC(Fault Detection and Classification)이라고 하는 기능을 갖고 있었다.
특허 문헌 1 : 일본특허공개공보 평11-354395호(1 페이지, 도 1 등)
그러나, 종래의 반도체 제조 장치의 군 관리 시스템에서는, 이상을 검지한 후, 이상의 분석을 실시할 때에, 유저가 해당 이상 데이터를 기억해 두고, 별도의 차트를 출력시키는 어플리케이션을 기동하여 차트를 출력시켜, 유저 스스로가 이상 데이터를 차트 상에서 찾을 필요가 있었다.
또한, 어느 측정 정보에 이상이 있다고 인정된 경우, 그 밖의 측정 정보가 관련되어 있는 경우도 많지만, 이러한 관련은 유저의 경험 또는 직감에 의지하여, 그 밖의 측정 정보를 포함하는 차트를 찾을 필요가 있었다.
본 발명의 서버 장치는, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치와, 해당 복수의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비하고, 이상 검지 후에 이상 분석을 실시하는 기능을 갖는 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치로서, 각종 지시를 포함한 입력을 받아들이는 접수부와, 상기 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 상기 제조 장치를 식별하는 장치 식별자와, 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장할 수 있는 측정 정보 저장부와, 이상을 나타내는 정보인 이상 정보와 1 개 이상(以上)의 측정 정보의 대응을 1 개 이상 저장할 수 있는 이상(異常) 정보 저장부와, 상기 이상 정보 저장부가 저장하고 있는 1 개 이상의 이상 정보를 출력하는 이상 정보 출력부와, 상기 접수부가 상기 이상 정보 출력부가 출력한 1 개 이상의 이상 정보 중의 1 개 이상의 이상 정보에 대한 지시인 이상 정보 지시를 받은 경우에, 상기 이상 정보 지시에 대응하는 1 개 이상의 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보로부터 1 개 이상의 차트를 구성하는 차트 구성부와, 상기 차트 구성부가 구성한 1 개 이상의 차트를 출력하는 출력부를 구비하는 서버 장치이다.
도 1은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 개념도를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 실시예에서의 반도체 웨이퍼 제조 장치의 예를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 블록도이다.
도 4는 본 실시예에서의 제조 장치의 동작에 대하여 설명하는 순서도이다.
도 5는 본 실시예에서의 서버 장치의 동작에 대하여 설명하는 순서도이다.
도 6은 본 실시예에서의 서버 장치의 이상 검지 처리의 상세에 대하여 설명하는 순서도이다.
도 7은 본 실시예에서의 원 정보의 예를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 실시예에서의 원 정보 관리표를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 실시예에서의 측정 정보 관리표를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 실시예에서의 이상이 있는 측정치를 포함하는 측정 정보의 예를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 실시예에서의 이상 정보 관리표를 나타내는 도면이다.
도 12는 본 실시예에서의 이상 일람을 나타내는 도면이다.
도 13은 본 실시예에서의 그룹 차트 정보 관리표를 나타내는 도면이다.
도 14는 본 실시예에서의 클라이언트 장치에서의 차트의 출력예를 나타내는 도면이다.
도 15는 본 실시예에서의 클라이언트 장치에서의 차트의 출력예를 나타내는 도면이다.
도 16은 본 실시예에서의 클라이언트 장치에서의 차트의 출력예를 나타내는 도면이다.
도 17은 본 실시예에서의 클라이언트 장치에서의 차트의 출력예를 나타내는 도면이다.
도 18은 본 실시예에서의 클라이언트 장치에서의 차트의 출력예를 나타내는 도면이다.
이하, 서버 장치 등의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 실시예에서 동일한 부호를 붙인 구성 요소는 동일한 동작을 실시하므로, 재차의 설명을 생략하는 경우가 있다.
(실시예)
도 1은, 본 실시예의 군 관리 시스템의 개념도이다. 군 관리 시스템은, 예를 들면, 반도체 제조 장치, 액정 패널 제조 장치 등의 제조 장치를 제어하는 시스템이다. 또한, 군 관리 시스템은, 1 개 이상의 제조 장치(11)(제조 장치(11(1))부터 제조 장치(11(n)), 서버 장치(12) 및 클라이언트 장치(13)를 갖는다.
제조 장치(11)는 웨이퍼를 제조하는 장치이다. 제조 장치(11)는, 예를 들면, 성막 처리, 에칭 처리, 열 산화 처리 등의 피처리 기판에 대한 각종 처리를 실시한다. 제조 장치(11)는, 예를 들면, 복합 프로세스형의 반도체 웨이퍼 제조 장치이다. 본 반도체 웨이퍼 제조 장치의 예를 도 2에 도시한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 본 반도체 웨이퍼 제조 장치는, 반도체 웨이퍼에 대하여 각종 처리, 예를 들면, 성막 처리, 에칭 처리 또는 열 산화 처리 등을 실시하는 복수(예를 들면, 3 개)의 프로세스 챔버(1, 2, 3)와, 다수 매(예를 들면, 50 매)의 웨이퍼(W)를 수납할 수 있는 카세트(C1, C2)를 수용하는 카세트 챔버(4, 5)와, 프로세스 챔버(1, 2, 3)와 카세트 챔버(4, 5)의 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 실시하는 반송 챔버(6)를 구비하여 구성된다. 각 챔버 사이는, 게이트 밸브(G)를 거쳐 개폐 가능하게 연결되어 있다. 반송 챔버(6) 내에는, 굽히고 펴는 동작 및 회전 동작이 가능한, 예를 들면, 다관절(多關節)식의 반송 암(7)이 설치되어 있고, 이 반송 암(7)에 의하여 챔버 사이에서의 웨이퍼(W)의 반송이 실시된다. 카세트(C1, C2)는, 카세트 챔버(4, 5) 내로 수용될 때에 90 도 반전되고, 또한, 그 카세트(C1, C2)의 웨이퍼 삽탈구(揷脫口)가 반송 챔버(6) 내의 중심을 향하도록 회전되어, 반송 암(7)에 의한 웨이 퍼(W)의 출입이 가능한 자세로 설치된다.
또한, 제조 장치(11)는, 예를 들면, 웨이퍼에 대한 소정의 프로세스에 관한 정보인 레시피(통상적으로, 프로세스 조건 값의 집합)를 저장하고 있고, 해당 레시피를 이용하여 제어한다.
또한, 서버 장치(12)는, 이른바 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치이며, 복수의 제조 장치(11)에서의 각종 측정 정보를 저장하고 있고, 해당 측정 정보에 대하여 이상을 검지하는 기능을 가지며, 또한, 후술하는 이상을 분석하는 기능을 갖는다.
또한, 클라이언트 장치(13)는, 서버 장치(12)에 대하여 각종 요구를 내고 서버 장치(12)에서의 처리 결과를 받아들인다.
도 3은, 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 블록도이다. 군 관리 시스템은, 1 개 이상의 제조 장치(11), 서버 장치(12), 클라이언트 장치(13)를 구비한다.
제조 장치(11)는, 입력 접수부(1101), 레시피 저장부(1102), 제조 장치 식별자 저장부(1103), 제품 웨이퍼 매수(枚數) 저장부(1104), 처리부(1105), 측정부(1106), 원(元) 정보 축적부(1107), 원 정보 송신부(1108)를 구비한다.
서버 장치(12)는, 접수부(1201), 측정 정보 저장부(1202), 이상 정보 저장부(1203), 그룹 차트 정보 저장부(1204), 원 정보 수신부(1205), 측정 정보 취득부(1206), 이상 검지부(1207), 측정 정보 축적부(1208), 이상 정보 출력부(1209), 차트 구성부(1210), 관련 차트 식별 정보 취득부(1211), 관련 차트 구성부(1212), 출력부(1213)를 구비한다.
클라이언트 장치(13)는, 지시 입력부(1301), 지시 송부(送付)부(1302), 출력 정보 접수부(1303), 단말기 출력부(1304)를 구비한다.
입력 접수부(1101)는, 제조 장치(11)의 유저로부터 각종 입력을 받아들인다. 각종 입력이란, 예를 들면, 레시피 또는 레시피를 식별하는 레시피 식별자, 또는 제조 장치를 식별하는 제조 장치 식별자, 또는 제품 웨이퍼 매수, 또는 더미의 웨이퍼 매수를 포함하는 총 웨이퍼 매수, 또는 웨이퍼 제조 지시(처리의 실행 지시) 등이다. 제품 웨이퍼 매수란, 더미의 웨이퍼 매수를 포함하지 않는 웨이퍼의 매수이며, 제품으로서 제조하는 웨이퍼의 매수이다. 또한, 제조 장치(11)에 수납할 수 있는 웨이퍼의 매수는, 예를 들면, 50 매 또는 30 매 등이며, 그 중, 더미의 웨이퍼가 10 매 또는 5 매 등이다. 또한, 수납할 수 있는 웨이퍼 중, 더미의 웨이퍼의 수, 제조하는 웨이퍼의 수는 몇 개라도 상관없다. 유저로부터 각종 입력된 입력 수단은, 텐 키(ten key) 또는 키보드, 또는 마우스, 또는 메뉴 화면에 의한 것 등, 무엇이든 상관없다. 입력 접수부(1101)는, 텐 키 또는 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버, 또는 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.
레시피 저장부(1102)는, 제조 장치(11)를 제어하기 위해 사용되는 레시피를 저장하고 있다. 레시피란, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스에 관한 정보이며, 통상적으로, 프로세스 파라미터의 정보의 집합을 포함한다. 프로세스 파라미터의 정보는, 예를 들면, 카테고리명, 아이템명, 파라미터명, 값을 포함한다. 카테고리명이란, 프로세스 파라미터의 종류를 나타내는 명칭이며, 예를 들면, 「온도」 「가스 유량」 「보트 엘리베이터의 스피드」등이다. 아이템명은, 프로세스 파라미터 의 속성을 나타내는 명칭이며, 예를 들면, 「상하 속도」 「회전 속도」 등이다. 파라미터명은, 프로세스 파라미터의 명칭이며, 예를 들면, 「C」 「A」 등이다. 값은, 프로세스 파라미터라고 하는 변수에 부여하는 값이다. 통상적으로, 레시피는, 레시피를 식별하는 레시피 식별자(예를 들면, 레시피명)와 쌍을 이루어 저장되어 있다. 레시피 저장부(1102)는 불휘발성의 기록 매체가 바람직하지만, 휘발성의 기록 매체로도 실현이 가능하다.
제조 장치 식별자 저장부(1103)는, 제조 장치(11)를 식별하는 제조 장치 식별자를 저장하고 있다. 이 제조 장치 식별자는, 입력 접수부(1101)가 받아들인 정보여도 좋고, 제조 장치 출하 시에 사전에 저장한 정보여도 좋다. 제조 장치 식별자 저장부(1103)는, 하드 디스크 또는 ROM 등의 불휘발성의 기록 매체여도 좋고, RAM 등의 휘발성의 기록 매체여도 좋다.
제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)는, 제품 웨이퍼 매수를 나타내는 정보를 저장하고 있다. 여기서, 제품 웨이퍼 매수를 나타내는 정보란, 통상적으로, 수치(예를 들면, 40)이지만, 수치에 대응하는 기호 등이여도 좋다. 즉, 제품 웨이퍼 매수를 나타내는 정보와 제품 웨이퍼 매수란 같은 의미이다. 제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)의 제품 웨이퍼 매수는, 예를 들면, 입력 접수부(1101)가 받아들인 수치이다. 또한, 제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)의 제품 웨이퍼 매수는, 예를 들면, 도시하지 않은 수단에 의하여 자동적으로 취득한 정보여도 좋다. 제품 웨이퍼 매수를 취득하는 도시하지 않은 수단이란, 예를 들면, 제품 웨이퍼와 더미 웨이퍼의 표면의 색의 차이를 화상 처리에 의해 검지하여, 제품 웨이퍼의 매수를 산출하는 수단 이다. 통상적으로, 제품 웨이퍼와 더미 웨이퍼의 표면의 색은 다르다. 또한, 제품 웨이퍼 매수를 취득하는 도시하지 않은 수단이란, 예를 들면, 제품 웨이퍼에 기재된 ID를 화상 처리에 의하여 판독하고, 제품 웨이퍼의 매수를 산출하는 수단이다. 그 밖에, 자동적으로 제품 웨이퍼 매수를 취득하는 수단은 무엇이든 상관없다. 제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)는, 하드 디스크 또는 ROM 등의 불휘발성의 기록 매체여도 좋고, RAM 등의 휘발성의 기록 매체여도 좋다.
처리부(1105)는, 레시피 저장부(1102)의 레시피를 판독하여, 해당 레시피에 따라 웨이퍼에 대한 소정의 프로세스를 실시한다. 처리부(1105)는, 통상적으로, MPU와 메모리 등으로 실현될 수 있다. 처리부(1105)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
측정부(1106)는, 제조 장치(11) 내의 온도 또는 가스 유량, 압력 등을 측정하여, 차트화되는 측정 정보의 바탕이 되는 정보인 원 정보를 취득한다. 원 정보는, 측정한 온도 등의 정보이다. 원 정보는, 통상적으로, 측정한 시각(時刻)을 나타내는 시각 정보를 갖는다. 원 정보가, 측정부(1106)가 온도 등의 값을 측정한 때에 처리하고 있던 레시피를 식별하는 레시피 식별자와, 측정한 값과, 측정한 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 것은 보다 바람직하다. 측정부(1106)는, 복수의 개소의 복수의 온도, 또는 온도와 가스 유량 등의 복수의 값을 측정해도 당연히 좋다. 즉, 원 정보는, 두 종류 이상의 측정된 값을 가져도 좋다. 측정부(1106)는 1 개 이상의 온도 센서 또는 1 개 이상의 유량 센서 등의 센서 등으로 실현될 수 있 다.
원 정보 축적부(1107)는, 측정부(1106)가 취득한 원 정보를, 도시하지 않은 기록 매체에 축적한다, 원 정보 축적부(1107)는, 통상적으로, MPU와 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 원 정보 축적부(1107)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다. 또한, 상기의 도시하지 않은 기록 매체는, 불휘발성의 기록 매체가 바람직하지만, 휘발성의 기록 매체로도 실현이 가능하다.
원 정보 송신부(1108)는, 원 정보 축적부(1107)가 축적한 원 정보를 서버 장치(12)로 송신한다. 원 정보의 송신의 트리거는 무엇이든 상관없다. 또한, 원 정보 송신부(1108)가 송신하는 원 정보는, 측정된 1 종 이상(예를 들면, 온도와 가스 유량)의 값, 시각 정보 등을 갖는다. 또한, 원 정보 송신부(1108)가 송신하는 원 정보는, 제조 장치(11)를 식별하는 제조 장치 식별자, 또는 레시피를 식별하는 레시피 식별자를 갖는 것이 보다 바람직하다. 또한, 원 정보 송신부(1108)가 송신하는 원 정보는, 제품 웨이퍼 매수, 또는 총 웨이퍼 매수 등을 가져도 좋다. 즉, 원 정보 축적부(1107)가 축적한 원 정보와, 원 정보 송신부(1108)가 송신하는 원 정보는, 그 구조 또는 구성이 달라도 좋다. 또한, 원 정보는, 복수의 측정된 값에 대하여, 하나의 제조 장치 식별자 또는/및 하나의 레시피 식별자를 갖는 구성이여도 좋다. 원 정보 송신부(1108)는, 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다. 또한, 원 정보 송신부(1108)는, 원 정보를 서버 장치(12)로 송신하기 전에, 제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)로부터 웨이퍼 매수를 판독하여 원 정보에 부가해도 좋 다. 또한, 원 정보 송신부(1108)는, 원 정보를 서버 장치(12)로 송신하기 전에, 레시피 저장부(1102) 또는 제조 장치 식별자 저장부(1103)로부터, 각각 레시피 식별자 또는 제조 장치 식별자를 판독하여 원 정보에 부가해도 좋다. 또한, 송신하는 원 정보를 구성하는 처리는, 원 정보 송신부(1108)가 아닌, 원 정보 축적부(1107)가 실시해도 좋다. 측정된 1 종 이상(예를 들면, 온도와 가스 유량)의 값과 시각 정보의 조(組)의 정보 및 제품 웨이퍼 매수 또는 제조 장치 식별자 또는 레시피 식별자를 송신하는 타이밍 등은 언제라도 상관없다.
접수부(1201)는, 각종 지시를 포함한 입력을 받아들인다. 각종 지시란, 1개 이상의 이상 정보(통상적으로, 이상(異常)의 일람표임)를 출력하는 이상 일람(一覽) 출력 지시 또는 1 개 이상의 이상 정보 중 1 개 이상의 이상 정보에 대한 지시인 이상 정보 지시(이상 정보에 대응하는 차트를 출력하는 지시), 또는 1 개 이상의 차트가 출력된 후, 해당 출력된 1 개 이상의 차트에 관련된 관련 차트를 출력하는 지시인 관련 차트 출력 지시, 또는 서버 장치(12)의 기동(起動) 지시 등이다. 또한, 이상 정보 지시 또는 관련 차트 출력 지시 등의 차트를 출력하는 지시는, 차트의 종류(SPC 차트, 상관(相關) 차트, 또는 MD 차트 등)의 정보를 포함해도 좋다. 또한, 출력 지시는, 차트 출력하는 대상의 데이터의 타입(온도, 가스 유량, 압력 등의 측정 정보)을 포함해도 좋다. 또한, 출력 지시는, 차트를 구성하는 점 또는/및 선의 속성 정보를 포함해도 좋다. 속성 정보란, 점의 색, 점의 종류(형상), 선의 색, 선의 종류 등이다. 또한, 이러한 지시를 포함한 입력은, 통상적으로, 클라이언트 장치(13)로부터 수신하지만, 서버 장치(12)에 접속되어 있는 키보드 또는 마우스 등으로부터 받아들여도 좋다. 접수부(1201)는, 예를 들면, 무선 또는 유선의 수신 수단으로 이루어진다. 지시 등의 입력 수단은, 텐 키 또는 키보드, 마우스 또는 메뉴 화면에 의한 것 등, 무엇이든 상관없다. 접수부(1201)는, 텐 키 또는 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버 또는 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현되어도 좋다.
측정 정보 저장부(1202)는, 복수의 제조 장치(11)에서 측정된 1 종 이상의 정보(예를 들면, 온도 또는 압력)에 대한 시 계열의 정보이며, 제조 장치(11)를 식별하는 장치 식별자와 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장할 수 있다. 측정 정보는, 레시피 식별자 또는 속성 정보(제품 웨이퍼 매수 또는 총 웨이퍼 매수 등)를 갖는 것이 바람직하다. 측정 정보는, 원 정보 수신부(1205)가 수신한 복수의 원 정보에 대하여, 측정 정보 취득부(1206)가 소정의 연산을 실시하여 취득된 정보여도 좋고, 원 정보와 동일한 정보여도 좋다. 측정 정보 저장부(1202)의 측정 정보는, 이상 검지 후의 이상 분석을 위해 사용되는 측정 정보이다. 측정 정보 저장부(1202)는, 불휘발성의 기록 매체가 바람직하지만, 휘발성의 기록 매체로도 실현이 가능하다. 또한, 측정 정보 저장부(1202)의 측정 정보는, 측정 정보 축적부(1208)가 축적한 정보여도 좋고, 제조 장치(11)로부터 직접 수신한 정보여도 좋으며, 도시하지 않은 기록 매체로부터 판독한 정보여도 좋다.
이상 정보 저장부(1203)는, 이상을 나타내는 정보인 이상 정보와, 1 개 이상의 측정 정보의 대응을 1 개 이상 저장할 수 있다. 이상 정보는, 예를 들면, 측정한 일시(日時)를 나타내는 일시 정보, 제조 장치 식별자, 레시피 식별자, 이상이 있는 측정 정보가 갖는 측정치를 포함한다. 또한, 이상 정보는, 예를 들면, 측정한 일시를 나타내는 일시 정보, 제조 장치 식별자, 차트 식별 정보, 차트 타입, 이상이 발생한 단계를 식별하는 단계 식별자, 알람의 유무 등의 정보를 갖는다. 그 밖에, 이상 정보는, 이상을 나타내는 정보, 이상에 관련된 정보 중, 어떠한 정보를 포함해도 좋다. 또한, 차트 식별 정보란, 이상이 있는 측정 정보가 갖는 측정치를 포함하는 복수의 측정 정보로 구성되는 차트를 식별하는 정보이다. 차트 타입이란, 차트의 종류(SPC 차트, 상관 차트, MD 차트 등)를 나타내는 정보이다. 이상 정보 저장부(1203)는 불휘발성의 기록 매체가 바람직하지만, 휘발성의 기록 매체로도 실현이 가능하다.
그룹 차트 정보 저장부(1204)는, 차트를 식별하는 정보인 차트 식별 정보를 2 개 이상 갖는 그룹 차트 정보를 1 개 이상 저장할 수 있다. 차트 식별 정보는, 예를 들면, 차트명(폴더명을 포함하는 차트의 파일명 등)이다. 차트 식별 정보는, 예를 들면, 차트명과 차트 타입이다. 그룹 차트 정보는, 이상 분석에 기여하는 복수의 차트 식별 정보를 갖는다. 이 복수의 차트 식별 정보는, 서로 관련된 차트의 식별 정보이다. 그룹 차트 정보는, 예를 들면, 제조 장치(11)의 로(爐) 내의 상부 온도의 차트를 식별하는 정보인 차트 식별 정보, 동일한 로 내의 중앙부 온도의 차트를 식별하는 차트 식별 정보, 동일한 로 내의 하부 온도의 차트를 식별하는 차트 식별 정보를 갖는다. 그룹 차트 정보는, 예를 들면, 제조 장치(11)의 로 내 온도의 차트를 식별하는 차트 식별 정보, 동일한 로 내의 가스 유량의 차트를 식별하는 차트 식별 정보를 갖는다. 그룹 차트 정보가 갖는 복수의 차트 식별 정보에 대응하는 차트는 모두 SPC 차트인 것이 바람직하다. 단, 그룹 차트 정보가 갖는 복수의 차트 식별 정보에 대응하는 차트는, SPC 차트와 상관 차트, SPC 차트와 MD 차트여도 좋다. 또한, 그룹 차트 정보가 갖는 복수의 차트 식별 정보에 대응하는 차트는, 상관 차트와 MD 차트, 모두 상관 차트, 모두 MD 차트 등이여도 좋다. 즉, 그룹 차트 정보가 갖는 복수의 차트 식별 정보에 대응하는 차트의 종류는 무엇이든 상관없다. 그룹 차트 정보가 갖는 복수의 차트 식별 정보에 대응하는 차트는, 이상을 분석하기 위해 기여하는 차트의 조합이면 좋다. 그룹 차트 정보 저장부(1204)는 불휘발성의 기록 매체가 바람직하지만, 휘발성의 기록 매체로도 실현이 가능하다.
원 정보 수신부(1205)는, 복수의 측정 정보의 바탕이 되는 정보인 원 정보를 복수의 제조 장치(11)로부터 수신한다. 원 정보 수신부(1205)는 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다.
측정 정보 취득부(1206)는, 원 정보 수신부(1205)가 수신한 복수의 원 정보 에 대하여 소정의 연산을 실시하여 복수의 측정 정보를 취득한다. 소정의 연산이란, 예를 들면, 소정의 시간 간격마다 복수의 원 정보가 갖는 복수의 값의 평균치를 산출하거나, 최대치를 취득하거나, 최소치를 취득하거나, 표준 편차를 산출하거나, 또는 중앙치를 취득하는 연산이다. 또한, 소정의 연산이란, 예를 들면, 레시피 내의 소정의 단계마다 복수의 원 정보가 갖는 복수의 값의 평균치를 산출하거나, 최대치를 취득하거나, 최소치를 취득하거나, 표준 편차를 산출하거나, 또는 중앙치를 취득하는 연산이여도 좋다. 측정 정보 취득부(1206)는, 예를 들면, 사전에 보유하고 있는 연산식을 판독하고, 해당 연산식에 복수의 원 정보를 대입하여 연산을 실시하여, 복수의 측정 정보를 취득한다. 측정 정보 취득부(1206)는, 통상적으로, MPU와 메모리 등으로 실현될 수 있다. 측정 정보 취득부(1206)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
이상 검지부(1207)는, 측정 정보 취득부(1206)가 취득한 측정 정보에 대하여 이상을 검지한다. 이상 검지부(1207)는, 측정 정보가 갖는 측정치(온도, 가스 유량, 압력 등)의 이상 또는 정상 범위를 나타내는 임계치(통상적으로, 정상의 상한치, 하한치)를 저장하고 있고, 해당 임계치와 측정 정보가 갖는 측정치를 비교하여, 측정치마다 이상/정상을 판단한다. 이상 검지부(1207)가 이상을 검지하는 단위가 되는 측정 정보는, 동일한 제조 장치 식별자, 동일한 레시피 식별자를 갖는 측정 정보이며, 일련의 시각 정보가 나타내는 시각이 연속된 복수의 측정 정보이며, 일련의 프로세스에서 측정된 측정치를 갖는 복수의 측정 정보이다. 이상 검지부(1207)는, 통상적으로, MPU와 메모리 등으로 실현될 수 있다. 이상 검지부(1207)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
측정 정보 축적부(1208)는, 이상 검지부(1207)가 이상을 검지한 측정 정보를 갖는 일련의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1202)에 축적한다. 측정 정보 축적부(1208)는, 측정 정보 취득부(1206)가 취득한 모든 측정 정보를 측정 정보 저장부(1202)에 축적해도 좋다. 측정 정보 축적부(1208)는, 통상적으로, MPU와 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 측정 정보 축적부(1208)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
이상 정보 출력부(1209)는, 이상 정보 저장부(1203)가 저장하고 있는 1 개이상의 이상 정보를 출력한다. 이상 정보 출력부(1209)는, 통상적으로, 1 개 이상의 이상 정보를 이상 일람으로서 출력한다. 이상 정보 출력부(1209)는, 1 개 이상의 이상 정보를 표 형식 또는 메뉴 형식 등으로 출력한다. 단, 출력의 태양은 무엇이든 상관없다. 여기서, 출력이란, 디스플레이로의 표시, 프린터로의 인쇄, 외부 장치로의 송신, 기록 매체로의 축적 등을 포함하는 개념이다. 이상 정보 출력부(1209)는, 디스플레이 또는 스피커 등의 출력 디바이스를 포함한다고 생각해도 좋고, 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 이상 정보 출력부(1209)는, 출력 디바이스의 드라이버 소프트 또는 출력 디바이스의 드라이버 소프트와 출력 디바이스 등으로 실현될 수 있다.
차트 구성부(1210)는, 이상 정보 지시에 대응하는 1 개 이상의 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보로부터 1 개 이상의 차트를 구성한다. 이상 정보 지시는 접수부(1201)가 받아들이는 지시이며, 이상 정보 출력부(1209)가 출력한 1 개 이상의 이상 정보(통상적으로, 이상 일람이라고 한다) 중의 1 개 이상의 이상 정보(1 개 이상의 이상 항목)에 대한 지시이다. 또한, 이상 정보 지시는, 통상적으로, 이상 일람 중의 1 개의 이상 항목에 대한 지시이다. 차트 구성부(1210)는, 바람직하게는, 접수부(1201)가 이상 정보 지시를 받아들인 경우, 이상 정보 지시에 대한 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보를, 그 밖의 측정 정보와 시 각적(視覺的)으로 다른 태양을 갖는 차트를 구성한다. 예를 들면, 차트 구성부(1210)는, 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보가 갖는 측정치의 차트 상의 도트의 색을, 그 밖의 측정 정보가 갖는 측정치의 도트의 색과 다른 색으로 한다. 예를 들면, 이상이 있는 측정치의 도트를 빨강, 정상 측정치의 도트를 검정으로 하여 차트를 구성한다. 또한, 이상이 있는 측정치의 도트의 형상을 삼각, 정상 측정치의 도트 형상을 동그라미로 해도 좋다. 그 밖에, 차트 구성부(1210)는, 이상이 있는 측정치의 도트와 정상 측정치의 도트를 시각적으로 다른 태양으로 하여 차트를 구성하면 좋다. 1 개 이상의 측정치가 주어진 경우, SPC 차트, 상관 차트, MD 차트를 구성하는 기술은 공지(公知) 기술이므로, 차트를 구성하는 방법에 대한 상세한 설명은 생략한다. 차트 구성부(1210)는, 통상적으로, MPU와 메모리 등으로 실현될 수 있다. 차트 구성부(1210)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는, 1 개 이상의 차트가 출력된 후, 접수부(1201)가 관련 차트 출력 지시를 받아들인 경우에, 해당 출력된 1 개 이상의 차트를 식별하는 1 개 이상의 차트 식별 정보 중의 모든 차트 식별 정보, 또는, 어느 하나의 차트 식별 정보를 갖는 그룹 차트 정보 중의, 해당 출력된 1 개 이상의 차트를 식별하는 1 개 이상의 차트 식별 정보를 제외한 1 개 이상의 차트 식별 정보를 취득한다. 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는, 출력되어 있는 차트와 관련된 차트의 차트 식별 정보를 취득한다. 출력되어 있는 차트는 이상이 있는 측정치를 포함하는 차트며, 관련된 차트는 이상 분석에 도움을 주는 차트다. 관련 차트 출력 지시란, 출력된 1 개 이상의 차트에 관련된 관련 차트를 출력하는 지시이다. 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는, 통상적으로, MPU와 메모리 등으로 실현될 수 있다. 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
관련 차트 구성부(1212)는, 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)가 취득한 1개 이상의 차트 식별 정보를 이용하여, 차트 식별 정보마다 측정 정보 저장부(1202)로부터 1 개 이상의 측정 정보를 취득하여, 1 개 이상의 차트를 구성한다. 관련 차트 구성부(1212)가 구성하는 차트는 SPC 차트가 바람직하지만, 상관 차트, MD 차트 등의 차트여도 좋다. 통상적으로, 관련 차트 구성부(1212)가 차트를 구성하는 알고리즘은, 차트 구성부(1210)가 차트를 구성하는 알고리즘과 동일하다. 관련 차트 구성부(1212)는, 통상적으로, MPU와 메모리 등으로 실현될 수 있다. 관련 차트 구성부(1212)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
출력부(1213)는 차트 구성부(1210)가 구성한 1 개 이상의 차트를 출력한다. 또한, 출력부(1213)는 관련 차트 구성부(1212)가 구성한 1 개 이상의 차트를 출력한다. 출력부(1213)는 관련 차트 구성부(1212)가 구성한 1 개 이상의 차트를 출력할 때에, 이미 차트 구성부(1210)가 차트를 구성하고, 출력부(1213)가 출력하고 있는 경우에, 해당 출력되어 있는 차트와 함께 관련 차트 구성부(1212)가 구성한 1 개 이상의 차트를 출력하는 것이 바람직하다. 여기서, 출력이란, 디스플레이로의 표시, 프린터로의 인쇄, 외부 장치로의 송신, 기록 매체로의 축적 등을 포함하는 개념이다. 출력부(1213)는 디스플레이 등의 출력 디바이스를 포함한다고 생각해도 좋고, 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 출력부(1213)는 출력 디바이스의 드라이버 소프트 또는 출력 디바이스의 드라이버 소프트와 출력 디바이스 등으로 실현될 수 있다.
지시 입력부(1301)는 각종 지시를 입력한다. 각종 지시란, 예를 들면, 기동(起動) 지시, 이상 일람 출력 지시, 이상 정보 지시, 또는 관련 차트 출력 지시 등이다. 지시의 입력 수단은 텐 키 또는 키보드, 마우스 또는 메뉴 화면에 의한 것 등, 뭐든지 좋다. 지시 입력부(1301)는, 텐 키 또는 키보드 등의 입력 수단과, 그 디바이스 드라이버, 또는 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.
지시 송부부(1302)는 지시 입력부(1301)로부터 입력된 지시를 서버 장치 (12)로 송부한다. 여기서의 송부란, 통상적으로, 통신 수단을 이용한 송신이다. 지시 송부부(1302)는 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다.
출력 정보 접수부(1303)는, 서버 장치(12)로부터 정보를 받아들인다. 받아들이는 정보는 서버 장치(12)에서의 처리 결과이며, 예를 들면, 이상 일람 또는 차트 등이다. 여기서의 접수란, 통상적으로, 통신 수단을 이용한 수신이다. 출력 정보 접수부(1303)는 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다.
단말기 출력부(1304)는, 출력 정보 접수부(1303)가 접수한 이상 일람 또는 차트 등을 디스플레이에 표시한다. 단말기 출력부(1304)는 디스플레이를 포함한다 고 생각해도 좋고, 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 단말기 출력부(1304)는, 디스플레이의 드라이버 소프트, 또는, 디스플레이의 드라이버 소프트와 디스플레이 등으로 실현될 수 있다.
이어서, 군 관리 시스템의 동작에 대하여 설명한다. 우선, 제조 장치(11)의 동작에 대하여 도 4의 순서도를 이용하여 설명한다.
(단계 S401) 처리부(1105)는 레시피 저장부(1102)의 레시피를 판독한다.
(단계 S402) 처리부(1105)는 카운터(i)에 1을 대입한다.
(단계 S403) 처리부(1105)는 단계 S401에서 판독한 레시피 중에서, i 번째의 처리 단계가 존재하는지의 여부를 판단한다. i 번째의 처리 단계가 존재하면 단계 S404로 가고, i 번째의 처리 단계가 존재하지 않으면 단계 S409로 간다.
(단계 S404) 처리부(1105)는 i 번째의 단계의 처리를 실행한다.
(단계 S405) 측정부(1106)는 사전에 결정된 한 종류 이상의 측정(예를 들면, 온도와 압력)을 실시하고, 원 정보(여기서의 원 정보는, 통상적으로, 한 종류 이상의 값만을 가짐)를 취득한다.
(단계 S406) 측정부(1106)는 도시하지 않은 시계로부터 시각 정보를 취득하고, 측정한 정보에 시각 정보를 부여하여 원 정보를 구성한다.
(단계 S407) 원 정보 축적부(1107)는 단계 S406에서 구성한 원 정보를 도시하지 않은 메모리에 일시(一時) 축적한다.
(단계 S408) 원 정보 송신부(1108)는 단계 S407에서 일시(一時) 축적한 원 정보(여기서는, 한 종류 이상의 값과 시각 정보의 조(組))를 서버 장치(12)로 송신 한다. 또한, 원 정보 송신부(1108)는 서버 장치(12)와 통신하기 위한 정보(예를 들면, 서버 장치(12)의 IP 어드레스 등)를 유지하고 있다.
(단계 S409) 처리부(1105)는 카운터(i)를 하나 인크리먼트하여 단계 S403로 되돌아간다.
(단계 S410) 원 정보 송신부(1108)는 제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)로부터 제품 웨이퍼 매수를 판독한다. 또한, 원 정보 송신부(1108)는 그 밖의 속성 정보를 취득해도 좋다.
(단계 S411) 원 정보 송신부(1108)는 레시피 저장부(1102)로부터 레시피 식별자를 판독한다. 이 레시피 식별자는 단계 S401에서 판독한 레시피의 레시피 식별자이다.
(단계 S412) 원 정보 송신부(1108)는 제조 장치 식별자 저장부(1103)로부터 제조 장치 식별자를 판독한다.
(단계 S413) 원 정보 송신부(1108)는 단계 S410부터 단계 S412에서 판독한 제품 웨이퍼 매수, 레시피 식별자 및 제조 장치 식별자 등을 서버 장치(12)로 송신한다. 또한, 원 정보 송신부(1108)는, 서버 장치(12)와 통신하기 위한 정보(예를 들면, 서버 장치(12)의 IP 어드레스 등)를 유지하고 있다.
또한, 도 4의 순서도에서, 송신하는 원 정보가 갖는 한 종류 이상의 값과 시각 정보의 복수의 조(組)와, 제품 웨이퍼 매수, 레시피 식별자 및 제조 장치 식별자 등을 함께 서버 장치(12)로 송신해도 좋다.
이어서, 서버 장치(12)의 동작에 대하여 도 5, 도 6의 순서도를 이용하여 설 명한다.
(단계 S501) 접수부(1201)는 지시를 받아들였는지의 여부를 판단한다. 지시를 받아들이면 단계 S502로 가고, 지시를 받아들이지 않으면 단계 S521로 간다.
(단계 S502) 이상 정보 출력부(1209)는 단계 S501에서 받아들인 지시가 이상 일람 출력 지시인지의 여부를 판단한다. 이상 일람 출력 지시이면 단계 S503으로 가고, 이상 일람 출력 지시가 아니면 단계 S506로 간다. 또한, 이상 일람 출력 지시를 받아들이는 경우에는, 후술하는 이상 검지 처리는 완료되어 있다.
(단계 S503) 이상 정보 출력부(1209)는 이상 정보 저장부(1203)에 저장되어 있는 1 개 이상의 이상 정보를 판독한다. 또한, 이상 정보 출력부(1209)는 1 개 이상의 이상 정보 외에, 이상 일람을 출력하는 때에 출력하기로, 사전에 결정된 정보를 판독해도 좋다.
(단계 S504) 이상 정보 출력부(1209)는 단계 S503에서 판독한 1 개 이상의 이상 정보 등으로 이상 일람을 구성한다.
(단계 S505) 이상 정보 출력부(1209)는 단계 S504에서 구성한 이상 일람을 출력한다. 여기서는, 클라이언트 장치(13)로 이상 일람을 송신한다. 단계 S501로 되돌아간다.
(단계 S506) 차트 구성부(1210)는 단계 S501에서 받아들인 지시가 이상 정보 지시인지의 여부를 판단한다. 이상 정보 지시이면 단계 S507로 가고, 이상 정보 지시가 아니면 단계 S511로 간다. 또한, 이상 정보 지시를 받아들이는 경우에는, 여기서는, 이상 일람 출력 처리는 완료되어 있다.
(단계 S507) 차트 구성부(1210)는 이상 정보 지시에 대응하는 1 개 이상의 이상 정보(이상 일람 중에서 지시된 항목에 대응하는 이상 정보)를 취득한다. 1 개 이상의 이상 정보는 이미 출력되어 있는 이상 일람 중의 이상 정보이다.
(단계 S508) 차트 구성부(1210)는 단계 S507에서 취득한 1 개 이상의 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보를 취득한다. 보다 구체적으로는, 차트 구성부(1210)는 이상 정보 저장부(1203)로부터, 단계 S507에서 취득한 1 개 이상의 이상 정보와 1 개 이상의 측정 정보의 대응 정보(예를 들면, 측정 정보 저장부(1202)의 측정 정보로의 포인터 또는 차트 식별 정보 등)를 얻어, 해당 대응 정보를 이용하여 1 개 이상의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1202)로부터 취득한다.
(단계 S509) 차트 구성부(1210)는 단계 S508에서 취득한 1 개 이상의 측정 정보로 차트를 구성한다. 구성되는 차트의 종류는, SPC 차트, 상관 차트, MD 차트 등, 무엇이든 상관없다.
(단계 S510) 출력부(1213)는 단계 S509에서 구성한 1 개 이상의 차트를 출력한다. 단계 S501로 되돌아간다.
(단계 S511) 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는 단계 S501에서 받아들인 지시가 관련 차트 출력 지시인지의 여부를 판단한다. 관련 차트 출력 지시이면 단계 S512로 가고, 관련 차트 출력 지시가 아니면 단계 S501로 되돌아간다. 또한, 관련 차트 출력 지시를 받아들이는 경우에는, 여기서는, 이상 정보 지시의 처리(차트의 출력)는 완료되어 있다.
(단계 S512) 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는 카운터(i)에 1을 대입한 다.
(단계 S513) 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는 출력되어 있는 차트 중에서 i 번째의 차트가 존재하는지의 여부를 판단한다. i 번째의 차트가 존재하면 단계 S514로 가고, i 번째의 차트가 존재하지 않으면 단계 S501로 되돌아간다.
(단계 S514) 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는 출력되어 있는 i 번째의 차트의 차트 식별 정보를 취득한다. 또한, 출력되어 있는 차트의 차트 식별 정보는 메모리 상에 저장되어 있다.
(단계 S515) 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는 단계 S514에서 취득한 차트 식별 정보를 갖는 그룹 차트 정보를 그룹 차트 정보 저장부(1204)로부터 검색한다.
(단계 S516) 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는 단계 S515에서 검색한 그룹 차트 정보는, 단계 S513부터 단계 S520의 루프 처리에 있어서, 이미 검색이 끝났는지의 여부를 판단한다. 이미 검색이 끝난 상태이면 단계 S517로 가고, 이미 검색이 끝난 상태가 아니면 단계 S520로 간다.
(단계 S517) 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는 직전에 단계 S515에서 검색한 그룹 차트 정보가 갖는 2 개 이상의 차트 식별 정보 중에서, 이미 출력되어 있는 차트의 차트 식별 정보를 제외하고, 1 개 이상의 차트 식별 정보를 취득한다.
(단계 S518) 관련 차트 구성부(1212)는 단계 S517에서 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)가 취득한 1 개 이상의 차트 식별 정보를 이용하여, 차트 식별 정보마다 측정 정보 저장부(1202)로부터 1 개 이상의 측정 정보를 취득하여, 1 개 이상의 차트를 구성한다.
(단계 S519) 출력부(1213)는 단계 S518에서 구성한 1 개 이상의 차트를 합성 출력한다. 여기서, 합성 출력이란, 이미 출력되어 있는 차트에 중복하여 1 개 이상의 차트를 출력하는 것을 말한다. 이러한 복수의 관련된 차트의 출력에 의하여 효과적이고 신속한 이상 분석이 가능하다.
(단계 S520) 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는 카운터(i)를 하나 인크리먼트한다. 단계 S513로 되돌아간다.
(단계 S521) 이상 검지부(1207)는 이상 검지 처리를 실시한다. 이상 검지 처리의 상세에 대하여 도 6의 순서도를 이용하여 설명한다. 단계 S501로 되돌아간다.
또한, 도 5의 순서도에서 전원 오프 또는 처리 종료의 인터럽트(interrupt)에 의해 처리는 종료된다.
또한, 도 5의 순서도에서, 관련 차트 구성부(1212)는 관련 차트 출력 지시에 대응하여 관련된 1 개 이상의 차트를 구성하였으나, 사전에 관련된 1 개 이상의 차트를 구성해 두고, 해당 관련된 1 개 이상의 차트를 축적하여, 관련 차트 출력 지시를 받아들인 경우에, 해당 축적된 1 개 이상의 차트를 판독하여 출력해도 좋다.
이어서, 서버 장치(12)의 단계 S521의 이상 검지 처리에 대하여, 도 6의 순서도를 이용하여 설명한다.
(단계 S601) 원 정보 수신부(1205)는 한 종류 이상의 측정치와 시각 정보의 조(組)인 원 정보를 수신했는지의 여부를 판단한다. 원 정보를 수신하면 단계 S602로 가고, 원 정보를 수신하지 않으면 단계 S603로 간다.
(단계 S602) 원 정보 수신부(1205)는 버퍼에, 단계 S601에서 수신한 원 정보를 추가로 기록한다. 도 5의 순서도의 단계 S501로 되돌아간다.
(단계 S603) 원 정보 수신부(1205)는 제품 웨이퍼 매수 또는 제조 장치 식별자 등의 속성 정보를 수신했는지의 여부를 판단한다. 제품 웨이퍼 매수 등을 수신하면 단계 S604로 가고, 제품 웨이퍼 매수 등을 수신하지 않으면 도 5의 순서도의 단계 S501로 되돌아간다.
(단계 S604) 원 정보 수신부(1205)는 이미 수신하고 있는 1 개 이상의 측정치와 시각 정보의 조(組)에 대하여, 제품 웨이퍼 매수 등의 속성 정보를 부가한다. 여기서, 측정 정보의 바탕이 되는 원 정보가 구성된다.
(단계 S605) 측정 정보 취득부(1206)는 단계 S604에서 구성된 원 정보가 갖는 1 개 이상의 측정치(온도 또는 압력 등)에 대하여, 측정 정보 취득부(1206)가 소정의 연산을 행하여 1 개 이상의 측정 정보를 취득한다.
(단계 S606) 이상 검지부(1207)는 단계 S605에서 취득한 1 개 이상의 측정 정보에 대하여 이상 검지를 실시하여 이상 정보를 취득한다. 여기서는, 예를 들면, 이상 정보는, 측정한 일시를 나타내는 일시 정보, 제조 장치 식별자, 이상이 있는 측정 정보가 갖는 측정치를 포함하는 복수의 측정 정보로 구성되는 차트를 식별하는 차트 식별 정보, 차트의 종류(SPC 차트, 상관 차트, MD 차트 등)를 나타내는 차트 타입, 이상이 발생된 단계를 식별하는 단계 식별자, 알람의 유무 등의 정보를 갖는다. 이상 정보가 차트를 갖는 경우, 이상 검지부(1207)가 이상을 검지한 후, 차트 구성부(1210) 등은 이상을 검지한 측정치를 포함하는 일련의 측정 정보에 대 하여 차트를 구성하는 처리를 실시하여, 해당 차트를 축적한다.
(단계 S607) 이상 검지부(1207)는 단계 S606에서 취득한 이상 정보를 이상 정보 저장부(1203)에 축적한다.
(단계 S608) 측정 정보 축적부(1208)는 이상 검지부(1207)가 이상을 검지한 측정 정보를 갖는 일련의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1202)에 축적한다. 도 5의 순서도의 단계 S501로 되돌아간다.
또한, 도 6의 순서도에서, 원 정보와 측정 정보는 동일한 정보여도 좋다. 이러한 경우, 단계 S605에서 원 정보를 판독하는 처리를 실시한다.
또한, 도 6의 순서도에서, 원 정보의 수신이 끝나면 즉시 이상 검지를 실시하였으나, 이상 검지를 실시하는 타이밍은 언제라도 상관없다. 이상 검지는, 유저(클라이언트 장치(13))로부터의 지시에 의하여 개시해도 물론 좋다. 또한, 이러한 경우, 유저가 이상이 발생되고 있을지도 모르는 제조 장치(11) 또는 레시피를 짐작하여, 유저가 제조 장치 식별자 또는 레시피 식별자 등을 입력해도 좋다. 그리고, 이러한 경우, 이상 검지의 지시는, 해당 입력된 제조 장치 식별자 또는 레시피 식별자 등을 포함하게 된다. 그리고, 이상 검지의 지시에 포함되는 제조 장치 식별자 또는 레시피 식별자 등에 대응하는 측정 정보에 대하여 이상 검지하는 것은 바람직하다.
또한, 도 5, 도 6의 순서도에서, 차트를 구성하는 타이밍은 언제라도 상관없다. 차트를 출력하는 지시가 있던 경우에 차트를 구성해도 좋고, 사전에 출력될 가능성이 있는 차트를 구성하여 축적해 두어도 좋다.
이어서, 클라이언트 장치(13)의 동작에 대하여 설명한다. 클라이언트 장치(13)의 지시 입력부(1301)가 유저로부터 각종 지시를 받아들인 경우, 지시 송부부(1302)는 해당 각종 지시를 서버 장치(12)로 송부하고, 서버 장치(12)에서의 처리 결과를 출력 정보 접수부(1303)가 받아들이고, 단말기 출력부(1304)가 받아들인 정보를 표시한다.
이하, 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 구체적인 동작에 대하여 설명한다. 군 관리 시스템의 개념도는 도 1이다.
본 구체예에서, 복수의 제조 장치(11)의 입력 접수부(1101)가 유저로부터의 웨이퍼 등의 제조의 개시 지시를 받아들이면, 처리부(1105)는 레시피 저장부(1102)의 레시피를 판독하고, 판독한 레시피를 실행하여 제조 처리를 진행한다. 그리고, 측정부(1106)는, 제조 처리 중, 예를 들면, 제 1 온도 센서를 이용하여, 1 초마다 사전에 결정된 로 내의 상부 온도를 측정하고, 취득한 온도와 도시하지 않은 시계로부터 취득한 시각 정보를 쌍으로 하며, 원 정보 송신부(1108)는, 예를 들면, 1 초마다 서버 장치(12)로 송신한다. 이 송신하는 원 정보의 예는 도 7이다. 원 정보는, 여기서는, 온도, 시각 정보를 갖는다. 또한, 시각 정보는 시각을 나타내는 정보이며, 시·분·초까지를 특정하는 정보여도 좋고, 일시 및 시(時)만의 정보여도 좋다. 또한, 마찬가지로, 측정부(1106)는, 제조 처리 중, 제 2 온도 센서를 이용하여, 1 초마다 사전에 결정된 로 내의 중앙부 온도를 측정하고, 취득한 온도와 도시하지 않은 시계로부터 취득한 시각 정보를 쌍으로 하며, 원 정보 송신부(1108)는, 예를 들면, 1 초마다 서버 장치(12)로 송신한다. 또한, 마찬가지로, 측정부(1106) 는, 제조 처리 중, 제 ３ 온도 센서를 이용하여, 1 초마다 사전에 결정된 로 내의 하부 온도를 측정하고, 취득한 온도와 도시하지 않은 시계로부터 취득한 시각 정보를 쌍으로 하며, 원 정보 송신부(1108)는, 예를 들면, 1 초마다 서버 장치(12)로 송신한다.
또한, 레시피의 모든 단계의 실행이 완료된 단계에서, 제조 장치(11)의 원 정보 송신부(1108)는, 제조 장치 식별자 저장부(1103)의 제조 장치 식별자, 레시피 저장부(1102)의 레시피 식별자(웨이퍼를 제조하는 때에 실행한 레시피의 식별자) 및 제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)의 제품 웨이퍼 매수를 판독하고, 또한, 그 밖의 속성 정보(총 웨이퍼 매수 등)를 취득하여 서버 장치(12)로 송신한다.
이어서, 서버 장치(12)의 원 정보 수신부(1205)는, 1 초마다 순차적으로 로 내의 상부 온도와 시각 정보의 조(組)의 정보, 로 내의 중앙부 온도와 시각 정보의 조(組)의 정보, 로 내의 하부 온도와 시각 정보의 조(組)의 정보, 로 내의 가스 유량과 시각 정보의 조(組)의 정보, 로 내의 압력과 시각 정보의 조(組)의 정보 등을 수신하여 일시(一時) 축적한다. 그리고, 제조 장치 식별자, 레시피 식별자 및 제품 웨이퍼 매수 등을 수신한다. 그리고, 원 정보 수신부(1205)는, 로 내의 상부 온도와 시각 정보의 복수의 조(組), 레시피 식별자 및 제조 장치 식별자 등을 갖는 원 정보를 일시적으로 메모리에 기록한다. 이러한 원 정보의 예를 도 8에 나타낸다. 도 8은 원 정보 관리표이다. 원 정보 관리표는, 「제조 장치 식별자」 「레시피 식별자」 「측정치」 「시각 정보」를 갖는다. 「측정치」는 로 내의 상부, 중앙부, 하부의 각 온도, 로 내의 압력, 가스 유량 등이다. 도 8에서, 하나의 제조 장 치 식별자, 레시피 식별자에 대하여, 복수의 값(여기서는, 한 종류)과 시각 정보가 대응하는 데이터 구조이다. 또한, 도 8에서, 복수의 제조 장치(11)(E1, E2 등) 및 복수의 레시피(R5, R3 등)의 실행에 대한 원 정보가 관리되고 있다.
이어서, 측정 정보 취득부(1206)는, 동일한 제조 장치 식별자, 레시피 식별자 및 동일한 종류(예를 들면, 로 내의 상부 온도)의 일련의 측정치마다 복수의 원 정보를 취득하고, 해당 복수의 원 정보에 대하여 소정의 연산을 실시하여 복수의 측정 정보를 취득한다. 여기서는, 소정의 연산은 평균치의 산출이며, 측정 정보 취득부(1206)는 1 시간 간격으로 평균치를 산출한다. 그리고, 측정 정보 취득부(1206)는, 도 8의 원 정보 관리표로부터 도 9에 나타낸 측정 정보 관리표를 얻었다.
이어서, 이상 검지부(1207)는, 도 9에 나타낸 측정 정보 관리표의 1 개 이상의 측정 정보에 대하여 이상 검지를 실시하여 이상 정보를 취득한다. 여기서, 이상 검지부(1207)는, 로 내의 상부, 중앙부, 하부 중의 어느 것에도 적용될 수 있는 정상/이상을 판단하기 위한 임계치에 의한 조건 「300 < = 온도 < = 400」을 저장하고 있다. 즉, 정상이기 위해서는, 로 내의 온도는 모두 300 도와 400 도의 사이일 필요가 있다.
이러한 경우, 이상 검지부(1207)는, 저장되어 있는 임계치에 의한 조건 「300 < = 온도 < = 400」을 판독한다. 이어서, 이상 검지부(1207)는, 도 9의 측정치의 평균치를 판독하고, 온도의 측정치의 평균치 중, 「300 < = 온도 < = 400」을 충족시키고 있지 않은 정보(레코드)를 취득한다. 그리고, 이상 검지부(1207)는, 제 조 장치 식별자 「E1」, 레시피 식별자 「R5」로 식별되는 프로세스에서, 로 내의 상부 온도가 상기의 조건에서 도시된 정상 범위를 일탈하고 있는 것을 검지한다.
그리고, 이상 검지부(1207)는, 도 9의 측정치의 평균치로부터 그 밖의 이상치도 계속 검지한다. 그리고, 이상 검지부(1207)는, 검지된 모든 측정치를 포함하는 측정 정보를 측정 정보 저장부(1202)에 축적한다. 또한, 이 측정 정보 저장부(1202)에 축적된 측정 정보는, 이상이 있는 측정치를 포함하는 측정 정보와, 해당 측정 정보와 일련의 측정 정보이다. 이러한 측정 정보를 도 10에 나타낸다.
이어서, 차트 구성부(1210)는, 이상 검지부(1207)가 검지하고, 축적한 이상이 있는 측정 정보로부터, 차트를 구성한다. 차트는, 통상적으로, 1 개의 변화량을 이용하는 SPC 차트이다. 그리고, 여기서, 차트 구성부(1210)는, 구성한 차트에 부여하는 파일명을 자동적으로 생성(예를 들면, 변수 「?」의 값을 1부터 순서대로 인크리먼트하여 「SPC?」라고 하는 파일명을 생성)하여, 사전에 정해진 폴더(예를 들면, 「￦ERR」)의 파일(예를 들면, 「SPC1」)에 구성한 차트를 기입한다. 이러한 차트를 기입하기 전에 파일을 생성하여 오픈해 두는 것은 당연하다.
이어서, 이상 검지부(1207)는, 검지한 이상이 있는 측정치(측정 정보 저장부(1202)에 축적된 측정 정보를 이용해도 좋음)로부터 이상 정보를 구성하고, 해당 이상 정보를 이상 정보 저장부(1203)에 축적한다. 이상 검지부(1207)는, 모든 이상이 있는 측정치를 검지하고, 해당 이상이 있는 측정치에 대응하는 이상 정보를 구성하여, 이상 정보 저장부(1203)에 축적한다. 도 11은 이러한 이상 정보를 관리하는 이상 정보 관리표이다. 이상 정보 관리표는, 「시각 정보」 「장치 식별자」 「 레시피 식별자」 「차트명」 「차트 타입」을 갖는다. 「시각 정보」는, 이상치가 측정된 시각을 나타내는 정보, 「장치 식별자」는 이상치가 측정된 장치의 식별자, 「레시피 식별자」는 이상치가 측정된 때에 실행되고 있던 레시피의 식별자, 「차트명」은, 여기서는 「￦ERR￦SPC?」, 「차트 타입」은, 여기서는 SPC 차트를 나타내는 「SPC」이다. 도 10에서, 「￦ERR￦SPC1」 「￦ERR￦SPC2」는 폴더「￦ERR」에 「SPC1」 「SPC2」라고 하는 파일명의 차트가 구성되어 축적되어 있는 것을 나타낸다.
이러한 상황에서, 유저는, 클라이언트 장치(13)로부터 「이상 일람 출력 지시」를 입력한다. 그리고, 지시 입력부(1301)는 「이상 일람 출력 지시」를 받아들이고, 지시 송부부(1302)는 해당 지시를 서버 장치(12)로 송신한다.
이어서, 서버 장치(12)의 접수부(1201)는 「이상 일람 출력 지시」를 수신한다. 그리고, 이상 정보 출력부(1209)는 도 11의 이상 정보를 이상 정보 저장부(1203)로부터 판독한다.
이어서, 이상 정보 출력부(1209)는 이상 정보로 이상 일람을 구성한다. 그리고, 이상 정보 출력부(1209)는 이상 일람을 클라이언트 장치(13)로 송신하고, 클라이언트 장치(13)의 출력 정보 접수부(1303)는 이상 일람을 수신한다. 그리고, 단말기 출력부(1304)는 도 12에 도시한 바와 같이, 이상 일람을 출력한다.
또한, 본 구체예에서, 그룹 차트 정보 저장부(1204)는, 도 13에 도시한 그룹 차트 정보 관리표를 저장하고 있다. 그룹 차트 정보 관리표의 각 ID에 대응하는 레코드는 2 이상의 관련된 차트의 차트 식별 정보를 갖는다. 도 13에 도시한 그룹 차 트 정보 관리표는, 「ID」 「그룹 차트 정보」를 갖는 레코드를 1 개 이상 유지하고 있다. 여기서「ID」는, 레코드를 식별하는 정보이며, 표에서의 레코드 관리를 위해 존재한다. 「그룹 차트 정보」는, 여기서는 「레시피 식별자」 「측정치」 「차트 타입」으로 이루어진다. 「레시피 식별자」는 레시피를 식별하는 정보이다. 「측정치」는 측정된 데이터의 데이터 타입 및 측정 개소를 특정하는 정보이다. 「차트 타입」은 출력된 차트의 종류를 나타내는 정보이다. 이 그룹 차트 정보는 제조 현장에서의 이상 분석의 노하우가 결집된 정보이다.
이러한 상황에서, 유저는 도 12의 화면으로부터, 2 번째의 이상 정보의 항목이 포커스되어 있는 경우, 「차트 출력」 버튼을 누른다. 그러면, 클라이언트 장치(13)의 지시 입력부(1301)는 2 번째의 이상 정보의 항목에 대응하는 이상 정보 지시를 받아들인다. 이 이상 정보 지시는, 시각 정보 「2005 / 12 / 02 16：00：00」, 제조 장치 식별자 「E1」, 레시피 식별자 「R5」, 차트명 「￦ERR￦SPC1」을 갖는다. 그리고, 지시 송부부(1302)는 이상 정보 지시를 서버 장치(12)로 송신한다.
이어서, 접수부(1201)는 이 이상 정보 지시를 수신한다. 그리고, 차트 구성부(1210)는 차트명 「￦ERR￦SPC1」에 대응하는 차트를 판독하고, 시각 정보 「2005 / 12 / 02 16：00：00」를 이용하여, 해당 시각에 대응하는 점을 포커스한 차트를 구성한다.
그리고, 출력부(1213)는 차트를 출력한다. 그리고, 클라이언트 장치(13)의 출력 정보 접수부(1303)는 차트를 수신하고, 단말기 출력부(1304)는, 도 14에 도시 한 바와 같이, 차트를 표시한다. 또한, 여기서는, 차트명 「￦ERR￦SPC1」에 대응하는 차트는, 차트 구성부(1210)가 이미 구성하여 축적하고 있는 것으로 한다. 도 13에서, 300 도부터 400 도의 범위가 정상 범위이므로, 출력되어 있는 차트 상의 측정치는 이상치이다. 그리고, 이상치의 도트는 「×」로 표시된다.
이어서, 유저는 클라이언트 장치(13)의 도 14의 화면으로부터 버튼 「관련 차트 출력」을 누른다.
이어서, 클라이언트 장치(13)의 지시 입력부(1301)는 관련 차트 출력 지시를 받아들이고, 지시 송부부(1302)는 관련 차트 출력 지시를 서버 장치(12)로 송신한다.
이어서, 서버 장치(12)의 접수부(1201)는 관련 차트 출력 지시를 수신한다. 그리고, 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는 출력되어 있는 차트의 차트 식별 정보를 취득한다. 여기서의 출력되어 있는 차트의 차트 식별 정보는, 제조 장치 식별자 「E1」, 레시피 식별자 「R5」, 차트명 「￦ERR￦SPC1」, 측정치 「로 내의 상부 온도」를 갖는다.
이어서, 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는, 취득한 차트 식별 정보를 키(key)로 하여 그룹 차트 정보 저장부(1204)의 그룹 차트 정보 관리표를 검색한다. 여기서, 그룹 차트 정보 관리표의 「ID = 1」의 레코드가 매치되므로, 관련 차트 식별 정보 취득부(1211)는, 레시피 식별자 「R5」, 측정치 「로 내의 중앙부 온도」, 차트 타입 「SPC」 및 레시피 식별자 「R5」, 측정치 「로 내의 하부 온도」, 차트 타입 「SPC」의 2 개의 차트 식별 정보를 취득한다.
이어서, 관련 차트 구성부(1212)는, 레시피 식별자 「R5」, 측정치 「로 내의 중앙부 온도」, 차트 타입 「SPC」라고 하는 차트 식별 정보에 대응하는 측정 정보를 도 9의 측정 정보 관리표로부터 취득한다. 그리고, 관련 차트 구성부(1212)는 취득한 복수의 측정 정보로 SPC 차트를 구성한다. 그리고, 출력부(1213)는 구성된 차트를 중복하여 출력한다.
또한, 관련 차트 구성부(1212)는, 다음의 차트를 구성하는 측정 정보인 레시피 식별자 「R5」, 측정치 「로 내의 하부 온도」, 차트 타입 「SPC」라고 하는 차트 식별 정보에 대응하는 측정 정보를, 도 9의 측정 정보 관리표로부터 취득한다. 그리고, 관련 차트 구성부(1212)는 취득한 복수의 측정 정보로 SPC 차트를 구성한다. 그리고, 출력부(1213)는 구성된 차트를 중복하여 출력한다.
이어서, 클라이언트 장치(13)의 출력 정보 접수부(1303)는 출력부(1213)가 출력한 차트를 수신한다. 그리고, 단말기 출력부(1304)는 도 15에 도시한 3 개의 SPC 차트를 얻는다. 3 개의 SPC 차트는, 로 내의 상부 온도의 SPC 차트, 로 내의 중앙부 온도의 SPC 차트, 로 내의 하부 온도의 SPC 차트다. 도 15의 로 내의 상부 온도의 SPC 차트에서, 이상이 있는 내용이 검출되어 있고, 또한, 로 내의 중앙부, 하부의 온도도 정상 범위이지만, 꽤 낮다는 것을 알 수 있다. 그리고, 온도의 상승을 도모할 필요가 있다고 확신을 갖고 판단할 수 있다.
이상, 본 실시예에 의하면, 용이하고 또한 효과적으로 이상 분석을 할 수 있다. 구체적으로는, 이상이 검지되어 이상 일람으로부터 이상 항목을 선택하는 것만으로, 바로 차트를 출력할 수 있다. 따라서, 이상 검지 후에 용이하고 또한 효과적 으로 이상 분석이 가능하다.
또한, 본 실시예에 의하면, 이상을 포함하는 측정치의 차트를 출력하고 있는 상태에서, 그 밖의 관련된 차트도 매우 간단하게 볼 수 있어, 매우 용이하고 또한 효과적으로 이상 분석을 할 수 있다. 또한, 관련된 차트를 등록해 두고 이용함으로써, 이상 분석의 노하우를 널리 이용할 수 있다.
또한, 본 실시예의 구체예에서, 차트는 주로 SPC 차트(예를 들면, 도 15 또는 도 16 참조)로 설명하였으나, 이상의 분석 대상에 따라 상관 차트(도 17 참조) 또는 MD 차트(도 18 참조)를 이용하는 것은 바람직하다. 또한, 도 13의 그룹 차트 정보 관리표의 「ID = 2, 4」의 레코드는 SPC 차트에 관련된 차트로서, SPC 차트뿐만 아니라 상관 차트 또는 MD 차트가 있을 수 있다는 것을 나타내고 있다. 또한, 도 13의 그룹 차트 정보 관리표의 「ID = 3」의 레코드는 상관 차트에 관련된 차트로서, 상관 차트 또는 MD 차트가 있을 수 있다는 것을 나타내고 있다.
또한, 본 실시예에서, 도 12의 이상 일람의 화면에서, 「관련 차트 출력」버튼을 누른 경우에, 서버 장치(12)는, 도 15의 3 개의 차트를 출력해도 좋다. 이러한 처리는, 포커스되어 있는 이상의 항목에 대응하는 차트와, 해당 차트에 관련된 2 개의 차트를 구성하여 출력하는 것으로 가능하다. 이러한 처리는, 상기의 설명에서의 유저 인터랙션을 생략하면 실현이 가능하다. 이러한 경우, 본 서버 장치는, 이하의 구성이 된다. 즉, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치와, 해당 복수의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비하고, 이상 검지한 후에 이상 분석을 실시하는 기능을 갖는 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치로서, 각종 지시를 포함한 입력을 받아들이는 접수부와, 상기 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 상기 제조 장치를 식별하는 장치 식별자와 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장할 수 있는 측정 정보 저장부와, 이상을 나타내는 정보인 이상 정보와 1 개 이상의 측정 정보의 대응을 1 개 이상 저장할 수 있는 이상 정보 저장부와, 상기 이상 정보 저장부가 저장하고 있는 1 개 이상의 이상 정보를 출력하는 이상 정보 출력부와, 차트를 식별하는 정보인 차트 식별 정보를 2 개 이상 갖는 그룹 차트 정보를 1 개 이상 저장할 수 있는 그룹 차트 정보 저장부와, 상기 접수부가, 상기 이상 정보 출력부가 출력한 1 개 이상의 이상 정보 중, 1 개 이상의 이상 정보에 대한 지시인 이상 정보 지시를 받아들인 경우, 상기 이상 정보 지시에 대응하는 1 개 이상의 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보에 대응하는 차트를 식별하는 1 개 이상의 차트 식별 정보 중의 어느 하나를 포함하는 관련 차트 식별 정보를 취득하는 관련 차트 식별 정보 취득부와, 상기 관련 차트 식별 정보 취득부가 취득한 관련 차트 식별 정보를 이용하여, 해당 관련 차트 식별 정보가 갖는 1 개 이상의 차트 식별 정보마다, 상기 측정 정보 저장부로부터 1 개 이상의 측정 정보를 취득하고, 1 개 이상의 차트를 구성하는 관련 차트 구성부와, 상기 관련 차트 구성부가 구성한 1 개 이상의 차트를 출력하는 출력부를 구비하는 서버 장치이다.
또한, 본 실시예에서의 처리는 소프트웨어로 실현해도 좋다. 그리고, 이 소프트웨어를 소프트웨어 다운로드 등에 의하여 배포해도 좋다. 또한, 이 소프트웨어를 CD-ROM 등의 기록 매체에 기록하여 유포해도 좋다. 또한, 본 실시예에서의 서버 장치를 실현하는 소프트웨어는 이하와 같은 프로그램이다. 즉, 이 프로그램은, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치와, 해당 복수의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비하고, 이상 검지한 후에 이상 분석을 실시하는 기능을 갖는 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치에서 실행시키는 프로그램으로서, 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 상기 제조 장치를 식별하는 장치 식별자와, 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장하고 있으며, 또한, 이상을 나타내는 정보인 이상 정보와 1 개 이상의 측정 정보의 대응을 1 개 이상 저장하고 있으며, 컴퓨터에 각종 지시를 포함한 입력을 받아들이는 접수 단계와, 상기 저장되어 있는 1 개 이상의 이상 정보를 출력하는 이상 정보 출력 단계와, 상기 접수 단계에서, 상기 이상 정보 출력 단계에서 출력한 1 개 이상의 이상 정보 중의 1 개 이상의 이상 정보에 대한 지시인 이상 정보 지시를 받아들인 경우, 상기 이상 정보 지시에 대응하는 1 개 이상의 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보로 1 개 이상의 차트를 구성하는 차트 구성 단계와, 상기 차트 구성 단계에서 구성한 1 개 이상의 차트를 출력하는 출력 단계를 실행시키기 위한 프로그램이다.
또한, 상기 프로그램에서, 컴퓨터에 상기 1 개 이상의 차트가 출력된 후, 상기 접수 단계에서, 해당 출력된 1 개 이상의 차트에 관련된 관련 차트를 출력하는 지시인 관련 차트 출력 지시를 받아들인 경우, 해당 출력된 1 개 이상의 차트를 식별하는 1 개 이상의 차트 식별 정보 중의 모든 차트 식별 정보, 또는 하나의 차트 식별 정보를 갖는 그룹 차트 정보 중의, 해당 출력된 1 개 이상의 차트를 식별하는 1 개 이상의 차트 식별 정보를 제외한 1 개 이상의 차트 식별 정보를 취득하는 관련 차트 식별 정보 취득 단계와, 상기 관련 차트 식별 정보 취득 단계에서 취득한 1 개 이상의 차트 식별 정보를 이용하여, 차트 식별 정보마다 1 개 이상의 측정 정보를 취득하고, 1 개 이상의 차트를 구성하는 관련 차트 구성 단계를 더 실행시키고, 상기 출력 단계에서, 상기 관련 차트 구성 단계에서 구성한 1 개 이상의 차트도 출력하는 것은 바람직하다.
또한, 상기 프로그램에서 상기 차트 구성 단계에서, 상기 이상 정보 지시에 대한 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보를, 그 밖의 측정 정보와 시각적으로 다른 태양을 갖는 차트를 구성하는 것은 바람직하다.
또한, 상기 프로그램에서, 상기 차트 구성 단계, 또는/및 관련 차트 구성 단계에서, 상기 1 개 이상의 측정 정보를 플로팅한 차트인 SPC 차트를 구성하는 것은 바람직하다.
또한, 상기 프로그램에서, 상기 1 개 이상의 측정 정보가 두 종류의 측정치를 갖는 측정 정보이며, 상기 차트 구성 단계, 또는/및 관련 차트 구성 단계에서, 해당 두 종류의 측정치의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트를 구성하는 것은 바람직하다.
또한, 상기 프로그램에서, 상기 1 개 이상의 측정 정보가 세 종류 이상의 측정치를 갖는 측정 정보이며, 상기 차트 구성 단계, 또는/및 관련 차트 구성 단계에서, 해당 세 종류 이상의 측정치의 상관을 나타내는 차트인 MD 차트를 구성하는 것은 바람직하다.
또한, 상기 각 실시예에서, 각 처리(각 기능)는, 단일의 장치(시스템)에 의하여 집중 처리됨으로써 실현되어도 좋고, 또는, 복수의 장치에 의하여 분산 처리됨으로써 실현되어도 좋다.
또한, 상기 프로그램에서, 정보를 송신하는 단계 또는 정보를 수신하는 단계 등에서는, 하드웨어에 의해 실시되는 처리, 예를 들면, 송신하는 단계에서의 모뎀 또는 인터페이스 카드 등으로 실시되는 처리(하드웨어로밖에 실시되지 않는 처리)는 포함되지 않는다.
또한, 상기 프로그램을 실행하는 컴퓨터는, 단수여도 좋고 복수여도 좋다. 즉, 집중 처리를 실시해도 좋고, 또는 분산 처리를 실시해도 좋다.
또한, 상기 각 실시예에서, 하나의 장치에 존재하는 2 개 이상의 통신 수단 (원 정보 수신부 등)은 물리적으로 하나의 매체로 실현되어도 물론 좋다.
본 발명은, 이상의 실시예에 한정되지 않고 다양한 변경이 가능하며, 이들도 본 발명의 범위 내에 당연히 포함된다.
또한, 2006년 5월 9일에 출원된 일본특허출원 제2006-129728호의 상세한 설명, 도면, 특허 청구의 범위를 포함하는 개시는, 그 전체의 참조에 의하여 이 개시에 포함된다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 군 관리 시스템은, 용이하며 또한 효과적으로 이상 분석을 할 수 있는 효과를 가지며, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치와, 해당 복수의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비하고, 이상 검지한 후에 이상 분석을 실시하는 기능을 갖는 군 관리 시스템 등으로서 유용하다.

Claims (12)

  1. 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치와 접속되어 있으며, 이상(異常)을 검지한 후에 이상 분석을 실시하는 기능을 갖는 서버 장치로서,
    지시를 포함한 입력을 받아들이는 접수부와,
    상기 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시(時) 계열의 정보이며, 상기 제조 장치를 식별하는 장치 식별자와 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장할 수 있는 측정 정보 저장부와,
    이상을 나타내는 정보인 이상 정보와 1 개 이상(以上)의 측정 정보의 대응을 1 개 이상 저장할 수 있는 이상 정보 저장부와,
    상기 이상 정보 저장부가 저장하고 있는 1 개 이상의 이상 정보를 출력하는 이상 정보 출력부와,
    상기 접수부가, 상기 이상 정보 출력부가 출력한 1 개 이상의 이상 정보 중, 1 개 이상의 이상 정보에 대한 지시인 이상 정보 지시를 받아들인 경우, 상기 이상 정보 지시에 대응하는 1 개 이상의 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보로부터 1 개 이상의 차트를 구성하는 차트 구성부와,
    상기 차트 구성부가 구성한 1 개 이상의 차트를 출력하는 출력부와,
    차트를 식별하는 정보인 차트 식별 정보를 2 개 이상 갖는 그룹 차트 정보를 1 개 이상 저장할 수 있는 그룹 차트 정보 저장부와,
    상기 1 개 이상의 차트가 출력된 후, 상기 접수부가 상기 출력된 1 개 이상의 차트에 관련된 관련 차트를 출력하는 지시인 관련 차트 출력 지시를 받아들인 경우, 상기 출력된 1개 이상의 차트를 식별하는 차트 식별 정보를 취득하고, 상기 취득한 차트 식별 정보를 갖는 그룹 차트 정보를 상기 그룹 차트 정보 저장부로부터 검색하여, 상기 출력된 1 개 이상의 차트를 식별하는 1 개 이상의 차트 식별 정보 중의 모든 차트 식별 정보 또는 하나의 차트 식별 정보를 갖는 그룹 차트 정보 중, 상기 출력된 1 개 이상의 차트를 식별하는 1 개 이상의 차트 식별 정보를 제외한 1 개 이상의 차트 식별 정보를 상기 그룹 차트 정보 저장부로부터 취득하는 관련 차트 식별 정보 취득부와,
    상기 관련 차트 식별 정보 취득부가 취득한 1 개 이상의 차트 식별 정보를 이용하여, 차트 식별 정보마다 상기 측정 정보 저장부로부터 1 개 이상의 측정 정보를 취득하고, 1 개 이상의 차트를 구성하는 관련 차트 구성부를 구비하고,
    상기 출력부는 상기 관련 차트 구성부가 구성한 1 개 이상의 차트도 출력하는 서버 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 차트 구성부는,
    상기 이상 정보 지시에 대한 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보를, 그 밖의 측정 정보와 시각적으로 다른 표시 형식을 갖는 차트를 구성하는 서버 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 차트 구성부는,
    상기 1 개 이상의 측정 정보를 플로팅한 차트인 SPC 차트를 구성하는 서버 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 관련 차트 구성부는,
    상기 1 개 이상의 측정 정보를 플로팅한 차트인 SPC 차트를 구성하는 서버 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 1 개 이상의 측정 정보가 두 종류의 측정치를 갖는 측정 정보이며,
    상기 차트 구성부는,
    상기 두 종류의 측정치의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트를 구성하는 서버 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 1 개 이상의 측정 정보가 두 종류의 측정치를 갖는 측정 정보이며,
    상기 관련 차트 구성부는,
    상기 두 종류의 측정치의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트를 구성하는 서버 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 1 개 이상의 측정 정보가 세 종류 이상의 측정치를 갖는 측정 정보이며,
    상기 차트 구성부는,
    상기 세 종류 이상의 측정치의 상관을 나타내는 차트인 MD 차트를 구성하는 서버 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 1 개 이상의 측정 정보가 세 종류 이상의 측정치를 갖는 측정 정보이며,
    상기 관련 차트 구성부는,
    상기 세 종류 이상의 측정치의 상관을 나타내는 차트인 MD 차트를 구성하는 서버 장치.
  10. 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치와 접속되어 있으며, 이상(異常)을 검지한 후에 이상 분석을 실시하는 기능을 갖는 서버 장치에서 실행시키는 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체에 있어서,
    복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 상기 제조 장치를 식별하는 장치 식별자와, 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장하고 있으며, 또한, 이상을 나타내는 정보인 이상 정보와 1 개 이상의 측정 정보의 대응을 1 개 이상 저장하고 있으며,
    컴퓨터에
    지시를 포함한 입력을 받아들이는 접수 단계와,
    상기 저장되어 있는 1 개 이상의 이상 정보를 출력하는 이상 정보 출력 단계와,
    상기 접수 단계에서, 상기 이상 정보 출력 단계에서 출력한 1 개 이상의 이상 정보 중의 1 개 이상의 이상 정보에 대한 지시인 이상 정보 지시를 받아들인 경우, 상기 이상 정보 지시에 대응하는 1 개 이상의 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보로 1 개 이상의 차트를 구성하는 차트 구성 단계와,
    상기 차트 구성 단계에서 구성한 1 개 이상의 차트를 출력하는 출력 단계를 실행시키고,
    상기 1 개 이상의 차트가 출력된 후, 상기 접수 단계에서, 상기 출력된 1 개 이상의 차트에 관련된 관련 차트를 출력하는 지시인 관련 차트 출력 지시를 받아들인 경우, 상기 출력된 1개 이상의 차트를 식별하는 차트 식별 정보를 취득하고, 상기 취득한 차트 식별 정보를 갖는 그룹 차트 정보를 검색하여, 상기 출력된 1 개 이상의 차트를 식별하는 1 개 이상의 차트 식별 정보 중의 모든 차트 식별 정보 또는 하나의 차트 식별 정보를 갖는 그룹 차트 정보 중의, 상기 출력된 1 개 이상의 차트를 식별하는 1 개 이상의 차트 식별 정보를 제외한 1 개 이상의 차트 식별 정보를 취득하는 관련 차트 식별 정보 취득 단계와,
    상기 관련 차트 식별 정보 취득 단계에서 취득한 1 개 이상의 차트 식별 정보를 이용하여, 차트 식별 정보마다 1 개 이상의 측정 정보를 취득하고, 1 개 이상의 차트를 구성하는 관련 차트 구성 단계를 더 실행시키고,
    상기 출력 단계에서,
    상기 관련 차트 구성 단계에서 구성한 1 개 이상의 차트도 출력하는 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.
  11. 삭제
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 차트 구성 단계에서,
    상기 이상 정보 지시에 대한 이상 정보와 쌍을 이루는 1 개 이상의 측정 정보를, 그 밖의 측정 정보와 시각적으로 다른 표시 형식을 갖는 차트를 구성하는 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.
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