KR100997413B1 - 군 관리 시스템, 프로세스 정보 관리 장치, 제어 장치 및, 프로그램이 기록된 기록 매체 - Google Patents
군 관리 시스템, 프로세스 정보 관리 장치, 제어 장치 및, 프로그램이 기록된 기록 매체 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100997413B1 KR100997413B1 KR1020087008900A KR20087008900A KR100997413B1 KR 100997413 B1 KR100997413 B1 KR 100997413B1 KR 1020087008900 A KR1020087008900 A KR 1020087008900A KR 20087008900 A KR20087008900 A KR 20087008900A KR 100997413 B1 KR100997413 B1 KR 100997413B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- recipe
- information
- process parameter
- unit
- parameter information
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 466
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 454
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 83
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 43
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 53
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 19
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 13
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 10
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000010130 dispersion processing Methods 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q10/00—Administration; Management
- G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q50/00—Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
- G06Q50/04—Manufacturing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Human Resources & Organizations (AREA)
- Economics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Strategic Management (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Marketing (AREA)
- General Business, Economics & Management (AREA)
- Entrepreneurship & Innovation (AREA)
- Tourism & Hospitality (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Educational Administration (AREA)
- Game Theory and Decision Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Development Economics (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Primary Health Care (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
Description
Claims (14)
- 피(被)처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 2 이상의 처리 장치를 각각 제어하는 2 이상의 제어 장치와, 상기 제어 장치와 접속되는 프로세스 정보 관리 장치를 구비하는 군(群) 관리 시스템을 구성하는 프로세스 정보 관리 장치로서,상기 2 이상의 제어 장치가 유지하고 있는 프로세스에 관한 정보인 2 이상의 레시피(recipe)를, 상기 2 이상의 제어 장치에 각각 대응지어 격납하고 있는 레시피 격납부와,레시피에 포함되는 프로세스 파라미터(parameter)에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 접수하는 접수부와,상기 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 상기 레시피 격납부로부터 레시피를 검색하고, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득부와,상기 레시피 정보 취득부가 취득한 레시피 정보를 출력하는 출력부를 구비하고,상기 레시피는 프로세스 파라미터에 대한 링크의 정보인 링크 정보를 포함하며, 복수의 레시피가 하나의 프로세스 파라미터에 대한 링크 정보를 갖는 프로세스 정보 관리 장치.
- 제1항에 있어서,상기 프로세스 파라미터 정보는,프로세스 파라미터명(名)을 포함하고,상기 레시피 정보 취득부는,상기 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있는 레시피를 상기 레시피 격납부로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 프로세스 정보 관리 장치.
- 제1항에 있어서,상기 프로세스 파라미터 정보는,프로세스 파라미터명과 프로세스 파라미터의 값을 포함하고,상기 레시피 정보 취득부는,상기 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있고, 그리고, 상기 프로세스 파라미터의 값이, 상기 접수부가 접수한 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 값과 소정의 관계에 있는 값인 레시피를 상기 레시피 격납부로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 프로세스 정보 관리 장치.
- 삭제
- 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 2 이상의 처리 장치를 각각 제어하는 2 이상의 제어 장치와, 상기 제어 장치와 접속되는 프로세스 정보 관리 장치를 구비하는 군 관리 시스템으로서,상기 제어 장치는,상기 처리 장치를 제어하기 위해 사용되는 레시피를 격납하고 있는 제어 장치측 레시피 격납부와,상기 제어 장치측 레시피 격납부의 레시피를 상기 프로세스 정보 관리 장치로 송신하는 레시피 송신부와,상기 제어 장치측 레시피 격납부의 레시피를 사용하여, 상기 처리 장치를 제어하고, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실행시키는 제어부와,레시피 내의 프로세스 파라미터의 변경 지시를 접수하는 변경 접수부와,상기 변경 접수부가 접수한 변경 지시에 따라, 상기 제어 장치측 레시피 격납부의 레시피를 변경하는 레시피 변경부와,상기 변경의 대상의 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 취득하는 프로세스 파라미터 정보 취득부와,상기 프로세스 파라미터 정보 취득부가 취득한 프로세스 파라미터 정보를 상기 프로세스 정보 관리 장치로 송신하는 프로세스 파라미터 정보 송신부와,상기 프로세스 파라미터 정보의 송신에 대응하여, 상기 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 상기 프로세스 정보 관리 장치로부터 수신하는 레시피 정보 수신부와,상기 레시피 정보 수신부가 수신한 레시피 정보를 출력하는 레시피 정보 출력부를 구비하고,상기 프로세스 정보 관리 장치는,레시피를 격납할 수 있는 레시피 격납부와,상기 2 이상의 제어 장치로부터 레시피를 수신하는 레시피 수신부와,상기 레시피 수신부가 수신한 레시피를 상기 레시피 격납부에 축적하는 레시피 축적부와,상기 제어 장치로부터 프로세스 파라미터 정보를 수신하는 프로세스 파라미터 정보 수신부와,상기 프로세스 파라미터 정보 수신부가 수신한 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 상기 레시피 격납부의 1 이상의 레시피를 검색하고, 상기 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득부와,상기 레시피 정보 취득부가 취득한 레시피 정보를 상기 제어 장치로 송신하는 레시피 정보 송신부를 구비하는 군 관리 시스템.
- 제5항에 있어서,상기 프로세스 파라미터 정보 송신부는,상기 변경 접수부가 레시피 내의 프로세스 파라미터의 변경의 지시를 접수한 후, 상기 레시피 변경부가 레시피를 변경하기 전에, 프로세스 파라미터 정보를 상기 프로세스 정보 관리 장치로 송신하는 군 관리 시스템.
- 제5항에 있어서,상기 프로세스 파라미터 정보는,프로세스 파라미터명을 포함하고,상기 레시피 정보 취득부는,상기 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있는 레시피를 상기 레시피 격납부로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 군 관리 시스템.
- 제5항 있어서,상기 프로세스 파라미터 정보는,프로세스 파라미터명과 프로세스 파라미터의 값을 포함하고,상기 레시피 정보 취득부는,상기 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있고, 또한, 상기 프로세스 파라미터의 값이, 상기 프로세스 파라미터 정보 수신부가 수신한 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 값과 소정의 관계에 있는 값인 레시피를 상기 레시피 격납부로부터 검색하여, 상기 검색 한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 군 관리 시스템.
- 제5항에 있어서,상기 레시피는,프로세스 파라미터에 대한 링크의 정보인 링크 정보를 포함하고,복수의 레시피가 하나의 프로세스 파라미터에 대한 링크 정보를 갖는 군 관리 시스템.
- 제5항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 군 관리 시스템을 구성하는 프로세스 정보 관리 장치.
- 제5항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 군 관리 시스템을 구성하는 제어 장치.
- 컴퓨터에,레시피에 포함되는 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 접수하는 접수 스텝과,상기 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 기록 매체에 격납되어 있는 레시피를 검색하고, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득 스텝과,상기 레시피 정보 취득 스텝에서 취득한 레시피 정보를 출력하는 출력 스텝을 실행시키기 위한 프로그램이 기록된 기록 매체.
- 컴퓨터에,기록 매체에 격납되어 있는 레시피를 사용하여, 처리 장치를 제어하고, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실행시키는 제어 스텝과,레시피 내의 프로세스 파라미터의 변경 지시를 접수하는 변경 접수 스텝과,상기 변경 접수 스텝에서 접수한 변경 지시에 따라, 상기 기록 매체의 레시피를 변경하는 레시피 변경 스텝과,상기 변경의 대상의 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 취득하는 프로세스 파라미터 정보 취득 스텝과,상기 프로세스 파라미터 정보 취득 스텝에서 취득한 프로세스 파라미터 정보를 프로세스 정보 관리 장치로 송신하는 프로세스 파라미터 정보 송신 스텝과,상기 프로세스 파라미터 정보의 송신에 대응하여, 상기 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 상기 프로세스 정보 관리 장치로부터 수신하는 레시피 정보 수신 스텝과,상기 레시피 정보 수신 스텝에서 수신한 레시피 정보를 출력하는 레시피 정보 출력 스텝을 실행시키기 위한 프로그램이 기록된 기록 매체.
- 컴퓨터에,제어 장치로부터 프로세스 파라미터 정보를 수신하는 프로세스 파라미터 정보 수신 스텝과,상기 프로세스 파라미터 정보 수신 스텝에서 수신한 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 기록 매체의 1 이상의 레시피를 검색하고, 상기 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득 스텝과,상기 레시피 정보 취득 스텝에서 취득한 레시피 정보를 상기 제어 장치로 송신하는 레시피 정보 송신 스텝을 실행시키기 위한 프로그램이 기록된 기록 매체.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2006-00122770 | 2006-04-27 | ||
JP2006122770A JP5062806B2 (ja) | 2006-04-27 | 2006-04-27 | 群管理システム、プロセス情報管理装置、制御装置、およびプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080066677A KR20080066677A (ko) | 2008-07-16 |
KR100997413B1 true KR100997413B1 (ko) | 2010-11-30 |
Family
ID=38655411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020087008900A KR100997413B1 (ko) | 2006-04-27 | 2007-04-24 | 군 관리 시스템, 프로세스 정보 관리 장치, 제어 장치 및, 프로그램이 기록된 기록 매체 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5062806B2 (ko) |
KR (1) | KR100997413B1 (ko) |
TW (1) | TW200816267A (ko) |
WO (1) | WO2007125885A1 (ko) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8392136B2 (en) * | 2010-07-09 | 2013-03-05 | Kla-Tencor Corporation | In-place management of semiconductor equipment recipes |
JP6222810B2 (ja) * | 2012-07-17 | 2017-11-01 | 株式会社日立国際電気 | 管理装置、基板処理装置、基板処理システム、基板処理装置のファイル管理方法及びファイル転送方法 |
WO2014189045A1 (ja) * | 2013-05-22 | 2014-11-27 | 株式会社日立国際電気 | 管理装置、基板処理システム、装置情報更新方法、及び記録媒体 |
JP6850128B2 (ja) | 2014-04-14 | 2021-03-31 | アドバンスト・リアクター・コンセプツ・エルエルシー | 合金のマトリックス中に分散したセラミック核燃料 |
SG11202110248VA (en) * | 2019-03-20 | 2021-10-28 | Kokusai Electric Corp | Recipe creation method, semiconductor device manufacturing method, substrate processing apparatus, and recipe creation program |
JP7185671B2 (ja) * | 2020-09-23 | 2022-12-07 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63168703A (ja) * | 1987-01-07 | 1988-07-12 | Yokogawa Electric Corp | 半導体拡散炉制御装置 |
JP3282677B2 (ja) * | 1992-03-30 | 2002-05-20 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置の制御方法及び半導体製造装置 |
JP3447067B2 (ja) * | 1992-04-30 | 2003-09-16 | 松下電器産業株式会社 | プロセスフロー作成方法 |
JP2780702B2 (ja) * | 1996-05-30 | 1998-07-30 | 日本電気株式会社 | 生産制御システムおよび生産制御方法 |
JPH11232338A (ja) * | 1998-02-17 | 1999-08-27 | Toshiba Corp | プロセスフロー作成装置、プロセスフロー作成方法、及び、プロセスフロー作成プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP2003162314A (ja) * | 2001-11-27 | 2003-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | 生産管理方法、生産管理システム、および半導体ic |
JP2005250909A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Fujitsu Ltd | 整合性維持システム |
JP4664630B2 (ja) * | 2004-07-22 | 2011-04-06 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造装置に対する自動レシピ作成装置及び作成方法 |
-
2006
- 2006-04-27 JP JP2006122770A patent/JP5062806B2/ja active Active
-
2007
- 2007-04-24 WO PCT/JP2007/058787 patent/WO2007125885A1/ja active Application Filing
- 2007-04-24 KR KR1020087008900A patent/KR100997413B1/ko active IP Right Grant
- 2007-04-27 TW TW096115072A patent/TW200816267A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007294773A (ja) | 2007-11-08 |
WO2007125885A1 (ja) | 2007-11-08 |
TW200816267A (en) | 2008-04-01 |
KR20080066677A (ko) | 2008-07-16 |
TWI344170B (ko) | 2011-06-21 |
JP5062806B2 (ja) | 2012-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100997413B1 (ko) | 군 관리 시스템, 프로세스 정보 관리 장치, 제어 장치 및, 프로그램이 기록된 기록 매체 | |
JP5077992B2 (ja) | サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム | |
KR101050813B1 (ko) | 서버 장치 및 기록 매체 | |
US20090205037A1 (en) | Mobile terminal, resource access control system for mobile terminal, and resource access control method in mobile terminal | |
KR100953125B1 (ko) | 프로세스 정보 관리 장치, 프로그램이 기록된 기록 매체 및 프로세스 정보 관리 방법 | |
JP2012078917A (ja) | 情報処理システム | |
US9071706B2 (en) | Image reading device and image reading-transmitting method | |
KR101138234B1 (ko) | 정보 처리 장치, 정보 처리 방법 및 프로그램 | |
KR101002368B1 (ko) | 프로세스 정보 관리 장치, 프로그램이 기록된 기록 매체 및 프로세스 정보 관리 방법 | |
EP2511840A1 (en) | Apparatus, method and medium for implementing web access rules | |
JP4796888B2 (ja) | 群管理システム、プロセス情報管理装置およびプログラム | |
KR101027727B1 (ko) | 반도체 제조 장치, 장치 동작 파라미터의 관리 방법 및 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 기록 매체 | |
US10152583B2 (en) | Security information update system, information processing apparatus, and non-transitory computer-readable recording medium encoded with security information update program | |
US9648010B2 (en) | Relay device, non-transitory storage medium storing instructions executable by the relay device, and service performing system | |
JP6809573B2 (ja) | 携帯端末及びプログラム | |
CN112449069A (zh) | 设备、信息处理装置以及记录媒体 | |
JP2010033365A (ja) | サーバクライアントシステムおよびサーバマシン | |
JP5098282B2 (ja) | 画像形成装置、更新情報通知方法および更新情報通知プログラム | |
US7840580B2 (en) | Peripheral device, search result storage method and computer program product | |
US20210303541A1 (en) | Data association system and update frequency change system | |
JP2009054674A (ja) | 製造装置、操作ログ蓄積方法、及びプログラム | |
JP5476543B2 (ja) | 情報処理装置および情報処理方法 | |
JP2003015992A (ja) | 情報提供サーバおよび情報提供方法 | |
TW200822175A (en) | Group management system, process information management apparatus and program | |
JP2001358876A (ja) | データ通信装置、データ通信方法、データ通信システム、及び媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131031 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141103 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151102 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161028 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171030 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181119 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191118 Year of fee payment: 10 |