JPS63168703A - 半導体拡散炉制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、半導体拡散炉の拡散用チューブのルリ御パラ
メータを記入したテーブルであるレシピの作成（入力）
手段の改良に関する。

〈従来技術〉 出願人の先願になる特願昭６１−１６０４９２号により
システム全体の概要を説明する。

１１〜１πはｎ台の半導体拡散炉で、各拡散炉は夫々３
台のチューブ２１１，２１２．２盲３〜２π＋　＋　２
ｕ　２１２π３を有している。

３１〜３１は、半導体拡散炉１１〜１πに対応したライ
ンコントローラであり、夫々３台のチューブに操作信号
を供給すると共にプロセスデータを収集し、ガス供給バ
ルブのシーケンス制御、ガス流量、温度制御などのフィ
ードバック制御機能、ボートローダ制御、自動ドア制御
、温度などのプロセスデータのモニター機能などを有す
る。

４１〜４πは、ラインコントローラ３１〜３πに対応す
る操作パネルであり、各ラインコントローラに対してチ
ューブの制御シーケンスの起動、ボートローダ、自動ド
アのマニュアル操作、緊急停止などの操作信号の発信並
びにプロセスデータを受信してプロセス進行状況の表示
等を実行する機能を有する。

５はマイクロコンピュータを用いた管理レベルの制御装
置であり、通信線６により各ラインコントローラに接続
され、各ラインコントローラよりプロセスデータを収集
すると共に各チューブの制御情報が記述されたレシピを
ダウンロードする。

７は制御装置５との情報交換を行うマンマシンインター
フェイスであり、半導体拡散炉の稼動状況の表示、レシ
ピのメンテナンス、プロセスデータモニター、生産履歴
表示、チューブ温度トレンド表示、温度設定タイマ操作
、温度モニター値の補正操作等を実行する。

８は磁気ディスク、フロッピーディスク等に゛よるファ
イル手段であり、各チューブに対応したレシピファイル
、生産履歴ファイルが収容され、レジとファイルは、制
御装置５よりのアクセスで読み出され、制ｎ装置を介し
てマンマシンインターフェイス７によりファイルの内容
がメンテナンスされる。

この様な構成により、各半導体拡散炉のチューブの運転
は、制御装置５よりラインコントローラにダウンロード
された各デユープに対応するレシピに記述された制御情
報に基づいてシーケンス制御、フィードバック制御、モ
ニターなどが実行される。

チューブの制御は、これに対応したレシピに記述した制
卸情報によるが、複数のチューブについて同−又は極め
て類似の制御を実行したい場合でも、各チューブのバル
ブ類の極性や詳細な構成の相違、部分的な修理、改造な
どのハードウェアレベルの構成の相違により、具体的な
制御レベルでは各チューブの制御パターンが相違してく
る。

従って、各チューブに対応するレシピは、詳細な制御レ
ベルの情報について別個に定義し、かつメンテナンスす
る必要がある。従って基本シーケンスの異なるレジとを
多数用意したい場合には、各拡散炉内の各チューブ共通
に設けられる共通レシピファイル１０．と、この共通レ
シピファイルに対応して、各チューブ毎に開閉供給され
るガス名を対応するバルブの開閉信号に変換する第１テ
ーブル記述機能１１５．と、流量制弧される出力ガス名
と流量仕様を各ガスに対応する各バルブ並びにその開度
信号に変換する第２テーブル記述機能１１１２と、さら
に各チューブ内の温度設定並びにモニター値の補正を行
う第３テーブル記述機能１１１３とを與備させて、各チ
ューブは上記共通レシピおよび第１．第２．第３テーブ
ル記述機能で特定された固有の制御情報に基づいて運転
される。

この様な構成により、共通な基本シーケンス情報は、共
通レシピに定義され、各チューブに特有の制御情報は、
ガスに対応して開閉されるバルブ情報を記述した第１テ
ーブル、流量制御され３ガス名により対応するガスのバ
ルブ開度情報が記述された第２テーブル、温度制御情報
が記述された第３テーブルで定義され、チューブに共通
な基本制御情報のみがレシピで管理される。

・〈発明が解決しようとする問題点〉 この様な構成の制御装置における共通レシピ並びに第１
〜第３テーブルによるレシピの作成、修正メンテナンス
は、マンマシンインターフェイス７のＣＲＴ上にチュー
ブの制御ステップ毎又は各制御項目毎に表示された制御
パラメータ一覧表をキーボードからのキー人力により作
成又は修正する。

第４図はこのような共通レシピ画面の一例を示すもので
、Ｎ０１４レシピのＮ０２１ステツプのパラメータ情報
が表示されている。

この様な管理方法の問題点は、各ステップ毎にＣＲ７表
示が別れているために、全体の制御の流れを把握しにく
いことである。

また各制御パラメータの表示がすべて数字又は文字によ
るために視覚的にその量がつかみにくく、従って各制御
パラメータ（温度、流量、バルブの開平、ボートローダ
動作、自動ドア動作など）間の相互の影響が認識しにく
い。

このために、レシピの作成に時間を要する上に制御パラ
メータの設定ミスによる誤動作の危険もある。

本発明はこの様な問題点を解消できる制＠装置の提供を
目的とする。

〈問題点を解決するための手段〉 本発明の構成上の特徴は、半導体拡散炉の拡散用チュー
ブの制御パラメータを記入するレシピのメンテナンスを
実行するマンマシンインターフェイスにおいて、当該レ
シピの全ステップを一括してＣＲＴに表示すると共に、
各ステップのパラメータをグラフィック表示する機能並
びに上記パラメータのデータの一部又は全部をディジタ
ル表示する機能を設け、各ステップごとのパラメータを
ソフトキーの操作により変更する点にある。

く作用〉 本発明によれば、メンテナンスすべきレシピは、全ステ
ップがＣＲＴ上に表示され、各パラメータは各ステップ
に対応してグラフィックに表示され、データの一部又は
全部が同時にディジタル表示され、これら表示パラメー
タのデータをソフトキーの操作により変更する。

〈実施例〉 第２図により本発明の実施例を共通レシピの例で説明す
る。

７ＡはＣＲＴの表示画面であり、Ｎ０９４のレシピのメ
ンテナンスを実行するための表示がされており、グラフ
ィック表示部７０’ｌと詳細データ表示部７０２より構
成されている。グラフィック表示部では、ステップ全体
がＯ〜２０で示され、各ステップのインターバル時間は
数字表示されるが、温度のプログラム設定値、ボートロ
ーダの挿入位置、自動ドアの開閉ステータス、ガスの供
給量のプログラム設定値がグラフィックに表示される。

詳細データ表示部７０２では、画面内のポインタＰが位
置するステップのパラメータ、この例では第３ステツプ
の温度の設定値がディジタル表示され、同時に許容偏差
エラ一時間が表示されている。

キーボード７Ｂにおいて、Ｋ１〜１〈５はそれぞれイン
ターバル、温度、ボートローダ、自動ドア。

ガスなどのパラメータに対応するソフトキーであり、Ｋ
５．Ｋｇはステップ方向の移動制御ソフトキーである。

これらキー操作により画面上のポインタＰをメンテナン
スしたいステップのパラメータ位置に移動させると、こ
のステップの詳細データがデータ表示部に表示されるの
で、アンダーラインの数字部分をキーボードのテンキー
、リターンキー（図示せず）等により入力し、エントリ
ーを確認した後にｍｌ用のソフトキーＫｅの操作により
、データがファイルに記入されると共に画面のグラフィ
ック表示も入力されたデータに対応する大きさの表示に
変更される。

このようにして入力されたレシピを共通レシピＮ０．４
として登録する。

第３図、第４図は、以上の入力操作をまとめてフローチ
ャートで示したものである。第３図は準備フローであり
、レジとチューニングメニューを経てメンテナンスを実
行するレシピを呼び出すまでの手順を示している。

第４図は、ソフトキーによる入力位手順であり、（Ａ）
〜（Ｅ）が各パラメータの入力手順を、（Ｆ）がステッ
プを変更するポインタの移動入力手順を、（Ｇ）が入力
データの確認をする手順をそれぞれ示している。

上記実施例では、共通レシピに付いてのメンテナンスの
例を説明したが、第１図において説明した第１〜第３テ
ーブルのメンテナンスについてもまったく同様な手法に
よりデータの入力並びに修正のメンテナンスを実行する
ことが可能である。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明によれば全ステップの制御
データをグラフィックによる一括表示にしたために、全
体の制御の流れが一目で把提可能となり、制御パラメー
タ相互の影響が認識しやすくなると共に誤設定を防止す
ることができる。

このため、レシピの作成、調整に要していた多大の工数
を削減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は半導体拡散炉制御装置の全体概念図、第２図は
本発明の実施例を示すＣＲＴ表示およびソフトキーの構
成図、第３図、第４図は本発明の操作手順を説明するた
めのフローチャート図、第５図は従来技術の一例を示す
ＣＲＴ表示構成図である。 １１〜１π・・・半導体拡散炉　　３□〜３π・・・ラ
インコントローラ　　４．〜４ＴＬ・・・操作パネル５
・・・制御装置　　６・・・通信線　　７・・・マンマ
シンインターフェイス　　７０１・・・グラフィック表
示部　　７０２・・・詳細データ表示部　　８・・・フ
ァイル手段　　Ｋ１〜Ｋｅ・・・ソフトキー第１図 （Ａ）　　　　　　　　　（Ｂ） （Ｅ）　　　　　　　　（Ｆ） ′＋　２ （Ｃ）　　　　　　　　（Ｄ） （Ｇ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体拡散炉の拡散用チューブの制御パラメータを記入
   するレシピのメンテナンスを実行するマンマシンインタ
   ーフェイスにおいて、当該レシピの全ステップを一括し
   てＣＲＴに表示すると共に、各ステップのパラメータを
   グラフィック表示する機能並びに上記パラメータのデー
   タの一部又は全部をディジタル表示する機能を設け、各
   ステップごとのパラメータをソフトキーの操作により変
   更することを特徴とする半導体拡散炉制御装置。