TW200816267A - Group control system, process information management apparatus, control device, and program - Google Patents

Description

200816267 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於群組管理系統等，其管理例如關於對半導 體製造裝置、液晶面板製造裝置等處理裝置進行控制之資 訊之配方。 、 • 【先前技術】 ‘ 先前之群組管理系統，在使用者複製配方時，具有使用 |選擇製造同-膜種之半導體製造裝置，可在該等半導體 ( 冑造裝置之間自動實行複製等功能（例如，參照專利文獻 1)。 此外，在構成先前之群組管理系統之控制裝置（半導體 製造裝置等）之配方中，記述有用於吸收裝置間之差（裝置 .機差）之稱為製程參數之變數。此外，該製程參數藉由複 數之配方被共同記述。而且，因為處理裝置及控制裝置之 維護等而性能產生改變時，使用者變更製程參數的值。 D [專利文獻U日本特開平ll-3401 1 H#b公報（第！頁、第1圖 等） ° 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 使用者在變更製程參數的值時，需要藉由知道使用該製 程參數之配方來確認製程參數變更之準確性。 但是，先前之群組管理系統中，為確認製程參數變更之 準確性’使用者打開全部之配方，逐一參照配方内容進行 判斷。 120406.doc 200816267 此外，由於使用者未確認配方之内容而進行了製程夂數 變更，而成為不合適之製程參數變更，其結果亦有在控制 裝置或處理裝置中產生不當動作之狀況。 工 [解決問題之技術手段] 本發明之製程資訊管理裝置係構成群組管理系統者，咳 群組管理系統具有：2個以上之控制裳置，其係分肿制 對於，處理基板實行特定製程之2個以上之處理裝置者. Ο u =與前述控制裝置連接之製程資訊管理裝置；且製程資訊

管理裝置具有：配方儲存部’其分別對應前述2個以上L 控制裝置’儲存前述2個以上之控制裝置所保持之關於製 程之資訊之2個以上之配方；受理部，其受理配方所包= 之關於製程參數之資訊之製程參數資訊；配方資訊取得 部’其使用前述製程參數資訊’自前述配方健存部檢索配 方j取得作為關於該檢索之配方之資訊之配方資訊；及輸 出部’其輸出前述配方資訊取得部取得之配方資訊。 【實施方式】 以下，麥照圖式就群組管理系統等之實施形態進行說 明。此外’在實施形態巾料相同符號之構成要素進行相 同之動作’故有時會省略其再次之說明。 (實施形態1) 圖係本貫鈿形恶中群組管理系統之概念圖。群組管理 統:其係控制例如半導體製造裝置、液晶面板製造裳置 等之製梃裝置之系、统。此外，群組管理系統具有i個以上 < 置U(處理裝置"⑴至處理裝置ll(n))，1個以上 120406.doc 200816267 之!工制裝置12(控制裝置12⑴至控制裝置ΐ2(η))，及製 訊管理裝置13，客戶（client)裝置14。 、王、 處理裝置11係對於被處理基板實行特定製程之裝置。更 具體而言’處理裝置U係半導體製造裝置、液 Ο Ο 裝置等製造裝置。處理裝置u，例如，進行對於被處理基 反之成膜處理、餘刻處理、熱氧化處理等各種處理。斤理 裝置U，例如，係複合製程型之半導體晶圓製造裝置=圖 2』不本半導體晶圓製造裳置之例。如圖2所示，本半

製造裝置之構成為具備：對半導體晶圓進行各種I 列如，進打成膜處理、钕刻處理及熱氧化處理等之 數（例如，3個）之_ 1 。 ^ … ）“至卜2、3;收容可存放多數片（例 二之盒C1、C2之盒室4、5;在製程室1、 益室4、5之間進行晶圓W交接之搬運室6。各— 間經由閘閥G開閉自由地連接。在搬運室6内設置有可^ 屈伸動作及旋轉動作之例如多關節式搬 2 入各室4 Lw之搬運。盒m在被取 …、5内時反轉90度’並旋轉該±C1、C2 P 口使其朝向搬運室6内中 取出、放入晶圓W之姿勢。“置為可猎由搬運臂7 ^外’控制裝置12係控制處理裝置^之裝置，通常對應 …里裝置U而設置。控制裝置12健存有配方，：' 方，控制裴置12控制處理裝置丨丨。 ν'己 祜幸饰#， 丨月此万係指關於對於 处土板之特定製程之資訊，通常，為你& 、 之資訊。 為1耘條件值集合 120406.doc 200816267 此外，控制裝置12係取;p 時產生之作為警報資訊集:之==控制處理裝置” 資訊。再者，處理裝置U與控…控制裝置固有 亦可為分離之構成。 、12既可構成為一體’ 圖3係本貫施形態之 多从曰> & 、、 g理糸統之方塊圖。群袓瞢理 糸統具有處理裝置丨〗、押 f、，且s理 ^ ^ , 工茗置12、製程資訊管理f f 1：3 及客戶裝置14。此外，, 吕里忒置1«3 卜圖3中省略了處理裝置U。 控制裝置12具有#告,丨# 制4置側配方儲存部121，配方值# 部122及控制部123。 配方傳迗 製程資訊管理裝置 1 3 2、配方保存部i 3 3 輸出部136。 u具有配方儲存部131、配方接收部 、受理部134、配方資訊取得部135、 製程參數資 負机顯示部 客戶裝置14具有製程參數資訊輸入部141、 訊交付部142、配方資訊受理部143、配方 1 4 4 〇 制玫置側配方儲存部丨2丨儲存有用於控制處理裝置U Θ斤彳吏用之两？ ^ θ所謂配方係指關於對於被處理基板之特定 "之資A ’通常係包含製程參數資訊集合之資訊。配 J 士匕g對於製程參數之連結之資訊即連結資訊。再 者，配方亦可直接具有製程參數之資訊。製程參數之資 孔例如包含分類名、專案名、參數名、值。所謂分類名 系表不製私參數種類之名稱，例如，「溫度」、「氣體流 」 舟殿升降機（boatelevator)速度」等。專案名係表 不製程來翁厘u 「 ” ^数屬性之名稱，例如，「上下速度」「旋轉速 120406.doc 200816267 度」等。參數名係製程參數之名稱，例如，「c」「A 等。值係給予製程參數此變數的值。控制裝置側配方儲存 部最好係非揮發性記錄媒體，但即便係揮發性記錄 體亦可實現。 μ 配方傳送部122向製程資訊管理裝置13傳送控制裝置側 配方儲存部121之配方。配方傳送部122可藉由無線或有線 之通信機構等實現。 Ο c； 控制部123使用控制裝置側配方儲存部121之配方，控制 處理裝置1 1，使其對被處理基板實行特定製程。控制部 123通系可由Μρυ或記憶體等實現。控制部Η]之處理順序 通常係藉由軟體來實現，該軟體記錄在RQM等記錄媒體 中。但控制部123之處理程序亦可藉由硬體（專用電路）來實 現0 配方儲存部131分別對應2個以上之控制裝置12，儲存2 個以上之控制裝置12保持之關於製程之資訊之2個以上之 配方。如上所述之配方包含例如對於製程參數之連結之資 訊即連結資訊。而且，複數之配方具有對於一個製程參數 之連結資訊。此情況下，一配方之一製程參數之資訊變更 會直接影響到其他配方。此係因為其他之配方係藉由連結 資訊參照該—製程參數之f訊之故。配方儲存部⑶之配 方通常係從2個以上之控制裝置12接收之配方，但亦可係 從可移動型記《體讀出之配方。配方儲存部i3i較好為 非揮發性之記錄媒體，但以揮發性之記錄媒體亦可實現。 配方接收部132彳㈣以上之控制裝置12接收配方。配方 120406.doc 200816267 接收部132通常可藉由無線或有線之通信機構來實現，但 亦可藉由接收廣播之機構來實現。 配方保存部133將配方接收部132接收之配方保存在配方 儲存部131。配方保存部133通常可由MPU或記憶體等來實 現。配方保存部133之處理順序通常係藉由軟體來實現， 該軟體記錄在ROM等記錄媒體中。但配方保存部133之處 理亦可藉由硬體（專用電路）來實現。 Ο Ο 。受理部134受理配方所包含之關於製程參數之資訊之製 程麥數資訊。此處之所謂製程參數資訊之受理，係指接 收、從記憶媒體讀取或受理來自使用者之輸入等。製程參 數資訊係配方所包含之關於製程參數之資訊。製程參數資 心列如包含製程參數名。此外，例如，製程參數資訊包含 製程錢名與製程參數的值。製程參數資訊之輸入機構例 如可：由數位鍵、鍵盤、滑鼠及功能表晝面等。受理部 U4可错由接收機構（無線或有線之通信機構），數位鍵、鍵 =輸入機構之設備驅動程式’及功能表晝面 等來實現。 配方資訊取得部135使用受理部134受理之製程參數資 ^從配方储存部131檢索配方，取得關於該檢索之配方 之Γ方資訊。更具體而言，配方資訊取得部m係 双'、。含文理部134受理之製程參數資訊 部134受理之贺炎 > 3 ^ .*數貝矾處於特定關係之製程參數資訊 取得關於該檢索之配方之資訊之配方資訊。所謂 貝^ 糸指例如配方名、顯示包含配方名與配方内容中 120406.doc 200816267 Ο u 之製釭麥數資訊之處所之資訊（列編號等）。此外，例如， 配方資訊取得部135從配方儲存部13 i檢索使用有以製程參 數資訊所包含之製程參數名所識別之製程參數之配方，取 得關於該檢索之配方之配方資訊。此外，例如，配方資訊 取得部135從配方儲存部131檢索使用有以製程參數資訊所 包含之製程參數名所識別之製程參數、且該製程參數的值 係與受理部134受理之製程參數資訊所包含的值處於特定 關係的值之配方，取得關於該檢索之配方之配方資訊。配 方貧訊取得部135，通常可由Mpu或記憶體等來實現。配 方資訊取得部135之處理順序通常係藉由軟體來實現，该 軟體錢在ROM等記錄媒體中。但配方資訊取得部⑴之 處理亦可藉由硬體（專用電路）來實現。 輸出部136輸出配方資訊取得和 所謂輸出係包含向顯亍…g _ 传之配方貝訊。 部裝置之傳、… 不、向印表機之列印、向外 如 、、D 5己錄媒體之保存等概念。輸出部136例 曰，、，、線或有線之通信機構&承. 136可藉由輪出㈣“成構末貝現。此外’輸出部 曰由輪出衮置之驅動軟體 與輸出裳置等來實 I置之驅動软體 顯示器及揚聲器等輪出：置π: 可考慮包含 聲器等輸出裝置。 、/亦可考慮不包含顯示器及揚 製程參數資訊輸入部 資訊輪入部U卜心 輸入“蒼數資訊。製程參數 來實現。 ，可藉由鍵盤與滑鼠及其驅動軟體 製程參數資訊交付部142使用製程參數資訊輸入部⑷將 120406.doc -11 - 200816267 使用者輪人$弟 ,. I程參數資訊交付於製程資訊管理裝置13。 此處，戶斤含菅丄 ^又付，例如為傳送。製程參數資訊交付部 丄外z ’例如，益 错由無線或有線之通信機構來實現。 酉己 f ffl τχα ^ 、°又里部143從製程資訊管理裝置13受理配方資 汛。此處，斯士田心 ^ ♦ 一 明文理例如為接收。配方資訊受理部143， • 1 藉由無線或有線之通信機構來實現。 垃I方育訊顯示部144在顯示器上顯示配方資訊受理部143 接收之配方資訊。 〇 哭々“ 配方貝訊顯不部144，例如，藉由顯示 裔之驅動軟體來實現。 =之=組管理系統之動作進行說明。首先，就控制 之動作例進行說明。控㈣置12之配方傳送部122 檢測控制裝置12與製程資訊 自製程資訊f㈣置13之“ f置13之連接，或回應來 4置13之要求’ sw出控制裝置側配方儲存 和！之配方，傳送至製程資訊管理裝置η。此外，控制 裝置12之控制部! 2 3讀出控制裝置側配方儲存部⑵之配 〇 方，根據該配方控制處理裝置U1後，處理裝置u 控制裝置12之指示實行對於被處理基板之製程。 繼之’使關4之流程圖就製程資訊管理裝置13之動作 進行說明。 - (步驟S40D配方接收部132判斷是否從控制裝置12接收 到配方。若接收到配方則進行步驟咖，若未接收到配方 則進行步驟S403。 (步驟S402)配方保存部133將在步驟^⑴受理之配方保 存在配方儲存部131。 μ 120406.doc 200816267 (步驟S 4 0 3 )受理部1 3 4判斷是否受理到製程參數資訊。 若受理到製程參數資訊則進行步驟S4〇4，若未受理到製程 參數資訊則返回步驟S401。 (步驟S404)配方資訊取得部135將1代入計數器土。 (步驟S405)配方資訊取得部135判斷第丨號之配方是否存 在於配方儲存部131。若第丨號之配方存在則進行步驟 S406，若第i號之配方不存在則進行步驟以15。

(步驟S406)配方資訊取得部丨35將丨代入計數器】。 (步驟S407)配方資訊取得部⑴從配方儲存部i3i讀出、 並打開第i號之配方（例如，槽案）。 (步驟S408)配方資訊取得部135剌 丨^刦斷弟1號之配方之第j號 之製程參數資訊是否存在。 右弟j唬之製程參數資訊存在 則進行步驟S4〇9，若第j號之掣寇灸叙一欠 I耘苓數貧訊不存在則進行 步驟S 4 1 4。 Ο (步驟S409)配方資訊取得部訊0 135讀出第j號之製程參數資 裎夂^ ,丄〜珂於在步驟S403受理之 =數μ與在步_。9讀出之第” 進订比較，判斷是否符合於特 I數貝訊 之條件則、隹—此 ”牛右不符合於特定 之條件料彳了步驟S411，若符合 于疋 S4i2。而所謂特定之條件，例如相進行步驟 特定之條件，例如，❹^參數此外，所謂 如’係在製程參數資訊中，分類名荦名1條件’例 寻莱名、參數名及值 120406.doc -13 - 200816267 ，例如，係在製程 3個資訊一致，且 器j增加1。然後， 4個資訊一致。此外，所謂特定之條件 參數資訊中，分類名、專案名及參數名 值的差為特定值以下。 (步驟S 411)配方資訊取得部13 5將計數 返回步驟S408。 f、 ϋ (步驟S412)配方資訊取得部135取得第{號配方之資a之 配方資訊。所謂配方資訊，例如，係配方之名稱。此^卜， 所謂配方資訊，例士。’係配方之名稱及第』號之製程參數 資訊之處所（列編號及標案自最初分出等）資訊。再者/配 方資訊包含符合條件之製程參數之處所資料，配方〜 取得部135找出全部符合條件之製 、貝。 从 /数貝讯進行處理為 侄0 (Γ_13)配方資訊取得部135將在步驟⑷2取得之配 方資訊暫時儲存在記憶體等中。 (步驟S414)配方資訊取得部135將計數器碑加卜 返回步驟S405。 … (步驟S415)輸出部136讀出、 所取得並暫時儲存之配方資訊 之態樣不限。 並輸出配方資訊取得部13 5 。輸出部136輸出配方資訊 夕，圖4之流程圖中’藉由關閉電源 來結束處理。 ~4束

其次1客戶裝置14之動作進行說明。客戶MU 釭I數貝矾輸入部141受 I 輸入。然後，穿裎夂勃-欠 > …fL之 >數-貝讯父付部丨42向製程資訊管理裒 120406.doc -14- 200816267 置13傳送所輸入之製程參數資訊。然後，配方資訊受理部 143對應製程參數資訊之傳送接收配方資訊。繼之，配方 資訊顯示部14 4顯示接收之配方資訊。 以下，就本實施形態之群組管理系統之具體動作進行說 明。群組管理系統之概念圖為圖1。 ° Ο 此外’ t程資訊管理裝置13假言史為從2個以上之控制裝 置邮收配方，魏方料部131巾，料有如圖^示: 多數量配方。圖5所示之各配方具有複數步驟。且，各+ 驟具有「步驟No」「步驟名」「步驟時間」「分/ 「「參數名」「值」等資訊。「步驟〜係識二 。「步驟名」係賦予步驟之名稱。「步驟時間」 表不實行步驟之時刻。「分類名」係構成製程參數資訊之 分類之名稱。「衷营& 於W^ ' 專案名」係構成製程參數資訊之專 含製程參數資訊。製程參數 名」「參數名」「值」……」專案 亦可包含「分類名」「專案名」「 ^數貝， 資訊。 > 數名」「值」以外之 該狀況中，假設控制裳置 栌制梦罟]〇 使用者’例如’在因為對 才工制衷置12之維護等 準^ ^ 使&制裝置12之性能產生改變時， 旱備k更製程參數的值。 卞 繼之，使用者為了知道 參數之影響，將變更斟… 又更給予其他製程 、之製程參數之資訊從客戶裝置14 稱。「參數名」係構成製程參數資訊之參數之名稱。 二:二t以「參數名」所顯示之變數之值。各步驟包 厂 120406.doc 200816267 輸入。例如，使用者由圖 — Ώ 6所顯不之晝面輸入製程參數資 ::此處’製程參數資訊係由「分類名」「專案名」「表 」所構成。’然後’假設使用者用滑鼠按下「實行」f 「二之，客戶裝置14之製程參數資訊輸入部141受理由 廿开丨Μ」「專案名=,,υρ/Β_π」「 名=’fC"」構成之製程參數資訊。 〆

繼之’製程參數資訊交付部142向製程資訊管理裝置 傳运由「分類名舟皿升降機，，」「專案名=”UP/D0Wn”」 「餐數名==”C”」構成之製程參數資訊。 繼之，製程資訊管理裝置13之受理部134接收由「分類 名舟皿升降機，’」「專案名=”Up/D〇wn”」「參數名 = f’C’’」構成之製程參數資訊。 然後，配方資訊取得部135對於配方儲存部131之全部配 方榀索包含由「分類名="舟皿升降機”」r專案名 = ”Up/D〇Wn"」「參數名=”C”」構成之製程參數資訊^步 驟，取得包含該步驟之配方名（例如，「配方χγ」等）。而 且亦取得識別包含製程參數資訊之步驟之「步驟」。 然後，配方資訊取得部135，例如’在記憶體上取得如 圖7所示之取得配方資訊管理表。取得配方資訊管理表^ 有「出」「配方名」「步驟N〇」之屬性。「1〇」係識別 記錄之資訊，用於表之記錄管理而存在。 繼之，輸出部136使用圖7所示之取得配方資訊管理表， 輸出所取得之配方資訊。在此處之輸出係向客戶裝置^ 4 傳送。 120406.doc -16- 200816267 繼之’客戶裝置14之配方資訊受理部143從製程資訊管 理裝置13接收配方資訊。然後，配方資訊顯示部144顯示 所接收之配方資訊，此處，在圖8顯示配方資訊之輸出 例。圖8中，顯示有「配方名」與以「配方名」所識別之 配方之屬性值（編輯者、更新曰期時間等）。亦即，在此處 之配方貧訊包含配方名與配方之屬性值c編輯者、更新日 期時間等）。

Ο 此外，若指定一配方名（例如，若用滑鼠點選），則使用 對應於藉由該配方名所識別之配方之步驟Ν〇(受到影響之 步驟識別資訊），顯示步驟之資訊（製程參數之資訊）。圖9 表示該顯示例。根據圖9，受到影響之步驟列被聚焦，以 區別其他之步驟。 士以上，根據本實施形態，使用者在變更製程參數資訊 時，可容易地知道製程參數之變更影響到之丨個以上之配 方。因此，使用者可容易地確認製程參數變更之準確性-而且’根據本實施形態，可容易地知道製程參數之變更與 響到之1個以上之配方’製程參數之變更可合適地進行： 其結果可保證控制裝置及處理裝置之動作良好。 仃。 此外，根據本實施形態，由於配方之檢索 制裝置同步之配方之製程資訊管理裝置進行”與控 裝置之CPU負荷帶來影響，不影響半導體製造等處J ‘制 外，在製程資訊管理裝置與控制裝置 2理。此 實行配方資訊之檢索。 “，時’亦可 再者，根據本實施形態之具體例’使用者輪入之製程參 120406.doc -17- 200816267 數資訊係「分類名」「專案名」「參數名」，作，、' 他資訊。該點在其他之實施形態中亦係如此。:二亦可：其 者輸入之製程參數資訊亦可係「 °，使用 數名」「值」。圖10顯示該情形時客戶裝置14^輪^4 例。然後，使用在圖10輸入之「分類名」「專案：I 數名」「值」，製程資訊裝置」夢 Ο Ο 索、輸出配方資訊。此處，例如，配方仔部135檢 包含具有「分類名溫度，,」取得部135將 數名=”A”」「值=”120”之牛 P 〇Wn"」「參 值12〇」之步驟之配方名及⑽以上之步 驟N〇作輕方資訊取得。另外，配方資訊 判斷從「值=，，120”」之「120 | 5亦有 」^ +_10」之範圍（即，具 有在「110〜130」内之信丄 之v驟（配方）為符合條件之情 形。 此外，根據本實施形態，製程f訊控㈣置13具備配方 接收部132、配方保存部133，作為從控制裝置12接收配方 儲存部1 3 1之配方之能揭，介古 万之心樣亦可事先將配方儲存在配方儲 子部13 1。此點在其他實施形態中亦係如此。 ，料，在本實施形態中，客戶裝置14之使用者亦可變更 :貝。孔g理裝置13之配方儲存部i 3 J之配方之製程參數 資訊。此日寺，製程資訊管理裝置13藉由未圖示之機構(例 如’更新受理部)受理製程參數資訊之變更，對應該受 理’配方資訊取得部135亦可檢索受該製程參數資訊變更 影響之配方（使用有製程參數資訊之配方）’取得配方資 ofl ° 120406.doc 200816267 然後，製程資訊管理裝置13之未圖示之機構（例如，伺 服器側配方傳送部），亦可對於儲存有配方資訊取得部135 所檢索之配方資訊之控制裂置12，傳送更新之製程參數資 讯或更新之配方全體。此時，控制裝置12之未圖示之機構 • (例如，控制裝置側配方接收部）接收更新之製程參數資訊 • 或更新之配方全體，未圖示之機構（例如，控制裝置側配 方更新部）在控制裝置側配方儲存部121覆蓋更新。再者， 0 進行上述之處理時，製程資訊管理裝置13儲存有用於與原 本保持有各配方之控制裝置12通信之通信資訊（例如，控 制裝置12之IP位址等），使用該通信資訊向控制裝置η傳 廷更新之製程參數資訊或更新之配方全體。進一步，在此 打，客戶裝置14之使用者在進行變更製程資訊管理裝置13 之配方儲存部13 1之配方之製程參數資訊之指示時，製程 身訊管理裝置13之配方資訊取得部135，亦可取得受到該 製程參數資訊變更影響之配方之配方資訊，輸出部136輸 〇 出配方資訊取得部13 5所取得之配方資訊。而且，客戶裝 置14之使用者亦可在檢查受到製程參數資訊變更影響之配 • 方之配方資訊後，輸入許可更新之指示，然後，進行更 新。 此外’本實施形態中處理裝置11與控制裝置12分離，但 亦可為一裝置。該點在其他之實施形態中亦係如此。 再者，本實施形態之處理，亦可藉由軟體實現。而且， 可藉由軟體下載等散發該軟體。此外，亦可將該軟體記錄 於CD-R0M等記錄媒體中傳播。另外，此點亦適於本說明 120406.doc -19- 200816267 t中之其他實施形態。另外’實現本實施形態之製程資訊 管理裝置之軟體係如下之程式。即，該程式係用於使電腦 實行下述步驟者：受理步驟’其受理配方所包含之關於製 程夢數之育訊之製程參數資訊；配方資訊取得步驟，其使 用前述製程參數資訊，檢索儲存於記錄媒體中之配方，取 得關於該檢索之配方之資訊之配方資訊；及輸出步驟，其 將在前述配方資訊取得步驟取得之配方資訊輪出。 Ο Ο :匕外，在上述程式中，前述製程參數資訊較好包含製程 且在前述配方資訊取得步驟中，較好係從記錄媒 體才欢索使用有以前述製程參數資訊所包含之製程表數名所 =之製程參數之配方，取得關於該檢索之配方之配方資 彳外’在上述程式中，前述製程參數資訊 蒼數名與製程參數的值；且在前述配方資訊㈣牛驟中 較好係從記錄媒體檢索使用有以前述製程失數： ’ 之製程參數名所識別之製程參數、且權含 前述受理步驟受理之製程參數資訊所包二值與在 關係的值之配方，取得作為勺值係處於特定 訊。 騎。亥祆索之配方之配方資 (實施形態2) 圖11係本實施形態之群組管理 理系統具有從輸入有配方彭數:之概念圖。本群組管 裝置⑴向製程資訊管理裳置訊之變更指示之控制 更之影響，且從製程資訊管理壯置問關於製程參數資訊變 衣罝13向控制裝置傳送製 120406.doc -20- 200816267 私^數資訊之變更有帶來影響可能性之配方資訊，並在控 里:2輸出。圖11中，群組管理系統具有1個以上之處 里f置U(處理裝置U(i)至處理裝置ll(n))、1個以上之控 政置U2(控制裝置112(1)至控制裝置ιΐ2(η))及製程資訊 管理裝置113。 圖2係本貝施形態之群組管理系統之方塊圖。另外，圖 12中省略了處理裝置11。 抆制液置1 12具有控制裝置側配方儲存部121、配方傳送 口P 122、控制部123、變更受理部丨Η〗、配方變更部11]]、 製程參數資訊取得部1123、製程參數資訊傳送部1124、配 方資訊接收部1125、配方資訊輸出部1126。 製程貢訊管理裝置113具有配方儲存部131、配方接收部 132配方保存部1 33、製程參數資訊接收部113 1、配方資 汛取得部1132、配方資訊傳送部丨丨33。 、交更文理部1121受理配方内之製程參數之變更指示。進 一步具體而言，變更受理部受理關於配方内之製程參 數之育訊之作為製程參數資訊變更指示之變更指示。變更 才曰不，例如，包含製程參數名及變更後的值。變更指示之 輸入機構藉由數位鍵、鍵盤、滑鼠及功能表晝面等均可。 變更受理部1121可藉由數位鍵及鍵盤等輸入機構之裝置驅 動及功能表晝面之控制軟體等實現。 配方變更部1 122對應於變更受理部丨丨2丨受理之製程參數 之變更指示，而變更控制裝置側配方儲存部121之配方。 例如，配方變更部1122將以變更受理部丨121受理之變更指 120406.doc 21 200816267 示包含之製程參數名所識別之製程參數的值，變更為線更 指:包含的值。配方變更部1122通常可由MPU或記㈣等 來貫現。配方變更部丨122之處理順庠 貝序通吊係藉由軟體來實 現，该軟體記錄在R0M等記錄媒體 1一丹亦可猎由硬體 (專用電路）來實現。 Ο u 製程參數資訊取得部1123取得關於變更對象之製程參數 之資訊之製程參數資訊。製程參數資m，例如，只是彭程 參數名。此外，製程參數資訊’例如，係製程參數：： 值。此外’製程參數資訊’例如，係分類名、專案名及製 程參數名。此外，製程參數資訊，例#，係分類名、專案 名、製程參數名及值。製程參數資訊取得部1123通常可由 MPU或記憶體等來實現。製程參數資訊取得部助之處理 順序通常係藉由軟體來實現，該軟體記錄在r⑽等記錄媒 體中。但其亦可藉由硬體（專用電路）來實現。 製程參數資訊傳送部1124向製矛呈資訊管理裝置113傳送 ^參數資訊取得和23取得之製程參數資訊。製程參數 資訊傳送部U24較好在變更受理部1121受理到配方内之製 之變更指示後、配方變更部1122變更配方之前，向 製貧訊管理裝置丨13傳送製程參數資訊。製程參數資訊 傳送=U24通常可藉由無線或有線之通信機構來實現，但 亦可藉由廣播機構來實現。 。配方資訊接收部1125對應於製程參數資訊之傳送，從製 '貝汛&理裝置113接收配方資訊，該配方資訊係關於因 ^製秸參數資訊之製程參數之變更而受到影響之配方之 120406.doc -22 - 200816267 貝訊者。配方資訊接收部1125通常可藉由無線或有線之通 #機構士實現’但亦可藉由接收廣播之機構來實現。 L方資訊輸出部i 126輸出配方資訊接收部ιΐ25接收之配 方貝π。此處，所謂輸出係包含向顯示器之顯示、向印表 .貞：列印、聲音輸出、向外部裝置之傳送及向記錄媒體之 . 2子4概念。配方資訊輸出部⑽可認為包含顯示器及揚 聲器等輸出裝置，亦可切勹入姑一 了 W為不包含顯不器及揚聲器等輸出 〇 ^。配方資訊輸出部1126可藉由輸出裝置之動軟體， 或輸出裝置之驅動軟體與輸出裝置等來實現。 —製程參數資訊接收部1131從㈣裝置112接收製程參數 育訊。製程參數資訊接收部1131較好為無線之通信機構， 但猎由接收廣播之機構或有線之通信機構亦可實現。 配方資訊取得部1132使用製程參數資崎"1131接收 之製程參數資訊’檢索配方儲存部131之！個以上之配方， 取得關於對該製程參數資訊之製程參數之變更受到影響之 Ο 时之配方資訊。配方f訊取得部⑴2，例如，從配^健 存部131檢索使用有以製程參數資訊所包含之製程參數名 戶斤識別之製程參數之配方’取得關於該檢索之配方之資訊 之配方資訊。此外，配方資訊取得部1132，例如，從配: ’議m檢索使用有以製程參數資訊所包含之製程朱數 名所識別之製程參數、且該製程參數的值係與製程參數次 訊接收部仙接收之製程參數資訊所包含的值處於貝 係的值之配方，取得關於該檢索之配方之資訊之配方次 訊。配方資訊取得部1132通常可由卿或記憶體等來= 120406.doc -23 - 200816267 現。配方資訊取得部1132之處理順序通常係藉由軟體來實 現，該軟體記錄在ROM等記錄媒體中。但其亦可藉由硬: (專用電路）來實1。此外，關於配方資訊取得部1132之: 索處理與配方資訊取得部1 3 5相同。 Ο Ο 配方資訊傳送部1133向控制裝置112傳送配方資訊取得 41132取仔之#訊。配方f訊傳送部⑴城常可藉由益線 或：線之通信機構來實現，但亦可藉由廣播機構來實現： 繼之’就群組管理系統之動作進行說明。首先，就控制 裝置U2之動作例進行說明。控制裝置ιΐ2之配方傳μ ⑵檢測控Μ置112與製程資訊管理裝置u3之連接 回應來自製程資訊管理裝置113之要求，讀出控制裝置側 配方儲存部m之配方，傳送至製程f訊管理I置⑴。此 外’控制裝置112之控制部123讀出控制裝置側配方儲存部 ⑵之配方，根據該配方控制處理農置u'錢，處理裝 置U根據控制裝置12之指示實行對於被處理基板之製程。、 ::I曰’^更製程I數的值，關於該變更時之控制 哀置112之處理，使用圖13之流程圖進行說明。 (步驟S13G1)變更受理部1121判斷是否接到配方内之_ :::數之變更指示。若接到變更指示則進行步驟⑴心 右未接到變更指示則返回步驟S13〇1。 /步驟⑽2)製程參數資訊取得部1123按照在步驟S1301 指示，取得關於變更對象之製程參數之資訊之 製私I數資訊。 120406.doc -24- 200816267 (步驟S 1303)製程參數資1彳#、、 / 5文貝5孔傳迗部1124向製程資訊管理 裝置113傳送在步驟81302取得之製程參數資訊。 (步驟S13G4)配方資訊接收部⑽對應於步驟s之製 知參數貝Λ之傳达，判斷是否從製程資訊管理裝置⑴接 收有作為因對該製裎炎崖7 >也丨 ^ -歡貝Λ之製程參數之變更而受到影 響之配方之配方資訊。芒為 、 右又理有配方資訊則進行步驟 S1305，若未受理有配方資訊則返回步驟si3〇4。 Ο Ο (v驟S13G5)g己方貝sfL輸出部丨126輸出在步驟⑴叫妾收 之配方資訊。 (步驟S13〇6)未圖示之機構，判斷是否受理到配方資訊 之變更許可之指示。若 5J配方-貝訊之變更許可之指示 則進行步驟S 1307，若未香踩釗師+ f 木又理到配方資訊之變更許可之指 示則結束處理。 (步驟S 13 0 7)配方變f]ί 0 0 μ & ▲ )刀义更口ΡII22對應於步驟81；301受理之製 程參數之變更指示，變更控告丨裝 夂又？工制裝置側配方儲存部121之配 方。 再者’在圖13之流程圖中，阳士 口 Τ 配方變更部1 1 22亦可在進行 製程參數變更後，從製程資七势 农枉貝汛官理裝置113接收並輸出有 受到該變更影響之可能性之阳士次二 -方貝訊。此種情形，較好係 可進行取消變更之處理。 “ 繼之，使關14之流程圖就製程資訊管理裝置u3之動 作進行說明。在圖14之流程圖中，對與圖4之流程圖相同 之步驟，省略其說明。 (步驟S 1401)製程*數f訊接收部⑴丨判斷是否從控制 120406.doc 200816267 裝置112接收到製程參數眘 # & ^ 貝5fl。右接收到製程參數資訊則 進仃步驟S404，若未接收到萝 > 文认判1矛王參數貧訊則返步驟 S401 〇 / (步驟S14G2)配方#訊取得部⑴2將在步驟則取得之 配方資訊追記於記憶體等。 再者，在圖14之流程圖中’-配方内，製程參數變更影 響所及之處所為2處所以上時’配方資訊為包含⑽以上之 該處所之資訊。 Ο

以下’就本實施形態之群組管理系統之具體動作進行說 明。群組管理系統之概念圖為圖丨j。 此外’製程資訊管理裝置"3從2個以上之控制裝置ιΐ2 接收配方，假設在配方儲存部i3i儲存有如圖5所示之多數 量之配方。 該情形中，假設控制裝置112之使用者，例如，在因對 控制裝置112之維護等而控制裝置112之性能改變時，準備 變更製程參數的值。而1，假設使用者如_之晝面例， 指示製程參數之# f。A+ t ^ ^ ^ 在圖15中，假設打開配方XY此配 方，將「步驟No = 00」之步驟的「值」從「12〇」修正為 「130」，按下「變更」。 、、塵之，控制裝置112之製程參數資訊取得部丨123取得由 分類名溫度”」「專案名=，，Up/D〇wn，，」「參數名= ’’A’’」構成之製程參數資訊。 然後，製程參數資訊傳送部丨124向製程資訊管理裝置 113傳送由「分類名=”溫度，，」「專案g=，，Up/D〇wn，，」「參 120406.doc -26- 200816267 數名A’’」構成之製程參數資訊。 繼之，製程資訊管理裝置113之製程參數資訊接收部 U3"妾收由「分類名=，，溫度，，」「專案名=,叼〜n"」 「蒼數名=πA’’」構成之製程參數資訊。 Ο ϋ 然後，配方資訊取得部1132從配方儲存部i3i檢索且有 「分類名=，，溫度”」「專案名=”Up/Down”」「參數名= ’τ」之製程參數資訊之配方’並取得配方名及具有該製 程參數資訊之處所（此處，為步驟N。），圖16顯示作為該取 得之配方名與步驟N〇i組之配方資訊之例。 繼之，配方資訊傳送部1132向控制褒置112傳送圖狀 配方資訊。 然後，控制裝置1 12夕咨a 以之配方貝讯接收部1125接收圖“之 配方資訊。 繼之，配方資訊輸出部1126，如圖17所示，輸出圖狀 配方育訊。在圖17中，配方f訊輸出部⑽只輪出配方資 訊中之配方名。但配方資訊輸出部ιΐ26亦可輸出步驟❿。 此外亦可受㈣自使心之詳細輸出指示，輸出對應於 以H細輸出指示所顯示之配方名之步驟N〇或/及步驟之 内容。 繼之，假設使用者按下圖17之「變更」按叙，則配方變 更部1122將配…「步一」的值變更為 13? °再者，此處，在使用者檢查圖17之輪出，按; 不’k更」按紐時，配方不被變更。 以上’根據本實施形態，使用者在變更製程參數資訊 120406.doc -27- 200816267 易且確實地確認變更之準確性。其結果可 方破不留心地修正而對製造帶來不良影響。 - 在本貫施形態中’—控制裝置112之配方變更部 1122在變更攀·欠^ σ 亍之機尉 配方時，控制裝置112之未圖 ^機構（例如，變更資訊傳送部）亦可將 或配方傳送到製 数貝。孔 衷置113。然後，製程資訊管 抑制m之未圖示之機構（例如，變更資訊接收部）亦可從 Ο Ο &制破置U2接收被變更之製程參數資訊或配方，製程資 :孔官理裝置113之未圖示之機構(例如，祠服器側配方更新 部）更新製程參數f訊或配方。然後’配方資訊取得部 1_132亦可取得受到該製程參數更新影響之配方資訊，未圖 不之機構（例如，更新配方傳送部）向對應於該配方資訊U 個以上之控制裝置112(原來之被變更配方之控制裝置"2 除外），傳送被更新之製程參數或配方。然後，】個以上之 拴制裝置i 12亦可在接收、並保存製程參數或配方後，更 新配方。 、此外，實現本實施形態之控制裝置之軟體，為以下之程 式。即’該程式係用於使電腦實行下述步驟者：控制步 Λ ”使用^錄媒體所儲存之配方，控制處理裝置，實行 對於被處理基板之特定製程；變更受理步驟，其受理配方 内之襄耘參數之變更指示；配方變更步驟，其對應於在前 述變^受理步驟受理之變更指示，變更前述記錄媒體之配 方製耘參數資矾取得步驟，其取得關於前述變更對象之 製程參數之資訊之製程參數資訊；製程參數資訊傳送步 120406.doc •28- 200816267 驟’其向製程資訊管理裝置傳送在前述製程參數資訊取得 步驟所取得之製程參數資訊；配方資訊接收步驟，其自前 述製程資訊管理裝置接收配方資訊，該配方資訊係對應於 月ij述製程參數資訊之傳送、由於對於該製程參數資訊之製 釭夢數之變更受到影響之配方之資訊；及配方資訊輪出步 驟’其將在前述配方資訊接收步驟接收之配方資訊輸出。 Ο Ο 此外，上述程式中，在前述製程參數資訊傳送步驟，最 好係於在則述變更受理步驟接收到配方内之製程參數之變 更指不後、在前述配方變更步驟變更配方前，向前述 資訊f理裝置傳送製程參數資訊。 、 此外，實現本實施形態之製程資訊管理裝置之軟體，為 以下t程式。即’該程式係用於使電腦實行下述步驟者·‘ 製程參數資訊接收步驟 . 七一 其從控制裝置接收製程參數資 步驟接收之製程參數資气，2在别述製程參數資訊接收 /数貝讯，檢索記錄媒體之 方，取得關於受到讲於A 上之配 影響之配方之配方參數資訊之製程參數變更 述配方資訊取得步驟取得之配方貝：傳送—步驟，其將在前 送。 貝讥向前述控制裝置傳 此外，在上述程式中，前述萝 參數名；且在前述配方次 1王多數資訊較好包含製程 貝取得步驟 體檢索使用以前述製程參數次“鄉中，較好係從記錄媒 別之製程參數之配方，Κ所包含之製程參數名所識 訊。 取件關於該檢索之配方之配方資 120406.doc -29^ 200816267 此外，在上述程式中，前述製程參數資訊較好 參數名與製程參數的值；且在前 ^ 3製程 > . 剛述配方資訊取得步驟由 較好係從記錄媒體檢索使用有以前述製程參數， 之製程參數名所識別之製程參數、且該製程參數的2 在丽述受理步驟受理之製程參數 為與 μ〆t 貝所包含的值處於牿a 關係的值之配方，取得關於該檢索之配方之配方資气。、疋 此外，在上述各實施形態中’各處理(各功能)可

Ο :之义置(系統)、藉由集中處理來實現，或者，亦可藉由 複數之裝置、藉由分散處理來實現。 曰 再者，上述程式中’在傳送資訊之傳送步驟，及接收資 訊之接收步驟等步驟中不包含藉由硬體所進行之處理，例 如，错由傳送步驟之調變解調器或介面卡等進行之處理 (只藉由硬體進行之處理）。 此外，實行上述程式之電腦既可Μ台亦可為複數台。 亦即，可進行集中處理’或進行分散處理。 、在上述各實施形態中，不言自明，存在於-裝置之2個 以上之通信機構亦可藉由物理上之一媒體來實現。 丄本lx月不限疋於以上之實施形態’可進行種種變更，不 5自明，此等變更皆係本發明範圍所包含者。 此外，包含2006年4月27日所申請之日本國專利申請 2〇〇6-m77G號之詳細說明、圖式及中請㈣範圍之揭 /一、藉由參照其全體而被包含於本揭示中。 [產業上之可利用性] 士上，本發明之群組管理系統具有可易於知道受到製程 120406.doc -30- 200816267 個以上之配方之效果’可使用作為半導 面板製造纟置等製造裝置之群組管理系 【圖式簡單說明】 圖1係實施形態i之群組管理系統之概念圖； 圖2係顯示同半導體晶圓製造裝置之例之圖； 圖3係同群組管理系統之方塊圖；

圖4係說明同製程資訊管理裝置之動作之流程圖； 圖5係顯示同配方例之圖； 圖6係顯示同製程參數資訊之輸人晝面例之圖； 圖7係顯示同取得配方資訊管理表之圖； 圖8係顯示同輸出例之圖； 圖9係顯示同輸出例之圖； 圖10係顯示同製程參數資訊之輸入晝面例之圖； 圖11係實施形態2之群組管理系統之概念圖；

參數變更影響之 體製造裝置、液 統等。 圖12係同群組管理系統之方塊圖； 圖13係說明同控制裝置之動作之流程圖； 圖14係說明同製程資訊管理裝置之動作之流程圖； 圖15係顯示同製程參數之變更指示之晝面例之圖； 圖16係顯示同取得配方資訊管理表之圖； 圖17係顯不同輸出例之圖。 【主要元件符號說明】 11(1)〜1 l(n) 處理裝置 12(1)〜12(n) 控制裝置 120406.doc -31 - 200816267 13 製程資訊管理裝置 14 客戶裝置 1、2、3 製程室 4、5 盒室 6 搬運室 7 搬運臂

Cl、C2 盒 Ο

w G 晶圓 閘門 〇 12 121 122 123 13 131 132 133 134 135 136 14 141 142 143 控制裝置 控制裝置側配方儲存部 配方傳送部 控制部 製程資訊管理裝置 配方儲存部 配方接收部 配方保存部 受理部 配方資訊取得部 輸出部 客戶裝置 製程參數資訊輸入部 製程參數資訊交付部 配方資訊受理部 120406.doc -32- 200816267 144 配方資訊顯示部 112(1)〜(η) 控制裝置 112 控制裝置 113 製程資訊管理裝置 1121 變更受理部 1122 配方變更部 1123 製程參數資訊取得部 1124 製程參數資訊傳送部 1125 配方資訊接收部 1126 配方資訊輸出部 1131 製程參數資訊接收部 1132 配方資訊取得部 1133 配方資訊傳送部 Ο 120406.doc -33-

Claims (1)

1. 200816267 十、申請專利範圍： 1. 一種製程資訊管理裝置，其係構成群組管理系統者1 群組管理系統包含：2個以上之控制裝置，其係分別;: 制對於被處理基板實行特定製程之2個以上之處理Μ 者；及與前述控制裝置連接之製程資訊管理裝置；、 且製程資訊管理裝置具有： ’ 配方儲存部，其將前述2個以上之控制裝置所 Ο u 之關於製程之資訊即2個以上之配方分別與前述2個以 上之控制裝置予以對應而儲存； 受理部，其受理配方所包含之關於製 即製程參數資訊； 貝讯 、，配方資訊取得部，其使用前述製程參數資訊， 述配方儲存部檢索配方，取得該檢索之配方相關之資 訊即配方資訊；及 之貝 *輸出部’其輸出前述配方資訊取得部所取得之配方 I如明求項1之製程資訊管理裝置，苴中前、f制 訊係包含製程參數名； 述製程參數資 ^ =方資訊取得料自前述配方儲存部 =:參：資訊所包含之製程參數名所識別之製程參 3如M g "關於該檢索之配方之資訊即配方資訊。 3. 求項1之製程資訊管理裝置，其中 ===包含製程參數名與製程參數的值； 、。取侍4係自前述配方儲存部檢索使用有以 120406.doc 200816267 則述製私麥數貧訊所包含之製程參數名所識別之製程參 數，配方：取得關於該檢索之配方之資訊即配方資訊： 且δ亥製程|數的值係與前述受理部所收理之製程參數資 訊所包含的值處於特定關係之值。 • 4·如#求項1之製程資訊管理裝置，其中前述配方 匕各對於製程參數之連結（link)之資訊即連結資訊， • ㈣之配方具有對於-個製程參數之連結資訊Ϊ 〇 5·種群組官理糸統’其包含：2個以上之控制裝置，其 ^刀別控制對於被處理基板實行特定製程之⑽以上之 处理裝置者；及與前述控制裝置連接之製程資訊管理裝 置， 且前述控制裴置具有： m置側配方儲存部’其儲存有為控制前述處理 裝置所使用之配方； *配方傳送部’其向前述訊管理u傳送前述 y 控制裝置側配方儲存部之配方； 控制部，其使用前述控制裝置側配方儲存部之配 =制前述處理裳置’使其實行對被處理基板之特 變更受理部，其受理配方由 去』 理配方内之製程參數之變更指 示； 配方變更部，其對應於前述變更受理部受 指示，變更前述控制裝置側配方儲存部之配方；. 製程參數資訊取得部，其取得關於前述變更對象之 120406.doc 200816267 製程蒼數之資訊即製程參數 製程參數資訊傳送部，農向 傳送前述製程參數資二 I裎資訊管理裝置 訊； 貝―斤取得之製程參數資 配方資訊接收部’其對應 送’自前述製程資訊管理裝 2參數資訊之傳 數資訊之製程參數之變 :由於對於該製程參 〇 Ο 訊即配方資訊；& 1影響之配方相關之資 配方資訊輸出部’其將前述 之配方資訊輸出； 貝。孔接收部所接收 且前述製程資訊管理裝置具有： 配方儲存部，其可儲存配方； 配方接收部，其自前述2個’ 方； 上控制裝置接收配 配方保存部’其將前述配方接 存在前述配方儲存部； 。卩接收到之配方保 製程參數資訊接收部，复 參數資訊； /、目則述控制裝置接收製程 配方貧訊取得部，其使用 接收到之製程參數：h， Μ參數—貝訊接收部 以上之配方，取得Α '、則述配方儲存部之1個 參數變更影響之配方相關之資心“參數-貝訊之製程 配方資訊傳送部，々、、p配方資訊；及 資訊取得部所取得之配P，&制裝置傳送前述配方 120406.doc 200816267 6·如請求項5之群組管 含r、+、制 々、、死’其中 ,述I程參數資訊傳送部 在則述變更受理部受 示後、於fT、f ^ + 兄方内之製程參數之變更指 么則述配方變更却 訊管理裝置傳 ^定更配方之前，向前述製程資 衣直得迗製程翏數資訊。 7·如請求項5或6之群组 包含製程參數名； 纟統’其中前述製程參數資訊 Ο Ο 前述配方資訊取得 前述製程參數資訊所包存部檢索使用有以 數之配方，取彳胃Μ% 製私參數名所識別之製程參 8.如請求項5之群,檢索之配方之資訊即配方資訊。 义貝5之群組管理系統，其中 述製程參數眘 、σ匕3製程參數名盘|y 前述配方資訊敢尸却A、 默石私筝數的值； ，、f 41 于4自前述配方儲存部檢索使用右 別述製程參數資訊所知索使用有以 數之配方，取得奶Μ 蒼數名所識別之製程參 取侍關於該檢舍 — 且該製程泉务沾Μ ’、 _方之貧訊即配方資訊， 1所勺入 與前述接收部接收到之製程夫數次 爾含的值處於特定關係的值。 ，數貝 9.如請求項5之群組管理系統， 包含對於製程參數之連社之；^ ^配方 複數之配方具有心…訊即連結資訊， 10 r ' 個製程參數之連結資訊。 貝訊管理震置，其構成如請求項5至9中任s 之群組管理系統。 月八貝）主9中任一項 11·種控制裝置，其構成如& 理系統。 仏月未項5至”任-項之群組管 120406.doc 200816267 12· —種電腦可讀取之記錄 甘> μ 體’其記錄用於使電腦實行下 述步驟之程式： μ〜「 受理步驟’其受理配方戶斤 匕έ之製程參數相關之資邙 即製程參數資訊； _(^貝efi 配方資訊取得步驟，其使 /、K用别述製程參數資 儲存在記錄媒體中之配方， 、 丨、 二 传關於该檢索之配方之資 訊即配方資訊；及 、 輸出步驟，其將在前述配 貝口孔取传步驟取得之配方 貢訊輸出。 13 · —種電腦可讀取之記錄媒 、 〃、5己錄有用於使電腦實行 下述步驟之程式： μ π 控制步驟，其使用儲存 吨廿％ Α綠媒體之配方，控制處理 破置，使其貝行對於被處理基板之特定製程· 變更受理步驟，其受理配方内之製程參數之變更指示； U 配方變更步驟，其對應於前述變更受理步驟受理之變 更指示，變更前述記錄媒體之配方； 製程夢數育訊取得步驟，其取得前 參數相關之資訊即製程參數資訊； 製私參數貝矾傳送步驟，其向製程資訊管理裝置傳送 在則述製程參數資訊取得步驟所取得之製程參數資訊； 配方貝汛接收步驟，其對應前述製程參數資訊之傳 自前述製程資訊管理裝置接收由於對於該製程參數 資訊之製程參數之變更而受到影響之配方相關之資訊即 配方資訊；及 120406.doc 200816267 配方資訊輸出步驟，其將在前述配方資訊接收步驟接 收之配方資訊輸出。 種電細可w取之記錄媒體，其記錄有用於使電腦實行 下述步驟之程式： 製程參數資訊接收步驟，苴自 /、目&制裝置接收製程參數 資訊； 配方資sfl取得步驟，盆传 Ο /、使用在則述製程參數資訊接收 步驟接收之製程參數資訊，於去a 貝Λ接收 配方’取得對前述製程參數資訊 個以上之 響之配方相關之資訊即配方資訊；及、王乡數變更受到影 配方貝。fi傳达步驟，其將在前述 得之配方資訊向前述控制裝置傳送 貝汛取得步驟取 〇 120406.doc