KR20080066677A

KR20080066677A - 군 관리 시스템, 프로세스 정보 관리 장치, 제어 장치 및, 프로그램이 기록된 기록 매체

Info

Publication number: KR20080066677A
Application number: KR1020087008900A
Authority: KR
Inventors: 토모코 야마모토; 미노루 오바타
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2006-04-27
Filing date: 2007-04-24
Publication date: 2008-07-16
Also published as: KR100997413B1; JP5062806B2; WO2007125885A1; TWI344170B; TW200816267A; JP2007294773A

Abstract

(과제) 종래의 군(群) 관리 시스템에 있어서는, 프로세스 파라미터의 변경이 영향을 줄 수 있는 1 이상의 레시피를 용이하게 알 수 없다는 과제가 있었다.

(해결 수단) 2 이상의 제어 장치가 유지하고 있는 프로세스에 관한 정보인 2 이상의 레시피를, 상기 2 이상의 제어 장치에 각각 대응지어 격납하고 있는 레시피 격납부와, 레시피에 포함되는 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 접수하는 접수부와, 상기 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 상기 레시피 격납부로부터 레시피를 검색하고, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득부와, 상기 레시피 정보 취득부가 취득한 레시피 정보를 출력하는 출력부를 구비하는 프로세스 정보 관리 장치에 의해, 프로세스 파라미터의 변경이 영향을 줄 수 있는 1 이상의 레시피를 용이하게 알 수 있다.

군 관리, 프로세스, 파라미터, 레시피

Description

군 관리 시스템, 프로세스 정보 관리 장치, 제어 장치 및, 프로그램 {GROUP MANAGEMENT SYSTEM, PROCESS INFORMATION MANAGEMENT DEVICE, CONTROL DEVICE, AND PROGRAM}

본 발명은, 예를 들면, 반도체 제조 장치, 액정 패널 제조 장치 등의 처리 장치에 대한 제어에 관한 정보인 레시피(recipe)를 관리하는 군(群) 관리 시스템 등에 관한 것이다.

종래의 군 관리 시스템은, 유저가 레시피를 복사하는 경우에, 동일한 막종(膜種)을 제조하는 반도체 제조 장치를, 유저가 선택하고, 자동적으로 그들의 반도체 제조 장치간에서 복사를 실행할 수 있는 등의 기능을 갖는다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

또한, 종래의 군 관리 시스템을 구성하는 제어 장치(반도체 제조 장치 등)의 레시피에는, 장치간의 차이(장치기(裝置機) 차이)를 흡수하기 위해 프로세스 파라미터(process parameter)로 불리는 변수가 기술되어 있다. 또한, 본 프로세스 파라미터는, 복수의 레시피에서 공통으로 기술되어 있다. 그리고, 처리 장치나 제어 장치의 메인트넌스(maintenance) 등으로 성능이 바뀐 경우에, 유저는, 프로세스 파라미터의 값을 변경하고 있었다.

[특허 문헌 1] :일본공개특허공보 평11-340111호(제1 페이지, 제1 도면 등)

(발명의 개시)

(발명이 해결하고자 하는 과제)

유저는, 프로세스 파라미터의 값의 변경시에, 그 프로세스 파라미터를 사용하고 있는 레시피를 앎으로써, 프로세스 파라미터의 변경의 타당성을 확인할 필요가 있다.

그러나, 종래의 군 관리 시스템에 있어서는, 프로세스 파라미터의 변경의 타당성을 확인하기 위해, 유저는, 모든 레시피를 오픈하고, 레시피의 내용을, 하나하나 차례로 참조하여, 판단하고 있었다.

또한, 유저가, 레시피의 내용을 확인하지 않고, 프로세스 파라미터의 변경을 행했기 때문에, 부적절한 프로세스 파라미터의 변경이 되고, 그 결과, 제어 장치나 처리 장치에 있어서 매우 적합하게 동작하지 않는다는 일도 발생할 수 있는 상황이었다.

(과제를 해결하기 위한 수단)

본 발명의 프로세스 정보 관리 장치는, 피(被)처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 2 이상의 처리 장치를 각각 제어하는 2 이상의 제어 장치와, 상기 제어 장치와 접속되는 프로세스 정보 관리 장치를 구비하는 군 관리 시스템을 구성하는 프로세스 정보 관리 장치로서, 상기 2 이상의 제어 장치가 유지하고 있는 프로세스에 관한 정보인 2 이상의 레시피를, 상기 2 이상의 제어 장치에 각각 대응지어 격납하고 있는 레시피 격납부와, 레시피에 포함되는 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 접수하는 접수부와, 상기 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 상기 레시피 격납부로부터 레시피를 검색하고, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득부와, 상기 레시피 정보 취득부가 취득한 레시피 정보를 출력하는 출력부를 구비하는 프로세스 정보 관리 장치이다.

도1 은 실시 형태 1에 있어서의 군 관리 시스템의 개념도이다.

도2 는 동(同) 반도체 웨이퍼 제조 장치의 예를 나타내는 도면이다.

도3 은 동 군 관리 시스템의 블록도이다.

도4 는 동 프로세스 정보 관리 장치의 동작에 대하여 설명하는 플로우 차트이다.

도5 는 동 레시피의 예를 나타내는 도면이다.

도6 은 동 프로세스 파라미터 정보의 입력 화면예를 나타내는 도면이다.

도7 은 동 취득 레시피 정보 관리표를 나타내는 도면이다.

도8 은 동 출력예를 나타내는 도면이다.

도9 는 동 출력예를 나타내는 도면이다.

도10 은 동 프로세스 파라미터 정보의 입력 화면예를 나타내는 도면이다.

도11 은 실시 형태 2에 있어서의 군 관리 시스템의 개념도이다.

도12 는 동 군 관리 시스템의 블록도이다.

도13 은 동 제어 장치의 동작에 대하여 설명하는 플로우 차트이다.

도14 는 동 프로세스 정보 관리 장치의 동작에 대하여 설명하는 플로우 차트이다.

도15 는 동 프로세스 파라미터의 변경 지시의 화면예를 나타내는 도면이다.

도16 은 동 취득 레시피 정보 관리표를 나타내는 도면이다.

도17 은 동 출력예를 나타내는 도면이다.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)

이하, 군 관리 시스템 등의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 실시 형태에 있어서 동일 부호를 붙인 구성 요소는 동일한 동작을 행하기 때문에, 재차의 설명을 생략하는 경우가 있다.

(실시 형태 1)

도1 은, 본 실시 형태에 있어서의 군 관리 시스템의 개념도이다. 군 관리 시스템은, 예를 들면, 반도체 제조 장치, 액정 패널 제조 장치 등의 제조 장치를 제어하는 시스템이다. 또한, 군 관리 시스템은, 1 이상의 처리 장치(11)(처리 장치(11(1))에서 처리 장치(11(n))), 1 이상의 제어 장치(12)(제어 장치(12(1))에서 제어 장치(12(n))) 및, 프로세스 정보 관리 장치(13), 클라이언트 장치(14)를 갖는다.

처리 장치(11)는, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 장치이다. 또한 구체적으로, 처리 장치(11)는, 반도체 제조 장치, 액정 패널 제조 장치 등의 제조 장치이다. 처리 장치(11)는, 예를 들면, 성막 처리, 에칭 처리, 열산화 처리 등의 피처리 기판에 대한 각종 처리를 행한다. 처리 장치(11)는, 예를 들면, 복합 프로세스형의 반도체 웨이퍼 제조 장치이다. 본 반도체 웨이퍼 제조 장치의 예를 도2 에 나타낸다. 도2 에 나타내는 바와 같이, 본 반도체 웨이퍼 제조 장치는, 반도체 웨이퍼에 대하여 각종의 처리, 예를 들면, 성막 처리나 에칭 처리나 열산화 처리 등을 행하는 복수(예를 들면, 3개)의 프로세스 챔버(1, 2, 3)와, 다수매(枚)(예를 들면, 50매)의 웨이퍼(W)를 수납할 수 있는 카세트(C1, C2)를 수용하는 카세트 챔버(4, 5)와, 프로세스 챔버(1, 2, 3)와 카세트 챔버(4, 5)와의 사이에서 웨이퍼(W)의 인도를 행하는 반송 챔버(6)를 구비하여 구성된다. 각 챔버간은, 게이트 밸브(G)를 통하여 개폐가 자유롭게 연결되어 있다. 반송 챔버(6) 내에는, 굴신(屈伸) 동작 및 회전 동작이 가능한, 예를 들면 다관절식의 반송아암(7)이 형성되어 있고, 이 반송아암(7)에 의해 챔버간에서의 웨이퍼(W)의 반송이 행해진다. 카세트(C1, C2)는, 카세트 챔버(4, 5) 내에 취입될 때에 90도 반전됨과 함께, 그 카세트(C1, C2)의 웨이퍼 삽탈구(揷脫口)가 반송 챔버(6) 내의 중심을 향하도록 회전되어, 반송아암(7)에 의한 웨이퍼(W)의 출납이 가능한 자세로 설치된다.

또한, 제어 장치(12)는, 처리 장치(11)를 제어하는 장치이며, 통상, 처리 장치(11)에 대응하여 형성되어 있다. 제어 장치(12)는, 레시피를 격납하고 있고, 상기 레시피를 이용하여, 제어 장치(12)는, 처리 장치(11)를 제어한다. 레시피란, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스에 관한 정보로서, 통상, 프로세스 조건치의 집합의 정보이다.

또한, 제어 장치(12)는, 처리 장치(11)를 제어했을 때에 발생하는 알람의 정보의 집합인 알람 리스트 등의 제어 장치 고유의 정보인 제어 장치 고유 정보를 취득하여, 격납하고 있다. 또한, 처리 장치(11)와 제어 장치(12)는, 일체가 되어 있어도 좋고, 분리되어 있어도 좋다.

도3 은, 본 실시 형태에 있어서의 군 관리 시스템의 블록도이다. 군 관리 시스템은, 처리 장치(11), 제어 장치(12), 프로세스 정보 관리 장치(13), 클라이언트 장치(14)를 구비한다. 또한, 도3 에 있어서, 처리 장치(11)는 생략하고 있다.

제어 장치(12)는, 제어 장치측 레시피 격납부(121), 레시피 송신부(122), 제어부(123)를 구비한다.

프로세스 정보 관리 장치(13)는, 레시피 격납부(131), 레시피 수신부(132), 레시피 축적부(133), 접수부(134), 레시피 정보 취득부(135), 출력부(136)를 구비한다.

클라이언트 장치(14)는, 프로세스 파라미터 정보 입력부(141), 프로세스 파라미터 정보 송부부(送付部)(142), 레시피 정보 접수부(143), 레시피 정보 표시부(144)를 구비한다.

제어 장치측 레시피 격납부(121)는, 처리 장치(11)를 제어하기 위해 사용되는 레시피를 격납하고 있다. 레시피란, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스에 관한 정보로서, 통상, 프로세스 파라미터의 정보의 집합을 포함하는 정보이다. 레시피는, 예를 들면, 프로세스 파라미터에 대한 링크의 정보인 링크 정보를 포함한다. 또한, 레시피는, 프로세스 파라미터의 정보를 직접적으로 가져도 좋다. 프로세스 파라미터의 정보는, 예를 들면, 카테고리명(名), 아이템명, 파라미터명, 값을 포함한다. 카테고리명이란, 프로세스 파라미터의 종류를 나타내는 명칭으로, 예를 들면, 「온도」「가스 유량」「보트 엘리베이터의 스피드」 등이다. 아이템명은, 프로세스 파라미터의 속성을 나타내는 명칭으로, 예를 들면, 「상하 속도」「회전 속도」등이다. 파라미터명은, 프로세스 파라미터의 명칭으로, 예를 들면, 「C」「A」 등이다. 값은, 프로세스 파라미터라는 변수에 부여하는 값이다. 제어 장치측 레시피 격납부(121)는, 불휘발성의 기록 매체가 매우 적합하지만, 휘발성의 기록 매체라도 실현 가능하다.

레시피 송신부(122)는, 제어 장치측 레시피 격납부(121)의 레시피를 프로세스 정보 관리 장치(13)로 송신한다. 레시피 송신부(122)는, 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다.

제어부(123)는, 제어 장치측 레시피 격납부(121)의 레시피를 사용하여, 처리 장치(11)를 제어하고, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실행시킨다. 제어부(123)는, 통상, MPU나 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 제어부(123)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 상기 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

레시피 격납부(131)는, 2 이상의 제어 장치(12)가 유지하고 있는 프로세스에 관한 정보인 2 이상의 레시피를, 2 이상의 제어 장치(12)에 각각 대응지어 격납하고 있다. 전술한 바와 같이 레시피는, 예를 들면, 프로세스 파라미터에 대한 링크의 정보인 링크 정보를 포함한다. 그리고, 복수의 레시피가 하나의 프로세스 파라 미터에 대한 링크 정보를 갖는다. 이러한 경우, 하나의 레시피의 하나의 프로세스 파라미터의 정보의 변경이, 다른 레시피에 직접적으로 영향을 미친다. 다른 레시피가, 링크 정보에 의해, 상기 하나의 프로세스 파라미터의 정보를 참조하고 있기 때문이다. 레시피 격납부(131)의 레시피는, 통상, 2 이상의 제어 장치(12)로부터 수신한 레시피이지만, 포터블(portable)형의 기록 매체로부터 판독된 레시피라도 좋다. 레시피 격납부(131)는, 불휘발성의 기록 매체가 매우 적합하지만, 휘발성의 기록 매체라도 실현 가능하다.

레시피 수신부(132)는, 2 이상의 제어 장치(12)로부터 레시피를 수신한다. 레시피 수신부(132)는, 통상, 무선 또는 유선의 통신 수단으로 실현되지만, 방송을 수신하는 수단으로 실현되어도 좋다.

레시피 축적부(133)는, 레시피 수신부(132)가 수신한 레시피를 레시피 격납부(131)에 축적한다. 레시피 축적부(133)는, 통상, MPU나 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 레시피 축적부(133)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 상기 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

접수부(134)는, 레시피에 포함되는 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 접수한다. 여기에서의 프로세스 파라미터 정보의 접수란, 수신이나, 기억 매체로부터의 판독이나, 유저로부터의 입력 접수 등이다. 프로세스 파라미터 정보는, 레시피에 포함되는 프로세스 파라미터에 관한 정보이다. 프로세스 파라미터 정보는, 예를 들면, 프로세스 파라미터명을 포함한다. 또한, 예를 들 면, 프로세스 파라미터 정보는, 프로세스 파라미터명과 프로세스 파라미터의 값을 포함한다. 프로세스 파라미터 정보의 입력 수단은, 예를 들면, 텐 키(ten key)나 키보드나 마우스나 메뉴 화면에 의한 것 등이다. 접수부(134)는, 수신 수단(무선 또는 유선의 통신 수단)이나, 텐 키나 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버나, 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.

레시피 정보 취득부(135)는, 접수부(134)가 접수한 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 레시피 격납부(131)로부터 레시피를 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득한다. 또한 구체적으로, 레시피 정보 취득부(135)는, 접수부(134)가 접수한 프로세스 파라미터 정보를 포함하는, 또는 접수부(134)가 접수한 프로세스 파라미터 정보와 소정의 관계에 있는 프로세스 파라미터 정보를 포함하는, 레시피를 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득한다. 레시피 정보란, 예를 들면, 레시피명이나, 레시피명과 레시피의 내용 중의 프로세스 파라미터 정보를 포함하는 개소를 나타내는 정보(행번호 등)이다. 또한, 예를 들면, 레시피 정보 취득부(135)는, 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있는 레시피를 레시피 격납부(131)로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득한다. 또한, 예를 들면, 레시피 정보 취득부(135)는, 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있고, 그리고, 상기 프로세스 파라미터의 값이, 접수부(134)가 접수한 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 값과 소정의 관계에 있는 값인 레시피를 레시피 격납부(131)로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득한다. 레시피 정보 취득부(135)는, 통상, MPU나 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 레시피 정보 취득부(135)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 상기 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

출력부(136)는, 레시피 정보 취득부(135)가 취득한 레시피 정보를 출력한다. 출력이란, 디스플레이로의 표시, 프린터로의 인자(printing), 외부의 장치로의 송신, 기록 매체로의 축적 등을 포함하는 개념이다. 출력부(136)는, 예를 들면, 무선 또는 유선의 통신 수단으로 실현된다. 또한, 출력부(136)는, 출력 디바이스의 드라이버 소프트 또는, 출력 디바이스의 드라이버 소프트와 출력 디바이스 등으로 실현될 수 있다. 이러한 경우, 출력부(136)는, 디스플레이나 스피커 등의 출력 디바이스를 포함한다고 생각해도, 포함하지 않는다고 생각해도 좋다.

프로세스 파라미터 정보 입력부(141)는, 프로세스 파라미터 정보를 입력한다. 프로세스 파라미터 정보 입력부(141)는, 예를 들면, 키보드와, 마우스와, 그들의 드라이버 소프트에 의해 실현될 수 있다.

프로세스 파라미터 정보 송부부(142)는, 프로세스 파라미터 정보 입력부(141)를 이용하여 유저가 입력한 프로세스 파라미터 정보를, 프로세스 정보 관리 장치(13)로 송부한다. 여기서, 송부란, 예를 들면, 송신이다. 프로세스 파라미터 정보 송부부(142)는, 예를 들면, 무선 또는 유선의 통신 수단으로 실현된다.

레시피 정보 접수부(143)는, 레시피 정보를 프로세스 정보 관리 장치(13)로 부터 접수한다. 여기서, 접수란, 예를 들면, 수신이다. 레시피 정보 접수부(143)는, 예를 들면, 무선 또는 유선의 통신 수단으로 실현된다.

레시피 정보 표시부(144)는, 레시피 정보 접수부(143)가 수신한 레시피 정보를 디스플레이에 표시한다. 레시피 정보 표시부(144)는, 예를 들면, 디스플레이의 드라이버 소프트에 의해 실현될 수 있다.

다음으로, 군 관리 시스템의 동작에 대하여 설명한다. 먼저, 제어 장치(12)의 동작의 예에 대하여 설명한다. 제어 장치(12)의 레시피 송신부(122)는, 제어 장치(12)와 프로세스 정보 관리 장치(13)가 접속된 것을 검지하고, 또는, 프로세스 정보 관리 장치(13)로부터의 요구에 따라, 제어 장치측 레시피 격납부(121)의 레시피를 판독하고, 프로세스 정보 관리 장치(13)로 송신한다. 또한, 제어 장치(12)의 제어부(123)는, 제어 장치측 레시피 격납부(121)의 레시피를 판독하고, 상기 레시피에 따라, 처리 장치(11)를 제어한다. 그리고, 처리 장치(11)는, 제어 장치(12)의 지시에 따라, 피처리 기판에 대한 프로세스를 실행한다.

다음으로, 프로세스 정보 관리 장치(13)의 동작에 대하여, 도4 의 플로우 차트를 이용하여 설명한다.

(스텝 S401) 레시피 수신부(132)는, 제어 장치(12)로부터 레시피를 수신했는지 안했는지를 판단한다. 레시피를 수신하면 스텝 S402로 가고, 레시피를 수신하지 않으면 스텝 S403으로 간다.

(스텝 S402) 레시피 축적부(133)는, 스텝 S401에서 수신한 레시피를 레시피 격납부(131)에 축적한다.

(스텝 S403) 접수부(134)는, 프로세스 파라미터 정보를 접수했는지 안했는지를 판단한다. 프로세스 파라미터 정보를 접수하면 스텝 S404로 가고, 프로세스 파라미터 정보를 접수하지 않으면 스텝 S401로 되돌아간다.

(스텝 S404) 레시피 정보 취득부(135)는, 카운터 i에 1을 대입한다.

(스텝 S405) 레시피 정보 취득부(135)는, i번째의 레시피가 레시피 격납부(131)에 존재하는지 안하는지를 판단한다. i번째의 레시피가 존재하면 스텝 S406으로 가고, i번째의 레시피가 존재하지 않으면 스텝 S415로 간다.

(스텝 S406) 레시피 정보 취득부(135)는, 카운터 j에 1을 대입한다.

(스텝 S407) 레시피 정보 취득부(135)는, i번째의 레시피(예를 들면, 파일)를 레시피 격납부(131)로부터 판독하여, 오픈한다.

(스텝 S408) 레시피 정보 취득부(135)는, i번째의 레시피의 j번째의 프로세스 파라미터 정보가 존재하는지 안하는지를 판단한다. j번째의 프로세스 파라미터 정보가 존재하면 스텝 S409로 가고, j번째의 프로세스 파라미터 정보가 존재하지 않으면 스텝 S414로 간다.

(스텝 S409) 레시피 정보 취득부(135)는, j번째의 프로세스 파라미터 정보를 판독한다.

(스텝 S410) 레시피 정보 취득부(135)는, 스텝 S403에서 접수한 프로세스 파라미터 정보와, 스텝 S409에서 판독한 j번째의 프로세스 파라미터 정보를 비교하여, 소정의 조건에서 합치하는지 아닌지를 판단한다. 소정의 조건에 합치하지 않으면 스텝 S411로 가고, 소정의 조건에 합치하면 스텝 S412로 간다. 또한, 소정의 조건이란, 예를 들면, 완전 일치하는 것이다. 또한, 소정의 조건이란, 예를 들면, 프로세스 파라미터 정보 중, 카테고리명, 아이템명, 파라미터명의 3개의 정보가 일치하는 것이다. 또한, 소정의 조건이란, 예를 들면, 프로세스 파라미터 정보 중, 카테고리명, 아이템명, 파라미터명, 값의 4개의 정보가 일치하는 것이다. 또한, 소정의 조건이란, 예를 들면, 프로세스 파라미터 정보 중, 카테고리명, 아이템명, 파라미터명의 3개의 정보가 일치하고, 그리고, 값의 차이는 소정 이하인 것이다.

(스텝 S411) 레시피 정보 취득부(135)는, 카운터 j를 1, 증분(increment)한다. 그리고, 스텝 S408로 되돌아간다.

(스텝 S412) 레시피 정보 취득부(135)는, i번째의 레시피의 정보인 레시피 정보를 취득한다. 레시피 정보란, 예를 들면, 레시피의 명칭이다. 또한, 레시피 정보란, 예를 들면, 레시피의 명칭과, j번째의 프로세스 파라미터 정보의 개소(행번호나, 파일의 처음부터의 오프셋 등)의 정보이다. 또한, 레시피 정보가, 조건에 합치하는 프로세스 파라미터의 개소의 정보를 포함하는 경우, 레시피 정보 취득부(135)는, 조건에 합치하는 프로세스 파라미터 정보를 모두 발견하도록 처리를 행하는 것이 매우 바람직하다.

(스텝 S413) 레시피 정보 취득부(135)는, 스텝 S412에서 취득한 레시피 정보를, 메모리 등에 일시 격납한다.

(스텝 S414) 레시피 정보 취득부(135)는, 카운터 i를 1, 증분한다. 그리고, 스텝 S405로 되돌아간다.

(스텝 S415) 출력부(136)는, 레시피 정보 취득부(135)가 취득하고, 일시 격 납한 레시피 정보를 판독하여, 출력한다. 출력부(136)의 레시피 정보의 출력 상태는 묻지 않는다.

또한, 도4 의 플로우 차트에 있어서, 전원 오프나 처리 종료의 끼어듦에 의해 처리는 종료한다.

다음으로, 클라이언트 장치(14)의 동작에 대하여 설명한다. 클라이언트 장치(14)의 프로세스 파라미터 정보 입력부(141)는, 유저로부터의 프로세스 파라미터 정보의 입력을 접수한다. 그리고, 프로세스 파라미터 정보 송부부(142)는, 입력된 프로세스 파라미터 정보를 프로세스 정보 관리 장치(13)로 송신한다. 그리고, 레시피 정보 접수부(143)는, 프로세스 파라미터 정보의 송신에 대응하여, 레시피 정보를 수신한다. 다음으로, 레시피 정보 표시부(144)는, 수신한 레시피 정보를 표시한다.

이하, 본 실시 형태에 있어서의 군 관리 시스템의 구체적인 동작에 대하여 설명한다. 군 관리 시스템의 개념도는 도1 이다.

또한, 프로세스 정보 관리 장치(13)는, 2 이상의 제어 장치(12)로부터 레시피를 수신하고, 레시피 격납부(131)에는, 도5 에 나타내는 바와 같은 다수의 레시피가 격납되어 있다고 한다. 도5 에 나타내는 각 레시피는, 복수의 스텝을 갖는다. 또한, 각 스텝은, 「스텝 No」「스텝명」「스텝 타임」「카테고리명」「아이템명」「파라미터명」「값」등의 정보를 갖는다. 「스텝 No」는, 스텝을 식별하는 ID이다. 「스텝명」은, 스텝에 붙여진 명칭이다. 「스텝 타임」은, 스텝을 실행하는 시각을 나타낸다. 「카테고리명」은, 프로세스 파라미터 정보를 구성하는 카 테고리의 이름이다. 「아이템명」은, 프로세스 파라미터 정보를 구성하는 아이템의 이름이다. 「파라미터명」은, 프로세스 파라미터 정보를 구성하는 파라미터의 이름이다. 「값」은, 「파라미터명」으로 나타나는 변수에 부여하는 값이다. 각 스텝은, 프로세스 파라미터 정보를 포함한다. 프로세스 파라미터 정보는, 「카테고리명」「아이템명」「파라미터명」「값」의 정보를 포함한다. 프로세스 파라미터 정보는, 「카테고리명」「아이템명」「파라미터명」「값」 이외의 정보를 포함해도 좋은 것은 말할 필요도 없다.

이러한 상황에 있어서, 제어 장치(12)의 유저는, 예를 들면, 제어 장치(12)의 메인터넌스 등으로 제어 장치(12)의 성능이 변한 경우에, 프로세스 파라미터의 값을 변경하려고 한다고 한다.

다음으로, 유저는, 프로세스 파라미터의 값의 변경이, 다른 프로세스 파라미터에 부여하는 영향을 알기 위해, 변경 대상의 프로세스 파라미터의 정보를, 클라이언트 장치(14)로부터 입력한다. 예를 들면, 유저는, 도6 에 나타내는 화면으로부터 프로세스 파라미터 정보를 입력한다. 여기서, 프로세스 파라미터 정보는, 「카테고리명」「아이템명」「파라미터명」으로 이루어진다. 그리고, 유저는, 「실행」 버튼을, 마우스로 눌렀다고 한다.

다음으로, 클라이언트 장치(14)의 프로세스 파라미터 정보 입력부(141)는, 「카테고리명="보트 엘리베이터 스피드"」「아이템명="Up/Down"」「파라미터명="C"」로 이루어지는 프로세스 파라미터 정보를 접수한다.

다음으로, 프로세스 파라미터 정보 송부부(142)는,「카테고리명="보트 엘리 베이터 스피드"」「아이템명="Up/Down"」「파라미터명="C"」로 이루어지는 프로세스 파라미터 정보를 프로세스 정보 관리 장치(13)로 송신한다.

다음으로, 프로세스 정보 관리 장치(13)의 접수부(134)는, 「카테고리명="보트 엘리베이터 스피드"」「아이템명="Up/Down"」「파라미터명="C"」로 이루어지는 프로세스 파라미터 정보를 수신한다.

그리고, 레시피 정보 취득부(135)는, 레시피 격납부(131)의 모든 레시피에 대하여, 「카테고리명="보트 엘리베이터 스피드"」「아이템명="Up/Down"」「파라미터명="C"」로 이루어지는 프로세스 파라미터 정보를 포함하는 스텝을 검색하여, 상기 스텝을 포함하는 레시피명(예를 들면 「레시피 XY」등)을 취득한다. 또한, 프로세스 파라미터 정보를 포함하는 스텝을 식별하는 「스텝 No」도 취득한다.

그리고, 레시피 정보 취득부(135)는, 예를 들면, 도7 에 나타내는 취득 레시피 정보 관리표를, 메모리 상에 얻는다. 취득 레시피 정보 관리표는, 「ID」「레시피명」「스텝 No」의 속성을 갖는다. 「ID」는, 레코드를 식별하는 정보로서, 표에 있어서의 레코드 관리를 위해 존재한다.

다음으로, 출력부(136)는, 도7 에 나타내는 취득 레시피 정보 관리표를 이용하여, 취득한 레시피 정보를 출력한다. 여기에서의 출력은, 클라이언트 장치(14)로의 송신이다.

다음으로, 클라이언트 장치(14)의 레시피 정보 접수부(143)는, 프로세스 정보 관리 장치(13)로부터 레시피 정보를 수신한다. 그리고, 레시피 정보 표시부(144)는, 수신한 레시피 정보를 표시한다. 여기서, 레시피 정보의 출력예를 도8 에 나타낸다. 도8 에 있어서, 「레시피명」과, 「레시피명」으로 식별되는 레시피의 속성치(편집자, 갱신 일시 등)를 표시하고 있다. 즉, 여기에서의 레시피 정보는, 레시피명과, 레시피의 속성치(편집자, 갱신 일시 등)를 포함한다.

또한, 하나의 레시피명을 지정하면(예를 들면, 마우스로 클릭하면), 그 레시피명으로 식별되는 레시피에 대응하는 스텝 No(영향을 받을 수 있는 스텝의 식별 정보)를 이용하여, 스텝의 정보(프로세스 파라미터의 정보)가 표시된다. 그 표시예를 도9 에 나타낸다. 도9 에 의하면, 영향을 받을 수 있는 스텝의 행이 포커싱(focusing)되어, 다른 스텝과 구별되어 있다.

이상, 본 실시 형태에 의하면, 유저는, 프로세스 파라미터 정보를 변경할 때, 프로세스 파라미터의 변경이 영향을 줄 수 있는 1 이상의 레시피를 용이하게 알 수 있다. 그 때문에, 유저는, 프로세스 파라미터의 변경의 타당성을 용이하게 확인할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에 의하면, 프로세스 파라미터의 변경이 영향을 줄 수 있는 1 이상의 레시피를 용이하게 알 수 있어, 프로세스 파라미터의 변경을 적절히 할 수 있다. 그 결과, 제어 장치나 처리 장치의 동작을 양호하게 담보할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 의하면, 레시피의 검색은 제어 장치와 동기(同期)한 레시피를 갖는 프로세스 정보 관리 장치에서 행해지기 때문에, 제어 장치의 CPU의 부하(負荷)에 영향을 주는 일이 없어, 반도체의 제조 등의 처리에 영향을 미치지 않는다. 또한, 프로세스 정보 관리 장치와 제어 장치가 오프 라인의 경우도 레시피 정보의 검색을 실행할 수 있다.

또한, 본 실시 형태의 구체예에 의하면, 유저가 입력하는 프로세스 파라미터 정보는, 「카테고리명」「아이템명」「파라미터명」이었지만, 다른 정보라도 좋다. 이러한 것은, 다른 실시 형태에 있어서도 동일하다. 예를 들면, 유저가 입력하는 프로세스 파라미터 정보는, 「카테고리명」「아이템명」「파라미터명」「값」이라도 좋다. 이러한 경우의 클라이언트 장치(14)에 있어서의 입력 화면예를 도10 에 나타낸다. 그리고, 도10 에 있어서 입력한 「카테고리명」「아이템명」「파라미터명」「값」을 이용하여, 프로세스 정보 관리 장치(13)의 레시피 정보 취득부(135)는, 레시피 정보를 검색하여, 출력한다. 여기에서는, 예를 들면, 레시피 정보 취득부(135)는, 「카테고리명="온도"」「아이템명="Up/Down"」「파라미터명="A"」「값="120"」을 갖는 스텝을 포함하는 레시피명 및, 1 이상의 스텝 No를, 레시피 정보로서 취득한다. 또한, 레시피 정보 취득부(135)는, 「값="120"」의 「120」에서 「+-10」의 범위 즉,「110∼130」까지의 값을 갖는 스텝(레시피)을 조건에 합치한다고 판단하는 경우도 있을 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 의하면, 프로세스 정보 관리 장치(13)는, 레시피 수신부(132), 레시피 축적부(133)를 구비하여, 레시피 격납부(131)의 레시피를 제어 장치(12)로부터 수신하는 상태이었지만, 미리 레시피를 레시피 격납부(131)에 격납하고 있어도 좋다. 이러한 것도 다른 실시 형태에 있어서도 동일하다.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 클라이언트 장치(14)의 유저가, 프로세스 정보 관리 장치(13)의 레시피 격납부(131)의 레시피의 프로세스 파라미터 정보를 변경할 수 있어도 좋다. 이러한 경우, 프로세스 정보 관리 장치(13)는, 도시하지 않 은 수단(예를 들면, 갱신 접수부)에 의해, 프로세스 파라미터 정보의 변경을 접수하고, 상기 접수에 대응하여, 레시피 정보 취득부(135)는, 상기 프로세스 파라미터 정보의 변경이 영향을 미치는 레시피(프로세스 파라미터 정보를 이용하고 있는 레시피)를 검색하여, 레시피 정보를 취득해도 좋다.

그리고, 프로세스 정보 관리 장치(13)의 도시하지 않은 수단(예를 들면, 서버측 레시피 송신부)이, 레시피 정보 취득부(135)의 검색한 레시피 정보를 격납하는 제어 장치(12)에 대하여, 갱신된 프로세스 파라미터 정보 또는 갱신된 레시피 전체를 송신해도 좋다. 이 경우, 제어 장치(12)의 도시하지 않은 수단(예를 들면, 제어 장치측 레시피 수신부)이, 갱신된 프로세스 파라미터 정보 또는 갱신된 레시피 전체를 수신하고, 도시하지 않은 수단(예를 들면, 제어 장치측 레시피 갱신부)이 제어 장치측 레시피 격납부(121)에 덮어쓰기 갱신한다. 또한, 상기의 처리를 행하는 경우, 프로세스 정보 관리 장치(13)는, 각 레시피를 원래 유지하고 있는 제어 장치(12)와 통신하기 위한 통신 정보(예를 들면, 제어 장치(12)의 IP 어드레스 등)를 격납하고 있고, 상기 통신 정보를 이용하여, 갱신된 프로세스 파라미터 정보 또는 갱신된 레시피 전체를 제어 장치(12)로 송신한다. 또한, 이러한 경우, 클라이언트 장치(14)의 유저가, 프로세스 정보 관리 장치(13)의 레시피 격납부(131)의 레시피의 프로세스 파라미터 정보를 변경하는 지시를 행한 경우에, 상기 프로세스 파라미터 정보의 변경이 영향을 미칠 수 있는 레시피의 레시피 정보를, 프로세스 정보 관리 장치(13)의 레시피 정보 취득부(135)가 취득하고, 출력부(136)가 레시피 정보 취득부(135)의 취득한 레시피 정보를 출력해도 좋다. 그리고, 클라이언트 장 치(14)의 유저는, 프로세스 파라미터 정보의 변경이 영향을 미칠 수 있는 레시피의 레시피 정보를 체크한 후, 갱신 허가의 지시를 입력하고, 그 후, 레시피의 갱신을 행해도 좋다.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 처리 장치(11)와 제어 장치(12)는, 분리하고 있었지만, 하나의 장치라도 좋다. 이러한 것도 다른 실시 형태에 있어서도 동일하다.

또한, 본 실시 형태에 있어서의 처리는, 소프트웨어로 실현해도 좋다. 그리고, 이 소프트웨어를 소프트웨어 다운로드 등에 의해 배포해도 좋다. 또한, 이 소프트웨어를 CD-ROM 등의 기록 매체에 기록하여 유포해도 좋다. 또한, 이것은, 본 명세서에 있어서의 다른 실시 형태에 있어서도 해당한다. 또한, 본 실시 형태에 있어서의 프로세스 정보 관리 장치를 실현하는 소프트웨어는, 이하와 같은 프로그램이다. 즉, 이 프로그램은, 컴퓨터에, 레시피에 포함되는 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 접수하는 접수 스텝과, 상기 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 기록 매체에 격납되어 있는 레시피를 검색하고, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득 스텝과, 상기 레시피 정보 취득 스텝에서 취득한 레시피 정보를 출력하는 출력 스텝을 실행시키기 위한 프로그램이다.

또한, 상기 프로그램에 있어서, 상기 프로세스 파라미터 정보는, 프로세스 파라미터명을 포함하고, 상기 레시피 정보 취득 스텝에 있어서, 상기 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있는 레시피를 기록 매체로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 것이 매우 적합하다.

또한, 상기 프로그램에 있어서, 상기 프로세스 파라미터 정보는, 프로세스 파라미터명과 프로세스 파라미터의 값을 포함하고, 상기 레시피 정보 취득 스텝에 있어서, 상기 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있고, 그리고, 상기 프로세스 파라미터의 값이, 상기 접수 스텝에서 접수한 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 값과 소정의 관계에 있는 값인 레시피를 기록 매체로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 것이 매우 적합하다.

(실시 형태 2)

도11 은, 본 실시 형태에 있어서의 군 관리 시스템의 개념도이다. 본 군 관리 시스템은, 레시피의 프로세스 파라미터 정보의 변경 지시가 입력되는 제어 장치(112)로부터, 프로세스 정보 관리 장치(113)에, 프로세스 파라미터 정보의 변경의 영향에 관한 문의가 있고, 프로세스 파라미터 정보의 변경이 영향을 부여할 가능성이 있는 레시피의 정보가 프로세스 정보 관리 장치(113)로부터 제어 장치(112)로 송신되고, 제어 장치(112)에서 출력되는 군 관리 시스템이다. 도11 에 있어서, 군 관리 시스템은, 1 이상의 처리 장치(11)(처리장치(11(1))에서 처리 장치(11(n))), 1 이상의 제어 장치(112)(제어 장치(112(1))에서 제어 장치(112(n))) 및, 프로세스 정보 관리 장치(113)를 갖는다.

도12 는, 본 실시 형태에 있어서의 군 관리 시스템의 블록도이다. 또한, 도 12 에 있어서, 처리 장치(11)는 생략하고 있다.

제어 장치(112)는, 제어 장치측 레시피 격납부(121), 레시피 송신부(122), 제어부(123), 변경 접수부(1121), 레시피 변경부(1122), 프로세스 파라미터 정보 취득부(1123), 프로세스 파라미터 정보 송신부(1124), 레시피 정보 수신부(1125), 레시피 정보 출력부(1126)를 구비한다.

프로세스 정보 관리 장치(113)는, 레시피 격납부(131), 레시피 수신부(132), 레시피 축적부(133), 프로세스 파라미터 정보 수신부(1131), 레시피 정보 취득부(1132), 레시피 정보 송신부(1133)를 구비한다.

변경 접수부(1121)는, 레시피 내의 프로세스 파라미터의 변경 지시를 접수한다. 더욱 구체적으로, 변경 접수부(1121)는, 레시피 내의 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보의 변경의 지시인 변경 지시를 접수한다. 변경 지시는, 예를 들면, 프로세스 파라미터명과, 변경 후의 값을 포함한다. 변경 지시의 입력 수단은, 텐 키나 키보드나 마우스나 메뉴 화면에 의한 것 등, 아무거나 좋다. 변경 접수부(1121)는, 텐 키나 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버나, 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.

레시피 변경부(1122)는, 변경 접수부(1121)가 접수한 프로세스 파라미터의 변경의 지시에 따라, 제어 장치측 레시피 격납부(121)의 레시피를 변경한다. 예를 들면, 레시피 변경부(1122)는, 변경 접수부(1121)가 접수한 변경 지시가 포함하는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터의 값을, 변경 지시가 포함되는 값으로 변경한다. 레시피 변경부(1122)는, 통상, MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 레시피 변경부(1122)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 상기 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

프로세스 파라미터 정보 취득부(1123)는, 변경의 대상의 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 취득한다. 프로세스 파라미터 정보는, 예를 들면, 프로세스 파라미터명만이다. 또한, 프로세스 파라미터 정보는, 예를 들면, 프로세스 파라미터명과 값이다. 프로세스 파라미터 정보는, 예를 들면, 카테고리명, 아이템명, 프로세스 파라미터명이다. 또한, 프로세스 파라미터 정보는, 예를 들면, 카테고리명, 아이템명, 프로세스 파라미터명, 값이다. 프로세스 파라미터 정보 취득부(1123)는, 통상, MPU나 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 프로세스 파라미터 정보 취득부(1123)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 상기 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

프로세스 파라미터 정보 송신부(1124)는, 프로세스 파라미터 정보 취득부(1123)가 취득한 프로세스 파라미터 정보를 프로세스 정보 관리 장치(113)로 송신한다. 프로세스 파라미터 정보 송신부(1124)는, 변경 접수부(1121)가 레시피 내의 프로세스 파라미터의 변경의 지시를 접수한 후, 레시피 변경부(1122)가 레시피를 변경하기 전에, 프로세스 파라미터 정보를 프로세스 정보 관리 장치(113)로 송신하는 것이 매우 적합하다. 프로세스 파라미터 정보 송신부(1124)는, 통상, 무선 또는 유선의 통신 수단으로 실현되지만, 방송 수단으로 실현되어도 좋다.

레시피 정보 수신부(1125)는, 프로세스 파라미터 정보의 송신에 대응하여, 상기 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 프로세스 정보 관리 장치(113)로부터 수신한다. 레시피 정보 수신부(1125)는, 통상, 무선 또는 유선의 통신 수단으로 실현되지만, 방송을 수신하는 수단으로 실현되어도 좋다.

레시피 정보 출력부(1126)는, 레시피 정부 수신부(1125)가 수신한 레시피 정보를 출력한다. 여기서, 출력이란, 디스플레이로의 표시, 프린터로의 인자, 음(音) 출력, 외부의 장치로의 송신, 기록 매체로의 축적 등을 포함하는 개념이다. 레시피 정보 출력부(1126)는, 디스플레이나 스피커 등의 출력 디바이스를 포함한다고 생각해도, 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 레시피 정보 출력부(1126)는, 출력 디바이스의 드라이버 소프트 또는, 출력 디바이스의 드라이버 소프트와 출력 디바이스 등으로 실현될 수 있다.

프로세스 파라미터 정보 수신부(1131)는, 제어 장치(112)로부터 프로세스 파라미터 정보를 수신한다. 프로세스 파라미터 정보 수신부(1131)는, 무선의 통신 수단이 매우 적합하지만, 방송을 수신하는 수단이나 유선의 통신 수단으로도 실현 가능하다.

레시피 정보 취득부(1132)는, 프로세스 파라미터 정보 수신부(1131)가 수신한 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 레시피 격납부(131)의 1 이상의 레시피를 검색하고, 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득한다. 레시피 정보 취 득부(1132)는, 예를 들면, 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있는 레시피를 레시피 격납부(131)로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득한다. 또한, 레시피 정보 취득부(1132)는, 예를 들면, 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있고, 그리고, 상기 프로세스 파라미터의 값이, 프로세스 파라미터 정보 수신부(1131)가 수신한 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 값과 소정의 관계에 있는 값인 레시피를 레시피 격납부(131)로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득한다. 레시피 정보 취득부(1132)는, 통상, MPU나 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 레시피 정보 취득부(1132)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 상기 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다. 또한, 레시피 정보 취득부(1132)의 검색 처리에 대해서는, 레시피 정보 취득부(135)와 동일하다.

레시피 정보 송신부(1133)는, 레시피 정보 취득부(1132)가 취득한 레시피 정보를 제어 장치(112)로 송신한다. 레시피 정보 송신부(1133)는, 통상, 무선 또는 유선의 통신 수단으로 실현되지만, 방송 수단으로 실현되어도 좋다.

다음으로, 군 관리 시스템의 동작에 대하여 설명한다. 먼저, 제어 장치(112)의 동작의 예에 대하여 설명한다. 제어 장치(112)의 레시피 송신부(122)는, 제어 장치(112)와 프로세스 정보 관리 장치(113)가 접속된 것을 검지하고, 또는, 프로세스 정보 관리 장치(113)로부터의 요구에 따라, 제어 장치측 레시피 격납 부(121)의 레시피를 판독하여, 프로세스 정보 관리 장치(113)로 송신한다. 또한, 제어 장치(112)의 제어부(123)는, 제어 장치측 레시피 격납부(121)의 레시피를 판독하여, 상기 레시피에 따라, 처리 장치(11)를 제어한다. 그리고, 처리 장치(11)는, 제어 장치(112)의 지시에 따라, 피처리 기판에 대한 프로세스를 실행한다. 또한, 제어 장치(112)나 처리 장치(11)의 메인터넌스 등으로 성능이 변한 경우, 프로세스 파라미터의 값을 변경하는 경우가 있지만, 그 변경시의 제어 장치(112)의 처리에 대하여, 도13 의 플로우 차트를 이용하여 설명한다.

(스텝 S1301) 변경 접수부(1121)는, 레시피 내의 프로세스 파라미터의 변경 지시를 접수했는지 안했는지를 판단한다. 변경 지시를 접수하면 스텝 S1302로 가고, 변경 지시를 접수하지 않으면 스텝 S1301로 되돌아간다.

(스텝 S1302) 프로세스 파라미터 정보 취득부(1123)는, 스텝 S1301에서 접수한 변경 지시에 따라, 변경의 대상의 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 취득한다.

(스텝 S1303) 프로세스 파라미터 정보 송신부(1124)는, 스텝 S1302에서 취득한 프로세스 파라미터 정보를 프로세스 정보 관리 장치(113)로 송신한다.

(스텝 S1304) 레시피 정보 수신부(1125)는, 스텝 S1303에 있어서의 프로세스 파라미터 정보의 송신에 대응하여, 상기 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 프로세스 정보 관리 장치(113)로부터 수신했는지 안했는지를 판단한다. 레시피 정보를 수신하면 스텝 S1305로 가고, 레시피 정보를 수신하지 않으면 스텝 S1304로 되돌아간다.

(스텝 S1305) 레시피 정보 출력부(1126)는, 스텝 S1304에서 수신한 레시피 정보를 출력한다.

(스텝 S1306) 도시하지 않은 수단이, 레시피 정보의 변경 허가의 지시를 접수했는지 안했는지를 판단한다. 레시피 정보의 변경 허가의 지시를 접수하면 스텝 S1307로 가고, 레시피 정보의 변경 허가의 지시를 접수하지 않으면 처리를 종료한다.

(스텝 S1307) 레시피 변경부(1122)는, 스텝 S1301에서 접수한 프로세스 파라미터의 변경의 지시에 따라, 제어 장치측 레시피 격납부(121)의 레시피를 변경한다.

또한, 도13 의 플로우 차트에 있어서, 레시피 변경부(1122)가 프로세스 파라미터의 변경을 행하고 나서, 그 변경이 영향을 미치게 될 가능성이 있는 레시피 정보를 프로세스 정보 관리 장치(113)로부터 수신하여, 출력해도 좋다. 이러한 경우, 변경을 취소하는 처리를 행할 수 있는 것이 바람직하다.

다음으로, 프로세스 정보 관리 장치(113)의 동작에 대하여, 도14 의 플로우 차트를 이용하여 설명한다. 도14 의 플로우 차트에 있어서, 도4 의 플로우 차트와 동일 스텝에 대하여, 그 설명은 생략한다.

(스텝 S1401) 프로세스 파라미터 정보 수신부(1131)는, 제어 장치(112)로부터 프로세스 파라미터 정보를 수신했는지 안했는지를 판단한다. 프로세스 파라미터 정보를 수신하면 스텝 S404로 가고, 프로세스 파라미터 정보를 수신하지 않으면 스텝 S401로 되돌아간다.

(스텝 S1402) 레시피 정보 취득부(1132)는, 스텝 S412에서 취득한 레시피 정보를, 메모리 등에 추가 기입한다.

또한, 도14 의 플로우 차트에 있어서, 하나의 레시피 내에, 프로세스 파라미터 변경의 영향이 미치는 개소가 2개소 이상 있는 경우에, 레시피 정보는 2 이상의 상기 개소의 정보가 포함되게 된다.

이하, 본 실시 형태에 있어서의 군 관리 시스템의 구체적인 동작에 대하여 설명한다. 군 관리 시스템의 개념도는 도11 이다.

또한, 프로세스 정보 관리 장치(113)는, 2 이상의 제어 장치(112)로부터 레시피를 수신하고, 레시피 격납부(131)에는, 도5 에 나타내는 바와 같은 다수의 레시피가 격납되어 있다고 한다.

이러한 상황에 있어서, 제어 장치(112)의 유저는, 예를 들면, 제어 장치(112)의 메인터넌스 등으로 제어 장치(112)의 성능이 변한 경우에, 프로세스 파라미터의 값을 변경하려고 한다고 한다. 그리고, 유저는, 도15 의 화면예와 같이, 프로세스 파라미터의 변경을 지시한다고 한다. 도15 에 있어서, 레시피 XY라는 레시피를 열고, 「스텝 No=00」의 스텝의 「값」을 「120」에서 「130」으로 수정하고, 「변경」 버튼을 눌렀다고 한다.

다음으로, 제어 장치(112)의 프로세스 파라미터 정보 취득부(1123)는, 「카테고리명="온도"」「아이템명="Up/Down"」「파라미터명="A"」로 이루어지는 프로세스 파라미터 정보를 취득한다.

그리고, 프로세스 파라미터 정보 송신부(1124)는, 「카테고리명="온도"」「아이템명="Up/Down"」「파라미터명="A"」로 이루어지는 프로세스 파라미터 정보를 프로세스 정보 관리 장치(113)로 송신한다.

다음으로, 프로세스 정보 관리 장치(113)의 프로세스 파라미터 정보 수신부(1131)는, 「카테고리명="온도"」「아이템명="Up/Down"」「파라미터명="A"」로 이루어지는 프로세스 파라미터 정보를 수신한다.

그리고, 레시피 정보 취득부(1132)는, 「카테고리명="온도"」「아이템명="Up/Down"」「파라미터명="A"」의 프로세스 파라미터 정보를 갖는 레시피를, 레시피 격납부(131)로부터 검색하여, 레시피명과, 상기 프로세스 파라미터 정보를 갖는 개소(여기에서는, 스텝 No)를 취득한다. 이 취득한 레시피명과 스텝 No의 조(組)인 레시피 정보의 예를, 도16 에 나타낸다.

다음으로, 레시피 정보 송신부(1133)는, 도16 의 레시피 정보를, 제어 장치(112)로 송신한다.

그리고, 다음으로, 제어 장치(112)의 레시피 정보 수신부(1125)는, 도16 의 레시피 정보를 수신한다.

다음으로, 레시피 정보 출력부(1126)는, 도17 에 나타내는 바와 같이, 도16 의 레시피 정보를 출력한다. 도17 에 있어서, 레시피 정보 출력부(1126)는, 레시피 정보 중의 레시피명만 출력하고 있다. 단, 레시피 정보 출력부(1126)는, 스텝 No도 출력해도 좋다. 또한, 유저로부터의 상세 출력 지시를 접수하고, 상기 상세 출력 지시로 나타나는 레시피명에 대응하는 스텝 No, 또는/및 스텝의 내용을 출력 해도 좋다.

다음으로, 유저는, 도17 의 「변경한다」버튼을 누른다고 한다. 그러면, 레시피 변경부(1122)는, 레시피 XY의 「스텝 No=00」의 값을 「130」으로 변경한다. 또한, 여기서, 유저는, 도17 의 출력을 체크하고, 「변경하지 않는다」버튼을 누른 경우에는, 레시피는 변경되지 않는다.

이상, 본 실시 형태에 의하면, 유저는, 프로세스 파라미터 정보를 변경할 때, 변경의 타당성을 용이하게, 그리고 확실하게 확인할 수 있다. 그 결과, 부주의하게 레시피가 수정되어, 제조에 악영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 하나의 제어 장치(112)의 레시피 변경부(1122)가 프로세스 파라미터 정보 또는 레시피를 변경한 경우, 제어 장치(112)의 도시하지 않은 수단(예를 들면, 변경 정보 송신부)이, 상기 프로세스 파라미터 정보 또는 레시피를 프로세스 정보 관리 장치(113)로 송신해도 좋다. 그리고, 프로세스 정보 관리 장치(113)의 도시하지 않은 수단(예를 들면, 변경 정보 수신부)이, 제어 장치(112)로부터 변경된 프로세스 파라미터 정보 또는 레시피를 수신하고, 프로세스 정보 관리 장치(113)의 도시하지 않은 수단(예를 들면, 서버측 레시피 갱신부)이, 프로세스 파라미터 정보 또는 레시피를 갱신해도 좋다. 그리고, 상기 프로세스 파라미터의 갱신이 영향을 미치는 레시피의 레시피 정보를, 레시피 정보 취득부(1132)가 취득하고, 도시하지 않은 수단(예를 들면, 갱신 레시피 송신부)이, 상기 레시피 정보에 대응하는 1 이상의 제어 장치(112)(원래, 레시피 정보가 변경된 제어 장치(112)를 제외함)에, 갱신된 프로세스 파라미터 또는 레시피를 송신해도 좋다. 그리고, 1 이상의 제어 장치(112)는, 프로세스 파라미터 또는 레시피를 수신하고, 축적하여, 레시피를 갱신해도 좋다.

또한, 본 실시 형태에 있어서의 제어 장치를 실현하는 소프트웨어는, 이하와 같은 프로그램이다. 즉, 이 프로그램은, 컴퓨터에, 기록 매체에 격납되어 있는 레시피를 사용하여, 처리 장치를 제어하고, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실행시키는 제어 스텝과, 레시피 내의 프로세스 파라미터의 변경 지시를 접수하는 변경 접수 스텝과, 상기 변경 접수 스텝에서 접수한 변경 지시에 따라, 상기 기록 매체의 레시피를 변경하는 레시피 변경 스텝과, 상기 변경의 대상의 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 취득하는 프로세스 파라미터 정보 취득 스텝과, 상기 프로세스 파라미터 정보 취득 스텝에서 취득한 프로세스 파라미터 정보를 프로세스 정보 관리 장치로 송신하는 프로세스 파라미터 정보 송신 스텝과, 상기 프로세스 파라미터 정보의 송신에 대응하여, 상기 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 상기 프로세스 정보 관리 장치로부터 수신하는 레시피 정보 수신 스텝과, 상기 레시피 정보 수신 스텝에서 수신한 레시피 정보를 출력하는 레시피 정보 출력 스텝을 실행시키기 위한 프로그램이다.

또한, 상기 프로그램에 있어서, 상기 프로세스 파라미터 정보 송신 스텝에 있어서, 상기 변경 접수 스텝에서 레시피 내의 프로세스 파라미터의 변경의 지시를 접수한 후, 상기 레시피 변경 스텝에서 레시피를 변경하기 전에, 프로세스 파라미터 정보를 상기 프로세스 정보 관리 장치로 송신하는 것이 매우 적합하다.

또한, 본 실시 형태에 있어서의 프로세스 정보 관리 장치를 실현하는 소프트 웨어는, 이하와 같은 프로그램이다. 즉, 이 프로그램은, 컴퓨터에, 제어 장치로부터 프로세스 파라미터 정보를 수신하는 프로세스 파라미터 정보 수신 스텝과, 상기 프로세스 파라미터 정보 수신 스텝에서 수신한 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 기록 매체의 1 이상의 레시피를 검색하고, 상기 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득 스텝과, 상기 레시피 정보 취득 스텝에서 취득한 레시피 정보를 상기 제어 장치로 송신하는 레시피 정보 송신 스텝을 실행시키기 위한 프로그램이다.

또한, 상기 프로그램에 있어서, 상기 프로세스 파라미터 정보는, 프로세스 파라미터명을 포함하고, 상기 레시피 정보 취득 스텝에 있어서, 상기 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있는 레시피를 기억 매체로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 것이 매우 적합하다.

또한, 상기 프로그램에 있어서, 상기 프로세스 파라미터 정보는, 프로세스 파라미터명과 프로세스 파라미터의 값을 포함하고, 상기 레시피 정보 취득 스텝에 있어서, 상기 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있고, 그리고, 상기 프로세스 파라미터의 값이, 상기 접수 스텝에서 접수한 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 값과 소정의 관계에 있는 값인 레시피를 기록 매체로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정 보인 레시피 정보를 취득하는 것이 매우 적합하다.

또한, 상기 각 실시 형태에 있어서, 각 처리(각 기능)는, 단일의 장치(시스템)에 의해 집중 처리됨으로써 실현되어도 좋고, 또는, 복수의 장치에 의해 분산 처리됨으로써 실현되어도 좋다.

또한, 상기 프로그램에 있어서, 정보를 송신하는 송신 스텝이나, 정보를 수신하는 수신 스텝 등에서는, 하드웨어에 의해 행해지는 처리, 예를 들면, 송신 스텝에 있어서의 모뎀이나 인터페이스 카드 등으로 행해지는 처리(하드웨어로밖에 행해지지 않는 처리)는 포함되지 않는다.

또한, 상기 프로그램을 실행하는 컴퓨터는, 단수이어도 좋고, 복수이어도 좋다. 즉, 집중 처리를 행해도 좋고, 또는 분산 처리를 행해도 좋다.

또한, 상기 각 실시 형태에 있어서, 하나의 장치에 존재하는 2 이상의 통신 수단은, 물리적으로 하나의 매체로 실현되어도 좋은 것은 말할 필요도 없다.

본 발명은, 이상의 실시 형태에 한정되는 일 없이, 여러 가지의 변경이 가능하며, 그것들도 본 발명의 범위 내에 포함되는 것이라는 것은 말할 필요도 없다.

또한, 2006년 4월 27일에 출원된 일본 특허 출원 번호 2006-122770의 상세한 설명, 도면, 특허 청구의 범위를 포함하는 개시는, 그 전체의 참조에 의해, 이 개시에 포함된다.

이상과 같이, 본 발명에 따른 군 관리 시스템은, 프로그램 파라미터의 변경이 영향줄 수 있는 1 이상의 레시피를 용이하게 알 수 있다는 효과를 가지며, 반도 체 제조 장치, 액정 패널 제조 장치 등의 제조 장치의 군 관리 시스템 등으로서 유용하다.

Claims

피(被)처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 2 이상의 처리 장치를 각각 제어하는 2 이상의 제어 장치와, 상기 제어 장치와 접속되는 프로세스 정보 관리 장치를 구비하는 군(群) 관리 시스템을 구성하는 프로세스 정보 관리 장치로서,

상기 2 이상의 제어 장치가 유지하고 있는 프로세스에 관한 정보인 2 이상의 레시피(recipe)를, 상기 2 이상의 제어 장치에 각각 대응지어 격납하고 있는 레시피 격납부와,

레시피에 포함되는 프로세스 파라미터(parameter)에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 접수하는 접수부와,

상기 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 상기 레시피 격납부로부터 레시피를 검색하고, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득부와,

상기 레시피 정보 취득부가 취득한 레시피 정보를 출력하는 출력부를 구비하는 프로세스 정보 관리 장치.
제1항에 있어서,

상기 프로세스 파라미터 정보는,

프로세스 파라미터명(名)을 포함하고,

상기 레시피 정보 취득부는,

상기 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있는 레시피를 상기 레시피 격납부로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 프로세스 정보 관리 장치.
제1항에 있어서,

상기 프로세스 파라미터 정보는,

프로세스 파라미터명과 프로세스 파라미터의 값을 포함하고,

상기 레시피 정보 취득부는,

상기 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있고, 그리고, 상기 프로세스 파라미터의 값이, 상기 접수부가 접수한 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 값과 소정의 관계에 있는 값인 레시피를 상기 레시피 격납부로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 프로세스 정보 관리 장치.
제1항에 있어서,

상기 레시피는,

프로세스 파라미터에 대한 링크의 정보인 링크 정보를 포함하고,

복수의 레시피가 하나의 프로세스 파라미터에 대한 링크 정보를 갖는 프로세스 정보 관리 장치.
피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 2 이상의 처리 장치를 각각 제어하는 2 이상의 제어 장치와, 상기 제어 장치와 접속되는 프로세스 정보 관리 장치를 구비하는 군 관리 시스템으로서,

상기 제어 장치는,

상기 처리 장치를 제어하기 위해 사용되는 레시피를 격납하고 있는 제어 장치측 레시피 격납부와,

상기 제어 장치측 레시피 격납부의 레시피를 상기 프로세스 정보 관리 장치로 송신하는 레시피 송신부와,

상기 제어 장치측 레시피 격납부의 레시피를 사용하여, 상기 처리 장치를 제어하고, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실행시키는 제어부와,

레시피 내의 프로세스 파라미터의 변경 지시를 접수하는 변경 접수부와,

상기 변경 접수부가 접수한 변경 지시에 따라, 상기 제어 장치측 레시피 격납부의 레시피를 변경하는 레시피 변경부와,

상기 변경의 대상의 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 취득하는 프로세스 파라미터 정보 취득부와,

상기 프로세스 파라미터 정보 취득부가 취득한 프로세스 파라미터 정보를 상기 프로세스 정보 관리 장치로 송신하는 프로세스 파라미터 정보 송신부와,

상기 프로세스 파라미터 정보의 송신에 대응하여, 상기 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 상기 프로세스 정보 관리 장치로부터 수신하는 레시피 정보 수신부와,

상기 레시피 정보 수신부가 수신한 레시피 정보를 출력하는 레시피 정보 출력부를 구비하고,

상기 프로세스 정보 관리 장치는,

레시피를 격납할 수 있는 레시피 격납부와,

상기 2 이상의 제어 장치로부터 레시피를 수신하는 레시피 수신부와,

상기 레시피 수신부가 수신한 레시피를 상기 레시피 격납부에 축적하는 레시피 축적부와,

상기 제어 장치로부터 프로세스 파라미터 정보를 수신하는 프로세스 파라미터 정보 수신부와,

상기 프로세스 파라미터 정보 수신부가 수신한 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 상기 레시피 격납부의 1 이상의 레시피를 검색하고, 상기 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경이 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득부와,

상기 레시피 정보 취득부가 취득한 레시피 정보를 상기 제어 장치로 송신하는 레시피 정보 송신부를 구비하는 군 관리 시스템.
제5항에 있어서,

상기 프로세스 파라미터 정보 송신부는,

상기 변경 접수부가 레시피 내의 프로세스 파라미터의 변경의 지시를 접수한 후, 상기 레시피 변경부가 레시피를 변경하기 전에, 프로세스 파라미터 정보를 상기 프로세스 정보 관리 장치로 송신하는 군 관리 시스템.
제5항 또는 제6항에 있어서,

상기 프로세스 파라미터 정보는,

프로세스 파라미터명을 포함하고,

상기 레시피 정보 취득부는,

상기 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있는 레시피를 상기 레시피 격납부로부터 검색하여, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 군 관리 시스템.
제5항 있어서,

상기 프로세스 파라미터 정보는,

프로세스 파라미터명과 프로세스 파라미터의 값을 포함하고,

상기 레시피 정보 취득부는,

상기 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 프로세스 파라미터명으로 식별되는 프로세스 파라미터를 사용하고 있고, 또한, 상기 프로세스 파라미터의 값이, 상기 프로세스 파라미터 정보 수신부가 수신한 프로세스 파라미터 정보에 포함되는 값과 소정의 관계에 있는 값인 레시피를 상기 레시피 격납부로부터 검색하여, 상기 검색 한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 군 관리 시스템.
제5항에 있어서,

상기 레시피는,

프로세스 파라미터에 대한 링크의 정보인 링크 정보를 포함하고,

복수의 레시피가 하나의 프로세스 파라미터에 대한 링크 정보를 갖는 군 관리 시스템.
제5항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 군 관리 시스템을 구성하는 프로세스 정보 관리 장치.
제5항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 군 관리 시스템을 구성하는 제어 장치.
컴퓨터에,

레시피에 포함되는 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 접수하는 접수 스텝과,

상기 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 기록 매체에 격납되어 있는 레시피를 검색하고, 상기 검색한 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득 스텝과,

상기 레시피 정보 취득 스텝에서 취득한 레시피 정보를 출력하는 출력 스텝을 실행시키기 위한 프로그램.
컴퓨터에,

기록 매체에 격납되어 있는 레시피를 사용하여, 처리 장치를 제어하고, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실행시키는 제어 스텝과,

레시피 내의 프로세스 파라미터의 변경 지시를 접수하는 변경 접수 스텝과,

상기 변경 접수 스텝에서 접수한 변경 지시에 따라, 상기 기록 매체의 레시피를 변경하는 레시피 변경 스텝과,

상기 변경의 대상의 프로세스 파라미터에 관한 정보인 프로세스 파라미터 정보를 취득하는 프로세스 파라미터 정보 취득 스텝과,

상기 프로세스 파라미터 정보 취득 스텝에서 취득한 프로세스 파라미터 정보를 프로세스 정보 관리 장치로 송신하는 프로세스 파라미터 정보 송신 스텝과,

상기 프로세스 파라미터 정보의 송신에 대응하여, 상기 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 상기 프로세스 정보 관리 장치로부터 수신하는 레시피 정보 수신 스텝과,

상기 레시피 정보 수신 스텝에서 수신한 레시피 정보를 출력하는 레시피 정보 출력 스텝을 실행시키기 위한 프로그램.
컴퓨터에,

제어 장치로부터 프로세스 파라미터 정보를 수신하는 프로세스 파라미터 정보 수신 스텝과,

상기 프로세스 파라미터 정보 수신 스텝에서 수신한 프로세스 파라미터 정보를 이용하여, 기록 매체의 1 이상의 레시피를 검색하고, 상기 프로세스 파라미터 정보에 대한 프로세스 파라미터의 변경이 영향을 받을 수 있는 레시피에 관한 정보인 레시피 정보를 취득하는 레시피 정보 취득 스텝과,

상기 레시피 정보 취득 스텝에서 취득한 레시피 정보를 상기 제어 장치로 송신하는 레시피 정보 송신 스텝을 실행시키기 위한 프로그램.