KR101138234B1 - 정보 처리 장치, 정보 처리 방법 및 프로그램 - Google Patents

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Abstract

종래에, 동기적으로 실행 가능한 커맨드와 비동기로 실행 가능한 커맨드를 조합하여 용이하게 원하는 처리를 실행시킬 수 없다고 하는 과제가 있었다. 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 처리 순서가 지정된 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 비동기로 실행할지를 지정하는 동기 지정 정보를 접수하는 화면을 구성하는 화면 구성부(102)와, 당해 구성한 화면을 출력하는 화면 출력부(103)와, 당해 출력한 화면에 대한 동기 지정 정보를 접수하는 지정 접수부(104)와, 동기 지정 정보에 의해 동기가 지정되어 있는 커맨드는 직전의 커맨드 종료 후에 실행하고, 비동기가 지정되어 있는 커맨드는 직전의 커맨드 실행 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 커맨드를 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행부(106)를 갖추었다.

Description

정보 처리 장치, 정보 처리 방법 및 프로그램{INFORMATION PROCESSING APPARATUS, INFORMATION PROCESSING METHOD, AND PROGRAM}
본 발명은, 제조 장치를 이용한 반도체 제조 프로세스 등에 이용되는 정보 처리 장치 등에 관한 것이다.
종래의 반도체 제조장치로서, 모듈 단위로 장치 상황과 커맨드를 동일 화면 상에 표시하여 장치 상황을 보면서 커맨드를 입력할 수 있도록 한 것 등이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
또한 종래의 제조 장치로서, 이른바 배치(batch)식 종형 열처리 장치가 있다(예를 들면, 특허 문헌 2 및 특허 문헌 3 참조).
일본특허공개공보 2007-180582호(제 1 페이지, 제 1 도 등) 일본특허공보 3543996호(제 1 페이지, 제 1 도 등) 일본특허공개공보 2002-25997호(제 1 페이지, 제 1 도 등)
그러나, 종래의 정보 처리 장치에서 동기적으로 실행시키는 것이 가능한 커맨드와 비동기 예를 들면 병렬적으로 실행 가능한 커맨드를 조합하여 순차적으로 처리를 실행시키기 위해서는 제어를 위한 프로그램 등을 만들 필요가 있어, 유저가 자유롭게 1 이상의 커맨드를 조합하여 원하는 처리를 실행시키는 것을 용이하게 행할 수 없다고 하는 과제가 있었다.
본 발명의 정보 처리 장치는, 처리 순서가 지정된 1 이상의 커맨드가 저장될 수 있는 커맨드 저장부와, 상기 커맨드 저장부에 저장되어 있는 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 또는 비동기로 실행할지에 대하여 지정하는 정보인 동기 지정 정보가 저장될 수 있는 동기 지정 정보 저장부와, 상기 동기 지정 정보 저장부에 저장된 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드가 종료된 후에 실행하고, 비동기로 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드의 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 상기 커맨드 저장부에 저장되어 있는 커맨드를 상기 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행부를 구비한 정보 처리 장치이다.
이러한 구성에 따라, 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행시키는 커맨드인지 비동기로 실행시키는 커맨드인지를 지정하는 정보를 축적함으로써, 동기적으로 실행 가능한 커맨드와 비동기로 실행 가능한 커맨드를 조합한 원하는 처리를 실행시킬 때에 유저가 동기, 비동기의 제어를 행하기 위한 프로그램을 기술할 필요가 없어진다. 이 결과, 동기적으로 실행 가능한 커맨드와 비동기로 실행 가능한 커맨드를 조합한 원하는 처리를 유저가 용이하게 지정하여 실행시키는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명의 정보 처리 장치는, 처리 순서가 지정된 1 이상의 커맨드가 저장될 수 있는 커맨드 저장부와, 상기 커맨드 저장부에 저장되어 있는 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 또는 비동기로 실행할지에 대하여 지정하는 정보인 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면을 구성하는 화면 구성부와, 상기 화면 구성부가 구성한 화면을 출력하는 화면 출력부와, 상기 화면 출력부가 출력한 화면의 각 커맨드에 대한 상기 동기 지정 정보를 접수하는 지정 접수부와, 상기 지정 접수부가 접수한 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드가 종료된 후에 실행하고, 비동기로 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드의 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 상기 커맨드 저장부에 저장되어 있는 커맨드를 상기 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행부를 구비한 정보 처리 장치이다.
이러한 구성에 따라, 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행시키는 커맨드인지 비동기로 실행시키는 커맨드인지를 지정하는 정보를 입력함으로써, 동기적으로 실행 가능한 커맨드와 비동기로 실행 가능한 커맨드를 조합한 원하는 처리를 실행시킬 때에 유저가 동기, 비동기의 제어를 행하기 위한 프로그램을 기술할 필요가 없어진다. 이 결과, 동기적으로 실행 가능한 커맨드와 비동기로 실행 가능한 커맨드를 조합한 원하는 처리를 유저가 용이하게 지정하여 실행시키는 것이 가능해진다.
또한, 커맨드가 다른 커맨드와 동기하여 실행시키는 커맨드인지 비동기로 실행시키는 커맨드인지를 지정하는 정보를 화면 출력부가 출력한 화면에 대하여 입력할 수 있기 때문에, 동기적으로 실행 가능한 커맨드와 비동기로 실행 가능한 커맨드를 조합한 원하는 처리를 유저가 용이하게 지정하여 실행시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에서 상기 커맨드 실행부는, 상기 지정 접수부가 접수한 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드를, 직전의 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드의 실행 종료 후에 실행하는 정보 처리 장치이다.
이러한 구성에 따라, 동기가 필요한 커맨드를 비동기의 커맨드의 실행이 종료되었는지 아닌지에 관계 없이 직전의 동기 커맨드에 대하여 동기시켜 실행시킬 수 있다.
본 발명에 따른 정보 처리 장치 등에 따르면, 유저가 동기적으로 실행 가능한 커맨드와 비동기로 실행 가능한 커맨드를 조합한 원하는 처리를 용이하게 실행시키는 것이 가능해진다.
도 1은 실시예에서의 정보 처리 장치의 블록도이다.
도 2는 이 실시예에서의 정보 처리 장치를 구비한 제조 장치 관리 시스템의 개념도이다.
도 3은 이 실시예에서의 제조 장치(200)의 일례를 도시한 도면이다.
도 4는 이 실시예에서의 정보 처리 장치의 동작에 대하여 설명하는 순서도이다.
도 5는 이 실시예에서의 커맨드 관리표를 나타낸 도면이다.
도 6은 이 실시예에서의 화면 구성 정보의 일례를 나타낸 도면이다.
도 7은 이 실시예에서의 정보 처리 장치의 표시예를 나타낸 도면이다.
도 8은 이 실시예에서의 정보 처리 장치의 표시예를 나타낸 도면이다.
도 9는 이 실시예에서의 동기 지정 정보 관리표의 일례를 나타낸 도면이다.
도 10은 이 실시예에서의 정보 처리 장치의 표시예를 나타낸 도면이다.
도 11은 이 실시예에서의 정보 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 이 실시예에 따른 정보 처리 장치를 실현하는 컴퓨터의 외관의 일례를 도시한 모식도이다.
도 13은 이 실시예에 따른 정보 처리 장치를 실현하는 컴퓨터 시스템의 일례를 도시한 도면이다.
이하, 정보 처리 장치 등의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한 실시예에서 동일한 부호를 부여한 구성 요소는 동일한 동작을 행하므로 재차 설명을 생략하는 경우가 있다.
(실시예)
도 1은 본 실시예에서의 정보 처리 장치의 블럭도이다.
또한, 도 2는 본 실시예에서의 정보 처리 장치를 구비한 제조 장치 관리 시스템의 개념도이다.
정보 처리 장치(10)는, 제조 장치(200)와 통신 회선 등을 개재하여 정보의 송수신이 가능해지도록 직접 또는 간접적으로 접속되어 있다. 정보 처리 장치(10)는 예를 들면, 복수의 제조 장치(200)의 동작 등을 제어하는 장치이다. 정보 처리 장치(10)와 복수의 제조 장치(200)는 예를 들면, 인터넷, 무선 또는 유선의 LAN 등의 네트워크로 접속되어 있어도 좋고, 블루투스(등록 상표) 등의 근거리 무선 통신에 의해 접속되어 있어도 좋다. 또한, 신호선으로 직접 접속되어 있어도 좋다. 또한, 정보 처리 장치(10)는 제조 장치(200) 중 어느 하나의 내부 등에 포함되어 있어도 좋고, 정보 처리 장치(10)를 제조 장치(200)의 일부라고 생각해도 좋다. 또한 여기서는 제조 장치(200)가 1 개인 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 정보 처리 장치(10)는 복수의 제조 장치(200)와 접속되어 있어도 좋다. 복수의 제조 장치(200)는 상이한 제조 장치여도 좋고, 동일한 제조 장치여도 좋고, 동일한 제조 장치를 포함하는 것이어도 좋다.
정보 처리 장치(10)는 커맨드 저장부(101), 화면 구성부(102), 화면 출력부(103), 지정 접수부(104), 동기 지정 정보 저장부(105), 커맨드 실행부(106)를 구비한다.
커맨드 저장부(101)는 처리 순서가 지정된 1 이상의 커맨드가 저장될 수 있다. 커맨드란 예를 들면, 정보 처리 장치(10)에 원하는 처리를 실행시키기 위한 명령 등이다. 또한, 커맨드를 소정의 처리를 실행하기 위한 프로그램 또는 실행 파일 등으로 생각하도록 해도 좋다. 또한 커맨드에는, 명령에 의해 제어할 대상이 되는 장치 또는 명령을 실행할 대상이 되는 장치 등을 지정하는 정보인 대상 정보 등이 포함되어 있어도 좋다. 또한, 이들 대상 정보 등이 각 커맨드와 대응되어 관리되고 있어도 좋다. 이러한 경우, 커맨드 부분이 동일해도 상이한 대상 정보 등과 대응지어진 커맨드는 상이한 커맨드로서 취급하도록 해도 좋다. 처리 순서가 지정된 커맨드란, 구체적으로는 커맨드의 실행 개시의 순서가 지정되어 있는 것을 의미한다. 커맨드의 처리 순서는 어떻게 지정되어 있어도 좋고, 이 처리 순서가 어떻게 관리되어도 좋다. 예를 들면, 처리 순서를 정의하는 관리표 등을 이용하여 관리되어도 좋고, 커맨드에 처리 순서를 나타내는 정보 등을 부여해도 좋다. 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 각 커맨드가 다른 커맨드에 대하여 동기시켜 실행 가능한 커맨드인지 비동기로 실행 가능한 커맨드인지는 불문한다. 커맨드 저장부(101)에 커맨드가 저장되는 타이밍 등은 불문한다. 예를 들면 공장 출하 시 등에 커맨드가 저장되어 있어도 좋고, 유저가 적절하게 저장할 수 있도록 해도 좋다. 커맨드 저장부(101)는 불휘발성의 기록 매체가 적합하나, 휘발성의 기록 매체로도 실현 가능하다.
화면 구성부(102)는, 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 또는 비동기로 실행할지에 대하여 지정하는 정보인 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면을 구성한다. 여기서는 설명을 위하여 동기되어 실행되는 커맨드, 바꾸어 말하자면 동기적으로 실행되는 커맨드를 동기형 커맨드, 비동기로 실행되는 커맨드를 비동기형 커맨드라고 칭한다. 동기하여 실행한다는 것은, 다른 소정의 커맨드 예를 들면 직전에 실행 개시된 커맨드가 종료될 때까지 기다렸다가 실행하는 것을 의미한다. 또한 비동기로 실행한다는 것은, 다른 소정의 커맨드 예를 들면 직전에 실행 개시된 커맨드가 종료될 때까지 기다리지 않고 실행되는 것을 의미한다. 동기형 커맨드는 예를 들면, 직전에 실행된 커맨드에 동기하여 실행되는 커맨드이다. 동기형 커맨드는 예를 들면, 다른 커맨드에 대하여 동시에 실행되지 않고 배타적으로 실행되는 커맨드라고 생각해도 좋다. 구체적으로 동기형 커맨드는, 직전에 개시된 커맨드의 실행이 종료된 후에 실행되는 커맨드이다. 또한 여기서 설명하는 직전에 개시된 커맨드란, 하나 전에 실행이 개시된 동기형 커맨드 및 비동기형 커맨드 중 어느 하나라고 생각해도 좋다. 혹은, 직전에 개시된 커맨드를 직전, 즉 하나 전에 실행이 개시된 동기형 커맨드, 혹은 직전, 즉 하나 전에 실행이 개시된 비동기형 커맨드 중 어느 하나로만 한정하도록 해도 좋다. 이러한 것은 비동기 커맨드에 대해서도 동일하다. 여기서는 동기형 커맨드를 직전에 실행된 동기형 커맨드에 동기하여 실행되는 커맨드, 즉 직전에 개시된 동기형 커맨드의 실행이 종료된 후에 실행되는 커맨드로 하는 경우를 예로 들어 설명한다. 비동기형 커맨드는 직전에 실행된 커맨드에 동기하지 않고 실행되는 커맨드이다. 비동기형 커맨드는, 구체적으로는 직전에 실행 개시된 커맨드 등의 처리의 종료를 기다리지 않고 실행되는 커맨드이다. 비동기형 커맨드는 예를 들면, 다른 커맨드에 따라 행해지는 처리에 대하여 병렬로 실행되는 커맨드이다. 예를 들면, 비동기형 커맨드는 직전에 실행 개시된 커맨드의 개시 후로부터 그 커맨드의 종료 전의 임의의 타이밍, 또는 미리 설정된 타이밍 또는 트리거(trigger)에 따라 실행 개시되어도 좋다. 또한 예를 들면, 비동기형 커맨드는 직전에 실행 개시된 커맨드의 직후에 실행 개시되어도 좋다. 동기 지정 정보는, 구체적으로는 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 커맨드를 동기형 커맨드로 할지 비동기형 커맨드 중 어느 하나로 할지를 지정하는 정보이다. 동기 지정 정보는 결과적으로 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드 예를 들면 직전에 실행이 개시된 커맨드 등과 동기하여 실행할지 혹은 비동기로 실행할지 중 어느 것인가를 지정할 수 있는 정보이면 된다. 예를 들면, 동기 지정 정보는 각 커맨드가 동기형 커맨드 및 비동기형 커맨드 중 어느 것인지를 택일적으로 지정하는 정보여도 좋다. 또한 동기 지정 정보는, 각 커맨드가 동기형 커맨드인지 아닌지를 택일적으로 지정하는 정보여도 좋고, 각 커맨드가 비동기형 커맨드인지 아닌지를 택일적으로 지정하는 정보여도 좋다. 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면이란 예를 들면, 동기 지정 정보의 입력 인터페이스로서 이용되는 화면이다. 여기서 말하는 화면이란, 예를 들면 화면을 표시하기 위한 비트맵 등의 데이터라고 생각해도 좋다. 구체적으로 화면 구성부(102)는, 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 각 커맨드를 나타내는 정보 예를 들면, 커맨드의 명칭, 커맨드의 번호, 커맨드의 처리 순서, 커맨드의 문자열 중 일부 등의 식별 정보 등을 표시하고, 각 커맨드에 대한 동기 식별 정보의 입력을 접수하기 위한 필드, 버튼, 체크 박스 등의 입력용 오브젝트 등을 표시하기 위한 화면을 구성한다. 화면 구성부(102)는 예를 들면, 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면을 구성하는 정보인 화면 구성 정보를 저장하고 있는 도시하지 않은 저장부 등으로부터 화면 구성 정보를 독출하여, 당해 화면 구성 정보와 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 커맨드를 관리하는 정보 등을 이용하여 화면을 구성한다. 화면 구성 정보는 예를 들면, HTML, 괘선 등의 정보, 화면을 구성하기 위한 설정 정보, 화면 구성 프로그램 등이다. 화면 구성 정보는 템플릿의 정보라고 생각해도 좋다. 또한, 화면 구성부(102)는 반드시 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 모든 커맨드에 대하여 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면을 구성할 필요는 없으며, 일부의 커맨드에 대해서만 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면을 구성해도 좋다. 통상적으로 MPU, 메모리 등으로 실현될 수 있다. 화면 구성부(102)의 처리 순서는 통상적으로 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
화면 출력부(103)는 화면 구성부(102)가 구성한 화면을 출력한다. 화면 출력부(103)가 출력하는 화면 구성부(102)가 구성한 화면은, 상술한 바와 같은 동기 지정 정보를 접수하기 위한 입력 인터페이스의 화면 등이다. 여기서 설명하는 출력이란, 디스플레이로의 표시, 프린터에 의한 종이 등으로의 인쇄, 외부의 장치로의 송신 등을 포함하는 개념이다. 화면 출력부(103)는, 디스플레이, 프린터 등의 출력 디바이스를 포함한다고 생각해도 좋고, 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 출력부는 출력 디바이스의 드라이버 소프트 또는 출력 디바이스의 드라이버 소프트와 출력 디바이스 등으로 실현될 수 있다.
지정 접수부(104)는 화면 출력부(103)가 출력한 화면에 대한 동기 지정 정보를 접수한다. 예를 들면, 지정 접수부(104)는 화면 출력부(103)가 출력한 상술한 바와 같은 동기 지정 정보를 접수하기 위한 입력 인터페이스의 화면 등에 대한, 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 각 커맨드에 대한 동기 지정 정보를 접수한다. 지정 접수부(104)는, 구체적으로는 마우스, 키보드 등을 조작하여 화면에 행해진 조작에 대응된 동기 지정 정보를 접수한다. 동기 지정 정보의 접수란 예를 들면, 입력 수단으로부터의 접수, 다른 기기 등으로부터 송신되는 입력 신호의 수신, 기록 매체 등으로부터의 정보의 독출 등이다. 동기 지정 정보의 입력 수단은 숫자 키패드, 키보드, 마우스, 메뉴 화면에 의한 것 등 무엇이든 좋다. 지정 접수부(104)는 숫자 키패드, 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버, 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다. 또한 지정 접수부(104)가 접수한 동기 지정 정보는 예를 들면, 각 동기 지정 정보가 대응되는 각 커맨드와 대응되어 후술하는 동기 지정 정보 저장부(105), 메모리, 하드 디스크 등의 기억 매체(도시하지 않음)에 축적된다.
동기 지정 정보 저장부(105)에는 동기 지정 정보가 예를 들면, 지정 접수부(104)가 접수한 각 동기 지정 정보가 대응되는 각 커맨드와 대응되어 저장된다. 예를 들면, 동기 지정 정보와 대응되는 커맨드가 하나의 레코드의 2 개의 속성치로서 저장된다. 여기서 설명하는 저장이란 일시 기억도 포함하는 개념이다. 동기 지정 정보 저장부(105)는 불휘발성의 기록 매체가 적합하나, 휘발성의 기록 매체로도 실현 가능하다.
커맨드 실행부(106)는, 지정 접수부(104)가 접수한 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드(즉 동기형 커맨드)에 대해서는 직전의 커맨드가 종료된 후에 실행하고, 비동기로 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드(즉 비동기형 커맨드)에 대해서는 직전의 커맨드의 실행 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 커맨드를 처리 순서에 따라 실행한다. 동기 지정 정보는 예를 들면, 동기 지정 정보 저장부(105) 등으로부터 적절하게 독출하도록 해도 좋다. 커맨드 실행부(106)는 예를 들면, 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 각 커맨드를 미리 지정되어 있는 처리 순서에 따라 실행 개시한다. 그리고 동기형 커맨드에 대해서는, 처리 순서가 직전인 커맨드의 실행이 종료된 시점에서 실행을 개시한다. 또한 비동기형 커맨드에 대해서는, 처리 순서가 직전인 커맨드의 종료를 기다리지 않고 실행을 개시한다. 구체적으로 커맨드 실행부(106)는, 비동기 커맨드를 직전의 커맨드 종료 후, 예를 들면 직후에 실행시켜도 좋다. 또한, 직전의 커맨드의 종료 전까지 비동기형 커맨드를 실행시키도록 해도 좋다. 비동기형 커맨드가 종료되는 타이밍, 트리거 등은 불문한다. 커맨드 실행부(106)는 예를 들면, 동기 지정 정보를 참조하여 지정된 처리 순서에 따라 실행할 커맨드가 동기형 커맨드인지 비동기형 커맨드인지를 판단하고, 그 실행 개시할 타이밍을 결정하여 각 커맨드를 실행시켜도 좋다. 또한 커맨드 실행부(106)는, 동기 지정 정보를 참조하여 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 처리 순서가 지정되어 있는 1 이상의 커맨드를, 실행을 개시할 타이밍을 지정하는 정보도 포함하여 기록하여, 이 기록한 커맨드를 실행하도록 해도 좋다. 또한, 동기형 커맨드 또는 비동기형 커맨드를 실행하거나 종료시키는 처리에 대해서는 공지 기술이므로 설명은 생략한다. 커맨드 실행부(106)는 통상적으로 MPU, 메모리 등으로 실현될 수 있다. 커맨드 실행부(106)의 처리 순서는 통상적으로 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
또한, 커맨드 실행부(106)의 실행 결과에 따른 제어 정보 등이 예를 들면, 정보 처리 장치(10)로부터 제조 장치(200) 등에 대하여 출력 혹은 송신되거나, 커맨드 실행부(106)의 실행 결과에 따른 처리 상황을 나타내는 정보 등이 모니터 등에 표시되어도 좋다. 또한, 이러한 송신, 표시 등의 출력을 행하는 출력부 등에 대해서는 공지 기술이므로 여기서는 설명을 생략한다.
제조 장치(200)는 피처리 기판 예를 들면, 유기막용의 글라스 기판, 반도체 웨이퍼, 액정 패널 기판 등에 대한 소정의 반도체 제조 프로세스를 행하는 장치이다. 제조 장치(200)는 예를 들면, 성막 처리, 에칭 처리, 열산화 처리 등의 피처리 기판에 대한 각종 처리를 행한다. 제조 장치(200)는 예를 들면, 유기 EL 디스플레이용의 성막 장치, 반도체 웨이퍼 제조 장치 등의 제조 장치, 액정 패널 제조 장치, 플라즈마 디스플레이용 패널 제조 장치 등이다. 제조 장치(200) 내에는 복수의 온도 조정, 밸브의 제어 등 제조 장치(200)의 동작의 제어 등에 이용되는 1 이상의 디바이스(도시하지 않음)가 설치되어 있어도 좋다. 상술한 정보 처리 장치(10)가 이들 디바이스 등에 대하여 커맨드를 실행하도록 해도 좋다.
도 3은 제조 장치(200)의 일례를 도시한 도면이다. 여기서는 제조 장치(200)가 RLSA(RadialLineSlotAntenna) 플라즈마 CVD 장치를 예로 들어 설명하고 있으나, 제조 장치(200)는 다른 제조 장치여도 좋다.
RLSA 플라즈마 CVD 장치는 천장면이 개구된 원통 형상의 처리 용기(300)를 가지고 있다. 천장면의 개구에는 샤워 플레이트(305)가 맞추어 삽입되어 있다. 처리 용기(300)와 샤워 플레이트(305)는 처리 용기(300)의 내벽의 단차부(段差部)와 샤워 플레이트(305)의 하면 외주부와의 사이에 배설(配設)된 O 링(310)에 의해 밀폐되어, 이에 따라 플라즈마 처리를 실시하는 처리실(U)이 형성되어 있다. 예를 들면, 처리 용기(300)는 알루미늄 등의 금속으로 이루어지고, 샤워 플레이트(305)는 알루미늄 등의 금속 또는 유전체로 이루어져, 전기적으로 접지되어 있다.
처리 용기(300)의 저부(底部)에는, 웨이퍼(W)를 재치하는 서셉터(재치대)(315)가 절연체(320)를 개재하여 설치되어 있다. 서셉터(315)에는 정합기(325a)를 개재하여 고주파 전원(325b)이 접속되어 있어, 고주파 전원(325b)으로부터 출력된 고주파 전력에 의해 처리 용기(300)의 내부에 소정의 바이어스 전압을 인가하도록 되어 있다. 또한 서셉터(315)에는 코일(330a)을 거쳐 고압 직류 전원(330b)이 접속되어 있어, 고압 직류 전원(330b)으로부터 출력된 직류 전압에 의해 기판(G)을 정전 흡착하도록 되어 있다. 또한 서셉터(315)의 내부에는 히터(331)가 설치되어 있어, 히터용 전원(332)으로부터 공급하는 전력에 의해 웨이퍼(W)를 가열하도록 되어 있다. 또한 서셉터(315)의 내부에는 웨이퍼(W)를 냉각하기 위하여 냉각수를 공급하는 냉각 자켓(335)이 설치되어 있다.
샤워 플레이트(305)는 그 상부에서 커버 플레이트(340)에 의해 덮여 있다. 커버 플레이트(340)의 상면에는 래디얼 라인 슬롯 안테나(345)가 설치되어 있다. 래디얼 라인 슬롯 안테나(345)는 다수의 도시하지 않은 슬롯이 형성된 디스크 형상의 슬롯판(345a)과 슬롯판(345a)을 보지(保持)하는 디스크 형상의 안테나 본체(345b)와 슬롯판(345a)과 안테나 본체(345b)와의 사이에 설치되며 알루미나(Al2O3) 등의 유전체로부터 형성되는 지상판(遲相板)(345c)으로 구성되어 있다. 래디얼 라인 슬롯 안테나(345)는 예를 들면 스몰, 라지 등의 크기가 상이한 것, 패턴 A, 패턴 B 등의 슬롯 패턴 등이 상이한 것이 준비되어 있어, 용도 등에 따라 적절하게 교체 가능하다. 래디얼 라인 슬롯 안테나(345)에는 동축 도파관(350)을 거쳐 외부에 마이크로파 발생기(355)가 설치되어 있다.
처리 용기(300)에는 진공 펌프(도시하지 않음)가 장착되어 있어, 가스 배출관(360)을 거쳐 처리 용기(300) 내의 가스를 배출함으로써 처리실(U)을 원하는 진공도까지 감압하도록 되어 있다.
가스 공급원(365)은 복수의 밸브(V), 복수의 매스플로우 콘트롤러(MFC), 1 종류 이상의 제 1 재료 가스 및 1 종류 이상의 제 2 재료 가스를 공급하는 복수의 재료 가스 공급원(365a)으로 구성되어 있다. 가스 공급원(365)은 각 밸브(V)의 개폐 및 각 매스플로우 콘트롤러(MFC)의 개도(開度)를 각각 제어함으로써, 원하는 농도의 가스를 처리 용기(300)의 내부로 공급하도록 되어 있다. 이와 같이 하여, 제 1 재료 가스가 제 1 유로(370a)를 거쳐 샤워 플레이트(305)를 관통하는 가스 도입관(375)으로부터 처리실(U)의 상방으로 공급되고, 제 2 재료 가스가 제 2 유로(370b)를 거쳐 일체형 가스 파이프(380)로부터 제 1 가스보다 하방으로 공급된다. 이러한 구성에 따르면, 마이크로파 발생기(355)로부터 슬롯 및 샤워 플레이트(305)를 개재하여 처리실(U) 내로 입사된 마이크로파에 의해 각종 가스로부터 플라즈마가 생성되고, 생성된 플라즈마에 의해 기판 상에 막이 성막된다.
제조 장치(200)에는 추가로 도시하지 않은 1 이상의 제어부가 설치되어 있어도 좋다. 또한, 이 각 제어부의 제어 대상, 예를 들면 제어 대상물, 압력, 온도 등의 제어 대상이 되는 항목 등은 적어도 일부가 동일해도 좋고, 상이한 것이어도 좋다. 제어부는 미리 설정된 처리 대상물에 대한 처리의 조건 등을 설정하는 레시피의 파라미터의 값, 또는 제조 장치(200)에 대하여 미리 설정된 통상적으로는 유저가 변경할 수 없는 정적인(static) 파라미터의 값 등에 따라 제조 장치(200)의 다양한 동작을 제어한다. 예를 들면, 처리 온도가 설정되어 있는 경우, 제어부는 도시하지 않은 1 이상의 온도 검출부가 검출한 온도에 따라 히터 등의 출력을 이른바 피드백 제어하여, 처리 용기(300) 내의 온도를 설정치에 따라 설정된 온도가 되도록 제어한다. 또한 제어부는, 처리 용기(300) 내의 압력을 설정치에 따라 설정된 압력이 되도록 제어한다. 예를 들면, 이러한 제어는 미리 저장되어 있는 기준치를 제어의 목표치로 하여 행해져도 좋다. 또한 제어부는, 이 외의 제조 장치(200) 전체의 제어, 예를 들면, 가스 유량의 제어, 밸브 개폐의 제어 등도 행하는데, 이들 제어는 공지 기술이므로 여기서는 설명을 생략한다. 상술한 파라미터의 값은 도시하지 않은 메모리 등의 기억 매체에 축적되고, 필요에 따라 제어부에 의해 독출된다. 이 축적은 일시 기억도 포함한다. 이들 파라미터의 값을 어떻게 접수하고 어떻게 기억 매체 등에 축적하는지 등은 불문한다. 예를 들면, 제조 장치(200)의 도시하지 않은 접수부 등에 의해 유저 등으로부터 입력되는 파라미터의 값을 기억 매체에 축적해도 좋다. 정보 처리 장치(10) 등의 다른 장치로부터 출력되는 파라미터의 값을 제조 장치(200)의 도시하지 않은 접수부에서 접수하여 기억 매체 등에 축적해도 좋다. 또한, 축적하는 대신에 제어부가 직접 파라미터의 값을 접수하여 동작을 제어 지정해도 좋다. 또한 제어부는, 도시하지 않은 온도 검출부 등이 검출한 정보를 도시하지 않은 출력부 등을 개재하여 정보 처리 장치(10)로 출력하도록 해도 좋다. 제어부는 통상적으로 MPU, 메모리 등으로 실현될 수 있다. 제어부의 처리 순서는 통상적으로 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현되어도 좋다.
이어서, 정보 처리 장치의 동작에 대하여 도 4의 순서도를 이용하여 설명한다. 또한 여기서는 설명을 간단하게 하기 위하여, 커맨드가 비동기형 커맨드인 경우 곧바로 당해 비동기 커맨드를 커맨드 실행부(106)에서 실행시키는 경우를 예로 들어 설명한다. 또한 동기 커맨드에 대해서는, 직전의 동기 커맨드의 실행이 종료된 경우에 당해 동기 커맨드의 실행을 개시하는 경우를 예로 들어 설명한다.
(단계(S401)) 화면 구성부(102)는 동기 지정 정보를 접수하는 화면을 구성할지 하지 않을지를 판단한다. 화면 구성부(102)는 화면의 구성을 행할지 하지 않을지를 어떻게 판단해도 좋다. 예를 들면, 도시하지 않은 접수부 등을 개재하여 유저로부터 화면을 구성하는 지시를 접수한 경우에 동기 지정 정보를 접수하는 화면을 구성하는 것을 결정해도 좋다. 화면을 구성하는 경우 단계(S402)로 진행되고, 구성하지 않을 경우 단계(S406)로 진행된다.
(단계(S402)) 화면 구성부(102)는 동기 지정 정보를 접수하는 화면을 구성한다. 예를 들면, 화면 구성부(102)는 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 커맨드의 처리 순서, 커맨드의 식별 정보 등의 정보를 취득하고, 이 취득한 정보와 도시하지 않은 저장부로부터 독출한 화면 구성 정보를 이용하여 동기 지정 정보를 접수하는 화면을 구성한다.
(단계(S403)) 화면 출력부(103)는 단계(S402)에서 구성한 화면을 출력, 예를 들면 표시한다.
(단계(S404)) 지정 접수부(104)는 단계(S402)에서 출력한 동기 지정 정보를 접수하는 화면에 대한 동기 지정 정보를 접수한다. 구체적으로 지정 접수부(104)는, 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 각 커맨드에 대한 동기 지정 정보를 접수한다.
(단계(S405)) 지정 접수부(104)는 단계(S404)에서 접수한 동기 지정 정보를 도시하지 않은 메모리 등의 기억 매체 등에 축적한다. 그리고, 단계(S401)로 돌아온다.
(단계(S406)) 커맨드 실행부(106)는 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 1 이상의 커맨드를 실행할지 하지 않을지를 판단한다. 커맨드 실행부(106)는 커맨드의 실행을 행할지 하지 않을지를 어떻게 판단해도 좋다. 예를 들면, 유저로부터 커맨드를 실행하는 지시를 접수한 경우에 커맨드를 실행하는 것을 판단해도 좋다. 또한, 다른 장치 등으로부터 커맨드를 실행하는 지시를 접수한 경우에 커맨드를 실행하는 것을 판단해도 좋다. 커맨드를 실행하는 경우 단계(S407)로 진행되고, 커맨드를 실행하지 않을 경우 단계(S401)로 돌아온다.
(단계(S407)) 커맨드 실행부(106)는 지정 접수부(104)가 동기 지정 정보를 접수하였는지 아닌지를 판단한다. 예를 들면, 지정 접수부(104)가 동기 지정 정보를 축적하는 기억 매체 등에 동기 지정 정보가 축적되어 있는지 아닌지를 판단한다. 축적되어 있는 경우 단계(S408)로 진행되고, 축적되어 있지 않은 경우 단계(S402)로 돌아온다. 또한, 단계(S402)로 돌아오는 대신에 동기 지정 정보가 지정되어 있지 않다는 것을 나타내는 에러 표시 등을 행하고 단계(S401)로 돌아오도록 해도 좋다.
(단계(S408)) 커맨드 실행부(106)는 카운터 k에 1을 대입한다.
(단계(S409)) 커맨드 실행부(106)는 커맨드 저장부(101)로부터 k 번째로 실행할 커맨드(이하, k 번째의 커맨드라고 함)를 독출한다.
(단계(S410)) 커맨드 실행부(106)는 k 번째의 커맨드를 실행 개시한다.
(단계(S411)) 커맨드 실행부(106)는 단계(S404)에서 접수한 k 번째의 커맨드에 대응된 동기 지정 정보를 독출하여, k 번째의 커맨드가 동기형 커맨드인지 아닌지를 판단한다. 동기형 커맨드인 경우 단계(S412)로 진행되고, 동기형 커맨드가 아닌 경우, 즉 비동기형 커맨드인 경우 단계(S413)로 진행된다.
(단계(S412)) 커맨드 실행부(106)는 하나 전에 실행한 동기형 커맨드, 즉 직전에 실행한 동기형 커맨드의 실행이 종료될 때까지 기다린다. 실행이 종료된 경우 단계(S413)로 진행된다. 또한 커맨드 실행부(106)는, 어떻게 직전의 동기형 커맨드의 실행이 종료되었는지 아닌지를 판단해도 좋다. 동기형 커맨드가 예를 들면, 다른 장치 예를 들면 제조 장치(200) 등을 제어하기 위한 커맨드인 경우, 당해 커맨드에 따른 제조 장치(200) 등에 의한 동작이 종료된 것을 나타내는 정보 등을 접수한 경우에 커맨드의 실행이 종료되었다고 판단해도 좋다.
(단계(S413)) 커맨드 실행부(106)는 카운터 k를 1 인크리먼트(increment)한다.
(단계(S414)) 커맨드 실행부(106)는 커맨드 저장부(101)에 k 번째의 커맨드가 있는지 없는지를 판단한다. 있는 경우 단계(S409)로 돌아오고, 없는 경우 단계(S415)로 진행된다.
(단계(S415)) 커맨드 실행부(106)는 모든 커맨드의 실행이 종료되었는지 아닌지를 판단한다. 종료된 경우 단계(S401)로 진행되고, 종료되지 않은 경우 단계(S415)로 돌아온다.
또한 도 4의 순서도에서, 전원 오프 또는 처리 종료의 인터럽트(interrupt)에 의해 처리는 종료된다.
이하, 본 실시예에서의 정보 처리 장치의 구체적인 동작에 대하여 설명한다. 여기서는 예로서, 제조 장치(200)가 밸브의 개폐, 온도 조절 등을 행하기 위한 도시하지 않은 ‘DRP1’, ‘VB1 - P1’, ‘VB2 - P1’, ‘VB3 - P1’, ‘TMP1’, ‘TMP2’ 등의 식별 정보를 가지는 디바이스 등을 구비하고 있으며, 정보 처리 장치(10)가 이들 디바이스에 대하여 커맨드를 실행하는 경우에 대하여 설명한다.
도 5는 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 커맨드를 관리하기 위한 커맨드 관리표를 나타낸 도면이다. 여기서는, 커맨드 관리표에 저장되어 있는 복수의 커맨드가 일련의 처리를 실행하기 위하여 이용되는 세트인 이른바 매크로를 구성하고 있는 경우를 예로 들어 설명한다. 커맨드 관리표는 ‘ID’, ‘매크로명’, ‘순서’, ‘디바이스명’, ‘커맨드’라고 하는 항목을 가지고 있다. ‘ID’는 커맨드의 레코드를 관리하기 위한 식별 정보이다.
‘매크로명’은 각 커맨드가 속하는 매크로를 식별하는 정보이다. ‘순서’는 커맨드의 처리 순서를 나타낸다. ‘커맨드’는 커맨드를 특정하기 위한 커맨드의 명칭을 나타낸다. 각 커맨드의 명칭은 커맨드에 1 대 1로 대응되어 있다. 또한 ‘커맨드’를 커맨드 자신이라고 생각하도록 해도 좋다. 당해 커맨드 관리표는 예를 들면 도시하지 않은 메모리 등의 기록 매체에 축적된다.
도 6은 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면을 구성할 때에 이용되는 화면 구성 정보의 일례를 나타내기 위한 도면이다. 화면 구성 정보는 도시하지 않은 저장부 등에 저장되어 있다. 화면 구성 정보는 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 각 커맨드에 대한 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면의 레이아웃을 정의하기 위한 스타일 파일, 바꾸어 말하자면 템플릿이라고 한다. 이 화면 구성 정보에서 ‘[]’는 변수를 나타내고, ‘[]’ 내의 문자열은 도 5에 나타낸 항목명에 대응된다. 예를 들면, ‘[커맨드]’는 도 5의 ‘커맨드’의 항목에 대응된다. 또한, 체크 박스(61)는 커맨드가 동기형인 것을 나타내는 동기 지정 정보를 접수하기 위한 표시용의 오브젝트, 체크 박스(62)는 커맨드가 비동기형인 것을 나타내는 동기 지정 정보를 접수하기 위한 표시용의 오브젝트이다. 옆에 ‘#1’이 부여된 점선으로 둘러싸인 영역은, 도 5에 나타낸 커맨드 관리표의 레코드의 수만큼 이 점선으로 둘러싸인 영역의 정보가 반복하여 표시된다는 것을 나타내고 있다. 이러한 스타일 파일은 예를 들면 HTML 등에 의해 구성 가능하다.
먼저, 유저가 마우스, 키보드 등을 조작하여, 정보 처리 장치(10)의 메뉴 등으로부터 정보 처리 장치(10)에 대하여 ‘매크로명’이 ‘제 1 처리’인 매크로를 구성하는 커맨드에 대하여 동기 지정 정보를 입력하기 위한 화면을 모니터(도시하지 않음)에 표시하는 지시를 줬다고 한다.
화면 구성부(102)는 도시하지 않은 저장부 등에 저장되어 있는 도 6에 나타낸 바와 같은 화면 구성 정보를 독출하고, 당해 화면 구성 정보와 도 5에 나타낸 커맨드 관리표에 의해 관리되고 있는 커맨드에 대한 정보를 이용하여 동기 지정 정보를 접수하는 화면을 구성한다. 구체적으로 화면 구성부(102)는, 도시하지 않은 저장부로부터 독출한 도 6에 나타낸 바와 같은 화면 구성 정보가 나타내는 스타일 파일에 도 5의 커맨드 관리표로부터 독출한 항목의 값을 레코드 순으로 차례로 배치하여 동기 지정 정보를 접수하는 화면을 구성한다. 그리고, 화면 구성부(102)가 구성한 화면을 화면 출력부(103)가 모니터 등에 표시한다. 표시예를 도 7에 나타낸다. 또한 동기, 비동기의 지정을 접수할 필요가 없는 커맨드 등, 예를 들면 비동기로 행하는 것이 확정되어 있는 커맨드 등에 대해서는 도 5에 나타낸 커맨드 관리표에서 미리 동기, 비동기의 지정의 접수가 불필요하다는 것을 나타내기 위한 항목을 추가로 형성하도록 하여, 이 항목에 동기, 비동기의 지정의 접수가 불필요하다는 것을 나타내는 정보가 입력되어 있는 경우, 이들 커맨드에 대해서는 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면 등을 표시하지 않도록 해도 좋다. 혹은 이들 커맨드에 대해서는 체크 박스(61) 등을 표시하지 않도록 해도 좋다.
이어서, 유저가 마우스 등을 조작하여, 도 7에 나타낸 바와 같은 동기 지정 정보를 접수하는 화면의 각 커맨드에 대응된 체크 박스(61) 또는 체크 박스(62) 상으로 포인터를 이동시켜 마우스 버튼 등을 클릭하면, 지정 접수부(104)는 클릭된 체크 박스에 따른 동기 지정 정보를 접수한다. 예를 들면, 체크 박스(61)에 대하여 클릭이 행해지면, 지정 접수부(104)는 클릭된 체크 박스(61)와 동일한 열의 커맨드에 대하여 동기형 커맨드인 것을 지정하는 동기 지정 정보를 접수한다. 또한, 체크 박스(62)에 대하여 클릭이 행해지면, 지정 접수부(104)는 클릭된 체크 박스(62)에 동일한 열의 커맨드에 대하여 비동기형 커맨드인 것을 지정하는 동기 지정 정보를 접수한다. 또한, 클릭된 체크 박스에는 체크 마크가 표시된다. 도 8에 동기 지정 정보의 입력을 접수한 경우의 표시예를 나타낸다. 도 8에서 예를 들면, 처리 순서가 ‘2’인 커맨드, 즉 제어 대상의 디바이스가 ‘VB1 - P1’인 커맨드 ‘오픈’에 대해서는, 동기형 커맨드인 것을 지정하는 동기 지정 정보를 접수하고 있다. 또한, 처리 순서가 ‘3’인 커맨드, 즉 제어 대상의 디바이스가 ‘VB2 - P1’인 커맨드 ‘오픈’에 대해서는, 동기형 커맨드인 것을 지정하는 동기 지정 정보를 접수하고 있다.
이어서, 유저가 마우스 등을 조작하여, 도 7에 나타낸 바와 같은 동기 지정 정보를 접수하는 화면의 ‘결정’ 버튼(70) 등을 누르거나 혹은 동일한 메뉴 조작 등을 행함으로써 동기 지정 정보의 접수가 종료되고, 지정 접수부(104)는 접수한 동기 지정 정보를 동기 지정 정보 저장부(105) 등에 축적한다.
도 9는 지정 접수부(104)가 접수하여 동기 지정 정보 저장부(105) 등에 축적한 동기 지정 정보를 관리하기 위한 동기 지정 정보 관리표이다. 동기 지정 정보 관리표는 ‘ID’, ‘동기’, ‘비동기’라고 하는 항목을 가지고 있다. ‘ID’는 커맨드를 특정하기 위한 식별 정보이며, 도 5의 ‘ID’에 상당한다. ‘동기’는 동일한 레코드의 ‘ID’에 대응되는 커맨드가 동기형 커맨드인 것을 나타내는 정보이며, 값이 ‘1’이면 도 5에 나타낸 커맨드 관리표 중 ‘ID’의 값이 동일한 레코드의 커맨드가 동기형인 것을 나타낸다. ‘비동기’는 동일한 레코드의 ‘ID’에 대응되는 커맨드가 비동기형 커맨드인 것을 나타내는 정보이며, 값이 ‘1’이면 도 5에 나타낸 커맨드 관리표 중 ‘ID’의 값이 동일한 레코드의 커맨드가 비동기형인 것을 나타낸다. 또한, 양방의 값이 ‘-’이면 동기 지정 정보가 미지정인 것을 나타낸다. 도 8의 ‘동기’에 대응된 체크 박스(61)에 체크 마크가 들어가 있는 커맨드에 대해서는, 도 5에 나타낸 커맨드 관리표가 나타내는 당해 커맨드의 ‘ID’의 값과 동일한 ‘ID’의 값을 가지는 도 9의 동기 지정 정보 관리표의 레코드의 ‘동기’의 항목치로서 ‘1’이 축적된다. 또한, 도 8에서 ‘비동기’에 대응된 체크 박스(62)에 체크 마크가 들어가 있는 커맨드에 대해서는, 도 5에 나타낸 커맨드 관리표가 나타내는 당해 커맨드의 ‘ID’의 값과 동일한 ‘ID’의 값을 가지는 도 9의 동기 지정 정보 관리표의 레코드의 ‘비동기’의 항목치로서 ‘1’이 축적된다. 또한, ‘동기’ 및 ‘비동기’의 항목치 ‘-’는 항목치가 축적되어 있지 않은 것을 나타낸다. 동기 지정 정보 관리표는 예를 들면, 도시하지 않은 메모리 등의 저장부, 커맨드 저장부(101) 등에 축적하여 관리하도록 하면 좋다. 또한 여기서는, ‘ID’라고 하는 항목으로 상술한 커맨드 관리표와 동기 지정 정보 관리표와의 레코드를 대응시키고 있으나, 상술한 커맨드 관리표와 동기 지정 정보 관리표를 하나의 관리표로 정리하여 관리하도록 해도 좋다.
이어서, 유저가 메뉴 등을 조작하여, 동기 지정 정보를 지정한 결과를 표시하는 지시를 정보 처리 장치(10)에 줬다고 한다. 화면 출력부(103)는 도 5에 나타낸 커맨드 관리표 및 도 9에 나타낸 동기 지정 정보 관리표의 정보를 이용하여 동기 지정 정보가 지정된 커맨드의 리스트를 모니터 등에 표시한다. 도 10에 표시예를 나타낸다. 도 10에서 ‘단계 정보’는 도 5의 ‘순서’의 값과, 커맨드인 것을 나타내는 정보, 여기서는 ‘동작’이라고 하는 문자열을 조합한 항목이다. 예를 들면 ‘2. 동작’이란 처리되는 ‘순서’가 ‘2’번째의 커맨드인 것을 나타내고 있다. ‘디바이스’, ‘커맨드’는 도 5의 ‘디바이스’, ‘커맨드’에 각각 상당한다. ‘그 외 상세’는 커맨드가 동기형 커맨드인지 아닌지를 나타내는 항목이며, 도 9에서 ‘동기’의 항목치가 ‘1’인 경우 동기형 커맨드인 것을 나타내기 때문에 ‘그 외 상세’의 항목치가 ‘대기’라고 표시된다. ‘타임 아웃’은 커맨드의 종료를 타임 아웃으로 판단할지 아닌지를 나타내는 항목이며, 도 9에서 ‘비동기’의 항목치가 ‘1’인 경우 비동기형 커맨드인 것을 나타내기 때문에 이 항목치가 ‘완료 대기 없음’으로 표시된다.
이어서, 유저가 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 커맨드를 실행하는 지시를 정보 처리 장치(10)에 줬다고 한다.
먼저 처음에 커맨드 실행부(106)는, 도 5에 나타낸 커맨드 관리표의 ‘순서’가 ‘1’인 레코드의 커맨드를 커맨드 저장부(101)로부터 독출한다. 그리고, 독출한 커맨드의 실행을 개시한다. 여기서는 예를 들면, 도 5에 나타낸 ‘기동’이라고 하는 커맨드를 독출하여, ‘DRP1’이라고 하는 디바이스에 대하여 독출한 커맨드를 실행한다.
이어서 커맨드 실행부(106)는, 도 5에 나타낸 커맨드 관리표로 관리되고 있는 커맨드 중에서 ‘순서’의 값이 직전에 독출한 커맨드의 ‘순서’의 다음 순서인 커맨드를 커맨드 저장부(101)로부터 독출한다. 그리고 독출한 커맨드에 대하여, 도 8에 나타낸 동기 지정 정보 관리표를 참조하여 동기형 커맨드인지, 비동기형 커맨드인지 아닌지를 판단한다. 예를 들면, 여기서는 처리 순서가 2 번째의 커맨드인 ‘VB1 - P1’에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드를 커맨드 관리표로부터 독출한다. 또한, 커맨드 관리표로부터 이 커맨드에 대응된 ‘ID’인 ‘002’를 독출한다. 그리고 도 9에 나타낸 동기 지정 정보 관리표의 ‘ID’의 항목이 ‘002’인 레코드의 ‘동기’ 또는 ‘비동기’의 항목 중 어느 것이 ‘1’인지를 판단한다. 여기서는 ‘동기’가 ‘1’이기 때문에, 커맨드 실행부(106)는 이어서 실행할 ‘VB1 - P1’에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드가 동기형 커맨드라고 판단한다.
이 때문에, 커맨드 실행부(106)는 직전에 실행되고 있는 ‘DRP1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘기동’이라고 하는 커맨드가 종료되었는지 아닌지를 판단하여, 종료된 경우에 다음의 ‘VB1 - P1’에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드를 실행한다. 종료되지 않은 경우, 종료될 때까지 ‘VB1 - P1’에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드의 실행을 대기한다.
여기서, ‘DRP1’에 대한 ‘기동’이라고 하는 커맨드의 실행이 종료되어, 커맨드 실행부(106)에 의해 동기형 커맨드인 ‘VB1 - P1’에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드가 실행 개시되었다고 한다.
커맨드 실행부(106)는, 도 5에 나타낸 커맨드 관리표로 관리되고 있는 커맨드 중에서 ‘순서’의 값이 직전에 독출한 ‘순서’가 ‘2’인 커맨드의 다음 순서의 커맨드인 ‘VB2 - P1’에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드를 커맨드 저장부(101)로부터 독출한다. 또한, 커맨드 관리표로부터 이 커맨드에 대응된 ‘ID’인 ‘003’을 독출한다.
그리고, 커맨드 실행부(106)는 상기와 마찬가지로 독출한 ‘ID’와 동기 지정 정보 관리표를 이용하여, 이 ‘VB2 - P1’에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드가 동기형 커맨드인지, 비동기형 커맨드인지 아닌지를 판단한다. 여기서는, 동기 지정 정보 관리표에서 ‘ID’가 ‘003’인 레코드의 ‘동기’의 항목치가 ‘1’이기 때문에 동기형 커맨드라고 판단한다.
이 때문에 커맨드 실행부(106)는, 직전에 실행되고 있는 ‘VB1 - P1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드의 종료를 기다렸다가 다음의 ‘VB2 - P1’에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드를 실행 개시한다.
커맨드 실행부(106)는, 도 5에 나타낸 커맨드 관리표로 관리되고 있는 커맨드 중에서 ‘순서’의 값이 직전에 독출한 ‘순서’가 ‘3’인 커맨드의 다음 순서의 커맨드인 ‘TMP1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘기동’이라고 하는 커맨드를 커맨드 저장부(101)로부터 독출한다. 또한, 커맨드 관리표로부터 이 커맨드에 대응된 ‘ID’인 ‘004’를 독출한다.
그리고 커맨드 실행부(106)는, 상기와 마찬가지로 독출한 ‘ID’와 동기 지정 정보 관리표를 참조하여 이 ‘TMP1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘기동’이라고 하는 커맨드가 동기형 커맨드인지, 비동기형 커맨드인지 아닌지를 판단한다. 여기서는, 동기 지정 정보 관리표에서 ‘ID’가 ‘004’인 레코드의 ‘비동기’의 항목치가 ‘1’이기 때문에 비동기형 커맨드라고 판단한다.
이 때문에 커맨드 실행부(106)는, 직전에 실행되고 있는 ‘VB2 - P1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드의 종료를 기다리지 않고 다음의 ‘TMP1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘기동’이라고 하는 커맨드를 실행한다.
또한 마찬가지로 커맨드 실행부(106)는, ‘순서’가 ‘5’인 ‘TMP2’라고 하는 디바이스에 대한 ‘기동’이라고 하는 커맨드에 대해서도 이 커맨드에 대응되는 ‘비동기’의 항목치가 ‘1’이기 때문에 비동기형 커맨드라고 판단하여, 직전에 실행되고 있는 ‘TMP1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘기동’이라고 하는 커맨드의 종료를 기다리지 않고 ‘TMP2’라고 하는 디바이스에 대한 ‘기동’이라고 하는 커맨드를 실행시킨다.
이어서 커맨드 실행부(106)는 상기의 ‘VB2 - P1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드의 경우와 마찬가지로, ‘순서’가 ‘6’인 ‘VB3 - P1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드에 대해서는 이 커맨드에 대응되는 ‘동기’의 항목치가 ‘1’이기 때문에 동기형 커맨드라고 판단한다. 그리고, 직전에 실행되고 있는 동기형 커맨드인 ‘VB2 - P1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드가 종료되었는지 아닌지를 판단하여, 종료된 경우 ‘VB3 - P1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘오픈’을 실행한다. 종료되지 않은 경우 ‘VB2 - P1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드가 종료될 때까지 ‘VB3 - P1’이라고 하는 디바이스에 대한 ‘오픈’의 실행을 대기한다.
이하, 상기와 동일하게 하여 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 커맨드가 실행된다.
여기서, 도 11을 이용하여 상기의 커맨드 저장부(101)에 저장되어 있는 각 커맨드가 실행되는 타이밍에 대하여 설명한다. 여기서는, ‘DRP1’, ‘VB1 - P1’, ‘VB2 - P1’, ‘TMP1’, ‘TMP2’, ‘VB3 - P1’은 커맨드의 실행 대상이 되는 디바이스(200a ~ 200f)로서, 각 디바이스(200a ~ 200f)는 각 커맨드에 의한 제어 종료 후에 정보 처리 장치(10)에 대하여 커맨드의 실행이 완료된 것을 나타내는 완료 응답을 보내는 것으로 한다.
예를 들면, 디바이스(200a)인 ‘DRP1’로부터 ‘기동’이라고 하는 커맨드의 실행에 대한 완료 응답이 정보 처리 장치(10)로 보내진 경우에 디바이스(200b)인 ‘VB1 - P1’에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드가 실행된다. 또한, ‘VB1 - P1’로부터 ‘오픈’이라고 하는 커맨드의 실행에 대한 완료 응답이 정보 처리 장치(10)로 보내진 경우에 디바이스(200c)인 ‘VB2 - P1’에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드가 실행된다. 또한, ‘VB2 - P1’로부터 ‘오픈’이라고 하는 커맨드의 실행에 대한 완료 응답이 정보 처리 장치(10)로 보내진 경우에 디바이스(200f)인 ‘VB3 - P1’에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드가 실행된다. 이에 따라, 디바이스(200a ~ 200c) 및 디바이스(200f)는 동기적으로 순차적으로 제어되게 된다.
또한, ‘VB2 - P1’에 대한 ‘오픈’이라고 하는 커맨드가 실행된 직후에, ‘VB2 - P1’로부터의 ‘오픈’이라고 하는 커맨드에 대한 완료 응답을 기다리지 않고 디바이스(200d)인 ‘TMP1’에 대한 ‘기동’이라고 하는 커맨드가 실행된다.
또한, 마찬가지로 ‘TMP1’에 대한 ‘기동’이라고 하는 커맨드가 실행된 직후에, ‘TMP1’로부터의 ‘기동’이라고 하는 커맨드에 대한 완료 응답을 기다리지 않고 디바이스(200e)인 ‘TMP2’에 대한 ‘기동’이라고 하는 커맨드가 실행된다.
이 결과, 디바이스(200d)와 디바이스(200e)를 다른 디바이스와는 병렬적으로 동작시키는 것이 가능해진다.
이상 본 실시예에 따르면, 커맨드 실행부(106)가 실행할 커맨드가 다른 커맨드와 동기하여 실행시키는 커맨드인지 비동기로 실행시키는 커맨드인지를 지정하는 정보를 화면 출력부(103)가 출력한 화면에 대하여 입력할 수 있기 때문에, 동기적으로 실행 가능한 커맨드와 비동기로 실행 가능한 커맨드를 조합한 원하는 처리를 유저가 용이하게 지정하여 실행시키는 것이 가능해진다.
또한, 상기 실시예에서는, 화면 출력부(103)가 출력한 화면의 각 커맨드에 대하여 지정 접수부(104)가 접수한 동기 지정 정보를 동기 지정 정보 저장부(105) 등에 축적하는 경우에 대하여 설명했으나, 본 발명에서는 미리 커맨드에 대응지어진 동기 지정 정보가 동기 지정 정보 저장부(105)에 저장되어 있도록 해도 좋다. 그리고, 커맨드 실행부(106)가 미리 저장되어 있는 동기 지정 정보에 따라 커맨드를 동기하여 실행시킬지 아닌지를 판단하도록 해도 좋다. 또한, 이 저장된 동기 지정 정보는 화면 출력부(103)가 출력한 화면의 각 커맨드에 대하여 접수한 동기 지정 정보가 아니어도 좋으며, 예를 들면, 도 9에 나타낸 바와 같은 동기 지정 정보와 커맨드를 대응시킨 정보가 저장된 파일 등을 도시하지 않은 접수부 등으로부터 접수하도록 해도 좋다. 이 동기 지정 정보와 커맨드를 대응시킨 정보는 어떠한 형식의 정보여도 좋으며, 예를 들면, 대응되는 동기 지정 정보와 커맨드의 조(組)를 탭, 스페이스 등으로 구획하여 상이한 행에 배치한 텍스트 정보 등이어도 좋고, 도 9 또는 도 10의 표시예에 나타낸 바와 같은 표 형식의 데이터여도 좋다. 또한 이러한 표 형식의 데이터에서는, 일반적인 표 계산 소프트웨어인 이른바 스프레드시트(spread sheet)와 같이 각 데이터가 셀 등에 입력되어 있는 것이어도 좋고, 데이터의 열 간이 스페이스 또는 탭으로 구획되고 데이터의 행 간이 개행 코드 등으로 구획된 정보여도 좋다.
또한, 상기 실시예에서, 커맨드 중 하나에 ‘비동기로 동작시키고 있는 1 이상의 커맨드가 종료될 때까지 기다린다’라고 하는 커맨드가 있다. 당해 커맨드가 존재하는 경우에는, 전에 동작시키고 있는 1 이상의 비동기 커맨드가 종료될 때까지 기다렸다가 그 후 다음의 커맨드를 실행하는 처리를 행한다.
또한, 상기 각 실시예에서, 각 처리(각 기능)는 단일의 장치(시스템)에 의해 집중 처리됨으로써 실현되어도 좋고, 혹은 복수의 장치에 의해 분산 처리됨으로써 실현되어도 좋다.
또한, 상기 각 실시예에서는, 정보 처리 장치가 스탠드얼론(stand-alone)인 경우에 대하여 설명하였으나, 정보 처리 장치는 스탠드얼론 장치여도 좋고, 서버?클라이언트 시스템에서의 서버 장치여도 좋다. 후자의 경우에 출력부 또는 접수부는 통신 회선을 거쳐 입력을 접수하거나 화면을 출력하게 된다.
또한, 상기 각 실시예에서, 각 구성 요소는 전용의 하드웨어에 의해 구성되어도 좋고, 혹은 소프트웨어에 의해 실현 가능한 구성 요소에 대해서는 프로그램을 실행함으로써 실현되어도 좋다. 예를 들면, 하드 디스크, 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어?프로그램을 MPU 등의 프로그램 실행부가 독출하여 실행함으로써 각 구성 요소가 실현될 수 있다.
또한, 상기 각 실시예에서의 정보 처리 장치를 실현하는 소프트웨어는 이하와 동일한 프로그램이다. 즉 이 프로그램은, 컴퓨터를, 저장되어 있는 처리 순서가 지정된 1 이상의 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 또는 비동기로 실행할지에 대하여 지정하는 정보인 저장되어 있는 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드가 종료된 후에 실행하고, 비동기로 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드의 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 상기 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행부로서 기능시키기 위한 프로그램이다.
또한, 이 프로그램은, 컴퓨터를, 저장되어 있는 처리 순서가 지정된 1 이상의 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 또는 비동기로 실행할지에 대하여 지정하는 정보인 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면을 구성하는 화면 구성부와, 상기 화면 구성 단계에서 구성한 화면을 출력하는 화면 출력부와, 상기 화면 출력 단계에서 출력한 화면의 각 커맨드에 대한 상기 동기 지정 정보를 접수하는 지정 접수부와, 상기 지정 접수 단계에서 접수한 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드가 종료된 후에 실행하고, 비동기로 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드의 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 상기 저장되어 있는 커맨드를 상기 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행부로서 기능시키기 위한 프로그램이다.
또한, 상기 프로그램에서, 상기 프로그램이 실현하는 기능에는 하드웨어로만 실현할 수 있는 기능은 포함되지 않는다. 예를 들면, 정보를 취득하는 취득부, 또는 정보를 출력하는 출력부 등에서의 모뎀, 인터페이스 카드 등의 하드웨어로만 실현할 수 있는 기능은 상기 프로그램이 실현하는 기능에는 포함되지 않는다.
또한, 이 프로그램을 실행하는 컴퓨터는 단수여도 좋고, 복수여도 좋다. 즉, 집중 처리를 행해도 좋고, 혹은 분산 처리를 행해도 좋다.
도 12는 상기 프로그램을 실행하여 상기 실시예에 의한 정보 처리 장치를 실현하는 컴퓨터의 외관의 일례를 도시한 모식도이다. 상기 실시예는 컴퓨터 하드웨어 및 그 상에서 실행되는 컴퓨터 프로그램에 의해 실현된다.
도 12에서 컴퓨터 시스템(500)은, CD-ROM(Compact Disk Read Only Memory) 드라이브(505), FD(Flexible Disk) 드라이브(506)를 포함하는 컴퓨터(501)와, 키보드(502)와, 마우스(503)와, 모니터(504)를 구비한다.
도 13은 컴퓨터 시스템을 도시한 도면이다. 도 13에서 컴퓨터(501)는, CD-ROM 드라이브(505), FD드라이브(506)에 추가로 MPU(Micro Processing Unit)(511)와, 부트 업 프로그램 등의 프로그램을 기억하기 위한 ROM(Read Only Memory)(512)과, MPU(511)에 접속되어 어플리케이션 프로그램의 명령을 일시적으로 기억하고 또한 일시 기억 공간을 제공하는 RAM(Random Access Memory)(513)과, 어플리케이션 프로그램, 시스템 프로그램 및 데이터를 기억하는 하드 디스크(514)와, MPU(511), ROM(512) 등을 상호 접속시키는 버스(515)를 구비한다. 또한, 컴퓨터(501)는 LAN으로의 접속을 제공하는 도시하지 않은 네트워크 카드를 포함하고 있어도 좋다.
컴퓨터 시스템(500)에 상기 실시예에 따른 정보 처리 장치의 기능을 실행시키는 프로그램은 CD-ROM(521) 또는 FD(522)에 기억되어, CD-ROM 드라이브(505) 또는 FD 드라이브(506)에 삽입되어 하드 디스크(514)로 전송되어도 좋다. 이에 대신하여 이 프로그램은 도시하지 않은 네트워크를 거쳐 컴퓨터(501)로 송신되어 하드 디스크(514)에 기억되어도 좋다. 프로그램은 실행 시에 RAM(513)에 로드된다. 또한, 프로그램은 CD-ROM(521), FD(522), 또는 네트워크로부터 직접 로드되어도 좋다.
프로그램은 컴퓨터(501)에 상기 실시예에 따른 정보 처리 장치의 기능을 실행시키는 오퍼레이팅 시스템(OS), 써드 파티(third party) 프로그램 등을 반드시 포함하지 않아도 좋다. 프로그램은 제어된 태양으로 적절한 기능(모듈)을 호출하여 원하는 결과가 얻어지도록 하는 명령의 부분만을 포함하고 있어도 좋다. 컴퓨터 시스템(500)이 어떻게 동작하는지에 대해서는 주지이며, 상세한 설명은 생략한다.
본 발명은 이상의 실시예에 한정되지 않고 다양한 변경이 가능하며, 이들도 본 발명의 범위 내에 포함되는 것인 것은 말할 필요도 없다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 정보 처리 장치 등은 반도체 제조 프로세스 등에 이용되는 정보 처리 장치로서 적합하고, 특히 동기하여 실행시키는 커맨드와 비동기로 실행시키는 커맨드를 포함하는 커맨드를 실행시키는 정보 처리 장치 등으로서 유용하다.

Claims (7)

  1. 처리 순서가 지정된 1 이상의 커맨드가 저장될 수 있는 커맨드 저장부와,
    상기 커맨드 저장부에 저장되어 있는 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 또는 비동기로 실행할지에 대하여 지정하는 정보인 동기 지정 정보가 저장될 수 있는 동기 지정 정보 저장부와,
    상기 동기 지정 정보 저장부에 저장된 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드가 종료된 후에 실행하고, 비동기로 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드의 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 상기 커맨드 저장부에 저장되어 있는 커맨드를 상기 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행부
    를 구비한 정보 처리 장치.
  2. 처리 순서가 지정된 1 이상의 커맨드가 저장될 수 있는 커맨드 저장부와,
    상기 커맨드 저장부에 저장되어 있는 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 또는 비동기로 실행할지에 대하여 지정하는 정보인 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면을 구성하는 화면 구성부와,
    상기 화면 구성부가 구성한 화면을 출력하는 화면 출력부와,
    상기 화면 출력부가 출력한 화면의 각 커맨드에 대한 상기 동기 지정 정보를 접수하는 지정 접수부와,
    상기 지정 접수부가 접수한 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드가 종료된 후에 실행하고, 비동기로 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드의 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 상기 커맨드 저장부에 저장되어 있는 커맨드를 상기 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행부
    를 구비한 정보 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 커맨드 실행부는, 상기 지정 접수부가 접수한 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드를, 직전의 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드의 실행 종료 후에 실행하는 정보 처리 장치.
  4. 처리 순서가 지정된 1 이상의 커맨드가 저장될 수 있는 커맨드 저장부와,
    상기 커맨드 저장부에 저장되어 있는 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 또는 비동기로 실행할지에 대하여 지정하는 정보인 동기 지정 정보가 저장될 수 있는 동기 지정 정보 저장부와,
    커맨드 실행부
    를 이용하여 행해지는 정보 처리 방법으로서,
    상기 커맨드 실행부가, 상기 동기 지정 정보 저장부에 저장된 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드가 종료된 후에 실행하고, 비동기로 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드의 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 상기 커맨드 저장부에 저장되어 있는 커맨드를 상기 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행 단계
    를 구비한 정보 처리 방법.
  5. 처리 순서가 지정된 1 이상의 커맨드가 저장될 수 있는 커맨드 저장부, 화면 구성부, 화면 출력부, 지정 접수부, 커맨드 실행부를 이용하여 행해지는 정보 처리 방법으로서,
    상기 화면 구성부가 상기 커맨드 저장부에 저장되어 있는 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 또는 비동기로 실행할지에 대하여 지정하는 정보인 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면을 구성하는 화면 구성 단계와,
    상기 화면 출력부가 상기 화면 구성 단계에서 구성한 화면을 출력하는 화면 출력 단계와,
    상기 지정 접수부가 상기 화면 출력 단계에서 출력한 화면의 각 커맨드에 대한 상기 동기 지정 정보를 접수하는 지정 접수 단계와,
    상기 커맨드 실행부가 상기 지정 접수 단계에서 접수한 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드가 종료된 후에 실행하고, 비동기로 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드의 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 상기 커맨드 저장부에 저장되어 있는 커맨드를 상기 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행 단계
    를 구비한 정보 처리 방법.
  6. 컴퓨터를 저장되어 있는 처리 순서가 지정된 1 이상의 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 또는 비동기로 실행할지에 대하여 지정하는 정보인 저장되어 있는 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드가 종료된 후에 실행하고, 비동기로 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드의 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 상기 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행부
    로서 기능을 하는 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체.
  7. 컴퓨터를 저장되어 있는 처리 순서가 지정된 1 이상의 각 커맨드에 대하여 다른 커맨드와 동기하여 실행할지 또는 비동기로 실행할지에 대하여 지정하는 정보인 동기 지정 정보를 접수하기 위한 화면을 구성하는 화면 구성부와,
    상기 화면 구성부에서 구성한 화면을 출력하는 화면 출력부와,
    상기 화면 출력부에서 출력한 화면의 각 커맨드에 대한 상기 동기 지정 정보를 접수하는 지정 접수부와,
    상기 지정 접수부에서 접수한 동기 지정 정보에 의해 동기하여 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드가 종료된 후에 실행하고, 비동기로 실행하는 것이 지정되어 있는 커맨드에 대해서는 직전의 커맨드의 종료를 기다리지 않고 커맨드를 실행하도록 상기 저장되어 있는 커맨드를 상기 처리 순서에 따라 실행하는 커맨드 실행부
    로서 기능을 하는 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체.
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