CN101933119B - 信息处理装置、信息处理方法、以及程序 - Google Patents

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Abstract

本发明解决了以往存在无法容易地将可同步执行的指令和可异步执行的指令相结合执行所期望的处理的问题。本发明的信息处理装置，包括：画面构成部(102)，其构成用于接收同步指定信息的画面，所述同步指定信息是针对存储在指令存储部(101)中的指定了处理顺序的各指令指定与其他指令同步执行还是异步执行的信息；画面输出部(103)，其输出所构成的画面；指定接收部(104)，其接收针对所输出的画面的各指令的同步指定信息；以及指令执行部(106)，其按照处理顺序执行被存储在指令存储部(101)中的指令，以对于由同步指定信息指定为同步执行的指令，在紧接之前的指令结束之后再执行，而对于被指定为异步执行的指令，不等待紧接之前的指令结束就执行指令。

Description

信息处理装置、信息处理方法、以及程序
技术领域
本发明涉及用于使用了制造装置的半导体制造工序等中的信息处理装置等。
背景技术
作为以往的半导体制造装置存在如下等装置：以模块为单位将装置情况和指令显示在同一画面上，从而能够看着该装置情况来输入指令。(例如，参照专利文献1)。
另外，作为以往的制造装置具有所谓的分批直立型热处理装置(例如，参照专利文献2以及专利文献3)。
专利文献1：日本专利文献特开2007-180582号公报(第1页、第1图等)；
专利文献2：日本专利文献特许3543996号公报(第1页、第1图等)；
专利文献3：日本专利文献特开2002-25997号公报(第1页、第1图等)。
发明内容
然而，在以往的信息处理装置中，为了将可同步执行的指令和可异步执行的(例如可并行执行的)指令组合起来执行连续的处理，需要制作用于控制的程序等，存在用户难以自由地组合1个以上的指令来执行所期望的处理的问题。
本发明的信息处理装置，包括：指令存储部，其能够存储指定了处理顺序的1个以上的指令；同步指定信息存储部，其能够存储同步指定信息，所述同步指定信息是针对存储在所述指令存储部中的各指令指定与其他指令同步执行还是异步执行的信息；以及指令执行部，其按照所述处理顺序执行被存储在所述指令存储部中的指令，以对于由存储在所述同步指定信息存储部中的同步指定信息指定为同步执行的指令，在紧接之前的指令结束之后再执行，而对于被指定为异步执行的指令，不等待紧接之前的指令结束就执行指令。
根据这样的构成，通过存储对指令指定是与其他指令同步执行的指令还是异步执行的指令的信息，当执行将可同步的执行的指令和可异步执行的指令相组合的所期望的处理时，用户不需要描述用于控制同步、异步的程序。其结果是，用户能够容易地指定并执行将可同步的执行的指令和可异步执行的指令相组合的所期望的处理。
另外，本发明的信息处理装置，包括：指令存储部，其能够存储指定了处理顺序的1个以上的指令；画面构成部，其构成用于接收同步指定信息的画面，所述同步指定信息是针对存储在所述指令存储部中的各指令指定与其他指令同步执行还是异步执行的信息；画面输出部，其输出所述画面构成部所构成的画面；指定接收部，其接收针对所述画面输出部所输出的画面的各指令的所述同步指定信息；以及指令执行部，其按照所述处理顺序执行被存储在所述指令存储部中的指令，以对于由所述指定接收部所接收的同步指定信息指定为同步执行的指令，在紧接之前的指令结束之后再执行，而对于被指定为异步执行的指令，不等待紧接之前的指令结束就执行指令。
根据这样的构成，通过输入对指令指定是与其他指令同步执行的指令还是异步执行的指令的信息，当执行将可同步的执行的指令和可异步执行的指令相组合的所期望的处理时，用户不需要描述用于控制同步、异步的程序。其结果是，用户能够容易地指定并执行将可同步执行的指令和可异步执行的指令相组合的所期望的处理。
并且，由于能够对画面输出部所输出的画面输入指定指令是与其他指令同步执行还是异步执行的信息，因此用户能够容易地指定并执行将可同步执行的指令和可异步执行的指令相组合的所期望的处理。
另外，本发明的信息处理装置是以下信息处理装置：在所述信息处理装置中，所述指令执行部在紧接之前的、由同步指定信息指定为同步执行的指令的执行结束之后，执行由所述指定接收部所接收的同步指定信息指定为同步执行的指令。
根据这样的构成，能够与异步指令的执行是否结束无关地使需要同步的指令与紧接之前的同步指令同步地执行。
根据本发明的信息处理装置等，用户能够容易地执行将可同步执行的指令和可异步执行的指令相组合的所期望的处理。
附图说明
图1是实施方式中的信息处理装置的框图；
图2是具有该实施方式中的信息处理装置的制造装置管理系统的概念图；
图3是表示该实施方式中的制造装置200的一个例子的图；
图4是说明该实施方式中的信息处理装置的动作的流程图；
图5是表示该实施方式中的指令管理表的图；
图6是表示该实施方式中的画面构成信息的一个例子的图；
图7是表示该实施方式中的信息处理装置的显示例的图；
图8是表示该实施方式中的信息处理装置的显示例的图；
图9是表示该实施方式中的同步指定信息管理表的一个例子的图；
图10是表示该实施方式中的信息处理装置的显示例的图；
图11是用于说明该实施方式中的信息处理装置的动作的图；
图12是表示实现根据该实施方式的信息处理装置的计算机的外观的一个例子的示意图；
图13是表示实现根据该实施方式的信息处理装置的计算机系统的一个例子的图。
具体实施方式
以下，参照附图说明信息处理装置等的实施方式。另外，在实施方式中，由于标注了相同的符号的构成要素进行同样的动作，因此有时省略重复说明。
(实施方式)
图1是本实施方式中的信息处理装置的框图。
另外，图2是具有本实施方式中的信息处理装置的制造装置管理系统的概念图。
信息处理装置10经由通信线路等直接或间接地与制造装置200连接以便能够与制造装置200进行信息的收发。信息处理装置10是控制例如多个制造装置200的动作等的装置。信息处理装置10和多个制造装置200可以通过例如因特网或、无线或有线LAN等网络来连接，也可以通过蓝牙(注册商标)等近距离无线通信来连接。另外，也可以用信号线直接连接。另外，信息处理装置10也可以被组合在任一个制造装置200的内部等中，可以考虑信息处理装置10是制造装置200的一部分。另外，在此虽然以制造装置200是1个的情况为例进行了说明，但信息处理装置10也可以与多个制造装置200连接。多个制造装置200既可以是不同的制造装置，也可以是相同的制造装置，也可以是包含相同的制造装置的装置。
信息处理装置10包括：指令存储部101、画面构成部102、画面输出部103、指定接收部104、同步指定信息存储部105、以及指令执行部106。
指令存储部101能够存储指定了处理顺序的1个以上的指令。所谓的指令例如是用于使信息处理装置10执行所期望的处理的命令等。另外，也可以将指令认为是用于执行预定的处理的程序或执行文件等。另外，指令中也可以包含对象信息等，所述对象信息是指定成为由命令控制的对象的装置或成为执行命令的对象的装置等的信息。另外，这些对象信息等也可以与各指令对应地被管理。在这样的情况下，与不同的对象信息等相对应的指令即使指令部分相同也可以作为不同的指令来对待。被指定了处理顺序的指令具体来说意味着指令的开始执行的顺序被指定。指令的处理顺序怎样指定都可以，并且该处理顺序怎样管理都可以。例如，既可以使用定义处理顺序的管理表等来管理，也可以对指令赋予表示处理顺序的信息等。不考虑被存储在指令存储部101中的各指令是可以与其他的指令同步执行的指令还是可以异步执行的指令。也不考虑将指令存储到指令存储部101的定时等。例如，既可以在工场发货时存储指令，也可以为用户能够酌情存储。指令存储部101优选的是非易失性的存储介质，但是易失性的存储介质也可以实现。
画面构成部102构成用于接收同步指定信息的画面，所述同步指定信息是对于存储在指令存储部101中的各指令指定是与其他指令同步执行还是异步执行的信息。在此，为了便于说明，将被同步执行的指令、换言之将同步地被执行的指令称作同步型指令、将异步执行的指令称作异步型指令。同步执行是指：等待至其他预定的指令、例如紧接之前开始执行的指令结束为止再执行。另外，异步执行是指：不等待至其他预定的指令、例如紧接之前开始执行的指令结束就执行。同步型指令是与例如紧接之前执行的指令同步地被执行的指令。同步型指令例如也可以认为是不与其他指令同时执行而排他地被执行的指令。具体来说，同步型指令是在紧接之前开始的指令的执行结束之后执行的指令。另外，在这里所述的紧接之前开始的指令可以认为是：前一个开始执行的同步型指令以及异步型指令中的任一个。或者，也可以将紧接之前开始的指令仅限定为之前(即，前一个)开始执行的同步型指令、或者之前(即，前一个)开始执行的异步型指令中的某一个。如此对于异步指令也是同样的。这里，以同步型指令为与紧接之前执行的同步型指令同步地被执行的指令、即在紧接之前开始的同步型指令的执行结束之后被执行的指令的情况为例进行说明。异步型指令是不与紧接之前执行的指令同步地执行的指令。异步型指令具体来说是不等待紧接之前开始执行的指令等的处理结束就被执行的指令。异步型指令例如是与基于其他指令而进行的处理并列地执行的指令。例如，异步型指令可以与从紧接之前开始执行的指令开始之后到该指令结束之前的任意时刻、或预先设定的时刻或触发对应地开始执行。另外，例如，异步型指令也可以在紧接之前开始执行的指令后马上开始执行。同步指定信息具体来说是指定将存储在指令存储部101中的指令设为同步型指令还是设为异步型指令的信息。从结果上来说，同步指定信息只要是针对各指令能够指定是与其他的指令、例如紧接之前开始执行的指令等同步执行还是异步执行的信息即可。例如，同步指定信息可以是择一地指定各指令是同步型指令以及异步型指令中的哪一个的信息。另外，同步指定信息可以是择一地指定各指令是不是同步型指令的信息，也可以是择一地指定各指令是不是异步型指令的信息。用于接收同步指定信息的画面例如是作为同步指定信息的输入界面来利用的画面。在这里所述的画面例如也可以认为是用于显示画面的位图等的数据。具体来说，画面构成部102构成以下的画面：显示表示存储在指令存储部101中的各指令的信息(例如，显示指令的名称、指令的编号、指令的处理顺序、指令的字符串的一部分等识别信息等)，并且，还显示用于接收针对各指令的同步识别信息的输入的区域(field)、按钮、复选框(check box)等输入用对象等。画面构成部102例如从存储有画面构成信息的未图示的存储部等读出画面构成信息，并利用该画面构成信息和管理存储在指令存储部101中的指令的信息等来构成画面，其中所述画面构成信息是构成用于接收同步指定信息的画面的信息。画面构成信息是例如HTML、线(罫
Figure BPA00001188791200061
)等的信息、用于构成画面的设定信息、画面构成程序等。画面构成信息也可以认为是模板(template)的信息。另外，画面构成部102并不一定针对存储在指令存储部101中的所有的指令构成用于接收同步指定信息的画面，也可以只对一部分指令构成用于接收同步指定信息的画面。通常，可以通过MPU或存储器等来实现。画面构成部102的处理步骤通常通过软件实现，该软件被存储在ROM等存储介质中。但是，也可以通过硬件(专用电路)来实现。
画面输出部103输出画面构成部102所构成的画面。画面输出部103输出的画面构成部102所构成的画面为如上所述的用于接收同步指定信息的输入界面的画面等。在这里所述的输出包括以下概念：显示到显示器上、通过打印机印刷到纸张上等、发送到外部装置等。可以认为画面输出部103包括显示器或打印机等输出设备，也可以认为不包括。输出部可以通过输出设备的驱动软件、或者输出设备的驱动软件和输出设备等来实现。
指定接收部104接收针对画面输出部103所输出的画面的同步指定信息。例如，指定接收部104接收针对画面输出部103所输出的如上所述的用于接收同步指定信息的输入界面的画面等的、并针对存储在指令存储部101中的各指令的同步指定信息。具体来说，指定接收部104接收与操作鼠标或键盘等来对画面进行的操作相对应的同步指定信息。接收同步指定信息是指：例如从输入单元接收、或接收从其他的仪器等发送的输入信号、从存储介质等读出信息等。同步指定信息的输入单元也可以是数字键、键盘、鼠标、由菜单画面构成的单元等。指定接收部104可以由数字键、键盘等输入单元的设备驱动器或菜单画面的控制软件等来实现。另外，指定接收部104所接收的同步指定信息以例如将各同步指定信息与所对应的各指令对应起来的方式被存储到后述的同步指定信息存储部105、或存储器、硬盘等存储介质(未图示)中。
同步指定信息以例如将指定接收部104所接收的各同步指定信息与所对应的各指令对应起来的方式被存储在同步指定信息存储部105中。例如，将同步指定信息和所对应的指令作为一个记录的2个属性值来存储。这里所述的存储是包含暂时存储的概念。同步指定信息存储部105优选的是非易失性的存储介质，但是也可以由易失性的存储介质来实现。
指令执行部106按照处理顺序执行存储在指令存储部101中的指令，以对于由指定接收部104所接收的同步指定信息指定为同步执行的指令(即，同步型指令)，在紧接之前的指令结束之后再执行，而对于被指定为异步执行的指令(即，异步型指令)，不等待紧接之前的指令执行结束就执行。同步指定信息也可以从例如同步指定信息存储部105等中适当地读出。指令执行部106以预先指定的处理顺序开始执行被存储在例如指令存储部101中的各指令。并且，对于同步型指令，在处理顺序位于紧接之前的指令的执行结束的时间点上开始执行。另外，对于异步型指令，不等待至处理顺序位于紧接之前的指令的结束就开始执行。具体来说，指令执行部106可以在紧接之前的指令结束之后(例如，结束后马上)执行异步指令。另外，也可以在紧接之前的指令结束之前执行异步型指令。不考虑异步型指令的结束定时和触发等。指令执行部106例如可以参照同步指定信息判断与被指定的处理顺序对应地执行的指令是同步型指令还是异步型指令，并决定该开始执行的时刻来执行各指令。另外，指令执行部106也可以参照同步指定信息，以还包含指定开始执行的定时的信息的方式，写出被存储在指令存储部101中的被指定了处理顺序的1以上的指令，并执行该写出的指令。另外，由于关于执行同步型指令或异步型指令、或者结束同步型指令或异步型指令的处理是公知技术，因此省略说明。指令执行部106通常可以通过MPU或存储器等来实现。指令执行部106的处理步骤通常由软件实现，该软件被存储在ROM等的存储介质中。但是，也可以通过硬件(专用电路)来实现。
另外，也可以将与指令执行部106的执行结果对应的控制信息等例如从信息处理装置10输出或发送给制造装置200等，或者将表示与指令执行部106的执行结果对应的处理情况的信息等显示在监视器等上。另外，由于进行这样的发送或显示等的输出的输出部等为公知技术，因此在此省略说明。
制造装置200是对被处理衬底(例如有机膜用玻璃衬底或半导体晶片、液晶面板衬底等)进行预定的半导体制造工序的装置。制造装置200对被处理衬底进行例如成膜处理、蚀刻处理、热氧化处理等各种处理。制造装置200例如为有机EL显示器用成膜装置或半导体晶片制造装置等的制造装置、液晶面板制造装置、等离子体显示器用面板制造装置等。制造装置200内可以设置有用于控制调节多个温度或控制阀门等的、控制制造装置200的动作等的1个以上的设备(未图示)。也可以是上述的信息处理装置10对这些设备等执行指令。
图3是表示制造装置200的一个例子的图。在此，制造装置200以RLSA(Radial Line Slot Antenna，径向线缝隙天线)等离子体CVD装置为例进行说明，但是制造装置200也可以是其他的制造装置。
RLSA等离子体CVD装置具有顶面开口的圆筒形状的处理容器300。顶面的开口中嵌入有喷淋板305。处理容器300和喷淋板305通过设置在处理容器300内壁的阶梯部和喷淋板305的下表面外周部之间的O环310被密封，由此，形成实施等离子体处理的处理室U。例如，处理容器300由铝等金属构成，喷淋板305由铝等金属或者电介质构成，并且被电接地。
处理容器300的底部经由绝缘体320设置有载放晶片W的基座(载放台)315。基座315经由整合器325a与高频电源325b连接，通过从高频电源325b输出的高频电力对处理容器300的内部施加预定的偏置电压。另外，基座315经由线圈330a与高压直流电源330b连接，通过从高压直流电源330b输出的直流电压来静电吸附衬底G。另外，基座315的内部设有加热器331，通过由加热器用电源332提供的电力对晶片W进行加热。另外，基座315的内部设有为冷却晶片W而提供冷却水的冷却套管335。
喷淋板305在其上部被盖板340覆盖。在盖板340的上表面设置有径向线缝隙天线345。径向线缝隙天线345由形成有多个未图示的缝隙的盘状的缝隙板345a、支撑缝隙板345的盘状的天线主体345b、设置在缝隙板345a和天线主体345b之间并由氧化铝(Al2O3)等电介质形成的相位延迟板345c来构成。准备有例如小型(small)和大型(large)等大小不同的径向线缝隙天线345、或者图案A和图案B等缝隙图案等不同的径向线缝隙天线345，并且可以根据用途等来适当取代。径向线缝隙天线345经由同轴导波管350在外部设置有微波产生器355。
处理容器300上安装有真空泵(未图示)，经由气体排出管360排出处理容器300内的气体，由此处理室U被减压至所期望的真空度。
气体供应源365包括多个阀门V、多个质量流量控制器MFC、供应1种以上的第一材料气体以及1种以上的第二材料气体的多个材料气体供应源365a。通过分别控制各阀门V的开闭以及各质量流量控制器MFC的开度，气体供应源365向处理容器300的内部提供所期望的浓度的气体。如上所述，第一材料气体通过第1流路370a从贯穿喷淋板305的气体导入管375被提供到处理室U的上方，并且第二材料气体通过第2流路370b从一体型气体管380提供到比第1气体更靠下方的位置。根据这样的构成，由从微波产生器355经由缝隙以及喷淋板305入射到处理室U内的微波，由各种气体生成等离子体，通过所生成的等离子体在衬底上形成膜。
制造装置200还可以设置有未图示的1个以上的控制部。另外，这些各控制部的控制目标(例如控制目标物、压力、温度等成为控制目标的项目)等既可以至少一部分相同，也可以不同。控制部根据用于设定针对预先被设定的处理目标物的处理条件等的方案(Recipe)的参数值、或对制造装置200预先设定的、通常用户无法变更的静态参数值等来控制制造装置200的各种动作。例如在被设定有处理温度的情况下，控制部根据未图示的1个以上的温度检测部检测出的温度来对加热器等的输出进行所谓的反馈控制，将处理容器300内的温度控制为通过设定值设定的温度。另外，控制部控制处理容器300内的压力使其成为通过设定值设定的压力。这样的控制例如也可以通过将预先存储的基准值作为控制的目标值来进行。除此之外，控制部还进行制造装置200整体的控制，例如气体流量的控制、阀门开闭控制等，但是由于这些控制是公知技术，因此在此省略说明。上述的参数值被存储在未图示的存储器等存储介质中，并根据需要由控制部读出。该存储包括暂时存储。不管如何接收这些参数的值、如何存储到存储介质等中。例如可以通过制造装置200的未图示的接收部等将由用户等输入的参数值存储到存储介质中。也可以利用制造装置200的未图示的接收部接收从信息处理装置10等其他装置输出的参数值并存储到存储介质等中。另外，代替进行存储，也可以为控制部直接接收参数值来对动作进行控制指定。另外，控制部也可以将未图示的温度检测部等检测的信息经由未图示的输出部等输出给信息处理装置10。控制部通常可以通过MPU或存储器等来实现。控制部的处理步骤通常通过软件实现，该软件存储在ROM等存储介质中。但是，也可以通过硬件(专用电路)来实现。
接下来，利用图4的流程图说明信息处理装置的动作。在此，为了使得说明变得简单，在指令是异步型指令的情况下，以马上由指令执行部106执行该异步指令的情况为例进行了说明。另外，对于同步指令，以在紧接之前的同步指令的执行结束之后开始该同步指令的执行的情况为例进行了说明。
(步骤S401)画面构成部102判断是否构成用于接收同步指定信息的画面。画面构成部102怎样判断是否构成画面都可以。例如可以在从用户经由未图示的接收部等接收了构成画面的指示的情况下，决定构成用于接收同步指定信息的画面。当构成画面时，进入到步骤S402，当不构成画面时，进入到步骤S406。
(步骤S402)画面构成部102构成用于接收同步指定信息的画面。例如，画面构成部102获取存储在指令存储部101中的指令的处理顺序或指令的识别信息等信息，利用该获取的信息和从未图示的存储部读出的画面构成信息来构成用于接收同步指定信息的画面。
(步骤S403)画面输出部103输出在步骤S402中构成的画面，例如进行显示。
(步骤S404)指定接收部104接收在步骤S402中输出的针对用于接收同步指定信息的画面的同步指定信息。具体来说，指定接收部104接收针对存储在指令存储部101中的各指令的同步指定信息。
(步骤S405)指定接收部104将在步骤S404中接收的同步指定信息存储到未图示的存储器等存储介质等中。然后，返回到步骤S401。
(步骤S406)指令执行部106判断是否执行存储在指令存储部101中1个以上的指令。指令执行部106怎样判断是否执行指令都可以。例如可以当从用户接收到执行指令的指示时判断为执行指令。另外，也可以当从其他装置等接收了执行指令的指示时判断为执行指令。当执行指令时，进入到步骤S407，当不执行指令时，返回到步骤S401。
(步骤S407)指令执行部106判断指定接收部104是否接收了同步指定信息。例如判断指定接收部104是否将同步指定信息存储到用于存储同步指定信息的存储介质等中。当已存储时，进入到步骤S408，当没有存储时，返回到步骤S402。另外，替代返回到步骤S402，也可以对没有指定同步指定信息的错误显示进行表示等之后，返回到步骤S401。
(步骤S408)指令执行部106将1代入到计数器K。
(步骤S409)指令执行部106从指令存储部101中读出第K个执行的指令(以下称作第K个指令)。
(步骤S410)指令执行部106开始执行第K个指令。
(步骤S411)指令执行部106读出在步骤S404中接收的、与第K个指令对应的同步指定信息，并判断第K个指令是否是同步型指令。当是同步型指令时，进入到步骤S412，当不是同步型指令时、即是异步型指令时，进入到步骤S413。
(步骤S412)指令执行部106等待至前一个执行的同步型指令、即紧接之前执行的同步型指令的执行结束为止。当执行结束时，进入到步骤S413。另外，指令执行部106怎样判断紧接之前的同步型指令的执行是否结束都可以。当同步型指令例如是用于控制其他装置(例如制造装置200等)的指令时，也可以在接收到表示根据该指令的制造装置200等的动作结束的信息等的情况下判断为指令的执行结束。
(步骤S413)指令执行部106使计数器K加1。
(步骤S414)指令执行部106判断指令存储部101中是否有第K个指令。当有第K个指令时，返回到步骤S409，当没有第K个指令时，进入到步骤S415。
(步骤S415)指令执行部106判断所有的指令的执行是否结束。当结束了时，进入到步骤S401，当没有结束时，返回到步骤S415。
另外，在图4的流程图中，通过切断电源或处理结束的中断(割り込み)来结束处理。
以下，说明本实施方式中的信息处理装置的具体动作。在此，作为例子对以下的情况进行说明：制造装置200具备用于进行阀门的开闭或温度调节等的、具有未图示的“DRP1”、“VB1-P1”、“VB2-P1”、“VB3-P1”“TMP1”、“TMP2”等识别信息的设备等，并且信息处理装置10对这些设备执行指令。
图5是表示用于管理存储在指令存储部101中的指令的指令管理表的图。在此，以存储在指令管理表中的多个指令构成作为用于执行一系列的处理的组(set)的、所谓的宏(macro)的情况为例进行说明。指令管理表具有被称作“ID”、“宏名”、“顺序”、“设备名”、“指令”的项目。“ID”是用于管理指令记录的识别信息。
“宏名”是识别各指令所属的宏的信息。“顺序”表示指令的处理顺序。“指令”表示用于确定指令的指令的名称。各指令的名称与指令一一对应。另外，也可以将“指令”认为是指令本身。该指令管理表例如存储在未图示的存储器等的存储介质中。
图6是用于表示当构成用于接收同步指定信息的画面时所使用的画面构成信息的一个例子的图。画面构成信息被存储在未图示的存储部等中。假设画面构成信息为用于定义画面的布局(layout)的样式文件(stylefile)、换言之样板(template)，所述画面是用于接收针对存储在指令存储部101中的各指令的同步指定信息的画面。在该画面构成信息中，“[]”表示变量，“[]”中的字符串与图5所示的项目名对应。例如“[指令]”与图3的“指令”的项目对应。另外，复选框61是用于接收表示指令为同步型的同步指定信息的显示用对象(object)、复选框62是用于接收表示指令为异步型的同步指定信息的显示用对象。以在旁边标注有“#1”的由虚线包围的区域表示：以由该虚线包围的区域的信息重复显示相当于图5所示的指令管理表中的记录的数目的次数。这样的样式文件例如可以由HTML等来构成。
首先，用户操作鼠标或键盘等从信息处理装置10的菜单等针对信息处理装置10下达以下指示：将用于针对构成“宏名”为“第一处理”的宏的指令输入同步指定信息的画面显示在监视器(未图示)上。
画面构成部102读出存储在未图示的存储部等中的如图6所示的那样的画面构成信息，利用该画面构成信息和关于通过图5所示的指令管理表管理的指令的信息，构成用于接收同步指定信息的画面。具体来说，画面构成部102对于从未图示的存储部读出的如图6所示的画面构成信息所表示的样式文件，按照记录的顺序依次配置从图5的指令管理表读出的项目的值，构成用于接收同步指定信息的画面。然后，画面输出部103将画面构成部102构成的画面显示在监视器等上。图7表示显示例。另外，对于不需要接收同步、异步的指定的指令等(例如确定是要异步执行的指令等)，在图5所示的指令管理表中预先还设定表示不需要接收同步、异步的指定的项目，当在该项目中输入有表示不需要接收同步、异步的指定的信息时，对于这样的指令也可以不显示用于接收同步指定信息的画面等。或者，对于这样的指令也可以不显示复选框61等。
接下来，一旦用户操作鼠标等，将指示器(pointer)移动到如图7所示的接收同步指定信息的画面的与各指令对应的复选框61或复选框62上，并且点击鼠标的按钮等，则指定接收部104接收与被点击的复选框对应的同步指定信息。例如，当点击了复选框61时，指定接收部104针对与被点击的复选框61相同行的指令，接收指定是同步型指令的同步指定信息。另外，当点击了复选框62时，指定接收部104针对与被点击的复选框62相同行的指令接收指定是异步型指令的同步指定信息。另外，在被点击的复选框中显示选中标记(check mark)。图8表示接收了同步指定信息的输入的情况下的显示例。在图8中，例如，关于处理顺序为“2”的指令、即控制对象的设备为“VB1-P1”的指令“打开(OPEN)”，对指定是同步型指令的同步指定信息进行接收。另外，关于处理顺序为“3”的指令、即控制对象的设备为“VB2-P1”的指令“打开”，对指定是异步型指令的同步指定信息进行接收。
接下来，用户操作鼠标等，按下如图7所示的用于接收同步指定信息的画面的“确定”按钮70等、或者进行同样的菜单操作等，由此同步指定信息的接收结束，指定接收部104将接收到的同步指定信息存储在同步指定信息存储部105等中。
图9是用于管理指定接收部104接收的存储在同步指定信息存储部105等中的同步指定信息的同步指定信息管理表。同步指定信息管理表具有被称作“ID”、“同步”、“异步”的项目。“ID”是用于确定指令的识别信息，相当于图5的“ID”。“同步”是表示与相同记录的“ID”对应的指令为同步型指令的信息，如果值为“1”，则表示图5所示的指令管理表中的“ID”的值相同的记录的指令为同步型。“异步”是表示与相同记录的“ID”对应的指令为异步型指令的信息，如果值为“1”，则表示图5所示的指令管理表中的“ID”的值相同的记录的指令为异步型。另外，如果两者的值为“-”，则表示同步指定信息为“未指定”。针对在与图8的“同步”对应的复选框61中具有选中标记的指令，作为与图5所示的指令管理表所表示的该指令的“ID”值具有相同的“ID”值的图9的同步指定信息管理表中的记录的“同步”项目值而存储“1”。另外，针对在与图8中的“异步”对应的复选框62中具有选中标记的指令，作为与图5所示的指令管理表所表示的该指令的“ID”值具有相同的“ID”值的图9的同步指定信息管理表中的记录的“异步”项目值而存储“1”。另外，“同步”以及“异步”的项目值“-”表示没有存储项目值。同步指定信息管理表例如只要存储在未图示的存储器等的存储部或指令存储部101等中并进行管理即可。另外，在此，虽然以称作“ID”的项目将上述的指令管理表和同步指定信息管理表的记录对应了起来，但是也可以用一个管理表来整理并管理上述的指令管理表和同步指定信息管理表。
接下来，假设用户操作菜单等，向信息处理装置10下达显示指定同步指定信息后的结果的指示。画面输出部103利用图5所示的指令管理表以及图9所示的同步指定信息管理表的信息将指定同步指定信息后的指令的列表显示在监视器等上。图10表示显示例。在图10中，“步骤信息”是将图5的“顺序”的值和表示是指令的信息(这里是被称作“动作”的字符串)相结合的项目。例如“2.动作”表示是被处理的“顺序”为第“2”个的指令。“设备”、“指令”分别相当于图5的“设备”、“指令”。“其他详细情况”是表示指令是否为同步型指令的项目，由于在图9中当“同步”的项目值为“1”时表示是同步型指令，因此，“其他详细情况”的项目值被显示成“等待”。“定时超时”是表示是否利用定时超时来判断指令的结束的项目，由于在图9中当“异步”的项目值为“1”时表示是异步型指令，因此该项目值被显示成“不等待结束”。
接下来，假设用户向指示信息处理装置10下达了执行存储在指令存储部101中的指令的指示。
首先，最初指令执行部106从指令存储部101读出如图5所示的指令管理表的“顺序”为“1”的记录的指令。然后开始执行所读出的指令。在此，例如读出图5所示的被称作“起动”的指令，并对被称作“DRP1”的设备执行所读出的指令。
接下来，指令执行部106从指令存储部101读出在用图5所示的指令管理表管理的指令中“顺序”的值为紧接之前读出的指令的“顺序”的下一个顺序的指令。然后，参照图8所示的同步指定信息管理表，对于读出的指令判断是同步型指令还是异步型指令。例如，在此从指令管理表中读出作为处理顺序为第2个的指令的、对于“VB1-P1”的“打开”指令。另外，从指令管理表读出作为与该指令对应的“ID”的“002”。然后，判断图9所示的同步指定信息管理表中的“ID”项目为“002”的记录的“同步”或者“异步”的项目中的哪一个为“1”。在此，由于“同步”为“1”，因此指令执行部106判断接下来执行的对于“VB1-P1”的“打开”指令为同步型指令。
因此，指令执行部106判断紧接之前执行的对于被称作“DRP1”的设备的“打开”指令是否结束，当结束了时，执行对于下一个“VB1-P1”的“打开”指令。当没有结束时，等待至结束为止再执行对于“VB1-P1”的“打开”指令。
在此，假设对于“DRP1”的“打开”指令的执行结束，并且由指令执行部106开始执行了作为同步型指令的对于“VB1-P1”的“打开”指令。
指令执行部106从指令存储部101读出对于“VB2-P1”的“打开”指令，其中所述对于“VB2-P1”的“打开”指令是在用图5所示的指令管理表管理的指令中作为“顺序”的值为紧接之前读出的“顺序”为“2”的指令的下一个顺序的指令。另外，从指令管理表中读出作为与该指令对应的“ID”的“003”。
然后，指令执行部106与上述同样地利用读出的“ID”和同步指定信息管理表来判断对于该“VB2-P1”的“打开”指令是同步型指令还是异步型指令。在此，在同步指定信息管理表中，由于“ID”为“003”的记录的“同步”的项目值为“1”，因此判断为同步型指令。
因此，指令执行部106等待至紧接之前执行的对于被称作“VB1-P1”的设备的“打开”指令的结束，再开始执行接下来的对于“VB2-P1”的“打开”指令。
指令执行部106从指令存储部101读出对于“TMP1”的“起动”指令，其中所述对于“TMP1”的“起动”指令是在用图5所示的指令管理表管理的指令中作为“顺序”的值为紧接之前读出的“顺序”为“3”的指令的下一个顺序的指令。另外，从指令管理表中读出作为与该指令对应的“ID”的“004”。
然后，指令执行部106与上述同样地参照读出的“ID”和同步指定信息管理表来判断对于该被称作“TMP1”的设备的“起动”指令是同步型指令还是异步型指令。在此，在同步指定信息管理表中，由于“ID”为“004”的记录的“异步”的项目值为“1”，因此判断为异步型指令。
因此，指令执行部106不等待紧接之前执行的对于被称作“VB2-P1”的设备的“打开”指令的结束，就执行接下来的对于被称作“TMP1”的设备的“起动”指令。
另外，同样地，关于对“顺序”为“5”的被称作“TMP2”的设备的被称作“起动”的指令，由于与该指令对应的“异步”的项目值为“1”，因此指令执行部106也将其判断为是异步型指令，并且不等待紧接之前执行的对于被称作“TMP1”的设备的“起动”指令结束，就执行对于被称作“TMP2”的设备的“起动”指令。
接下来，与上述的对于被称作“VB2-P1”的设备的“打开”指令的情况同样地，指令执行部106针对“顺序”为“6”的对于被称作“VB1-P3”的设备的“打开”指令，由于与该指令对应的“同步”的项目值为“1”，因此判断为是同步型指令。然后，判断紧接之前执行的作为同步型指令的对于被称作“VB2-P1”的设备的“打开”指令是否结束，当结束了时，执行对于被称作“VB1-P3”的设备的“打开”。当没有结束时，等待至对于被称作“VB2-P1”的设备的“打开”指令结束再执行对于被称作“VB1-P3”的设备的“打开”指令。
以下，与上述的同样地执行存储在指令存储部101中的指令。
在这里，利用图11说明执行上述的存储在指令存储部101中的各指令的定时。在此，“DRP1”、“VB1-P1”、“VB2-P1”、“TMP1”、“TMP2”“VB3-P1”为成为指令的执行对象的设备200a～200f，各设备200a～200f在根据各指令的控制结束之后，对信息处理装置10返回表示指令的执行已完成的结束响应。
例如，当从作为设备200a的“DRP1”向信息处理装置10发送了针对“起动”的指令的执行的结束响应时，执行对于作为设备200b的“VB1-P1”的“打开”指令。另外，当从“VB1-P1”向信息处理装置10发送了针对“打开”指令的执行的结束响应时，执行对于作为设备200c的“VB2-P1”的“打开”指令。另外，当从“VB2-P1”向信息处理装置10发送了针对“打开”指令的执行的结束响应时，执行对于作为设备200f的“VB3-P1”的“打开”指令。由此，设备200a～200c以及设备200f被同步地、连续地控制。
另外，在执行对于“VB2-P1”的“打开”指令之后，不等待来自“VB2-P1”的对于“打开”指令的结束响应，就马上执行对于作为设备200d的“TMP1”的“起动”指令。
另外，同样地，在紧接执行对于“TMP1”的“起动”指令之后，不等待来自“TMP1”的对于“起动”指令的结束响应，就马上执行对于作为设备200e的“TMP2”的“起动”指令。
其结果是，能够使设备200d和设备200e与其他的设备并列地动作。
以上，根据本实施方式，由于能够对画面输出部103所输出的画面输入指定指令执行部106所执行的指令是与其他的指令同步执行的指令还是异步执行的指令的信息，因此用户能够容易地指定将可同步的执行的指令和可异步执行的指令相组合的所期望的处理并执行。
另外，在上述实施方式中，虽然说明了将指定接收部104针对画面输出部103所输出的画面的各指令接收的同步指定信息存储在同步指定信息存储部105等中的情况，但是在本发明中，也可以将预先与指令对应起来的同步指定信息存储在同步指定信息存储部105中。并且，指令执行部106也可以根据预先存储的同步指定信息来判断是否同步执行指令。另外，该被存储的同步指定信息也可以不是针对画面输出部103所输出的画面的各指令接收的同步指定信息，例如也可以从未图示的接收部等中接收存储有如图9所示的那样将同步指定信息和指令对应起来的信息的文件等。该将同步指定信息和指令对应起来的信息采用任何形式都可以，例如，既可以是利用制位符(tab)或空格等来划分对应的同步指定信息和指令的组合并将其配置在不同的行的文本信息等，也可以是图9或图10的显示例所示的表形式的数据。另外，在这样的表形式的数据中，既可以如作为通常的表计算软件的所谓的电子表格(spreadsheet)那样将各数据输入到单元格(cell)等中，也可以是利用制位符或空格等来划分数据的列、并且利用换行代码等来划分数据的行的信息。
另外，在上述实施方式中，作为指令中的一个而存在叫做“等待至异步动作的1个以上的指令结束为止”的指令。当存在该指令时，等待至之前动作的1个以上的异步指令结束为止，然后进行执行下一个指令的处理。
另外，在上述各实施方式中，各处理(各功能)可以通过由单一装置(系统)进行集中处理来实现，或者，可以通过由多个装置进行分散处理来实现。
另外，在上述各实施方式中，虽然说明了信息处理装置独立(stand-alone)的情况，信息处理装置既可以是独立的装置，也可以是服务器和客户端系统中的服务器装置。当是后者时，输出部或接收部经由通信线路接收输入或者输出画面。
另外，在上述各实施方式中，各构成要素可以由专用的硬件构成，或者，对于可由软件实现的构成要素也可以通过执行程序来实现。例如，可以由MPU等程序执行部读出并执行记录在硬盘或半导体存储器等记录介质中的软件/程序来实现各构成要素。
另外，实现上述各实施方式中的信息处理装置的软件是如下程序。即，该程序是用于使计算机作为按照处理顺序执行被存储的指定了所述处理顺序的1个以上的指令的指令执行部而发挥功能的程序，以便针对被存储的指定了处理顺序的1个以上的指令，根据被存储的同步指定信息，对于被指定为同步执行的指令，在紧接之前的指令结束之后再执行，对于被指定为异步执行的指令，不等待紧接之前的指令结束就执行指令，其中，所述同步指定信息是指定与其他指令同步执行还是异步执行的信息。
另外，该程序使计算机作为画面构成部、画面输出部、指定接收部、以及指令执行部来发挥功能，其中，所述画面构成部构成用于接收同步指定信息的画面，所述同步指定信息是针对被存储的指定了处理顺序的1个以上的各指令指定与其他指令同步执行还是异步执行的信息；所述画面输出部输出在所述画面构成步骤中所构成的画面；所述指定接收部接收针对在所述画面输出步骤中所输出的画面的各指令的所述同步指定信息；所述指令执行部按照所述处理顺序执行所述被存储的指令，以对于由在所述指定接收步骤中所接收的同步指定信息指定为同步执行的指令，在紧接之前的指令结束之后再执行，而对于被指定为异步执行的指令，不等待紧接之前的指令结束就执行指令。
另外，在上述程序中，上述程序所实现的功能不包含只能用硬件来实现的功能。例如，获取信息的获取部或输出信息的输出部等中的调制解调器或接口卡等的只能用硬件实现的功能不被包含在上述程序所实现的功能中。
另外，执行该程序的计算机既可以是一个也可以是多个。即，既可以进行集中处理，也可以进行分散处理。
图12是表示执行上述程序来实现根据上述实施方式的信息处理装置的计算机的外观的一个例子的示意图。上述实施方式通过计算机硬件以及在该计算机硬件上执行的计算机程序来实现。
在图12中，计算机系统500包括计算机501、键盘502、鼠标503、监视器504，其中所述计算机501包括CD-ROM(Compact Disk Read OnlyMemory，光盘只读存储器)驱动器505、FD(Flexible Disk，软盘)驱动器506。
图13是表示计算机系统的图。在图13中，计算机501除了CD-ROM驱动器505、FD驱动器506之外，还包括MPU(Micro Processing Unit，微处理单元)511；用于存储启动程序(boot up program)等程序的ROM(Read Only Memory，只读存储器)512；与MPU 511连接并暂时存储应用程序的命令并且提供暂时存储空间的RAM(Random Access Memory，随机存取存储器)513；存储应用程序、系统程序、以及数据的硬盘514；以及将MPU 511、ROM 512等彼此连接起来的总线515。另外，计算机501也可以包含提供对LAN的连接的未图示的网卡。
使计算机系统500执行根据上述实施方式的信息处理装置的功能的程序也可以被存储在CD-ROM 521或FD 522中，并被插入CD-ROM驱动器505或FD驱动器506中，进而被转送到硬盘514中。取而代之，该程序也可以经由未图示的网卡发送给计算机501并存储在硬盘514中。程序在执行时从RAM 513加载。另外，程序也可以直接从CD-ROM 521或FD 522或者网络加载。
程序可以不一定包含使计算机501执行根据上述实施方式的信息处理装置的功能的操作系统(OS)、或者第三方程序等。程序也可以只包含命令部分，所述命令以被控制的方式调用合适的功能(模块)来获得所期望的结果。由于计算机系统500如何进行动作是公知的，因此省略详细说明。
本发明不限于以上的实施方式，也可以进行各种变形，勿庸置疑这些变形也被包含在本发明的范围内。
产业上的实用性
如上所述，本发明涉及的信息处理装置等适于用作半导体制造工序等中所使用的信息处理装置，特别是作为执行包含有同步执行指令和异步执行指令的指令的信息处理装置等来说是有用的。

Claims (5)

1.一种信息处理装置，包括：
指令存储部，其能够存储指定了处理顺序的1个以上的指令；
同步指定信息存储部，其能够存储同步指定信息，所述同步指定信息是针对存储在所述指令存储部中的各指令指定与其他指令同步执行还是异步执行的信息；以及
指令执行部，其按照所述处理顺序执行被存储在所述指令存储部中的指令，以对于由存储在所述同步指定信息存储部中的同步指定信息指定为同步执行的指令，在前一个指令结束之后再执行，而对于被指定为异步执行的指令，不等待前一个指令结束就执行指令。
2.一种信息处理装置，包括：
指令存储部，其能够存储指定了处理顺序的1个以上的指令；
画面构成部，其构成用于接收同步指定信息的画面，所述同步指定信息是针对存储在所述指令存储部中的各指令指定与其他指令同步执行还是异步执行的信息；
画面输出部，其输出所述画面构成部所构成的画面；
指定接收部，其接收所述画面输出部所输出的画面的针对各指令的所述同步指定信息；以及
指令执行部，其按照所述处理顺序执行被存储在所述指令存储部中的指令，以对于由所述指定接收部所接收的同步指定信息指定为同步执行的指令，在前一个指令结束之后再执行，而对于被指定为异步执行的指令，不等待前一个指令结束就执行指令。
3.如权利要求2所述的信息处理装置，其中，
所述指令执行部在前一个、由同步指定信息指定为同步执行的指令的执行结束之后，执行由所述指定接收部所接收的同步指定信息指定为同步执行的指令。
4.一种信息处理方法，所述方法是利用指令存储部、同步指定信息存储部、以及指令执行部进行的信息处理方法，其中，所述指令存储部能够存储指定了处理顺序的1个以上的指令，所述同步指定信息存储部能够存储同步指定信息，所述同步指定信息是针对存储在所述指令存储部中的各指令指定与其他指令同步执行还是异步执行的信息，
其中，所述信息处理方法包括指令执行步骤，
在所述指令执行步骤中，所述指令执行部按照所述处理顺序执行被存储在所述指令存储部中的指令，以对于由存储在所述同步指定信息存储部中的同步指定信息指定为同步执行的指令，在前一个指令结束之后再执行，而对于被指定为异步执行的指令，不等待前一个指令结束就执行指令。
5.一种信息处理方法，所述方法是利用能够存储指定了处理顺序的1个以上的指令的指令存储部、画面构成部、画面输出部、指定接收部、以及指令执行部来进行的信息处理方法，并且，所述信息处理方法包括：
画面构成步骤，其中所述画面构成部构成用于接收同步指定信息的画面，所述同步指定信息是针对存储在所述指令存储部中的各指令指定与其他指令同步执行还是异步执行的信息；
画面输出步骤，其中所述画面输出部输出在所述画面构成步骤构成的画面；
指定接收步骤，其中所述指定接收部接收针对在所述画面输出步骤中输出的画面的各指令的所述同步指定信息；以及
指令执行步骤，其中所述指令执行部按照所述处理顺序执行被存储在所述指令存储部中的指令，以对于在所述指定接收步骤中所接收的同步指定信息指定为同步执行的指令，在前一个指令结束之后再执行，而对于被指定为异步执行的指令，不等待之前的指令结束就执行指令。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5032219B2 (ja) * 2007-06-29 2012-09-26 株式会社東芝 演算方式を制御して情報を処理する装置、方法およびプログラム
DE102010048809A1 (de) 2010-10-20 2012-04-26 Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg Leistungsversorgungssystem für eine Plasmaanwendung und/oder eine Induktionserwärmungsanwendung
DE102010048810A1 (de) 2010-10-20 2012-04-26 Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg System zur Bedienung mehrerer Plasma- und/oder Induktionserwärmungsprozesse
EP2490089A1 (de) * 2011-02-17 2012-08-22 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zum Steuern eines Rezeptes eines Chargenprozesses
CN104731116B (zh) * 2013-12-24 2017-09-01 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 半导体加工设备中气路控制的方法及系统
WO2019207790A1 (ja) * 2018-04-27 2019-10-31 三菱電機株式会社 データ処理装置、タスク制御方法及びプログラム
CN114338806B (zh) * 2022-02-28 2022-06-21 湖南云畅网络科技有限公司 一种同步消息处理方法及系统

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5771354A (en) * 1993-11-04 1998-06-23 Crawford; Christopher M. Internet online backup system provides remote storage for customers using IDs and passwords which were interactively established when signing up for backup services
JP3543996B2 (ja) 1994-04-22 2004-07-21 東京エレクトロン株式会社 処理装置
JP3165585B2 (ja) * 1994-05-13 2001-05-14 シャープ株式会社 情報処理装置
JP3507307B2 (ja) * 1996-12-27 2004-03-15 キヤノン株式会社 情報処理装置およびネットワークプリントシステムおよびその制御方法およびプログラムが格納された記憶媒体
US6470227B1 (en) * 1997-12-02 2002-10-22 Murali D. Rangachari Method and apparatus for automating a microelectric manufacturing process
KR100772342B1 (ko) * 1999-03-18 2007-11-01 세이코 엡슨 가부시키가이샤 시스템, 비트맵 데이터의 송신 제어 방법, 리얼 타임 커맨드의 송신 제어 방법
JP3497450B2 (ja) 2000-07-06 2004-02-16 東京エレクトロン株式会社 バッチ式熱処理装置及びその制御方法
US6588007B1 (en) * 2001-01-03 2003-07-01 Advanced Micro Devices, Inc. Use of endpoint system to match individual processing stations within a tool
US8180587B2 (en) * 2002-03-08 2012-05-15 Globalfoundries Inc. System for brokering fault detection data
JP4694843B2 (ja) * 2002-09-30 2011-06-08 東京エレクトロン株式会社 半導体製作プロセスの監視とコンロトールのための装置
JP5041713B2 (ja) * 2006-03-13 2012-10-03 東京エレクトロン株式会社 エッチング方法およびエッチング装置、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体
JP4447618B2 (ja) 2007-03-16 2010-04-07 株式会社日立国際電気 半導体製造装置
US7870446B2 (en) * 2008-02-29 2011-01-11 Kabushiki Kaisha Toshiba Information processing apparatus and nonvolatile semiconductor memory drive

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Publication number Publication date
DE112008003657T5 (de) 2010-11-11
KR20100095651A (ko) 2010-08-31
CN101933119A (zh) 2010-12-29
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US20100324701A1 (en) 2010-12-23

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