DE112008003657T5 - Informationsverarbeitungsvorrichtung, Informationsverarbeitungsverfahren und -programm - Google Patents

Informationsverarbeitungsvorrichtung, Informationsverarbeitungsverfahren und -programm Download PDF

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Masaru Sendai-shi Nishimura
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Tokyo Electron Ltd
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    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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Abstract

Informationsverarbeitungsvorrichtung, die umfasst:
eine Befehlsspeichereinheit, die einen oder mehrere Befehle speichert, von denen eine Prozesssequenz spezifiziert ist;
eine Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit, die Synchronisationsspezifizierungsinformationen speichert, die spezifizieren, ob jeder der in der Befehlsspeichereinheit gespeicherten Befehle in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt wird; und
eine Befehlsausführungseinheit, die die in der Befehlsspeichereinheit gespeicherten Befehle in Übereinstimmung mit der Prozesssequenz ausführt, um mit Bezug auf die in der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit gespeicherten Synchronisationsspezifizierungsinformationen einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls, und einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, asynchron ausgeführt zu werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten, auszuführen.

Description

  • [Technisches Gebiet]
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Informationsverarbeitungsvorrichtung, die in einem Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird, der eine Herstellungsvorrichtung verwendet.
  • [Stand der Technik]
  • Herkömmlich gibt es eine Halbleiterherstellungsvorrichtung, die den Status der Vorrichtung und einen Befehl auf demselben Bildschirm in einer Moduleinheit anzeigt, sodass der Befehl eingegeben werden kann, während der Status der Vorrichtung beobachtet wird (siehe z. B. Patentdokument 1).
  • Ferner gibt es als eine herkömmliche Herstellungsvorrichtung eine so genannte vertikale Wärmebehandlungsvorrichtung vom diskontinuierlich beschickten Typ (siehe z. B. Patentdokumente 2 und 3).
    • Patentdokument 1: Japanische offengelegte Patentveröffentlichung Nr. 2007-180582 (siehe Seite 1 und 1)
    • Patentdokument 2: Japanisches Patent Nr. 3543996 (siehe Seite 1 und 1)
    • Patendokument 3: Japanische offengelegte Patentveröffentlichung Nr. 2002-25997 (siehe Seite 1 und 1)
  • [Offenbarung der Erfindung]
  • [Durch die Erfindung zu lösende Probleme]
  • Allerdings besteht in einer herkömmlichen Informationsverarbeitungsvorrichtung eine Notwendigkeit, ein Steuerprogramm zu erzeugen, um Prozesse durch Kombinieren eines synchron ausführbaren Befehls und eines asynchron ausführbaren Befehls wie etwa eines parallel ausführbaren Befehls sequentiell auszuführen. Somit ist es für einen Nutzer nicht leicht, einen gewünschten Prozess durch freies Kombinieren eines oder mehrerer Befehle auszuführen.
  • [Mittel zur Lösung der Probleme]
  • In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung wird eine Informationsverarbeitungsvorrichtung geschaffen, die enthält: eine Befehlsspeichereinheit, die einen oder mehrere Befehle speichert, von denen eine Prozesssequenz spezifiziert ist; eine Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit, die Synchronisationsspezifizierungsinformationen speichert, die spezifizieren, ob jeder der in der Befehlsspeichereinheit gespeicherten Befehle in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt wird; und eine Befehlsausführungseinheit, die die in der Befehlsspeichereinheit gespeicherten Befehle in Übereinstimmung mit der Prozesssequenz ausführt, um mit Bezug auf die in der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit gespeicherten Synchronisationsspezifizierungsinformationen einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls, und einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, asynchron ausgeführt zu werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten, auszuführen.
  • Bei dieser Konfiguration braucht ein Nutzer durch Speichern von Informationen, die spezifizieren, ob ein Befehl in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt werden soll, kein Programm für die Durchführung einer synchronen Steuerung oder einer asynchronen Steuerung zu beschreiben, wenn ein gewünschter Prozess durch Kombinieren eines synchron ausführbaren Befehls und eines asynchron ausführbaren Befehls ausgeführt wird. Dementsprechend ist es für den Nutzer möglich, einen gewünschten Prozess durch Kombinieren eines synchron ausführbaren Befehls und eines asynchron ausführbaren Befehls leicht zu spezifizieren und auszuführen.
  • In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung wird eine Informationsverarbeitungsvorrichtung geschaffen, die enthält: eine Befehlsspeichereinheit, die einen oder mehrere Befehle speichert, von denen eine Prozesssequenz spezifiziert ist; eine Bildschirmkonfigurationseinheit, die einen Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen konfiguriert, die spezifizieren, ob jeder der in der Befehlsspeichereinheit gespeicherten Befehle in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt wird; eine Bildschirmausgabeeinheit, die den durch die Bildschirmkonfigurationseinheit konfigurierten Bildschirm ausgibt; eine Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit, die die Synchronisationsspezifizierungsinformationen über jeden Befehl durch den durch die Bildschirmausgabeeinheit ausgegebenen Bildschirm empfängt; und eine Befehlsausführungseinheit, die die in der Befehlsspeichereinheit gespeicherten Befehle in Übereinstimmung mit der Prozesssequenz ausführt, um mit Bezug auf die durch die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls, und einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, asynchron ausgeführt zu werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten, auszuführen.
  • Bei dieser Konfiguration braucht ein Nutzer durch Eingeben von Informationen, die spezifizieren, ob ein Befehl in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt werden soll, kein Programm zum Ausführen einer synchronen Steuerung oder einer asynchronen Steuerung zu beschreiben, wenn ein gewünschter Prozess durch Kombinieren eines synchron ausführbaren Befehls und eines asynchron ausführbaren Befehls ausgeführt wird. Dementsprechend ist es für den Nutzer möglich, einen gewünschten Prozess durch Kombinieren eines synchron ausführbaren Befehls und eines asynchron ausführbaren Befehls leicht zu spezifizieren und auszuführen.
  • Da die Informationen, die spezifizieren, ob ein Befehl in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt werden soll, ferner auf einem durch die Bildschirmausgabeeinheit ausgegebenen Bildschirm eingegeben werden können, ist es für den Nutzer möglich, einen gewünschten Prozess durch Kombinieren eines synchron ausführbaren Befehls und eines asynchron ausführbaren Befehls leicht zu spezifizieren und auszuführen.
  • Ferner führt in der Informationsverarbeitungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung die Befehlsausführungseinheit einen Befehl, der mit Bezug auf die durch die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines Befehls, der durch unmittelbar vorhergehende Synchronisationsspezifizierungsinformationen dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, aus.
  • Bei dieser Konfiguration ist es möglich, einen Befehl, der synchronisiert werden muss, durch Synchronisieren des Befehls mit einem unmittelbar vorhergehenden synchronen Befehl unabhängig davon auszuführen, ob die Ausführung eines asynchronen Befehls beendet ist oder nicht.
  • [Wirkung der Erfindung]
  • In Übereinstimmung mit einer Informationsverarbeitungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist es für einen Nutzer möglich, einen gewünschten Prozess durch Kombinieren eines synchron ausführbaren Befehls und eines asynchron ausführbaren Befehls leicht auszuführen.
  • [Beste Ausführungsart der Erfindung]
  • Im Folgenden werden mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen Ausführungsformen einer Informationsverarbeitungsvorrichtung beschrieben. In den Ausführungsformen werden Elemente, denen dieselben Bezugszeichen zugewiesen sind, auf dieselbe Weise betrieben, sodass eine redundante Beschreibung davon weggelassen werden kann.
  • (Ausführungsform)
  • 1 ist ein Blockschaltplan einer Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform.
  • Ferner ist 2 eine Konzeptansicht eines Herstellungsvorrichtungs-Managementsystems, das die Informationsverarbeitungsvorrichtung der vorliegenden Ausführungsform enthält.
  • Eine Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 ist über eine Kommunikationsleitung oder dergleichen direkt oder indirekt mit einer Herstellungsvorrichtung 200 verbunden, um Informationen zu empfangen und zu senden. Die Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 steuert Betriebe z. B. einer Mehrzahl von Herstellungsvorrichtungen 200. Die Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 und die mehreren Herstellungsvorrichtungen 200 können z. B. über Internet und ein Netz wie etwa ein drahtloses oder verdrahtetes LAN miteinander verbunden sein oder können über ein kurzreichweitiges drahtloses Kommunikationssystem wie etwa Bluetooth (eingetragenes Warenzeichen) verbunden sein. Andernfalls können die Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 und die Mehrzahl von Herstellungsvorrichtungen 200 durch eine Signalleitung direkt miteinander verbunden sein. Ferner kann die Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 in einer der mehreren Herstellungsvorrichtungen 200 enthalten sein oder als ein Teil der Herstellungsvorrichtung 200 angesehen werden. Hierin wird ein Beispiel erläutert, das eine einzelne Herstellungsvorrichtung 200 verwendet, wobei die Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 aber mit einer Mehrzahl von Herstellungsvorrichtungen 200 verbunden sein kann. Die Mehrzahl von Herstellungsvorrichtungen 200 können voneinander verschieden sein, können einander gleich sein oder können dieselbe Herstellungsvorrichtung enthalten.
  • Die Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 enthält eine Befehlsspeichereinheit 101, eine Bildschirmkonfigurationseinheit 102, eine Bildschirmausgabeeinheit 103, eine Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104, eine Synchronisationsspezifizierungs-Speichereinheit 105 und eine Befehlsausführungseinheit 106.
  • Die Befehlsspeichereinheit 101 kann einen oder mehrere Befehle speichern, von denen eine Prozesssequenz spezifiziert ist. Der Befehl ist z. B. eine Anweisung für die Informationsverarbeitungsvorrichtung 10, einen gewünschten Prozess auszuführen. Ferner kann der Befehl ein Programm oder eine ausführbare Datei zum Ausführen eines vorgegebenen Prozesses sein. Darüber hinaus kann der Befehl Zielinformationen, die eine Vorrichtung als ein durch einen Befehl zu steuerndes Ziel, eine Vorrichtung als ein Ziel, durch das ein Befehl ausgeführt wird, spezifizieren. Darüber hinaus können die Zielinformationen in Paaren mit jedem entsprechenden Befehl gemanagt werden. In diesem Fall können die Befehle als voneinander verschieden angesehen werden, selbst wenn die Befehle einander gleich sind, falls die Befehle anderen Zielinformationen entsprechen. Genauer bedeutet der Befehl, von dem eine Prozesssequenz spezifiziert ist, einen Befehl, von dem eine Sequenz des Ausführungsstarts spezifiziert ist. Wie eine Prozesssequenz des Befehls spezifiziert und wie sie gemanagt werden soll, ist nicht beschränkt. Beispielhaft kann es möglich sein, die Prozesssequenz unter Verwendung einer Managementtabelle zu managen, in der eine Prozesssequenz definiert ist, oder kann es möglich sein, dem Befehl Informationen zuzuweisen, die eine Prozesssequenz angeben. Jeder in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherte Befehl kann in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt werden. Eine Zeiteinstellung zum Speichern des Befehls in der Befehlsspeichereinheit 101 ist nicht beschränkt. Beispielhaft kann der Befehl zum Zeitpunkt des Fabrikversands gespeichert werden oder kann er geeignet durch einen Nutzer gespeichert werden. Die Befehlsspeichereinheit 101 wird nicht nur unter Verwendung eines nichtflüchtigen Speichermediums geeignet implementiert, sondern kann auch unter Verwendung eines flüchtigen Speichermediums implementiert werden.
  • Die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 konfiguriert einen Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen, die spezifizieren, ob jeder in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherte Befehl in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt werden soll. Erläuterungshalber wird hier ein Befehl, der synchron ausgeführt werden soll, d. h. ein synchron ausführbarer Befehl, als ein synchroner Befehl bezeichnet, und ein Befehl, der asynchron ausgeführt werden soll, als ein asynchroner Befehl bezeichnet. Synchron auszuführen bedeutet, dass die Ausführung erst durchgeführt wird, wenn ein anderer vorgegebener Befehl wie etwa ein unmittelbar zuvor ausgeführter Befehl beendet worden ist. Ferner bedeutet asynchron auszuführen, dass die Ausführung durchgeführt wird, ohne auf ein Ausführungsende eines anderen vorgegebenen Befehls wie etwa eines unmittelbar zuvor gestarteten Befehls zu warten. Der synchrone Befehl ist ein Befehl, der z. B. in Synchronisation mit einem unmittelbar davor ausgeführten Befehl ausgeführt werden soll. Darüber hinaus kann der synchrone Befehl z. B. als ein Befehl angesehen werden, der nicht gleichzeitig mit, sondern ausschließlich von anderen Befehlen ausgeführt werden soll. Spezifisch ist der synchrone Befehl ein Befehl, der nach einem Ausführungsende eines unmittelbar zuvor gestarteten Befehls ausgeführt werden soll. Der unmittelbar zuvor gestartete Befehl kann hier ein synchroner Befehl, dessen Ausführung zu einem früheren Zeitpunkt gestartet worden ist, oder ein asynchroner Befehl sein. Andernfalls kann der unmittelbar zuvor gestartete Befehl auf nur einen synchronen Befehl, der unmittelbar zuvor, d. h. eine Zeit früher, gestartet worden ist, oder einen asynchronen Befehl, der unmittelbar zuvor, d. h. eine Zeit früher, gestartet worden ist, beschränkt sein. Dasselbe betrifft den asynchronen Befehl. Es wird hier ein Beispiel erläutert, in dem der synchrone Befehl ein Befehl ist, der in Synchronisation mit einem unmittelbar zuvor ausgeführten synchronen Befehl ausgeführt werden soll, d. h. ein Befehl, der nach einem Ausführungsende eines unmittelbar zuvor gestarteten synchronen Befehls ausgeführt werden soll. Der asynchrone Befehl ist ein Befehl, der asynchron mit einem unmittelbar zuvor ausgeführten Befehl ausgeführt werden soll. Um spezifisch zu sein, ist der asynchrone Befehl ein Befehl, der ausgeführt werden soll, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar zuvor gestarteten Befehls zu warten. Der asynchrone Befehl ist ein Befehl, der z. B. parallel mit einem durch einen anderen Befehl ausgeführten Prozess ausgeführt werden soll. Beispielhaft kann der asynchrone Befehl zu einem wahlfreien Zeitpunkt, zu einem vorgegebenen Zeitpunkt oder als ein Trigger zwischen einem Auslösestart eines unmittelbar zuvor gestarteten Befehls und einem Ausführungsende davon ausgeführt werden. Ferner kann der asynchrone Befehl beispielhaft direkt nach der Ausführung des unmittelbar zuvor gestarteten Befehls ausgeführt werden. Um spezifisch zu sein, sind die Synchronisationsspezifizierungsinformationen Informationen, die einen Befehl spezifizieren, der in der Befehlsspeichereinheit 101 entweder als der synchrone Befehl oder als der asynchrone Befehl gespeichert wird. Im Ergebnis können die Synchronisationsspezifizierungsinformationen Informationen sein, die spezifizieren können, ob jeder Befehl in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit einem anderen Befehl wie etwa einem unmittelbar zuvor gestarteten Befehl ausgeführt wird. Beispielhaft können die Synchronisationsspezifizierungsinformationen Informationen sein, die auswählen, ob jeder Befehl ein synchroner Befehl oder ein asynchroner Befehl ist. Ferner können die Synchronisationsspezifizierungsinformationen Informationen sein, die auswählen, ob jeder Befehl ein syn chroner Befehl ist oder nicht, oder auswählen, ob jeder Befehl ein asynchroner Befehl ist oder nicht. Der Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen ist ein Bildschirm, der z. B. als eine Eingabeschnittstelle der Synchronisationsspezifizierungsinformationen verwendet wird. Der Bildschirm können hier Daten wie etwa Bitmapdaten zum Anzeigen eines Bildschirms sein. Um spezifisch zu sein, zeigt die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 Informationen, die jeden in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherten Befehl zeigen, z. B. Identifizierungsinformationen wie etwa einen Befehlsnamen, eine Befehlsnummer, eine Befehlsprozesssequenz oder einen Teil einer Befehlszeichenkette, an. Ferner konfiguriert die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 einen Bildschirm zum Anzeigen eines Eingabeobjekts wie etwa eines Felds, einer Schaltfläche oder eines Kontrollkästchens zum Empfangen einer Eingabe von Synchronisationsspezifizierungsinformationen jedes Befehls. Beispielhaft liest die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 Bildschirmkonfigurationsinformationen von einer nicht dargestellten Speichereinheit, die die zum Anzeigen eines Bildschirms zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen verwendeten Bildschirmkonfigurationsinformationen speichert, aus und konfiguriert unter Verwendung von Informationsmanagementbefehlen, die in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeichert sind, und den gelesenen Bildschirmkonfigurationsinformationen einen Bildschirm. Die Bildschirmkonfigurationsinformationen können z. B. HTML, Informationen einer Netzlinie, Einstellinformationen zum Konfigurieren eines Bildschirms oder ein Bildschirmkonfigurationsprogramm sein. Die Bildschirmkonfigurationsinformationen können Schabloneninformationen sein. Ferner konfiguriert die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 nicht notwendig einen Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen mit Bezug auf alle in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherten Befehle und kann sie einen Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen mit Bezug auf einige der Befehle konfigurieren. Üblicherweise kann die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 unter Verwendung einer MPU und eines Speichers implementiert werden. Eine Prozesssequenz der Bildschirmkonfigurationseinheit 102 kann üblicherweise durch Software implementiert werden, die in einem Speichermedium wie etwa einem ROM gespeichert ist. Ferner kann sie ebenfalls durch Hardware (eine dedizierte Schaltung) implementiert werden.
  • Die Bildschirmausgabeeinheit 103 gibt einen durch die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 konfigurierten Bildschirm aus. Der durch die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 konfigurierte und durch die Bildschirmausgabeeinheit 103 ausgegebene Bildschirm kann ein Bildschirm einer Eingabeschnittstelle zum Empfangen der oben beschriebenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen sein. Der Begriff ”Ausgabe” enthält hier das Anzeigen auf eine Anzeigevorrichtung, das Drucken auf ein Papier durch einen Drucker und eine Übertragung zu einer externen Vorrichtung. Die Bildschirmausgabeeinheit 103 kann eine Ausgabevorrichtung wie etwa eine Anzeige und einen Drucker enthalten oder nicht enthalten. Die Bildschirmausgabeeinheit 103 kann durch Treibersoftware einer Ausgabevorrichtung oder durch Treibersoftware einer Ausgabevorrichtung und durch die Ausgabevorrichtung implementiert werden.
  • Die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 empfängt in einen durch die Bildschirmausgabeeinheit 103 ausgegebenen Bildschirm eingegebene Synchronisationsspezifizierungsinformationen. Beispielhaft empfängt die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 über einen Bildschirm einer Eingabeschnittstelle zum Empfangen der oben beschriebenen von der Bildschirmausgabeeinheit 103 ausgegebenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen Synchronisationsspezifizierungsinformationen über jeden in der Befehlsspeichereinheit 101 gespei cherten Befehl. Um spezifisch zu sein, empfängt die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 durch Manipulieren einer Maus, einer Tastatur oder dergleichen Synchronisationsspezifizierungsinformationen, die einer auf einem Bildschirm durchgeführten Eingabe entsprechen. Der Empfang der Synchronisationsspezifizierungsinformationen kann z. B. ein Empfang von einem Eingabemittel, ein Empfang eines von einer anderen Vorrichtung gesendeten Eingangssignals oder das Lesen von Informationen von einem Speichermedium sein. Die Eingabemittel der Synchronisationsspezifizierungsinformation können ein Zifferntastenblock, eine Tastatur, eine Maus oder ein Menübildschirm sein. Die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 kann durch einen Vorrichtungstreiber des Eingabemittels wie etwa eines Zifferntastenblocks oder einer Tastatur oder durch Steuersoftware eines Menübildschirms implementiert werden. Ferner kann jede der durch die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen in Paaren mit jedem Befehl in der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit 105, die später beschrieben werden soll, oder in einem Speichermedium (nicht dargestellt) wie etwa einem Arbeitsspeicher, einer Festplatte gespeichert werden.
  • Die Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit 105 speichert durch die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 empfangene Synchronisationsspezifizierungsinformationen in Paaren mit jedem Befehl. Beispielhaft werden Synchronisationsspezifizierungsinformationen und ein den Synchronisationsspezifizierungsinformationen entsprechender Befehl als zwei Attributwerte eines einzelnen Datensatzes gespeichert. Der Begriff ”Speicher” kann hier einen temporären Arbeitsspeicher enthalten. Die Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit 105 kann unter Verwendung eines nichtflüchtigen Speichermediums implementiert werden, kann aber auch unter Verwendung eines flüchtigen Speichermediums implementiert werden.
  • Die Befehlsausführungseinheit 106 führt gemäß einer Prozesssequenz in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherte Befehle aus, um mit Bezug auf die durch die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen einen Befehl (d. h. einen synchronen Befehl), der dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls auszuführen, und einen Befehl (d. h. einen asynchronen Befehl), der spezifiziert ist, asynchron ausgeführt zu werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten, auszuführen. Die Synchronisationsspezifizierungsinformationen können z. B. geeignet von der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit 105 gelesen werden. Die Befehlsausführungseinheit 106 führt in Übereinstimmung mit einer vorgegebenen Prozesssequenz jeden Befehl aus, der z. B. in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeichert ist. Ferner kann der synchrone Befehl zum Zeitpunkt eines Ausführungsendes eines unmittelbar vorhergehenden Befehls ausgeführt werden. Darüber hinaus kann der asynchrone Befehl ausgeführt werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten. Um spezifisch zu sein, kann die Befehlsausführungseinheit 106 den asynchronen Befehl nach, z. B. direkt nach, einem Ausführungsende des unmittelbar vorhergehenden Befehls ausführen. Außerdem kann der asynchrone Befehl vor einem Ausführungsende des unmittelbar vorhergehenden Befehls ausgeführt werden. Ein Trigger oder eine Zeiteinstellung eines Ausführungsendes des asynchronen Befehls ist nicht beschränkt. Zum Beispiel bestimmt die Befehlsausführungseinheit 106 mit Bezug auf die Synchronisationsspezifizierungsinformationen, ob ein Befehl, der in Übereinstimmung mit einer spezifizierten Prozesssequenz ausgeführt werden soll, ein synchroner Befehl oder ein asynchroner Befehl ist, und bestimmt sie daraufhin eine Zeiteinstellung des Beginns der Ausführung des Befehls und führt daraufhin jeden Befehl aus. Ferner kann die Befehlsausführungseinheit 106 einen oder mehrere Befehle aufzeichnen, von denen eine Prozesssequenz spezifiziert ist, die in der Befehlsspeichereinheit 101 zusammen mit Informationen, die eine Zeiteinstellung des Beginns der Ausführung mit Bezug auf Synchronisationsspezifizierungsinformationen spezifizieren, gespeichert ist, und daraufhin die aufgezeichneten Befehle ausführen. Ein Prozess des Ausführens oder Beendens eines synchronen Befehls oder eines asynchronen Befehls ist der Öffentlichkeit gut bekannt, sodass die Erläuterung davon weggelassen wird. Die Befehlsausführungseinheit 106 kann üblicherweise unter Verwendung einer MPU und eines Speichers implementiert werden. Eine Prozesssequenz der Befehlsausführungseinheit 106 wird üblicherweise unter Verwendung von Software implementiert, die in einem Speichermedium wie etwa einem ROM gespeichert ist. Allerdings kann sie auch unter Verwendung von Hardware (einer dedizierten Schaltung) implementiert werden.
  • Ferner können Steuerinformationen, die von einem Ergebnis der Ausführung durch die Befehlsausführungseinheit 106 abhängen, z. B. von der Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 an die Herstellungsvorrichtung 200 ausgegeben oder gesendet werden, oder können Informationen, die einen Prozessstatus angeben, der von einem Ergebnis der Ausführung durch die Befehlsausführungseinheit 106 abhängt, auf einem Monitor oder dergleichen angezeigt werden. Darüber hinaus ist eine Ausgabeeinheit zum Durchführen eines Ausgabebetriebs wie etwa einer Sendung oder einer Anzeige der Öffentlichkeit gut bekannt, sodass die Erläuterung davon hier weggelassen wird.
  • Die Herstellungsvorrichtung 200 führt auf einem Zielsubstrat wie etwa einem Glassubstrat für eine organische Dünnschicht, einem Halbleiterwafer oder einem Flüssigkristalltafelsubstrat einen vorgegebenen Halbleiterherstellungsprozess durch. Die Herstellungsvorrichtung 200 kann auf dem Zielsubstrat verschiedene Prozesse wie etwa einen Dünnschichterzeugungsprozess, einen Ätzprozess und einen thermischen Oxidationsprozess durchführen. Die Herstellungsvorrichtung 200 kann z. B. eine Dünnschichterzeugungsvorrichtung für eine organische EL-Anzeige, eine Herstellungsvorrichtung wie etwa eine Halbleiterwafer-Herstellungsvorrichtung, eine Flüssigkristalltafel-Herstellungsvorrichtung oder eine Tafelherstellungsvorrichtung für eine Plasmaanzeige sein. Innerhalb der Herstellungsvorrichtung 200 können eine oder mehrere Vorrichtungen (nicht dargestellt) eingebaut sein, die zum Steuern eines Betriebs der Herstellungsvorrichtung 200 wie etwa zu einer Steuerung mehrerer Temperaturen, zu einer Steuerung eines Ventils verwendet werden. Die oben beschriebene Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 kann Befehle für diese Vorrichtungen ausführen.
  • 3 zeigt ein Beispiel der Herstellungsvorrichtung 200. Als die Herstellungsvorrichtung 200 wird hier eine RLSA-Plasma-CVD-Vorrichtung (Radiallinien-Schlitzantennen-Plasma-CVD-Vorrichtung) erläutert, wobei die Herstellungsvorrichtung 200 aber andere Arten von Herstellungsvorrichtungen sein können.
  • Die RLSA-Plasma-CVD-Vorrichtung enthält eine zylindrische Verarbeitungskammer 300, die eine offene Deckfläche aufweist. In eine Öffnung der Deckfläche ist eine Sprühplatte 305 eingeführt. Die Verarbeitungskammer 300 und die Sprühplatte 305 sind durch O-Ringe 310 abgedichtet, die jeweils zwischen einem stufenförmigen Abschnitt einer Innenwand der Verarbeitungskammer 300 und einem Außenumfangsab schnitt einer unteren Oberfläche der Sprühplatte 305 eingebaut sind, wodurch ein Verarbeitungsraum U zum Durchführen eines Plasmaprozesses gebildet wird. Beispielhaft ist die Verarbeitungskammer 300 aus einem Metall wie etwa Aluminium hergestellt und ist die Sprühplatte 305 aus einem Metall wie etwa Aluminium oder aus einem dielektrischen Material hergestellt, wobei sie elektrisch geerdet sind.
  • In einem unteren Abschnitt der Verarbeitungskammer 300 ist ein Suszeptor (eine Aufspannfläche) 315 zum Anbringen eines Wafers W daran über einem Isolator 320 vorgesehen. Der Suszeptor 315 ist über eine Anpassungseinheit 325a mit einer Hochfrequenz-Leistungsver-sorgung 325b verbunden, wobei an das Innere der Verarbeitungskammer 300 durch eine von der Hochfrequenz-Leistungsversorgung 325b ausgegebene Hochfrequenzleistung eine vorgegebene Vorspannung angelegt wird. Ferner ist der Suszeptor 315 über eine Spule 330a mit einer Hochspannungs-Gleichstromversorgung 330b verbunden und dafür konfiguriert, ein Substrat G durch eine von der Hochspannungs-Gleichstromversorgung 330b ausgegebene Gleichspannung elektrostatisch anzuziehen. Darüber hinaus ist in den Suszeptor 315 eine Heizeinrichtung 331 eingebettet und zum Heizen des Wafers W durch von einer Heizeinrichtungs-Leistungsver-sorgung 332 zugeführte Leistung konfiguriert. Darüber hinaus ist in den Suszeptor 315 ein Kühlmantel 335 eingebaut, der Kühlwasser zum Kühlen des Wafers W zuführt.
  • Ein Oberteil der Sprühplatte 305 ist mit einer Abdeckplatte 340 bedeckt. Auf einer oberen Oberfläche der Abdeckplatte 340 ist eine Radiallinien-Schlitzantenne 345 vorgesehen. Die Radiallinien-Schlitzantenne 345 enthält eine scheibenförmige Schlitzplatte 345a, in der eine Mehrzahl von Schlitzen (nicht dargestellt) gebildet sind, einen scheibenförmigen Antennenhauptkörper 345b, der die Schlitzplatte 345 hält, und eine Wellenverkürzungsplatte 345c, die aus einem dielektrischen Material wie etwa Aluminiumoxid (Al2O3) hergestellt ist und zwischen der Schlitzplatte 345a und dem Antennenhauptkörper 345b positioniert ist. Es können verschiedene Radiallinien-Schlitzantennen 345 wie etwa eine kleine Größe, eine große Größe, ein Schlitzmuster A und ein Schlitzmuster B vorbereitet werden, sodass sie geeignet für den Verwendungszweck ersetzt werden können. Die Radiallinien-Schlitzantenne 345 ist über einen Koaxialwellenleiter 350 mit einem externen Mikrowellengenerator 355 verbunden.
  • Die Verarbeitungskammer 300 ist mit einer Vakuumpumpe (nicht gezeigt) ausgestattet, wobei ein Gas in der Verarbeitungskammer 300 über eine Gasaustrittsleitung 360 entleert wird, sodass der Druck in dem Verarbeitungsraum U auf einen gewünschten Unterdruckpegel herabgesetzt werden kann.
  • Eine Gaszufuhrquelle 365 enthält eine Mehrzahl von Ventilen V, eine Mehrzahl von Massenströmungscontrollern MFC und eine Mehrzahl von Materialgaszufuhrquellen 365a, die eine oder mehrere Arten erster Materialgase und eine oder mehrere Arten zweiter Materialgase zuführen. Die Gaszufuhrquelle 365 steuert das Öffnen und Schließen jedes der Ventile V und einen Öffnungsgrad jedes der Massenströmungscontroller MFC, um in die Verarbeitungskammer 300 ein Gas mit einer gewünschten Konzentration zuzuführen. Auf diese Weise geht das erste Materialgas durch einen ersten Gasströmungsweg 370a und wird von einer Gaseinlassleitung 375, die die Sprühplatte 305 durchdringt, einem oberen Abschnitt des Verarbeitungsraums U zugeführt, und geht das zweite Materialgas durch einen zweiten Gasströmungsweg 370b und wird von einem integrierten Gasrohr 380 einem gegenüber dem ersten Materialgas unteren Abschnitt zugeführt. Bei dieser Konfiguration können durch eine Mik rowelle, die von dem Mikrowellengenerator 355 über die Schlitze und die Sprühplatte 305 in den Verarbeitungsraum U eingeleitet wird, verschiedene Arten von Gasen in Plasma umgewandelt werden, wobei durch das erzeugte Plasma auf dem Substrat eine Dünnschicht gebildet wird.
  • Ferner kann die Herstellungsvorrichtung 200 einen oder mehrere nicht dargestellte Controller enthalten. Jeder der Controller weist Steuerziele, z. B. Steuerzielobjekte oder Steuerzielgegenstände wie etwa einen Druck und eine Temperatur, auf, von denen wenigstens einige dieselben oder nicht dieselben sein können. Der Controller steuert auf der Grundlage von Parameterwerten eines Rezepts, das eine Verarbeitungsbedingung an einem im Voraus festgelegten zu verarbeitenden Zielobjekt eingestellt hat, oder im Voraus festgelegter statischer Parameterwerte der Herstellungsvorrichtung 200, die üblicherweise durch den Nutzer nicht geändert werden können, verschiedene Betriebe der Herstellungsvorrichtung 200. Falls eine Verarbeitungstemperatur im Voraus festgelegt worden ist, führt der Controller auf der Grundlage einer durch einen oder mehrere nicht dargestellten Temperaturdetektoren detektierten Temperatur beispielhaft eine so genannte Rückkopplungsregelung einer Ausgabe der Heizeinrichtung aus, um eine Temperatur in der Verarbeitungskammer 300 auf der Grundlage eines im Voraus festgelegten Werts auf die im Voraus festgelegte Temperatur zu regeln. Ferner steuert der Controller einen Druck in der Verarbeitungskammer 300 auf der Grundlage eines im Voraus festgelegten Werts auf einen im Voraus festgelegten Druck. Ein im Voraus gespeicherter Referenzwert kann beispielhaft ein Zielwert einer Steuerung sein. Darüber hinaus führt der Controller eine Steuerung der gesamten Herstellungsvorrichtung 200, z. B. eine Steuerung eines Gasdurchflusses und eine Steuerung des Öffnens und Schließens eines Ventils, aus, wobei diese Steuerungen der Öffentlichkeit aber gut bekannt sind, sodass eine Erläuterung davon weggelassen wird. Die oben be schriebenen Parameterwerte werden in einem nicht dargestellten Speichermedium wie etwa einem Arbeitsspeicher gespeichert und bei Bedarf durch den Controller gelesen. Dieser Speicherbetrieb enthält einen temporären Speicherbetrieb. Ein Verfahren zum Empfangen der Parameterwerte und ein Verfahren zum Speichern der Parameterwerte in dem Speichermedium sind nicht beschränkt. Beispielhaft können Parameterwerte durch den Nutzer durch eine nicht dargestellte Empfangseinheit der Herstellungsvorrichtung 200 eingegeben und in dem Speichermedium gespeichert werden. Durch die nicht dargestellte Empfangseinheit der Herstellungsvorrichtung 200 können von anderen Vorrichtungen wie etwa von der Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 ausgegebene Parameterwerte empfangen und in dem Speichermedium gespeichert werden. Ferner können die Parameterwerte, anstatt gespeichert zu werden, direkt durch den Controller empfangen werden, wobei der Controller einen Betrieb steuern und spezifizieren kann. Darüber hinaus kann der Controller zulassen, dass eine nicht dargestellte Ausgabeeinheit durch den nicht dargestellten Temperaturdetektor detektierte Informationen an die Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 ausgibt. Der Controller kann unter Verwendung einer MPU und eines Arbeitsspeichers implementiert werden. Eine Prozesssequenz des Controllers wird üblicherweise durch Software implementiert, die in einem Speichermedium wie etwa einem ROM gespeichert ist. Allerdings kann sie auch durch Hardware (eine dedizierte Schaltung) implementiert werden.
  • Im Folgenden wird mit Bezug auf einen Ablaufplan aus 4 ein Betrieb einer Informationsverarbeitungsvorrichtung erläutert. Der Einfachheit der Erläuterung halber wird hier ein Fall erläutert, in dem ein Befehl ein asynchroner Befehl ist, wobei der asynchrone Befehl durch die Befehlsausführungseinheit 106 sofort ausgeführt wird. Ferner wird ein Fall erläutert, in dem ein Befehl ein synchroner Befehl ist, wobei der syn chrone Befehl nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden synchronen Befehls ausgeführt wird.
  • (Schritt S401) Eine Bildschirmkonfigurationseinheit 102 bestimmt, ob ein Bildschirm, der Synchronisationsspezifizierungsinformationen empfängt, konfiguriert werden soll oder nicht. Ferner ist die Frage, wie zu bestimmen ist, ob ein Bildschirm durch die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 konfiguriert werden soll oder nicht, nicht beschränkt. Falls beispielhaft von einem Nutzer über eine nicht dargestellte Empfangseinheit eine Anweisung zum Konfigurieren eines Bildschirms empfangen wird, kann bestimmt werden, dass ein Bildschirm konfiguriert werden soll, der Synchronisationsspezifizierungsinformationen empfängt. Falls bestimmt wird, dass der Bildschirm konfiguriert werden soll, geht ein Prozess zu Schritt S402 über, und wenn nicht, geht der Prozess zu Schritt S406 über.
  • (Schritt S402) Die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 konfiguriert einen Bildschirm, der Synchronisationsspezifizierungsinformationen empfängt. Beispielhaft erfasst die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 Informationen wie etwa eine Prozesssequenz eines in einer Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherten Befehls oder Identifizierungsinformationen des Befehls und konfiguriert unter Verwendung der erfassten Informationen und von von einer nicht dargestellten Speichereinheit gelesenen Bildschirmkonfigurationsinformationen einen Bildschirm, der Synchronisationsspezifizierungsinformationen empfängt.
  • (Schritt S403) Eine Bildschirmausgabeeinheit 103 gibt den in Schritt S402 konfigurierten Bildschirm aus, wobei sie ihn z. B. anzeigt.
  • (Schritt S404) Eine Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 empfängt in den in Schritt S402 ausgegebenen Bildschirm eingegebene Synchronisationsspezifizierungsinformationen, um die Synchronisationsspezifizierungsinformationen zu empfangen. Um spezifisch zu sein, empfängt die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 Synchronisationsspezifizierungsinformationen jedes in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherten Befehls.
  • (Schritt S405) Die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 speichert die in Schritt S404 empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen in einem nicht dargestellten Speichermedium wie etwa einem Arbeitsspeicher. Daraufhin kehrt der Prozess zu Schritt S401 zurück.
  • (Schritt S406) Eine Befehlsausführungseinheit 106 bestimmt, ob einer oder mehrere in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherte Befehle ausgeführt werden sollen oder nicht. Wie bestimmt wird, ob ein Befehl durch die Befehlsausführungseinheit 106 ausgeführt werden soll oder nicht, ist nicht beschränkt. Falls beispielhaft eine Anweisung zum Ausführen eines Befehls von einem Nutzer empfangen wird, kann bestimmt werden, dass ein Befehl ausgeführt werden soll. Ferner kann bestimmt werden, dass ein Befehl ausgeführt werden soll, falls eine Anweisung zum Ausführen eines Befehls von anderen Vorrichtungen empfangen wird. Falls bestimmt wird, dass der Befehl ausgeführt werden soll, geht der Prozess zu Schritt S407 über, und wenn nicht, kehrt der Prozess zu Schritt S401 zurück.
  • (Schritt S407) Die Befehlsausführungseinheit 106 bestimmt, ob die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 Synchronisationsspezifizierungsinformationen empfangen hat oder nicht. Beispielhaft bestimmt die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104, ob Synchronisationsspezifizierungsinformationen in einem Speichermedium gespeichert sind, das Synchronisationsspezifizierungsinformationen speichert, oder nicht. Wenn das der Fall ist, geht der Prozess zu Schritt S408 über, und wenn nicht, kehrt der Prozess zu Schritt S402 zurück. Ferner kann der Prozess, anstatt zu Schritt S402 zurückkehren, mit einer Fehleranzeige, die bedeutet, dass die Synchronisationsspezifizierungsinformationen nicht spezifiziert worden sind, zu Schritt S401 zurückkehren.
  • (Schritt S408) Die Befehlsausführungseinheit 106 ersetzt für einen Zähler k 1.
  • (Schritt S409) Die Befehlsausführungseinheit 106 liest von der Befehlsspeichereinheit 101 einen Befehl, der in einer k-ten Ordnung ausgeführt werden soll (im Folgenden als ”k-ter Befehl” bezeichnet).
  • (Schritt S410) Die Befehlsausführungseinheit 106 beginnt, den k-ten Befehl auszuführen.
  • (Schritt S411) Die Befehlsausführungseinheit 106 liest die dem in Schritt S404 empfangenen k-ten Befehl entsprechenden Synchronisationsspezifizierungsinformationen und bestimmt, ob der k-te Befehl ein synchroner Befehl ist oder nicht. Wenn das der Fall ist, geht der Prozess zu Schritt S412 über, und wenn nicht, d. h., wenn der k-te Befehl ein asynchroner Befehl ist, geht der Prozess zu Schritt S413 über.
  • (Schritt S412) Die Befehlsausführungseinheit 106 wartet auf ein Ausführungsende eines eine Zeit früher ausgeführten synchronen Befehls, d. h. eines unmittelbar zuvor ausgeführten synchronen Befehls. Falls die Ausführung beendet wird, geht der Prozess zu Schritt S413 über. Wie bestimmt werden soll, ob die Ausführung des unmittelbar vorhergehenden synchronen Befehls durch die Befehlsausführungseinheit 106 beendet wird oder nicht, ist nicht beschränkt. Beispielhaft kann bestimmt werden, dass der Betrieb beendet worden ist, falls der synchrone Befehl ein Befehl zum Steuern anderer Vorrichtungen wie etwa einer Herstellungsvorrichtung 200 ist, falls Informationen empfangen werden, die angeben, dass ein Betrieb der Herstellungsvorrichtung 200 in Antwort auf den Befehl beendet worden ist.
  • (Schritt S413) Die Befehlsausführungseinheit 106 inkrementiert den Zähler k um 1.
  • (Schritt S414) Die Befehlsausführungseinheit 106 bestimmt, ob es in der Befehlsspeichereinheit 101 den k-ten Befehl gibt oder nicht. Falls es in der Befehlsspeichereinheit 101 den k-ten Befehl gibt, kehrt der Prozess zu Schritt S409 zurück, und wenn nicht, geht der Prozess zu Schritt S415 über.
  • (Schritt S415) Die Befehlsausführungseinheit 106 bestimmt, ob die Ausführung aller Befehle beendet worden ist oder nicht. Falls die Ausführung aller Befehle beendet worden ist, geht der Prozess zu Schritt S401 über, und wenn nicht, kehrt der Prozess zu Schritt S415 zurück.
  • Ferner wird in dem Ablaufplan aus 4 der Prozess durch eine Unterbrechung wie etwa das Ausschalten oder ein Ende des Prozesses beendet.
  • Im Folgenden wird ein ausführlicher Betrieb einer Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform erläutert. Es wird hier ein Fall erläutert, in dem die Herstellungsvorrichtung 200 Vorrichtungen enthält, die nicht dargestellte Identifizierungsinformationen wie etwa ”DRP1”, ”VB1-P1”, ”VB2-P1”, ”VB3-P1”, ”TMP1” und ”TMP2” zum Steuern des Öffnens und Schließens eines Ventils oder zum Steuern einer Temperatur aufweisen, wobei die Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 einen Befehl für diese Vorrichtungen ausführt.
  • 5 zeigt eine Befehlsmanagementtabelle für das Managen von in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherten Befehlen. Es wird hier ein Fall erläutert, in dem eine Mehrzahl in einer Befehlsmanagementtabelle gespeicherter Befehle ein so genanntes Makro, d. h. einen Satz von Befehlen, die für die Ausführung einer Reihe von Prozessen verwendet werden, bilden. Die Befehlsmanagementtabelle weist Felder von ”ID”, ”Makroname”, ”Sequenz”, ”Vorrichtungsname” und ”Befehl” auf. ”ID” sind hier Identifizierungsinformationen für das Managen eines Datensatzes eines Befehls.
  • ”Makroname” sind Informationen zum Identifizieren eines Makros, in dem jeder Befehl enthalten ist. ”Sequenz” ist eine Prozesssequenz eines Befehls. ”Befehl” ist ein Name eines Befehls zum Spezifizieren eines Befehls. Ein Name jedes Befehls weist eine eineindeutige Entsprechung zu jedem Befehl auf. Ferner kann ”Befehl” als ein Befehl selbst angesehen werden. Diese Befehlsmanagementtabelle ist z. B. in einem nicht dargestellten Speichermedium wie etwa einem Arbeitsspeicher gespeichert.
  • 6 ist eine Zeichnung, um ein Beispiel von Bildschirmkonfigurationsinformationen zu zeigen, die zum Konfigurieren eines Bildschirms verwendet werden, der Synchronisationsspezifizierungsinformationen empfängt. Bildschirmkonfigurationsinformationen werden in einer nicht dargestellten Speichereinheit oder dergleichen gespeichert. Die Bild schirmkonfigurationsinformationen können eine Stildatei, d. h. eine Vorlage, zum Definieren einer Anordnung eines Bildschirms sein, der Synchronisationsspezifizierungsinformationen jedes in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherten Befehls empfängt. In diesen Bildschirmkonfigurationsinformationen gibt ”[]” eine Variable an und entspricht eine innerhalb ”[]” beschriebene Zeichenkette einem in 5 gezeigten Feldnamen. Beispielhaft entspricht ”[Befehl]” dem Feld ”Befehl” in 3. Ferner ist ein Kontrollkästchen 61 ein Objekt zum Markieren, das Synchronisationsspezifizierungsinformationen empfängt, die angeben, dass ein Befehl ein synchroner ist, und ist ein Kontrollkästchen 62 ein Objekt zum Markieren, das Synchronisationsspezifizierungsinformationen empfängt, die angeben, dass ein Befehl ein asynchroner ist. Ein mit einer punktierten Linie mit einem Zeichen ”Nr. 1” umgebenes Gebiet gibt an, dass Informationen in diesem von der punktierten Linie umgebenen Gebiet so viel Male wiederholt angezeigt werden, wie die Anzahl der Datensätze in der in 5 gezeigten Befehlsmanagementtabelle ist. Eine solche Stildatei kann z. B. durch HTML konfiguriert werden.
  • Es wird angenommen, dass ein Nutzer der Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 unter Verwendung eines Menüs der Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 durch Manipulieren einer Maus, einer Tastatur oder dergleichen eine Anweisung zum Anzeigen eines Bildschirms zum Eingeben von Synchronisationsspezifizierungsinformationen eines Befehls, der ein Makro bildet, dessen ”Makroname” ”erster Prozess” ist, auf einem Monitor (nicht dargestellt) erteilt.
  • Eine Bildschirmkonfigurationseinheit 102 liest Bildschirmkonfigurationsinformationen, wie in 6 gezeigt, die in einer nicht dargestellten Speichereinheit gespeichert sind, und konfiguriert unter Verwendung der Bildschirmkonfigurationsinformationen und von Informatio nen des durch die in 5 gezeigte Befehlsmanagementtabelle gemanagten Befehls einen Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen. Um spezifisch zu sein, konfiguriert die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 einen Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen durch Anordnen der von der Befehlsmanagementtabelle aus 5 gelesenen Felder in der Ordnung von Datensätzen in einer Stildatei der Bildschirmkonfigurationsinformationen, wie in 6 gezeigt, die von der nicht dargestellten Speichereinheit gelesen werden. Daraufhin wird der durch die Bildschirmkonfigurationseinheit 102 konfigurierte Bildschirm durch eine Bildschirmausgabeeinheit 103 auf dem Monitor angezeigt. In 7 ist ein Anzeigebeispiel gezeigt. Was einen Befehl betrifft, der nicht notwendig Spezifizierungsinformationen dafür empfangen muss, ob zu synchronisieren oder asynchronisieren ist oder nicht, wie etwa einen Befehl, von dem bestimmt wird, dass er asynchron ausgeführt werden soll, kann zu der in 5 gezeigten Managementtabelle im Voraus ein Feld für die Angabe hinzugefügt werden, dass es nicht notwendig ist, Spezifizierungsinformationen dafür zu empfangen, ob synchronisiert oder asynchronisiert werden soll oder nicht. Somit kann, falls in dieses Feld Informationen eingegeben worden sind, die angeben, dass es nicht notwendig ist, Spezifizierungsinformationen dafür zu empfangen, ob zu synchronisieren oder zu asynchronisieren ist, ein Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen dieses Befehls nicht angezeigt werden. Zum Beispiel kann das Kontrollkästchen 61 für diesen Befehl nicht angezeigt werden.
  • Falls nachfolgend der Nutzer die Maus manipuliert, d. h. einen Zeiger über das Kontrollkästchen 61 oder das Kontrollkästchen 62 bewegt, das jedem Befehl auf dem wie in 7 gezeigten Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen entspricht, und eine Maustaste anklickt, empfangt eine Spezifizierungsinformations- Empfangseinheit 104 dem angeklickten Kontrollkästchen entsprechende Synchronisationsspezifizierungsinformationen. Falls beispielhaft das Kontrollkästchen 61 angeklickt wird, empfängt die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 Synchronisationsspezifizierungsinformationen, die einen Befehl in derselben Zeile wie das angeklickte Kontrollkästchen 61 als einen synchronen Befehl spezifizieren. Falls ferner das Kontrollkästchen 62 angeklickt wird, empfängt die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 Synchronisationsspezifizierungsinformationen, die einen Befehl in derselben Zeile wie das angeklickte Kontrollkästchen 62 als einen asynchronen Befehl spezifizieren. Das angeklickte Kontrollkästchen wird mit einem Häkchen markiert. 8 zeigt ein Anzeigebeispiel eines Falls, in dem eine Eingabe der Synchronisationsspezifizierungsinformationen empfangen wird. Was in 8 beispielhaft einen Befehl mit einer Prozessordnung ”2”, d. h. einen Befehl namens ”Öffnen”, der einer Vorrichtung namens ”VB1-P1” als ein Steuerziel entspricht, betrifft, werden Synchronisationsspezifizierungsinformationen empfangen, die spezifizieren, dass der Befehl ein synchroner Befehl ist. Ferner werden, was einen Befehl mit einer Prozessordnung von ”3”, d. h. einen Befehl namens ”Öffnen”, der einer Vorrichtung namens ”VB2-P1” als ein Steuerziel entspricht, betrifft, Synchronisationsspezifizierungsinformationen empfangen, die spezifizieren, dass der Befehl ein asynchroner Befehl ist.
  • Anschließend manipuliert der Nutzer die Maus, d. h. klickt er auf eine Schaltfläche ”Entscheiden” 70 auf dem Bildschirm, um wie in 7 gezeigt Synchronisationsspezifizierungsinformationen zu empfangen, oder manipuliert ein Menü für dieselbe Funktion, sodass der Empfang der Synchronisationsspezifizierungsinformationen beendet wird. Die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 speichert die empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen in der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit 105.
  • 9 zeigt eine Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle für das Managen der von der Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 empfangenen und in der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Einheit 105 gespeicherten Synchronisationsspezifizierungsinformationen. Eine Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle enthält Felder von ”ID”, ”Synchronisation” und ”Asynchronisation”. ”ID” sind Identifizierungsinformationen zum Identifizieren eines Befehls, die ”ID” aus 5 entsprechen. ”Synchronisation” sind Informationen, die angeben, dass ein der ”ID” desselben Datensatzes entsprechender Befehl ein synchroner ist, wobei sie beispielhaft im Fall eines Werts von ”1” angeben, dass der Befehl des Datensatzes mit derselben ”ID” in der Befehlsmanagementtabelle aus 5 ein synchroner ist. ”Asynchronisation” sind Informationen, die angeben, dass ein der ”ID” desselben Datensatzes entsprechender Befehl ein asynchroner ist, wobei sie beispielhaft im Fall eines Werts von ”1” angeben, dass der Befehl des Datensatzes, der dieselbe ”ID” in der Befehlsmanagementtabelle aus 5 aufweist, ein asynchroner ist. Ferner gibt die Tatsache, dass beide Felder einen Wert von ”–” aufweisen, an, dass keine Synchronisationsspezifizierungsinformationen spezifiziert worden sind. Was den mit einem Häkchen in dem Kontrollkästchen 61 aus 8, der ”Synchronisation” entspricht, markierten Befehl betrifft, wird eine ”1” als ein Wert des Felds ”Synchronisation” in dem Datensatz der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle aus 9 gespeichert, der dieselbe ”ID” wie die ”ID” des in der Befehlsmanagementtabelle aus 5 gezeigten Befehls aufweist. Was den mit einem Häkchen in dem Kontrollkästchen 62 aus 8, das ”Asynchronisation” entspricht, markierten Befehl betrifft, wird ferner eine ”1” als ein Wert des Felds ”Asynchronisation” in dem Datensatz der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle aus 9 gespeichert, der dieselbe ”ID” wie die ”ID” des in der Befehlsma nagementtabelle aus 5 gezeigten Befehls aufweist. Ferner gibt ”–” an, dass die Werte der Felder ”Synchronisation” und ”Asynchronisation” nicht gespeichert worden sind. Die Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle kann gemanagt werden, während sie z. B. in einer nicht dargestellten Speichereinheit wie etwa einem Arbeitsspeicher oder in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeichert ist. Darüber hinaus entspricht ein Datensatz der Befehlsmanagementtabelle einem Datensatz der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle, indem das Feld namens ”ID” verwendet wird, wobei die Befehlsmanagementtabelle und die Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle aber in einer einzelnen Managementtabelle umgeordnet und gemanagt werden können.
  • Daraufhin wird angenommen, dass der Nutzer der Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 durch Manipulieren eines Menüs eine Anweisung zum Anzeigen eines Ergebnisses von Spezifizierungssynchronisations-Spezifizierungsinformationen erteilt. Die Bildschirmausgabeeinheit 103 zeigt eine Liste von Befehlen, deren Synchronisationsspezifizierungsinformationen unter Verwendung von Informationen der in 5 gezeigten Befehlsmanagementtabelle und der in 9 gezeigten Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle spezifiziert worden sind, auf einem Monitor an. 10 zeigt ein Anzeigebeispiel. ”Schrittinformationen” ist in 10 ein Feld, das einen Wert von ”Sequenz” aus 5 und Informationen, die angeben, dass es ein Befehl ist, d. h. in diesem Fall eine Zeichenkette von ”Betrieb”, kombiniert. Beispielhaft gibt ”2. Betrieb” an, dass es ein Befehl ist, der in einer Ordnung ”Sekunde” verarbeitet werden soll. ”Vorrichtung” und ”Befehl” entsprechen ”Vorrichtung” bzw. ”Befehl” aus 5. ”Andere Angaben” ist ein Feld, das angibt, ob ein Befehl ein synchroner ist oder nicht. Falls in 9 ein Wert des Felds ”Synchronisation” ”1” ist, ist ein Befehl ein synchroner, sodass ein Wert des Felds ”Andere Angaben” als ”wartend” markiert ist. ”Zeitüberschreitung” ist ein Feld, das angibt, ob ein Ende eines Befehls als eine Zeitüberschreitung bestimmt werden soll oder nicht. Falls in 9 ein Wert des Felds ”Asynchronisation” ”1” ist, ist ein Befehl ein asynchroner, sodass ein Wert von ”Zeitüberschreitung” als ”Kein Warten auf das Ende” markiert ist.
  • Nachfolgend wird angenommen, dass der Nutzer der Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 eine Anweisung zum Ausführen eines in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherten Befehls erteilt.
  • Zunächst liest die Befehlsausführungseinheit 106 von der Befehlsspeichereinheit 101 einen in der ”Sequenz” der in 5 gezeigten Befehlsmanagementtabelle als ”1” aufgezeichneten Befehl. Daraufhin führt die Befehlsausführungseinheit 106 den Lesebefehl aus. Die Befehlsausführungseinheit 106 liest hier beispielhaft einen in 5 gezeigten Befehl namens ”Start” und führt den gelesenen Befehl mit Bezug auf eine Vorrichtung namens ”DRP1” aus.
  • Daraufhin liest die Befehlsausführungseinheit 106 unter den durch die Befehlsmanagementtabelle aus 5 gemanagten Befehlen von der Befehlsspeichereinheit 101 einen Befehl in der nächsten Ordnung zu dem Befehl in der unmittelbar vorhergehenden Ordnung. Anschließend bestimmt die Befehlsausführungseinheit 106 mit Bezug auf die Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle aus 8, ob der gelesene Befehl ein synchroner oder asynchroner ist. Beispielhaft liest hier die Befehlsausführungseinheit 106 von der Befehlsmanagementtabelle einen Befehl namens ”Öffnen” in einer zweiten Prozessordnung, der ”VB1-P1” entspricht. Ferner liest die Befehlsausführungseinheit 106 von der Befehlsmanagementtabelle ”002”, was eine ”ID” ist, die diesem Befehl entspricht. Daraufhin prüft die Befehlsausführungseinheit 106, welches Feld ”Synchronisation” oder ”Asynchronisation” in einem Datensatz mit einer ”ID” von ”002” in der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle aus 9 eine ”1” aufweist. In diesem Fall hat ”Synchronisation” eine ”1”, sodass die Befehlsausführungseinheit 106 bestimmt, dass der Befehl namens ”Öffnen”, der mit Bezug auf die ”VB1-P1” nachfolgend ausgeführt werden soll, ein synchroner ist.
  • Aus diesem Grund bestimmt die Befehlsausführungseinheit 106, ob die Ausführung des unmittelbar zuvor ausgeführten Befehls namens ”Öffnen” für die Vorrichtung namens ”DRP1” beendet ist oder nicht. Falls die Ausführung beendet ist, wird der Befehl namens ”Öffnen” für ”VB1-P1” ausgeführt. Falls die Ausführung dagegen nicht beendet ist, ist eine Ausführung des Befehls namens ”Öffnen” für ”VB1-P1” im Standby, bis die Ausführung beendet ist.
  • Es wird angenommen, dass die Ausführung des Befehls namens ”Öffnen” für ”DRP1” beendet ist und dass die Befehlsausführungseinheit 106 den synchronen Befehl namens ”Öffnen” für ”VB1-P1” ausführt.
  • Die Befehlsausführungseinheit 106 liest von der Befehlsspeichereinheit 101 einen Befehl namens ”Öffnen”, der ”VB2-P1” entspricht, der die nächste Ordnung zu dem unmittelbar vorhergehenden Befehl der ”zweiten” Ordnung unter den durch die Befehlsmanagementtabelle aus 5 gemanagten Befehlen ist. Ferner liest die Befehlsausführungseinheit 106 von der Befehlsmanagementtabelle ”003”, was eine diesem Befehl entsprechende ”ID” ist.
  • Daraufhin bestimmt die Befehlsausführungseinheit 106 in derselben Weise wie oben angegeben unter Verwendung der gelesenen ”ID” und der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle, ob der Befehl namens ”Öffnen” für ”VB2-P1” ein synchroner oder ein asynchroner ist. Da in diesem Fall ein Wert des Felds ”Synchronisation” in dem Datensatz mit einer ”ID” von ”003” in der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle ”1” ist, wird bestimmt, dass es ein synchroner Befehl ist.
  • Aus diesem Grund wartet die Befehlsausführungseinheit 106 auf ein Ausführungsende des unmittelbar vorhergehend ausgeführten Befehls namens ”Öffnen” für die Vorrichtung namens ”VB1-P1” und führt daraufhin den Befehl namens ”Öffnen für ”VB2-P1”” aus.
  • Die Befehlsausführungseinheit 106 liest von der Befehlsspeichereinheit 101 einen Befehl namens ”Start”, der unter den durch die Befehlsmanagementtabelle aus 5 gemanagten Befehlen einer Vorrichtung namens ”TMP1” in der nächsten Ordnung zu dem unmittelbar vorhergehenden Befehl einer ”dritten” Ordnung entspricht. Ferner liest die Befehlsausführungseinheit 106 von der Befehlsmanagementtabelle ”004”, was eine diesem Befehl entsprechende ”ID” ist.
  • Danach prüft die Befehlsausführungseinheit 106 mit Bezug auf die gelesene ”ID” und die Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle, ob der Befehl namens ”Start” für die Vorrichtung namens ”TMP1” ein synchroner oder ein asynchroner ist. Da in diesem Fall ein Wert des Felds ”Asynchronisation” in dem Datensatz, der eine ”ID” von ”004” in der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle aufweist, ”1” ist, wird bestimmt, dass es ein asynchroner Befehl ist.
  • Aus diesem Grund wartet die Befehlsausführungseinheit 106 nicht auf ein Ausführungsende des unmittelbar vorhergehend ausgeführten Befehls namens ”Öffnen” für die Vorrichtung namens ”VB2-P1” und führt den Befehl namens ”Start” für die Vorrichtung namens ”TMP1” aus.
  • Darüber hinaus ist in derselben Weise, was einen Befehl namens ”Start” für eine Vorrichtung namens ”TMP2” in einer ”fünften” Ordnung betrifft, ein Wert des Felds ”Asynchronisation”, das diesem Befehl entspricht, ”1”, sodass bestimmt wird, dass er ein asynchroner Befehl ist. Somit wartet die Befehlsausführungseinheit 106 nicht auf ein Ausführungsende des unmittelbar vorhergehend ausgeführten Befehls namens ”Start” für die Vorrichtung namens ”TMP1” und führt den Befehl namens ”Start” für die Vorrichtung namens ”TMP2” aus.
  • Nachfolgend bestimmt die Befehlsausführungseinheit 106 in derselben Weise wie für den Befehl namens ”Öffnen” für die Vorrichtung namens ”VB2-P1”, dass der Befehl ein synchroner ist, da ein Wert des Felds ”Synchronisation”, das einem Befehl namens ”Öffnen” in einer ”sechsten” Ordnung entspricht, mit Bezug auf eine Vorrichtung namens ”VB1-P3” eine ”1” ist. Ferner bestimmt die Befehlsausführungseinheit 106, ob die Ausführung des unmittelbar zuvor ausgeführten synchronen Befehls namens ”Öffnen” mit Bezug auf die Vorrichtung namens ”VB2-P1” beendet ist oder nicht, wobei der Befehl namens ”Öffnen” für ”VB1-P3” ausgeführt wird, wenn die Ausführung beendet ist. Wenn die Ausführung dagegen nicht beendet ist, ist der Befehl namens ”Öffnen” für die Vorrichtung ”VB1-P3” im Standby, bis der Befehl namens ”Öffnen” für die Vorrichtung namens ”VB2-P1” beendet ist.
  • Danach werden die in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherten Befehle in derselben Weise wie oben angegeben ausgeführt.
  • Anschließend wird mit Bezug auf 11 eine Zeiteinstellung der Ausführung jedes in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherten Befehls erläutert. ”DRP1”, ”VB1-P1”, ”VB2-P1”, ”TMP1”, ”TMP2” und ”VB3-P1” sind hier Vorrichtungen 200a bis 200f, die als Ziele der Ausführung von Befehlen dienen. Nach einem Ende der Steuerung durch jeden Befehl sendet jede der Vorrichtungen 200a bis 200f an die Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 eine Abschlussantwort, die angibt, dass die Ausführung des Befehls beendet worden ist.
  • Falls beispielhaft eine Abschlussantwort über die Ausführung eines Befehls namens ”Start” von der Vorrichtung 200a namens ”DRP1” zu der Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 gesendet wird, wird ein Befehl namens ”Öffnen” für die Vorrichtung 200b namens ”VB1-P1” ausgeführt. Falls ferner eine Abschlussantwort hinsichtlich der Ausführung des Befehls namens ”Öffnen” von der Vorrichtung namens ”VB1-P1” zu der Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 gesendet wird, wird ein Befehl namens ”Öffnen” für die Vorrichtung 200c namens ”VB2-P1” ausgeführt. Falls darüber hinaus eine Abschlussantwort hinsichtlich der Ausführung des Befehls namens ”Öffnen” von der Vorrichtung namens ”VB2-P1” zu der Informationsverarbeitungsvorrichtung 10 gesendet wird, wird ein Befehl namens ”Öffnen” für die Vorrichtung 200f namens ”VB3-P1” ausgeführt. Dementsprechend werden die Vorrichtungen 200a bis 200c und die Vorrichtung 200f synchron und sequentiell gesteuert.
  • Ferner wird direkt, nachdem der Befehl namens ”Öffnen” für die Vorrichtung namens ”VB2-P1” ausgeführt worden ist, ein Befehl namens ”Start” für die Vorrichtung 200d namens ”TMP1” ausgeführt, ohne auf eine Abschlussantwort hinsichtlich des Befehls namens ”Öffnen” von der Vorrichtung namens ”VB2-P1” zu warten.
  • Darüber hinaus wird in derselben Weise, direkt nachdem der Befehl namens ”Start” für die Vorrichtung namens ”TMP1” ausgeführt worden ist, ein Befehl namens ”Start” für die Vorrichtung 200e namens ”TMP2” ausgeführt, ohne auf eine Abschlussantwort hinsichtlich des Befehls namens ”Start” von der Vorrichtung namens ”TMP1” zu warten.
  • Im Ergebnis können die Vorrichtung 200d und die Vorrichtung 200e parallel mit den anderen Vorrichtungen betrieben werden.
  • In Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführung ist es möglich, die Informationen, die spezifizieren, ob der durch die Befehlsausführungseinheit 106 ausgeführte Befehl in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt werden soll, auf einem durch die Bildschirmausgabeeinheit 103 ausgegebenen Bildschirm einzugeben, sodass es für den Nutzer möglich ist, einen gewünschten Prozess durch Kombinieren eines synchron ausführbaren Befehls und eines asynchron ausführbaren Befehls leicht zu spezifizieren und auszuführen.
  • Ferner ist in der oben beschriebenen Ausführungsform ein Fall erläutert worden, in dem mit Bezug auf jeden Befehl auf dem durch die Bildschirmausgabeeinheit 103 ausgegebenen Bildschirm die durch die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104 empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen in der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit 105 gespeichert werden, wobei aber in der vorliegenden Erfindung die Synchronisationsspezifizierungsinformationen in Paaren mit jedem entsprechenden Befehl im Voraus in der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit 105 gespeichert werden können. Ferner kann die Befehlsausführungseinheit 106 auf der Grundlage der im Voraus gespeicherten Synchronisationsspezifizierungsinformationen bestimmen, ob der Befehl synchron ausgeführt werden soll oder nicht. Darüber hinaus können die gespeicherten Synchronisationsspezifizierungsinformationen mit Bezug auf jeden Befehl durch den durch die Bildschirmausgabeeinheit 103 ausgegebenen Bildschirm nicht die empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen sein. Beispielhaft kann eine Datei, die die Informationen, die Synchronisationsspezifizierungsinformationen und Befehle in Paaren wie in 9 gezeigt enthalten, speichert, von einer nicht dargestellten Empfangseinheit empfangen werden. Die Informationen, die die Synchronisationsspezifizierungsinformationen und die Befehle in Paare enthalten, können irgendein Typ von Informationen wie etwa Textinformationen sein, in denen Paare von Synchronisationsspezifizierungsinformationen und die Befehle durch einen Tabulator oder durch ein Leerzeichen getrennt und in verschiedenen Zeilen oder Daten einer Tabellenstruktur wie in dem Anzeigebeispiel aus 9 oder 10 gezeigt angeordnet sind. Darüber hinaus kann in solchen Daten einer Tabellenstruktur jede Dateneinheit in jede Zelle eingegeben werden, wie es in einem so genannten Arbeitsblatt zu sehen ist, das allgemein als eine Tabellenkalkulationssoftware verwendet wird, oder können die Spalten der Daten durch ein Leerzeichen oder durch einen Tabulator getrennt sein oder können die Zeilen der Daten durch einen Zeilenvorschubcode getrennt sein.
  • Darüber hinaus gibt es in der oben beschriebenen Ausführungsform als einen der Befehle einen Befehl der besagt, ”Warte, bis einer oder mehrere asynchron ausgeführte Befehle beendet sind”. Falls es einen solchen Befehl gibt, wird der nächste Befehl ausgeführt, nachdem einer oder mehrere frühere asynchrone Befehle beendet worden sind.
  • Darüber hinaus kann in der oben beschriebenen Ausführungsform jeder Prozess (jede Funktion) durch zentralisierte Verarbeitung durch eine einzelne Vorrichtung (durch ein einzelnes System) oder durch verteilte Verarbeitung durch eine Mehrzahl von Vorrichtungen implementiert werden.
  • Darüber hinaus ist in jeder oben beschriebenen Ausführungsform ein Fall erläutert worden, in dem die Informationsverarbeitungsvorrichtung eine selbstständige Vorrichtung ist. Allerdings kann die Informationsverarbeitungsvorrichtung eine selbstständige Vorrichtung sein oder kann sie ein Server in einem Server-Client-System sein. In dem letzteren Fall können die Ausgabeeinheit oder die Empfangseinheit eine Eingabe und eine Ausgabe eines Bildschirms über eine Kommunikationsleitung empfangen.
  • Ferner kann in jeder oben beschriebenen Ausführungsform jede Einheit (jedes Element) durch dedizierte Hardware oder wie für eine Einheit (ein Element), die (das) durch Software implementiert werden kann, durch Ausführung eines Programms konfiguriert werden. Beispielhaft liest eine Programmausführungseinheit wie etwa eine MPU eine Software/ein Programm, die/das in einem Speichermedium wie etwa einer Festplatte oder einem Halbleiterspeicher gespeichert ist, und führt sie/es aus, wodurch jede Einheit (jedes Element) implementiert werden kann.
  • Darüber hinaus ist die Software, die die Informationsverarbeitungsvorrichtung in jeder oben beschriebenen Ausführungsform implementiert, ein Programm wie folgt. Das heißt, dieses Programm kann ermöglichen, dass ein Computer als eine Befehlsausführungseinheit fungiert, die einen oder mehrere gespeicherte Befehle ausführt, von denen eine Prozesssequenz in Übereinstimmung mit der Prozesssequenz spezifi ziert ist, um mit Bezug auf gespeicherte Synchronisationsspezifizierungsinformationen, die spezifizieren, ob die Befehle in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt werden, einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls auszuführen, und einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, asynchron ausgeführt zu werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten, auszuführen.
  • Darüber hinaus kann dieses Programm ermöglichen, dass ein Computer fungiert als eine Bildschirmkonfigurationseinheit, die einen Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen konfiguriert, die spezifizieren, ob einer oder mehrere gespeicherte Befehle, von denen eine Prozesssequenz spezifiziert ist, in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt werden sollen; als eine Bildschirmausgabeeinheit, die den in dem Bildschirmkonfigurationsprozess konfigurierten Bildschirm ausgibt; als eine Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit, die die Synchronisationsspezifizierungsinformationen über jeden Befehl über den in dem Bildschirmausgabeprozess ausgegebenen Bildschirm empfängt; und als eine Befehlsausführungseinheit, die die gespeicherten Befehle in Übereinstimmung mit der Prozesssequenz ausführt, um mit Bezug auf die in dem Spezifizierungsinformations-Empfangsprozess empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls auszuführen, und einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, asynchron ausgeführt zu werden, auszuführen, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten.
  • In diesem Programm enthalten durch das Programm implementierte Funktionen keine Funktion, die nur durch Hardware implementiert werden kann. Beispielhaft sind eine nur durch Hardware implementierte Funktion wie etwa ein Modem oder eine Schnittstellenkarte in einer Erfassungskarte, die Informationen erfasst, oder eine Ausgabeeinheit, die Informationen ausgibt, nicht enthalten.
  • Darüber hinaus kann es einen oder mehrere Computer geben, die dieses Programm ausführen. Das heißt, ein Prozess kann durch zentralisierte Verarbeitung oder durch verteilte Verarbeitung implementiert werden.
  • 12 ist ein schematisches Diagramm, das ein Beispiel einer äußeren Erscheinung eines Computers zeigt, der die Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der oben beschriebenen Ausführungsform durch Ausführen des Programms implementiert. Die Ausführungsform wird durch Computerhardware und durch ein auf der Computerhardware ausgeführtes Computerprogramm implementiert.
  • In 12 enthält ein Computersystem 500 einen Computer 501, der ein CD-ROM-Laufwerk (Compact-Disk-Nur-Lesen-Speicher-Laufwerk) 505 und ein FD-Laufwerk (Diskettenlaufwerk) 506, eine Tastatur 502, eine Maus 503 und einen Monitor 504 aufweist.
  • 13 zeigt ein Computersystem. Das Computersystem 501 in 13 enthält außer dem CD-ROM-Laufwerk 505 und dem FD-Laufwerk 506 eine MPU (Mikroverarbeitungseinheit) 511; einen ROM (Nur-Lese-Speicher) 512 zum Speichern z. B. eines Bootprogramms darin; einen RAM (Direktzugriffsspeicher) 513, der mit der MPU 511 verbunden ist und zum temporären Speichern eines Befehls eines Anwendungspro gramms während des Bereitstellens eines temporären Speicherbereichs dient; und eine Festplatte 514 zum Speichern eines Anwendungsprogramms, eines Systemprogramms und Daten darin, und einen Bus 515, der die MPU 511, den ROM 512 miteinander verbindet. Obgleich dies nicht gezeigt ist, kann der Computer 501 außerdem eine Netzkarte enthalten, die einen Zugriff auf ein LAN ermöglicht.
  • Ein Programm, um zu ermöglichen, dass das Computersystem 500 die Funktionen der Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit den oben beschriebenen Ausführungsformen durchführt, kann in einer CD-ROM 521 oder in einer FD 522 gespeichert sein, wobei das CD-ROM-Laufwerk 505 oder das FD-Laufwerk 506 in das CD-ROM-Laufwerk 505 oder in das FD-Laufwerk 506 eingeführt wird und zu der Festplatte 514 gesendet werden kann. Stattdessen kann das Programm über ein nicht dargestelltes Netz zu dem Computer 501 gesendet werden und in der Festplatte 514 gespeichert werden. Das Programm wird in den RAM 513 geladen, wenn es ausgeführt wird. Alternativ kann das Programm direkt von der CD-ROM 521, von der FD 522 oder von dem Netz geladen werden.
  • Das Programm braucht nicht notwendig ein Betriebssystem BS oder ein Fremdprogramm zu enthalten, um zu ermöglichen, dass der Computer 501 die Funktionen der Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der oben beschriebenen Ausführungsform durchführt. Das Programm braucht lediglich Befehle zum Aufrufen einer richtigen Funktion (eines richtigen Moduls) und eines gewünschten Ergebnisses gemäß einer gesteuerten Bedingung zu enthalten. Da die Art und Weise, in der das Computersystem 500 betrieben wird, im relevanten Gebiet gut bekannt ist, wird die ausführliche Beschreibung davon weggelassen.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt. Der Fachmann auf dem Gebiet versteht, dass verschiedene Änderungen vorgenommen werden können und dass Änderungen ebenfalls in dem Umfang der vorliegenden Erfindung enthalten sind.
  • [Industrielle Anwendbarkeit]
  • Wie oben beschrieben wurde, ist eine Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung geeignet, in einem Halbleiterherstellungsprozess verwendet zu werden, und insbesondere nutzbar als eine Informationsverarbeitungsvorrichtung zum Ausführen von Befehlen, die einen synchron ausführbaren Befehl und einen asynchron ausführbaren Befehl enthalten.
  • [Kurzbeschreibung der Zeichnungen]
  • 1 ist ein Blockschaltplan einer Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform;
  • 2 ist eine Konzeptansicht eines Herstellungsvorrichtungs-Managementsystems, das die Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der Ausführungsform enthält;
  • 3 ist ein Beispiel einer Herstellungsvorrichtung 200 in Übereinstimmung mit der Ausführungsform;
  • 4 ist ein Ablaufplan, der einen Betrieb der Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der Ausführungsform erläutert;
  • 5 zeigt eine Befehlsmanagementtabelle in Übereinstimmung mit der Ausführungsform;
  • 6 zeigt ein Beispiel von Bildschirmkonfigurationsinformationen in Übereinstimmung mit der Ausführungsform;
  • 7 zeigt ein Anzeigebeispiel der Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der Ausführungsform;
  • 8 zeigt ein weiteres Anzeigebeispiel der Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der Ausführungsform;
  • 9 zeigt ein Beispiel einer Synchronisationsspezifizierungsinformations-Managementtabelle in Übereinstimmung mit der Ausführungsform;
  • 10 zeigt ein nochmals anderes Anzeigebeispiel der Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der Ausführungsform;
  • 11 wird zur Erläuterung eines Betriebs der Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der Ausführungsform gegeben;
  • 12 ist ein schematisches Diagramm, das ein Beispiel einer äußeren Erscheinung eines Computers zeigt, der die Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der Ausführungsform implementiert; und
  • 13 zeigt ein Beispiel eines Computersystems, das die Informationsverarbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der Ausführungsform implementiert;
  • Zusammenfassung
  • Herkömmlich gibt es ein Problem dahingehend, dass ein gewünschter Prozess durch Kombinieren eines synchron ausführbaren Befehls und eines asynchron ausführbaren Befehls nicht leicht durchgeführt werden kann. Eine Informationsverarbeitungsvorrichtung enthält: eine Bildschirmkonfigurationseinheit 102, die einen Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen konfiguriert, die spezifizieren, ob jeder der in einer Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherten Befehle, von denen eine Prozesssequenz spezifiziert ist, in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt wird; eine Bildschirmausgabeeinheit 103, die den konfigurierten Bildschirm ausgibt; eine Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit 104, die die Synchronisationsspezifizierungsinformationen über den ausgegebenen Bildschirm empfängt; und eine Befehlsausführungseinheit 106, die die in der Befehlsspeichereinheit 101 gespeicherten Befehle in Übereinstimmung mit der Prozesssequenz ausführt, um mit Bezug auf die Synchronisationsspezifizierungsinformationen einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls, und einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, asynchron ausgeführt zu werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten, auszuführen.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
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Claims (7)

  1. Informationsverarbeitungsvorrichtung, die umfasst: eine Befehlsspeichereinheit, die einen oder mehrere Befehle speichert, von denen eine Prozesssequenz spezifiziert ist; eine Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit, die Synchronisationsspezifizierungsinformationen speichert, die spezifizieren, ob jeder der in der Befehlsspeichereinheit gespeicherten Befehle in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt wird; und eine Befehlsausführungseinheit, die die in der Befehlsspeichereinheit gespeicherten Befehle in Übereinstimmung mit der Prozesssequenz ausführt, um mit Bezug auf die in der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit gespeicherten Synchronisationsspezifizierungsinformationen einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls, und einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, asynchron ausgeführt zu werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten, auszuführen.
  2. Informationsverarbeitungsvorrichtung, die umfasst: eine Befehlsspeichereinheit, die einen oder mehrere Befehle speichert, von denen eine Prozesssequenz spezifiziert ist; eine Bildschirmkonfigurationseinheit, die einen Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen konfiguriert, die spezifizieren, ob jeder der in der Befehlsspeicher einheit gespeicherten Befehle in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt wird; eine Bildschirmausgabeeinheit, die den durch die Bildschirmkonfigurationseinheit konfigurierten Bildschirm ausgibt; eine Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit, die die Synchronisationsspezifizierungsinformationen über jeden Befehl durch den durch die Bildschirmausgabeeinheit ausgegebenen Bildschirm empfängt; und eine Befehlsausführungseinheit, die die in der Befehlsspeichereinheit gespeicherten Befehle in Übereinstimmung mit der Prozesssequenz ausführt, um mit Bezug auf die durch die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls, und einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, asynchron ausgeführt zu werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten, auszuführen.
  3. Informationsverarbeitungsvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Befehlsausführungseinheit einen Befehl, der mit Bezug auf die durch die Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines Befehls ausführt, der durch unmittelbar vorhergehende Synchronisationsspezifizierungsinformationen dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden.
  4. Informationsverarbeitungsverfahren, das unter Verwendung einer Befehlsspeichereinheit, die einen oder mehrere Befehle speichert, von denen eine Prozesssequenz spezifiziert ist, einer Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit, die Synchronisationsspezifizierungsinformationen speichert, die spezifizieren, ob jeder der in der Befehlsspeichereinheit gespeicherten Befehle in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt wird, und einer Befehlsausführungseinheit durchgeführt wird, wobei das Informationsverarbeitungsverfahren umfasst: Ausführen der in der Befehlsspeichereinheit gespeicherten Befehle in Übereinstimmung mit der Prozesssequenz, um einen Befehl, der mit Bezug auf die in der Synchronisationsspezifizierungsinformations-Speichereinheit gespeicherten Synchronisationsspezifizierungsinformationen dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls, und einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, asynchron ausgeführt zu werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten, auszuführen.
  5. Informationsverarbeitungsverfahren, das unter Verwendung einer Befehlsspeichereinheit, die einen oder mehrere Befehle speichert, von denen eine Prozesssequenz spezifiziert ist, einer Bildschirmkonfigurationseinheit, einer Bildschirmausgabeeinheit, einer Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit und einer Befehlsausführungseinheit durchgeführt wird, wobei das Informationsverarbeitungsverfahren umfasst: einen Bildschirmkonfigurationsprozess der Bildschirmkonfigurationseinheit zum Konfigurieren eines Bildschirms zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen, die spezifizieren, ob jeder der in der Befehlseinheit gespeicherten Befehle in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt wird; einen Bildschirmausgabeprozess der Bildschirmausgabeeinheit zum Ausgeben des in dem Bildschirmkonfigurationsprozess konfigurierten Bildschirms; einen Spezifizierungsinformations-Empfangsprozess der Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit zum Empfangen der Synchronisationsspezifizierungsinformationen jedes in dem Bildschirmausgabeprozess ausgegebenen Befehls auf dem Bildschirm; und einen Befehlsausführungsprozess der Befehlsausführungseinheit zum Ausführen der in der Befehlsspeichereinheit gespeicherten Befehle, um mit Bezug auf die in dem Spezifizierungsinformations-Empfangsprozess empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls, und einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, asynchron ausgeführt zu werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten, auszuführen.
  6. Programm, das ermöglicht, dass ein Computer fungiert als: eine Befehlsausführungseinheit, die einen oder mehrere gespeicherte Befehle ausführt, von denen eine Prozesssequenz in Übereinstimmung mit der Prozesssequenz spezifiziert ist, um einen Befehl, der mit Bezug auf gespeicherte Synchronisationsspezifizierungsinformationen, die spezifizieren, ob die Befehle in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt werden, dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls, und einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, asynchron aus geführt zu werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten, auszuführen.
  7. Programm, das ermöglicht, dass ein Computer fungiert als: eine Bildschirmkonfigurationseinheit, die einen Bildschirm zum Empfangen von Synchronisationsspezifizierungsinformationen konfiguriert, die spezifizieren, ob einer oder mehrere gespeicherte Befehle, von denen eine Prozesssequenz spezifiziert ist, in Synchronisation mit oder in Asynchronisation mit anderen Befehlen ausgeführt werden; eine Bildschirmausgabeeinheit, die den in dem Bildschirmkonfigurationsprozess konfigurierten Bildschirm ausgibt; eine Spezifizierungsinformations-Empfangseinheit, die die Synchronisationsspezifizierungsinformationen über jeden Befehl durch den in dem Bildschirmausgabeprozess ausgegebenen Bildschirm empfängt; und eine Befehlsausführungseinheit, die die gespeicherten Befehle in Übereinstimmung mit der Prozesssequenz ausführt, um mit Bezug auf die in dem Spezifizierungsinformations-Empfangsprozess empfangenen Synchronisationsspezifizierungsinformationen einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, synchron ausgeführt zu werden, nach einem Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls, und einen Befehl, der dafür spezifiziert ist, asynchron ausgeführt zu werden, ohne auf ein Ausführungsende eines unmittelbar vorhergehenden Befehls zu warten, auszuführen.
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