TW200822175A - Group management system, process information management apparatus and program - Google Patents

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200822175 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明關於一種群管理系統等，其具有：2個以上之控 制裝置’其例如對被處理基板進行指定之程序之2個以上 之處理裝置進行控制；及程序資訊管理裝置，其與上述控 制裝置連接。 ^ 【先前技術】 本發明關於一種群管理系統等，其具有：2個以上之控 ( 制裝置’其例如對被處理基板進行指定之程序之2個以上 之處理裝置進行控制；及程序資訊管理裝置，其與上述控 制裝置連接。 以往之群管理系統具有之功能，可使使用者在複製製程 參數時’由使用者選擇製造同一膜種之半導體製造裝置， 自動地在此等半導體製造裝置間進行複製等（例如，參照 專利文獻1)。 (此外，在該以往之群管理系統中，程序資訊管理裝置能 / 與控制裝置或半導體製造裝置進行通信。然而，為了使控 制裝置或半導體製造裝置與程序資訊管理裝置進行通信， •使用者需逐一對每個控制裝置或半導體製造裝置，將控制 ‘裝置或半導體製造裝置之1?位址等之通信設定資訊輸入並 登錄於程序資訊管理裝置。 此外’為了使程序資訊管理裝置得到控制裝置或半導體 製k裝置固有之資訊，向來由使用者個別地連線至控制裝 置或半導體製造裝置，以取得警報列表等之裝置固有之資 120404.doc 200822175 訊。 [專利文獻1]特開平u_34〇111號公報（第】頁 等）。 【發明内容】 。而在以往之群官理系統中，程序資訊管理裝置難以 與多數控制裝置大部分㈣連接，取得約略同時期的裝置 固有資訊。 匕卜在以往之群官理系統中，有根據情況，程序資訊 官理1置無法得到多數控制裝置固有資訊之課題。 此外，在群管理系統中，亦有連接數十至數百台控制裝 置之情況。在此情況中，由於一台控制裝置之登錄操作煩 雜，因此為了一次連接多台控制裝置，需要許多時間。此 外，網路位址採人工輸入，因此容易產生錯誤。 本發明之群管理系統包含：2個以上之控制裝置，其係 刀別控制對被處理基板進行特定程序之2個以上處理裝 置，及私序資訊官理裝置，其係與上述控制裝置連接；且 上述控制裝置包含：控制裝置固有資訊儲存部，其係儲存 為該控制裝置固有資訊的控制裝置固有資訊；及控制裝置 固有資訊傳送部，其係將上述控制裝置固有資訊傳送至上 述权序資訊官理裝置；上述程序資訊管理裝置包含：接收 部，其係接收2個以上用於與上述2個以上之控制裝置進行 通#之設定資訊的通信設定資訊；通信設定資訊儲存部， 其係儲存上述2個以上之通信設定資訊；控制裝置固有資 訊接收部，其係利用上述通信設定資訊儲存部所儲存之2 120404.doc 200822175 個以上通信設定資訊，分別與上述2個以上之控制裝置進 行通信，由各控制裝置接收控制裝置固有資訊；及控制裝 置固有資訊儲存部’其係儲存上述控制裝置固有資訊接收 部所接收到之控制裝置固有資訊。 【實施方式】 以下’參照圖式來說明群管理系統等之實施方式。此 外’實施方式中附上相同符號之構件進行相同之動作，因 此有時會省略重複之說明。 P (實施方式） 圖1係本實施方式中之群管理系統之概念圖。群管理系 統為例如控制半導體製造裝置、液晶面板製造裝置等之製 造裝置的系統。此外，群管理系統具有1個以上之處理裝 置H(處理裝置11(1)至處理裝置11(n))、丨個以上之控制裝 置12(控制裝置12(1)至控制裝置12(n))及程序資訊管理裝置 13 〇 處理裝置11係對被處理基板進行特定程序的裝置。更具 體而言，處理裝置U係半導體製造裝置、液晶面板製造裝 .置等之製造裝置。處理裝置丨丨進行例如成膜處理、蝕刻處 理熱氧化處理專對被處理基板之各種處理。處理裝置j j 例如為複合程序型之半導體晶圓製造裝置。本半導體晶圓 製k裝置之例如圖2所示。如圖2所示，本半導體晶圓製造 破置在構4上包含·複數個（例如3個）處理室1、2、3，其 係對半導體晶圓進行各種處理，例如成膜處理、蝕刻處 理、熱氧化處理等；g盒室4、5，其係收容可容納複數片 120404.doc 200822175 (例如50片）晶圓W之晶圓 ，及運迗室6，其係 在處理室1、2、3及匣盒室4、 ^ BB A 5之間進行晶圓W轉運。各 至間介閘門閥G而以可自由pq „ 目由開閉之方式連結。在運送室6 内，設有可屈伸動作及迴轉動 w 動作之機構，例如多關節式之 運送臂7，並藉由此運送臂7淮 口 ^進仃至間之晶圓W運送。。晶 圓E盒Cl、C2在被送入ς . 皿至4、5内時會被反轉90度，

並被轉向成該晶圓^C1、C2之晶圓插脫口朝向運送室6 内之中心’㈣置成可藉由運送臂7進行晶㈣之進出。 此外，控制裝置12為控制處理裝£11之裝置，通常，對 應於處理裝置11而設，控制裝置12存有製程參數，利用該 製程參數’控制裝置12控制處理裝置u。製程參數係對被 處理基板之指定程序相關之f訊’通常為程序條件值集合 之資訊。

U 此外，控制裝置12會取得並儲存控制裝置固有資訊，該 貧訊為在控制處理裝置i丨時所發生之警告資訊之集合的馨 報列表等的控制裝置固有之資訊。此外，處理裝置u及控 制裝置12可為一體，亦可分離設置。 圖3係本實施方式中之群管理系統之區塊圖。 控制裝置12具有··控制裝置固有資訊儲存部12ι、及控 制裝置固有資訊傳送部122。 程序資訊管理裝置13具有：接收部131、通信設定資訊 儲存部132、通信設定資訊儲存部133、控制裝置固有資訊 接收部134、控制裝置固有資訊儲存部135、及輸出部 136。 120404.doc 200822175 控制裝置固有資訊儲存部121儲存為控制裝置12之固有 資訊的控制裝置固有資訊。控制裝置固有資訊例如為處理 裝置11所發生之警報之相關資訊的警報列表、及fdc授權 碼之資訊等。FDC授權碼係為了選項功能之一之叩^ (Fault Detection and Classification ;失誤偵測與分類）而對 每一裝置所没者。此外，例如，FDC授權碼中有兩個位 準，分別為基本層級之授權碼1、及可使用多變量解析之 授權碼2。此外，可分別設定使用期限。控制裝置固有資 訊儲存部121適用非揮發性之記錄媒體，然而，亦可以揮 發性之記錄媒體來實現。 控制裝置固有資訊傳送部122將控制裝置固有資訊傳送 給程序資訊管理裝置13。控制裝置固有資訊傳送部122通 常對應於程序資訊管理裝置13之要求而傳送控制裝置固有 資訊，然而，在控制上亦可自發性地，或自發性且週期性 地檢查與程序資訊管理裝置13之通信狀態，當可進行通信 時，便傳送控制裝置固有資訊。控制裝置固有資訊傳送部 122可以無線或有線之通信裝置來實現。 接收部131接收兩個以上為了與2個以上之控制裝置12進 4亍通L之u又之負訊的通彳&没疋^訊。通信設定資訊例如為 IP位址、控制裝置12之名稱或處理裝置11之名稱、節點名 稱、GFC名稱、及網域名稱伺服器之ip位址等。節點名稱 為網路上之節點之名稱。GFC名稱為擴散爐之氣體配管、 閥、及MFC的連接圖（GassFlowChart)之名稱。Mfc (MassFIowController)為控制氣體流量之機器。接收部131 120404.doc -10 - 200822175 亦可接收來自使用者之指示。來自使用者之指示例如為將 後述之控制裝置固有資訊由控制裝置12取得的取得指示、 及輸出所儲存之控制裝置固有資訊的輸出指示等。通信設 定資訊及取得指示等之輸入裝置不論為藉由數字鍵般、鍵 盤、滑鼠、選單畫面者等均可。接收部i3i亦可讀:記錄 媒體所記錄之2個以上之通信設定資訊，藉此，接收2個以 上之通信設定資訊。此外，接收部131亦可讀取檔案或資 料庫所儲存之2個以上之通信設定資訊。亦即，接收在此 亦包含讀取。此外，檔案之格式不論為csv格式等均可。 此外，接收部131能以數字鍵盤及鍵盤等之輸入裝置之裝 置驅動程式、及選單畫面之控制軟體等來實現。 通信設定資訊儲存部132能夠儲存2個以上之通信設定資 Λ 此外’通指设疋資訊儲存部13 2内之通信設定資訊將 由控制裝置固有資訊接收部134讀取，用於與控制裝置12 之通信。通信設定資訊儲存部132適用非揮發性之記錄媒 體，然而，亦可以揮發性之記錄媒體來實現。程序資訊管 理裝置13由通信設定資訊儲存部132讀取通信設定資訊， 而與控制裝置12進行通信。 通k設定資訊儲存部133儲存接收部131所接收之2個以 上之通信設定資訊。通信設定資訊儲存部13 3在通信設定 資訊儲存部132中儲存2個以上之通信設定資訊。通信設定 貝訊儲存部133通常可由MPU及記憶體等來實現。通信設 定貧訊儲存部133之處理步驟通常以軟體來實現，該軟體 則被記錄於ROM等之記錄媒體。惟，該步驟亦可以硬體 120404.doc -11- 200822175 (專用電路）來實現。 控制裝置固有資訊接收部134利用通信設定資訊儲存部 133所儲存之2個以上之通信設定資訊，分別與2個以上之 控制裝置12進行通信，由各控制裝置12接收控制裝置固有 資訊。控制裝置固有資訊接收部134由通信設定資訊儲存 部132讀取2個以上之通信設定資訊，利用該2個以上之通 信設定資訊，分別呼叫2個以上之控制裝置12，由各控制 裝置12接收控制裝置固有資訊。控制裝置固有資訊接收部 134可以無線或有線之通信裝置來實現。 控制裝置固有資訊儲存部135儲存控制裝置固有資訊接 收邓13 4所接到之控制裝置固有資訊。控制裝置固有資訊 儲存部135通常可由MPU及記憶體等來實現。控制裝置固 有貧訊儲存部135之處理步驟通常以軟體來實現，該軟體 則被記錄於R0M等之記錄媒體。惟，該步驟亦可以硬體 (專用電路）來實現。 s 輸出部136讀取並輸出輸出指示所示之控制裝置固有資 訊。在此，輸出在概念上包含對顯示器之顯示、對印表機 之印刷、音響輸出、對外部裝置之傳送、對記錄媒體之健 存等。此外，輸出指示包含指定控制裝置固有資訊資 雨出指不為例如「輸出控制裝置id，警報列表」。 2此h況中，輸出部136輸出以控制裝置山所識別之控制 =置：警報列表。此外，控制裝置固有資訊係由控制裝置 “貝訊儲存部135儲存於未圖示之記錄媒體之資訊。此 。己錄媒體可為硬碟及R〇M等之非揮發性之記錄媒體，亦可 120404.doc •12· 200822175 為Ram等之揮發性之記錄媒體 示器及t八等之輸出裝置，亦e w出部⑶可視為包含顯 輸出裝置之驅動軟體，或以輪可不包含。輸出部！36能以 置等來實現。 '"置之驅動軟體及輸出裝 接著，說明群管理系統之動 之動作。控制裝置12 & S兒明控制裝置12 於程序資訊管理裝置13之要求,\固有資訊傳送部_應 长 由控制裝置HI右=欠1

C 部⑵讀取控制裝置固有資 ：：貝⑽存 置13。 叩得迗給轾序資訊管理裝 接著， 來說明之 對於程序資訊管理裝 置13之動作以圖4之流程圖 (步驟S401)接收部ι31判斷是 货匕收到輸入。如接收到 輸入時到步驟S402，如未收到輸入時回到步驟s4〇i。 (步驟S402)接收部131判斷步驟以〇1所接收之輸入是否

為取得指示。如為取得指示時到步驟S4G3，如非取得指示 時到步驟S418。 (步驟S403)接收部131接收兩個以上之為了與2個以上之 控制裝置12進行通信之設定資訊的通信設定資訊。更具體 而言，接收部13 1例如開啟使用者以鍵盤及滑鼠等所指定 之檔案，讀取該檔案所儲存之2個以上之通信設定資訊。 (步驟S404)通信設定資訊儲存部133在計數器i中代入1。 (步驟S405)通信設定資訊儲存部133判斷步驟S403所讀 取之2個以上之通信設定資訊中是否存在第i個之通信設定 資訊。如第i個之通信設定資訊存在時到步驟S406，如第i 120404.doc -13· 200822175 個之通信設定資訊不存在時到步驟S408。 (步驟S406)通信設定資訊儲存部133將第i個之通信設定 資訊登錄於通信設定資訊儲存部132。在此，登錄通常為 新增。 (步驟S407)通信設定資訊儲存部in使計數器i遞增！。回 到步驟S405。 (步驟S408)控制裝置固有資訊接收部134在計數器i中代 入1 〇 (步驟S409)控制裝置固有資訊接收部134判斷通信設定 資訊儲存部132中是否存在第丨個之通信設定資訊。如第i個 之通#没定資訊存在時到步驟S410，如第i個之通信設定 資訊不存在時結束處理。 (步驟S410)控制裝置固有資訊接收部134由通信設定資 訊儲存部132讀取第i個之通信設定資訊。 (步驟S411)控制裝置固有資訊接收部134利用步驟S41〇 所讀取之第i個之通信設定資訊，與第i個之控制裝置12進 行通信（呼叫）。 (步驟S412)控制裝置固有資訊接收部134對第i個之控制 裝置12要求傳送控制裝置固有資訊。 (步驟S413)控制裝置固有資訊接收部134判斷是否已由 第1個之控制裝置12接收到控制裝置固有資訊。如接收到 控制裝置固有資訊時到步驟S414，如未接收到控制裝置固 有資訊時到步驟S416。 (步驟S414)控制裝置固有資訊接收部134使步驟S413所 120404.doc -14· 200822175 接收到之控制裝置固有資訊對應於第丨個之控制裝置12而 加以儲存。 (步驟S415)控制裝置固有資訊接收部134使計數器丨遞增 1。回到步驟S409。 . (步驟S416)控制裝置固有資訊接收部134判斷是否逾 • 時。如逾時的話到步驟S417，如未逾時的話回到步驟 S413。此外，逾時係指在步驟S4 12輸出控制裝置固有資訊 之傳送要求後，經過指定時間，仍未收到控制裝置固有資 (, 訊一事。 、 (步驟S417)控制裝置固有資訊接收部134使表示未能收 到控制裝置固有資訊之旨之資訊（未接收資訊）對應於第_ 之控制裝置12而加以儲存。到步驟S4丨5。 (步驟S41 8)接收部13丨判斷步驟S4〇1所接收之輸入是否 為輸出指示。如為輸出指示時到步驟S41〇，如非輸出指示 時回到步驟S401。 〇 (步驟S419)輸出部136讀取由輸出指示所指定之控制裝 置固有資訊。 - (步驟S420)輸出部136輸出在步驟S419所讀取之控制襞 置固有資訊。回到步驟S4〇1。 、 •此外，在圖4之流程圖中，演算方式亦可為對應於各控 制裝置而登錄通信設定資訊後，立即取得控制裝置固有胃 訊。 、 此外’在圖4之流程圖中’程序資訊管理裝置13及控制 裝置12之通信用的通信協定不論Tcp/Ip、Ηττρ等均可。 120404.doc -15- 200822175 以下，說明本實施方式中之群管理系統之具體動作。群 管理系統之概念圖為圖卜程序資訊管理裝置13乃愈複數 (例如’ s十至數百）個控制裝置12以網路（不論網際網路、 專線等均可）連接。 此外’管理為使程序資訊管理裝置13與各控制裝置如 行通信之2個以上之通信設備資訊的通信設定資訊管理表 以圖5示之。在圖5中，通信設定資訊管理表具有「ID」、 「裝置名稱」、「節點名稱」、「Ip位址」、「gfc名稱」等之 屬性。「ID」&識別記錄之資訊，為了表中之記錄管理而 存在。「裝置名稱」係控制震置之名稱。「節點名稱 應於控制裝置之節點之名稱。「lp位址」相予控制裝 之IP位址。 此外，各控制裝置所具有之控制裝置固有資訊之例以圖 广圖6中，具有「ID」、「警報ID」、「參數個數」、「優 :序」、「警報之意義」之屬性。「警報⑴」係識別可能 在處理裝置U或控制裝置12中發生之警報的資訊。「炎數 : 固數」為對應於警報之參數數目。「優先順序」係顯示警 艮之重要度（緊急度）資訊。「警報之意義」係顯示罄報之音 義文字。圖6巾之㈣裝置时資訊係控 _ ::報列表。此外’圖6為警報列表之例，警報列表= 為其他的資料結構。 管理裝置13或可操作 輸入自控制裝置取得 在此情況甲，使用者乃由程序資訊 程序資訊管理裝置13之客戶端裝置， 控制裝置固有資訊的取得指示。 120404.doc -16- 200822175 接著’程序資訊管理裝置丨3之接收部13丨收到取得指示 (例如’指令「取得fileA」）。在此，「fileA」為存有為了 與2個以上之控制裝置丨2進行通信之2個以上之通信設定資 訊之槽案’該内容為例如如圖5所示。 接著’接收部131收到取得指示「取得fileA」。接著，接 收部131開啟檔案「fileA」，將「nieA」内之通信設定資 訊，由「ID=1」之記錄至「ID=2」之記錄、「m=3」之記 錄等依序加以讀取。 接著，通信設定資訊儲存部133將讀取之通信設定資訊 依序寫入預設之區域（通信設定資訊儲存部132)，登錄於為 了與2個以上之控制裝置12進行通信之通信設定資訊。 藉此，通信設定資訊儲存部133登錄「fileA」所定義之 所有通信設定資訊。 接著，控制裝置固有資訊接收部134依序讀取通信設定 資訊儲存部133所儲存之通信設定資訊。藉此，控制裝置 固有資訊接收部134利用已讀取之通信設定資訊，與能以 通信設定資訊進行通信之控制裝置12進行通信。亦即，控 制裝置固有資訊接收部134對控制裝置12要求控制裝置固 有資訊之傳送。 接者’被要求傳送控制裝置固有資訊之控制裝置12的控 制裝置固有資訊傳送部122會將所要求之控制裝置固有資 訊（例如圖6之警報列表），由控制裝置固有資訊儲存部121 讀出。藉此，控制裝置固有資訊傳送部122將所讀出之控 制裝置固有資訊（例如圖6之警報列表）傳送給程序資訊管理 120404.doc -17· 200822175 裝置13。 接著私序資訊管理裝置13之控制裝置固有資訊接收部 134收到控制裝置时資訊（例如圖6之警報列表）。藉此， 控制裝置固有資訊儲存部135對應識別控制裝置12之資訊 * (控制破置名稱及控制裝置1D等）而儲存所收到之控制 裝置固有資訊。 /、體而"，控制裝置固有資訊儲存部135得到如圖7所示 〇 U制裝置固有資訊管理表。控制裝置固有資訊管理表具 有ID」、控制裝置名稱」、及「控制裝置固有資訊檔 名」之屬〖生。「控制裝置名稱」為指定控制裝置之資訊， 取自圖5之通信設定資訊管理表。「控制裝置固有資訊檔 名」係存有控制裝置12所傳送之控制裝置固有資訊之檔 名此外，控制裝置固有資訊儲存部135理所當然地會儲 存存有以「控制裝置固有資訊檔名」識別之控制裝置固有 資訊之檔案。 〇 接者，例如，使用者將輸出複數個控制裝置固有資訊之 列表的指示，輸入程序資訊管理裝置13。 如此一來，藉自未圖示之裝置，顯示如目8所示之控制 I置固有資訊列表(警報列表之列表)。在圖8中，控制裝置 B之警報列表被反白顯示。 接著，假設使用者已由輸入裝置輸入輸出指示。藉此， 接收部131收到輸出指示，輸出部136讀取檔案「控制裝置 B警報列表.csv」，而例如輸出如圖6所示之警報列表。 此外，使用者可利用事前程序資訊管理裝置丨3確實取得 120404.doc 18 200822175 之警報列表來處理自控制裝置12等傳來的警報之資訊。例 如二在依「優先順序」之值來分類程序資訊管理裝置賴 取得之警報列表而產生優先順序別之圖表之處理時，對於 =制裝置12等所傳來而程序資訊管理裝置13所收到之警報 t訊，將參照所取得之警報列表來賦予「優先順序」值， f加以儲存。藉此，程序資訊管理裝置13利用警報資訊及 「優先順序」A，優先順序別地圖表化(例如，製作直條 圖等）。 八 〇 、 以上，依本實施方式，程序資訊管理裝置13可在將控制 裝置置於管理下後，立即一次取得複數個控制裝置之固有 資訊。藉此，可簡化利用控制裝置之固有資訊之處理（例 如’上述的警報資訊之優先順序別之圖表化）。 此外，在群管理系統中，有時會有數十至數百台之控制 裝置12連接的情形。在上述般的情況中，依本實施方式， 可確實且迅速地進行控制裝置12之登錄，程序資訊管理裝 (； 置13可確實地與複數個控制裝置連接。 此外’依本實施方式，控制裝置之固有資訊亦包含處理 裝置固有之資訊。 此外’在上述各實施方式中，各處理（各機能）可藉由以 單一裝置（系統）集中處理之方式來實現，或亦可藉由以複 數個裝置分散處理來實現。 此外’在上述各實施方式中，各構件亦可由專用硬體來 構成’或者，關於可藉由軟體來實現之構件，亦可藉由執 行程式來加以實現。例如，可藉由硬碟及半導體記憶體等 120404.doc •19- 200822175 之記錄媒體所記錄之軟體程式以CPU等之程式執行部讀取 並執仃，而實現各構件。此外，實現上述各實施方式中之 程序資訊管理裝置之軟體係如下述般之程式。亦即，此程 式使電腦執行：通信設定資訊接收步驟，其係接收2個以 上為了與2個以上之控制裝置進行通信之設定資訊的通信 設定資訊；通信設定資訊儲存步驟，其係儲存上述2個以 上之通信設定資訊；控制裝置固有資訊接收步驟，其係利 用上述通信設定資訊儲存步驟所儲存之2個以上之通信設 定資訊，分別與上述2個以上之控制裝置進行通信，由各 控制裝置接收控制裝置固有資訊；及控制裝置固有資訊儲 存步驟，其係儲存上述控制裝置固有資訊接收步驟所接收 到之控制裝置固有資訊。 此外’在上述程式中，上述控制裝置固有資訊為例如包 含上述處理裝置所發生之警報之相關資訊的警報列表資 訊。 此外’在上述程式中，料資訊之傳送步驟、及接收資 訊之接收步驟等並不包含以硬體執行之處理，例如傳送工 序中以數據機及介面卡等執行之處理（僅以硬體執行之處 理）。 此外’執行上述程式之電腦可為單數，亦可為複數。亦 即，可集中處理，或亦可分散處理。 此外’在上述各實施方式中，一個裝置中所存在之2個 以上之通信裝置(控制裝置固有資訊接收部等)自不待言在 實體上能以一個媒體來實現。 120404.doc -20- 200822175 本發明並不限於上述之實施方式，可有種種變更，而此 等變更自不待言亦包含於本發明之範圍内。 在 此外，2006年4月26日所申請之日本國專利申請編號 之包含詳細說明、圖式、及專利申請範圍的。 揭示内容，已藉由參照該整體内容而含於本揭示内容。 Ο

如上所述，本發明之群管理系統具有一次取得複數個控 制裝置之固有資訊之成效，例如作為包含管理為半導體製 造裝置、及液晶面板製造裝置等之處理裝置之控制相關之 資訊之程序資訊之程序資訊管理裝置群管理系統為有用。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示實施方式中之群管理系統之概念圖之圖。 圖2係顯示同一半導體晶圓製造裝置之例之圖。 圖3係同一群管理系統之區塊圖。 圖4係說明同一程序資訊管理裝置之動作之流程圖。 圖5係顯示同一通信設定資訊管理表之圖。 圖6係顯示同一控制裝置固有資訊之例之圖。 圖7係顯示同一控制裝置固有資訊管理表之圖。 圖8係顯示同一控制裝置固有資訊列表之顯示例之圖。 【主要元件符號說明】 1、2、3 處理室 4、5 匣盒室 6 運送室 7 運送臂 11 處理裝置 120404.doc 200822175 12 控制裝置 13 程序資訊管理裝置 121 控制裝置固有資訊儲存部 122 控制裝置固有資訊傳送部 131 接收部 132 通信 133 通信 134 控制 135 控制 136 、 138 山 m » B 控制 Cl、C2 晶圓 G 閘門 i 計數 ID 控制 W 晶圓

設定資訊儲存部 設定資訊儲存部 裝置固有資訊接收部 裝置固有資訊儲存部 部 裝置 匣盒 閥 器 裝置 120404.doc -22-

Claims (1)

1. 200822175 十 1. 、申請專利範圍： 一種群管理系統，其包含· 9伽L _ 匕s · 2個以上之控制裝置，其係 分別控制對被處理基板淮并姓〜f 八 土伋進仃特疋程序之2個以上處理裝 置；及程序資訊管理襞置，豆筏 直其係與上述控制裝置連接；且 上述控制裝置包含： 控制裝置固有資訊儲存部，其係儲存為該控制裝置固 有資訊的控制裝置固有資訊；及 .Ο 控制裝置固有資訊傳送部，其係將上述控制裝置固有 資訊傳送至上述程序資訊管理裝置； 上述程序資訊管理裝置包含： 通信設定資訊接收部，其係接收2個以上用於與上述2 個以上控制裝置進行通信之収資訊的通信設定資訊； 通信設定資訊儲存部，其係儲存上述2個以上之通信 設定資訊； 控制裝置固有資訊接收部，其係利用上述通信設定資 訊儲存部所儲存之2個以上通信設定資訊，分別與上述2 個以上之控制裝置進行通信，由各控制裝置接收控制裝 置固有資訊；及 控制裝置固有資訊儲存部’其係儲存上述控制裝置固 有資訊接收部所接收到之控制裝置固有資訊。 2.如明求項1之群官理系統，其中上述控制裝置固有資訊 包含關於上述處理裝置所產生之警報之資訊的警報列 表。 3· 一種程序資訊管理裝置，其包含·· I20404.doc 200822175 通信設定資訊接收部，其係接收2個以上之通信設定 為祇，该通信設定資訊係用於與分別控制對被處理基板 進行特定程序之2個以上處理裝置之2個以上控制裝置進 行通信之設定資訊； 通#设定貢訊儲存部，其係儲存上述2個以上之通信 設定資訊； 抆制裝置固有資訊接收部，其係利用上述通信設定資 讯儲存部所儲存之2個以上通信設定資訊，分別與上述2 個以上之控制裝置進行通信，由各控制裝置接收控制裝 置固有資訊；及 拴制竑置固有負汛储存部，其係健存上述控制裝置固 有貧訊接收部所接收到之控制裝置固有資訊。 4·如明求項3之程序資訊管理裝置，其中上述控制裝置固 有資訊包含關於上述處理裝置所產生之警報之資訊的警 報列表。 (j 5.=種電腦可讀取之記錄媒體，其記錄用於使電腦執行下 述步驟之程式： 、通仏叹疋貧訊接收步驟，其係接收2個以上用於與2個 以：控制裝置進行通信之設定資訊的通信設定資訊； 上、‘"又定貝訊儲存步驟，其係儲存上述2個以上之通 信設定資訊； 〜一：裝置固有資訊接收步驟，其係利用於上述通信設 :資訊儲存步驟所儲存之2個以上通信設定資訊，分別 與上述2個w I» 之控制裝置進行通信，由各控制裝置接 120404.doc 200822175 收控制裝置固有資訊；及 控制裝置固有資訊儲存步驟，其係儲存於上述控制裝 置固有資訊接收步驟所接收到之控制裝置固有資訊。 120404.doc