JP2016119027A - 生産システム - Google Patents

Abstract

【課題】処理対象物に所定の処理を行って製品を生産する生産システムにおいて、煩雑な作業を行わなくてもＣＩＭシステムを構築することが可能な生産システムを提供する。【解決手段】処理対象物に所定の処理を行って製品を生産する生産システム１は、ホストコンピュータ５と、処理対象物に対して所定の処理を行う処理装置３と、処理装置３への処理対象物の搬入および処理装置３からの処理対象物の搬出を行う搬送装置４とを備え、処理装置３および搬送装置４は、プログラマブルロジックコントローラ６、７を備えている。処理装置３のプログラマブルロジックコントローラ６と搬送装置４のプログラマブルロジックコントローラ７とはネットワークを介して接続され、プログラマブルロジックコントローラ７は、ネットワークを介してホストコンピュータ５に接続されるＣ言語コントローラ９を備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、処理対象物に所定の処理を行って製品を生産する生産システムに関する。

従来、ウエハに対して所定の処理を行う処理装置と、処理装置へのウエハの搬入や処理装置からのウエハの搬出を行うロボットとを備える半導体製造システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の半導体製造システムは、たとえば、ＣＩＭ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）システムによって管理されており、たとえば、図４に示すように、ホストコンピュータ１０１と、ロボットを含む搬送装置１０２と、複数の処理装置１０３とを備えている。

搬送装置１０２は、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）１０４と、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）１０５とを備えている。処理装置１０３は、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）１０６を備えている。ＰＬＣ１０４とＰＣ１０５とＰＬＣ１０６とはネットワークを介して接続されている。また、ホストコンピュータ１０１とＰＣ１０５とはネットワークを介して接続されている。ＰＣ１０５は、ホストコンピュータ１０１から情報を受信するとともに、受信した情報をＰＬＣ１０４、１０６に送信する。また、ＰＣ１０５は、ＰＬＣ１０４、１０６から受信した情報を取りまとめるとともに、ＰＬＣ１０４、１０６から受信した情報をホストコンピュータ１０１へ送信する。すなわち、ＰＣ１０５を経由して、ホストコンピュータ１０１とＰＬＣ１０４、１０６との間で情報の通信が行われる。

特開２０１１−２３０２５６号公報

図４に示す半導体製造システムの場合、ＰＣ１０５用のソフトウエアを作成しなければならないが、このソフトウエアの作成作業は大変、煩雑である。すなわち、この半導体製造システムの場合、煩雑な作業を行わないとＣＩＭシステムを構築することができない。

そこで、本発明の課題は、処理対象物に所定の処理を行って製品を生産する生産システムにおいて、煩雑な作業を行わなくてもＣＩＭシステムを構築することが可能な生産システムを提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の生産システムは、処理対象物に所定の処理を行って製品を生産する生産システムにおいて、ホストコンピュータと、処理対象物に対して所定の処理を行う処理装置と、処理装置への処理対象物の搬入および処理装置からの処理対象物の搬出の少なくともいずれか一方を行う搬送装置とを備え、処理装置および搬送装置は、プログラマブルロジックコントローラを備え、処理装置のプログラマブルロジックコントローラと搬送装置のプログラマブルロジックコントローラとはネットワークを介して接続され、搬送装置のプログラマブルロジックコントローラは、ネットワークを介してホストコンピュータに接続されるＣ言語コントローラを備えることを特徴とする。

本発明の生産システムでは、搬送装置のプログラマブルロジックコントローラが、ネットワークを介してホストコンピュータに接続されるＣ言語コントローラを備えている。そのため、本発明では、図４に示す半導体製造システムのようにＰＣ１０５用のソフトウエアを作成する必要がない。したがって、本発明の生産システムでは、煩雑な作業を行わなくてもＣＩＭシステムを構築することが可能になる。

本発明において、たとえば、Ｃ言語コントローラとホストコンピュータとは、高速シリアル通信によって、あるいは、ファイル転送プロトコルを用いて、通信を行っている。

本発明において、搬送装置は、搬送装置に関する情報を表示するとともに搬送装置を操作するためのタッチパネルを備え、タッチパネルには、Ｃ言語コントローラとホストコンピュータとの間の通信に関する情報が表示されることが好ましい。このように構成すると、ネットワークを介してホストコンピュータに接続されるパーソナルコンピュータを搬送装置が備えていなくても、タッチパネルを利用して、Ｃ言語コントローラとホストコンピュータとの間の通信に関する情報を表示することができる。

以上のように、本発明の生産システムでは、煩雑な作業を行わなくてもＣＩＭシステムを構築することが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる生産システムの概略構成を説明するためのブロック図である。 図１に示す生産システムでの処理対象物の流れを説明するための図である。 本発明の他の実施の形態にかかる生産システムの概略構成を説明するためのブロック図である。 従来技術にかかる半導体製造システムの概略構成を説明するためのブロック図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（生産システムの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる生産システム１の概略構成を説明するためのブロック図である。図２は、図１に示す生産システム１でのガラス基板の流れを説明するための図である。

本形態の生産システム１は、処理対象物に所定の処理を行って製品を生産するシステムである。具体的には、生産システム１は、処理対象物としてのガラス基板に所定の処理を行って、液晶パネルを製品として生産するためのシステムである。この生産システム１は、ＣＩＭシステムによって管理されている。また、生産システム１は、ガラス基板に対して所定の処理を行う処理装置３と、処理装置３へのガラス基板の搬入および処理装置３からのガラス基板の搬出を行う搬送装置４と、ホストコンピュータ５とを備えている。なお、本形態の生産システム１は、２個の処理装置３を備えているが、生産システム１が備える処理装置３の数は、１個であっても良いし、３個以上であっても良い。ただし、生産システム１が備える処理装置３の数は、１個または２個であることが好ましい。

処理装置３は、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）６を備えている。搬送装置４は、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）７と、ガラス基板を搭載して搬送するロボット８とを備えている。また、搬送装置４は、複数枚のガラス基板が収納されたカセットが搭載される複数のカセットステージ（図示省略）と、ロボット８を囲むように配置される安全カバー（図示省略）とを備えている。なお、処理装置３には、ガラス基板の品質を検査する検査装置が含まれることもある。

図２の矢印で示すように、ロボット８は、たとえば、カセットステージに搭載されたカセットからガラス基板を搬出して、２個の処理装置３のうちの一方の処理装置３へガラス基板を搬入するとともに、この処理装置３での処理が終了すると、この処理装置３からガラス基板を搬出して、２個の処理装置３のうちの他方の処理装置３へガラス基板を搬入する。また、ロボット８は、この処理装置３での処理が終了すると、この処理装置３からガラス基板を搬出して、カセットステージに搭載されたカセットに搬入する。

ＰＬＣ６、７は、ＣＰＵや入出力ユニット等の各種のユニットを備えている。ＰＬＣ６とＰＬＣ７とはネットワークを介して接続されている。たとえば、ＰＬＣ６とＰＬＣ７とは、ＬＡＮケーブルによって接続されている。また、ＰＬＣ７は、ネットワークを介してホストコンピュータ５に接続されるＣ言語コントローラ９を備えている。ホストコンピュータ５とＣ言語コントローラ９とは、たとえば、ＬＡＮケーブルによって接続されている。なお、ＰＬＣ７には、ロボット８を制御するロボット制御部やカセットステージを制御するカセットステージ制御部が接続されており、ＰＬＣ７は、ロボット制御部やカセットステージ制御部に対して、搬送装置４の全体のシステム運用制御を行うための制御指令を出力する。

Ｃ言語コントローラ９は、三菱電機株式会社製の汎用シーケンサであり、Ｃ言語によってプログラミングされている。Ｃ言語コントローラ９には、ホストコンピュータ５と直接、通信を行うためのソフトウエアとして、日本電能株式会社製のソフトウエアである「ＣＩＭＯＰＥＲＡＴＯＲ（シムオペレータ）」がインストールされている。Ｃ言語コントローラ９とホストコンピュータ５とは、高速シリアル通信によって、あるいは、ファイル転送プロトコルを用いて、通信を行っている。

本形態では、Ｃ言語コントローラ９は、ホストコンピュータ５から情報を受信して、受信した情報をＰＬＣ７に伝えるとともに、受信した情報をＰＬＣ６に送信する。また、Ｃ言語コントローラ９は、ＰＬＣ７の情報やＰＬＣ６から送信される情報を取りまとめるとともに、これらの情報をホストコンピュータ５へ送信する。すなわち、Ｃ言語コントローラ９を経由して、ホストコンピュータ５とＰＬＣ６、７との間で情報の通信が行われている。

また、搬送装置４は、搬送装置４に関する情報を表示するとともに搬送装置４を操作するためのタッチパネル１０を備えている。すなわち、搬送装置４は、ロボット８等に関する情報を表示するとともにロボット８を操作するためのタッチパネル１０を備えている。タッチパネル１０は、ＰＬＣ７に接続されている。タッチパネル１０には、ロボット８等に関する情報に加えて、Ｃ言語コントローラ９とホストコンピュータ５との間の通信に関する情報が表示される。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、搬送装置４のＰＬＣ７が、ネットワークを介してホストコンピュータ５に接続されるＣ言語コントローラ９を備えている。そのため、本形態では、図４に示す従来の半導体製造システムのようにＰＣ１０５用のソフトウエアを作成する必要がない。したがって、本形態の生産システム１では、煩雑な作業を行わなくてもＣＩＭシステムを構築することが可能になる。

本形態では、搬送装置４に関する情報を表示するとともに搬送装置４を操作するためのタッチパネル１０に、Ｃ言語コントローラ９とホストコンピュータ５との間の通信に関する情報が表示される。そのため、本形態では、ネットワークを介してホストコンピュータ５に接続されるパーソナルコンピュータを搬送装置４が備えていなくても、タッチパネル１０を利用して、Ｃ言語コントローラ９とホストコンピュータ５との間の通信に関する情報を表示することができる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態では、搬送装置４のカセットステージに搭載されたカセットから処理前のガラス基板が搬出されるとともに、処理装置３で処理された後のガラス基板が、搬送装置４のカセットステージに搭載されたカセットに搬入されている。この他にもたとえば、図３に示すように、搬送装置４とほぼ同様に構成される搬送装置１４を生産システム１が備えるとともに、搬送装置４のカセットステージに搭載されたカセットから処理前のガラス基板が搬出され、処理装置３で処理された後のガラス基板が、搬送装置１４のカセットステージに搭載されたカセットに搬入されても良い（図３の矢印参照）。

この場合には、搬送装置４は、処理装置３へのガラス基板の搬入のみを行い、搬送装置１４は、処理装置３からのガラス基板の搬出のみを行う。また、この場合には、複数の処理装置３がライン状に配置されており、各処理装置３の間でガラス基板の搬送が行われる。また、この場合には、搬送装置１４のＰＬＣは、Ｃ言語コントローラを備えておらず、ネットワークを介してＰＬＣ７と接続されている。なお、搬送装置１４のカセットステージに搭載されたカセットから処理前のガラス基板が搬出され、処理装置３で処理された後のガラス基板が、搬送装置４のカセットステージに搭載されたカセットに搬入されるように、生産システム１が構成されても良い。すなわち、処理装置３からのガラス基板の搬出のみを行う搬送装置４のＰＬＣ７がＣ言語コントローラ９を備えていても良い。

上述した形態では、生産システム１は、ガラス基板に所定の処理を行って、液晶パネルを製品として生産するためのシステムであるが、生産システム１は、他の処理対象物に所定の処理を行って所定の製品を生産するためのシステムであっても良い。たとえば、生産システム１は、処理対象物としてのガラス基板に所定の処理を行って太陽光パネル等を製品として生産するためのシステムであっても良いし、処理対象物としてのウエハに所定の処理を行って半導体を製品として生産するためのシステムであっても良い。

上述した形態では、タッチパネル１０に、Ｃ言語コントローラ９とホストコンピュータ５との間の通信に関する情報が表示されている。この他にもたとえば、タッチパネル１０に加えて、Ｃ言語コントローラ９とホストコンピュータ５との間の通信に関する情報を表示するための表示手段が別途、設けられても良い。なお、上述した形態において、処理装置３で取り扱われる情報量が多い場合には、処理装置３にパーソナルコンピュータが設けられるとともに、このパーソナルコンピュータとホストコンピュータ５との間で、高速シリアル通信によって、あるいは、ファイル転送プロトコルを用いて、直接、通信が行われても良い。

１ 生産システム
３ 処理装置
４ 搬送装置
５ ホストコンピュータ
６ ＰＬＣ（処理装置のプログラマブルロジックコントローラ）
７ ＰＬＣ（搬送装置のプログラマブルロジックコントローラ）
９ Ｃ言語コントローラ
１０ タッチパネル

Claims (3)

1. 処理対象物に所定の処理を行って製品を生産する生産システムにおいて、
   ホストコンピュータと、前記処理対象物に対して所定の処理を行う処理装置と、前記処理装置への前記処理対象物の搬入および前記処理装置からの前記処理対象物の搬出の少なくともいずれか一方を行う搬送装置とを備え、
   前記処理装置および前記搬送装置は、プログラマブルロジックコントローラを備え、
   前記処理装置の前記プログラマブルロジックコントローラと前記搬送装置の前記プログラマブルロジックコントローラとはネットワークを介して接続され、
   前記搬送装置の前記プログラマブルロジックコントローラは、ネットワークを介して前記ホストコンピュータに接続されるＣ言語コントローラを備えることを特徴とする生産システム。
2. 前記Ｃ言語コントローラと前記ホストコンピュータとは、高速シリアル通信によって、あるいは、ファイル転送プロトコルを用いて、通信を行うことを特徴とする請求項１記載の生産システム。
3. 前記搬送装置は、前記搬送装置に関する情報を表示するとともに前記搬送装置を操作するためのタッチパネルを備え、
   前記タッチパネルには、前記Ｃ言語コントローラと前記ホストコンピュータとの間の通信に関する情報が表示されることを特徴とする請求項１または２記載の生産システム。

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