JP2003045935A - 液晶ガラス基板などフラットパネルの縦型カセット、シフター及びロボット - Google Patents
液晶ガラス基板などフラットパネルの縦型カセット、シフター及びロボットInfo
- Publication number
- JP2003045935A JP2003045935A JP2001317422A JP2001317422A JP2003045935A JP 2003045935 A JP2003045935 A JP 2003045935A JP 2001317422 A JP2001317422 A JP 2001317422A JP 2001317422 A JP2001317422 A JP 2001317422A JP 2003045935 A JP2003045935 A JP 2003045935A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- cassette
- robot
- flat panel
- shifter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】液晶ガラス基板などフラットパネルを縦向けに
して枚葉で搬送するコンベヤとパネル製造装置間でバッ
ファーとハンドリング機能をもつ移載を行う。 【解決手段】パネル１をコンベヤ２’から分岐、合流さ
せるシフター２０、２１とパネル１を縦向けに一時スト
アするカセット２３及びパネル縦型ハンドリングロボッ
ト１４からなる。シフター２０、２１にはシフター内コ
ンベア２８と浮上ユニットを設ける。固定型カセット２
３にはロボット１４の保持装置１３が出入りする切り欠
き部と昇降、走行式浮上ユニット６’が出入りする切り
欠き部を設けたパネル保持バー１０を備えると共に、浮
上ユニット６’及びカセット内コンベア２９を備える。
パネル１は高度のクリーン度が要求されるので、搬送の
ための底面と極一部以外はパネル１に非接触でハンドリ
ングする。
して枚葉で搬送するコンベヤとパネル製造装置間でバッ
ファーとハンドリング機能をもつ移載を行う。 【解決手段】パネル１をコンベヤ２’から分岐、合流さ
せるシフター２０、２１とパネル１を縦向けに一時スト
アするカセット２３及びパネル縦型ハンドリングロボッ
ト１４からなる。シフター２０、２１にはシフター内コ
ンベア２８と浮上ユニットを設ける。固定型カセット２
３にはロボット１４の保持装置１３が出入りする切り欠
き部と昇降、走行式浮上ユニット６’が出入りする切り
欠き部を設けたパネル保持バー１０を備えると共に、浮
上ユニット６’及びカセット内コンベア２９を備える。
パネル１は高度のクリーン度が要求されるので、搬送の
ための底面と極一部以外はパネル１に非接触でハンドリ
ングする。
Description
【０００１】［発明の属する技術分野］本発明は液晶ガ
ラス基板などフラットパネルの縦型枚葉搬送に関するも
のである。パネルの大型化と薄型化により水平方向での
ハンドリングや保管が困難になってきている。パネルを
縦向けに搬送することによって問題は解決するが、本発
明はパネル縦型枚葉コンベヤとパネルの製造装置とのイ
ンターフェイスの役割を行うための移載装置である。
ラス基板などフラットパネルの縦型枚葉搬送に関するも
のである。パネルの大型化と薄型化により水平方向での
ハンドリングや保管が困難になってきている。パネルを
縦向けに搬送することによって問題は解決するが、本発
明はパネル縦型枚葉コンベヤとパネルの製造装置とのイ
ンターフェイスの役割を行うための移載装置である。
【０００２】［従来の技術］従来の液晶などのフラット
パネルはカセットに複数枚数のパネルを水平方向に入れ
て搬送していた。製造装置の前ではロボットがカセット
からパネルを枚葉で出し入れしていたが、カセットは大
きいスペースを必要としていた。またパネルの大型化と
薄型化によってパネルのたわみが大きくなってきたので
従来の水平式カセットと水平式ロボットではハンドリン
グが困難になってきている。大型フラットパネル工場内
を水平方向でパネルを取り扱うこと自体が限界を迎えよ
うとしている。
パネルはカセットに複数枚数のパネルを水平方向に入れ
て搬送していた。製造装置の前ではロボットがカセット
からパネルを枚葉で出し入れしていたが、カセットは大
きいスペースを必要としていた。またパネルの大型化と
薄型化によってパネルのたわみが大きくなってきたので
従来の水平式カセットと水平式ロボットではハンドリン
グが困難になってきている。大型フラットパネル工場内
を水平方向でパネルを取り扱うこと自体が限界を迎えよ
うとしている。
【０００３】［発明が解決しようとする課題］液晶など
フラットパネルはカセットに入れて搬送しているが、パ
ネルの大型化と薄型化によって水平方式のパネルの扱い
は技術的に限界に達しつつある。また大きいカセットは
クリーンルームの建設コストを増大させている。パネル
を縦向けに扱えばこれらの課題は一気に解決できる。本
発明はパネル縦型枚葉コンベヤと製造装置を結びつける
ものであり、従来の技術的困難性と投資金額削減の課題
を解決するものである。
フラットパネルはカセットに入れて搬送しているが、パ
ネルの大型化と薄型化によって水平方式のパネルの扱い
は技術的に限界に達しつつある。また大きいカセットは
クリーンルームの建設コストを増大させている。パネル
を縦向けに扱えばこれらの課題は一気に解決できる。本
発明はパネル縦型枚葉コンベヤと製造装置を結びつける
ものであり、従来の技術的困難性と投資金額削減の課題
を解決するものである。
【０００４】［課題を解決するための手段］縦向け方向
で送られてきたフラットパネルは製造装置が受け取れる
状態でない場合に一旦ストレージするためのカセット
（８）にストレージする。カセットには上面、左右側面
からパネルを支えるパネル保持バー（１０）があり、上
面に切欠き部（Ｙ）を設け、パネル底面を固定するため
の底面サポート材（９）とカセット内にパネルを送り込
みまたは排出するための駆動ローラー（３）が昇降する
ためのローラー穴（１１）を備える。移載装置本体
（５）にはパネルを搬送するための昇降機能を持った駆
動ローラー（３）とパネルを非接触で斜めに立てた状態
を維持するための微細孔を持ち、空気を吹き出する浮上
ユニット（６）とパネルを一枚ずつカセットに出し入れ
するカセットシフト機能を持たせる。パネルの支持には
この浮上ユニット以外にも超音波発生装置やフリーロー
ラーを採用することも可能である。またカセットの一時
ストレージ枚数を多く必要とする場合には、自動保管庫
にも格納できるようこのカセットは自由に移載装置から
分離できる機能をもたせておく。フラットパネル製造装
置にパネルを出し入れする場合には、縦型コンベヤに走
行機能がついたシフター（２０）を設ける。シフターに
はベルトまたはローラー製のシフター内コンベヤ（２
８）と浮上ユニットを設ける。固定型カセット（２３）
にはロボット（１４）の保持装置（１３）が出入りする
切欠き部（Ｘ）と昇降、走行式浮上ユニット（６’）が
出入りする切欠き部（Ｙ）を設けたパネル保持バー（１
０）を備えると共に、走行、昇降機能を持った浮上ユニ
ット（６’）及びカセット内コンベヤ（２９）を備え
る。シフター（２０）と固定型カセット（２３）とのパ
ネルの移載方法はカセットに取り付けていた浮上ユニッ
トをシフター（２０）に取り付けて伸縮式浮上ユニット
（６’’）にすることもできる。この場合にはパネル保
持バーの切りかき部は左右両側面に設ける。製造装置と
パネルの出し入れを行うロボット（１４）の保持装置
（１３）にはパネル保持用爪（２７）、パネル保持ピン
（２６）、吸着ユニット（２５）を備える。本発明は以
上の構成よりなるカセットと移載装置である。
で送られてきたフラットパネルは製造装置が受け取れる
状態でない場合に一旦ストレージするためのカセット
（８）にストレージする。カセットには上面、左右側面
からパネルを支えるパネル保持バー（１０）があり、上
面に切欠き部（Ｙ）を設け、パネル底面を固定するため
の底面サポート材（９）とカセット内にパネルを送り込
みまたは排出するための駆動ローラー（３）が昇降する
ためのローラー穴（１１）を備える。移載装置本体
（５）にはパネルを搬送するための昇降機能を持った駆
動ローラー（３）とパネルを非接触で斜めに立てた状態
を維持するための微細孔を持ち、空気を吹き出する浮上
ユニット（６）とパネルを一枚ずつカセットに出し入れ
するカセットシフト機能を持たせる。パネルの支持には
この浮上ユニット以外にも超音波発生装置やフリーロー
ラーを採用することも可能である。またカセットの一時
ストレージ枚数を多く必要とする場合には、自動保管庫
にも格納できるようこのカセットは自由に移載装置から
分離できる機能をもたせておく。フラットパネル製造装
置にパネルを出し入れする場合には、縦型コンベヤに走
行機能がついたシフター（２０）を設ける。シフターに
はベルトまたはローラー製のシフター内コンベヤ（２
８）と浮上ユニットを設ける。固定型カセット（２３）
にはロボット（１４）の保持装置（１３）が出入りする
切欠き部（Ｘ）と昇降、走行式浮上ユニット（６’）が
出入りする切欠き部（Ｙ）を設けたパネル保持バー（１
０）を備えると共に、走行、昇降機能を持った浮上ユニ
ット（６’）及びカセット内コンベヤ（２９）を備え
る。シフター（２０）と固定型カセット（２３）とのパ
ネルの移載方法はカセットに取り付けていた浮上ユニッ
トをシフター（２０）に取り付けて伸縮式浮上ユニット
（６’’）にすることもできる。この場合にはパネル保
持バーの切りかき部は左右両側面に設ける。製造装置と
パネルの出し入れを行うロボット（１４）の保持装置
（１３）にはパネル保持用爪（２７）、パネル保持ピン
（２６）、吸着ユニット（２５）を備える。本発明は以
上の構成よりなるカセットと移載装置である。
【０００５】［発明の実施の形態］
（イ）ガラス基板は立てられた状態でコンベヤ（２）上
を転倒防止器（４）に保持されながら、移載装置本体
（５）に送られてくる。 （ロ）移載装置の駆動ローラー（３）はこの時上昇して
おり、パネル（１）は微細な無数の穴から空気を吹き出
す浮上ユニット（４，６）によって非接触で支えられな
がらローラーの駆動によりカセット（８）内へ案内され
る。この駆動ローラーの替わりに駆動ベルトを採用して
も同じ効果が得られる。 （ハ）パネルがカセット内の定位置に来れば、駆動ロー
ラー（３）を下降させ、パネルはカセットに取り付けら
れた底面サポート材（９）の上に置かれる。 （ニ）移載装置のシフト機構（１２）はＡ方向に一ピッ
チスライドするので、浮上ユニットで支えられていたガ
ラス基板は基板保持バー（１０）に支え替えられる。一
ピッチスライドしたことにより、次のパネルがカセット
に収納できる状態になる。 （ホ）カセットからパネルを取り出す時はシフト機構
（１２）によってカセットはＢの方向にスライドする。
このスライド動作によって浮上ユニット（６）は空気の
圧力でパネルを押すことになりパネルはパネル保持バー
（１０）の支えを離れる。同時に移載装置内の駆動ロー
ラー（３）が上昇することによってパネルを底面サポー
ト材（９）から駆動ローラー上で支え直し、ローラーの
駆動と浮上ユニットによってパネルをカセット内から、
側面非接触状態で排出する。 （ヘ）パネルを製造装置に装着する場合には、ロボット
のアームをカセット上面の切欠き部（Ｙ）に入れ、パネ
ルを縦方向で持ち上げて再び切欠き部（Ｙ）からカセッ
ト外に取り出し、処理が完了したパネルをカセットにも
戻す場合も、上面切込部（Ｙ）を利用して縦方向でパネ
ルを挿入することもできる。 （ト）固定型カセット（２３）へパネルを供給するの
と、カセットからロボットで取り出すためにパネル縦型
コンベヤ（２）にシフター（２０）を設け、所定のガラ
ス基板が来れば横スライドして、カセットの空いている
場所まで走行させる。シフターは搭載しているシフター
内コンベヤ（２８）と浮上ユニットによってパネル
（１）をカセットに送り込む。シフター（２０）が駆動
している間にメインコンベヤ（２’）の搬送が停滞しな
いようにシフター（２０）が移動すると同時にシフター
（２１）が（Ｃ）の位置からメインコンベヤ（２’）の
位置に移動する。 （チ）カセットではシフター（２０）の移動場所に昇
降、走行式浮上ユニット（６’）が横移動する。移動場
所途上にパネルがある場合には浮上ユニット（６’）は
昇降し所定の場所に移動する。シフターのコンベヤの駆
動と同期してカセット内コンベヤ（２９）も駆動してパ
ネルを引き取る。 （リ）ロボット（１４）はパネル保持バー（１０）の切
欠き部（Ｘ）から保持装置（１３）を出し入れする。パ
ネル保持用爪（２７）でパネルの荷重を支えると共にパ
ネル保持ピン（２６）でたわみを防止して、吸着ユニッ
ト（２５）で安定性を保持した状態で製造装置にパネル
を供給する。吸着ユニット（２５）とパネル保持ピンの
取り付け位置はパネルの大きさ、厚さによって上下、左
右自在に設定できる。 （ヌ）シフター（２０）とロボット（１４）は別々に動
作するので、移載のサイクルタイムが短くなる。また、
製造装置からパネルを取り出してメインコンベヤ
（２’）に載せる時は、この逆の動作をさせる。 （ル）シフター（２０）とカセット（２３）との間の移
載はシフターに伸縮式浮上ユニット（６’’）を採用し
て、シフター内コンベヤ（２８）とカセット内コンベヤ
（２９）を同時に駆動させてパネルを移載することもで
きる。この場合にはパネル保持バーには左右両側面に、
浮上ユニット（６’）とロボットの保持装置（１３）用
に切り欠部を設ける。
を転倒防止器（４）に保持されながら、移載装置本体
（５）に送られてくる。 （ロ）移載装置の駆動ローラー（３）はこの時上昇して
おり、パネル（１）は微細な無数の穴から空気を吹き出
す浮上ユニット（４，６）によって非接触で支えられな
がらローラーの駆動によりカセット（８）内へ案内され
る。この駆動ローラーの替わりに駆動ベルトを採用して
も同じ効果が得られる。 （ハ）パネルがカセット内の定位置に来れば、駆動ロー
ラー（３）を下降させ、パネルはカセットに取り付けら
れた底面サポート材（９）の上に置かれる。 （ニ）移載装置のシフト機構（１２）はＡ方向に一ピッ
チスライドするので、浮上ユニットで支えられていたガ
ラス基板は基板保持バー（１０）に支え替えられる。一
ピッチスライドしたことにより、次のパネルがカセット
に収納できる状態になる。 （ホ）カセットからパネルを取り出す時はシフト機構
（１２）によってカセットはＢの方向にスライドする。
このスライド動作によって浮上ユニット（６）は空気の
圧力でパネルを押すことになりパネルはパネル保持バー
（１０）の支えを離れる。同時に移載装置内の駆動ロー
ラー（３）が上昇することによってパネルを底面サポー
ト材（９）から駆動ローラー上で支え直し、ローラーの
駆動と浮上ユニットによってパネルをカセット内から、
側面非接触状態で排出する。 （ヘ）パネルを製造装置に装着する場合には、ロボット
のアームをカセット上面の切欠き部（Ｙ）に入れ、パネ
ルを縦方向で持ち上げて再び切欠き部（Ｙ）からカセッ
ト外に取り出し、処理が完了したパネルをカセットにも
戻す場合も、上面切込部（Ｙ）を利用して縦方向でパネ
ルを挿入することもできる。 （ト）固定型カセット（２３）へパネルを供給するの
と、カセットからロボットで取り出すためにパネル縦型
コンベヤ（２）にシフター（２０）を設け、所定のガラ
ス基板が来れば横スライドして、カセットの空いている
場所まで走行させる。シフターは搭載しているシフター
内コンベヤ（２８）と浮上ユニットによってパネル
（１）をカセットに送り込む。シフター（２０）が駆動
している間にメインコンベヤ（２’）の搬送が停滞しな
いようにシフター（２０）が移動すると同時にシフター
（２１）が（Ｃ）の位置からメインコンベヤ（２’）の
位置に移動する。 （チ）カセットではシフター（２０）の移動場所に昇
降、走行式浮上ユニット（６’）が横移動する。移動場
所途上にパネルがある場合には浮上ユニット（６’）は
昇降し所定の場所に移動する。シフターのコンベヤの駆
動と同期してカセット内コンベヤ（２９）も駆動してパ
ネルを引き取る。 （リ）ロボット（１４）はパネル保持バー（１０）の切
欠き部（Ｘ）から保持装置（１３）を出し入れする。パ
ネル保持用爪（２７）でパネルの荷重を支えると共にパ
ネル保持ピン（２６）でたわみを防止して、吸着ユニッ
ト（２５）で安定性を保持した状態で製造装置にパネル
を供給する。吸着ユニット（２５）とパネル保持ピンの
取り付け位置はパネルの大きさ、厚さによって上下、左
右自在に設定できる。 （ヌ）シフター（２０）とロボット（１４）は別々に動
作するので、移載のサイクルタイムが短くなる。また、
製造装置からパネルを取り出してメインコンベヤ
（２’）に載せる時は、この逆の動作をさせる。 （ル）シフター（２０）とカセット（２３）との間の移
載はシフターに伸縮式浮上ユニット（６’’）を採用し
て、シフター内コンベヤ（２８）とカセット内コンベヤ
（２９）を同時に駆動させてパネルを移載することもで
きる。この場合にはパネル保持バーには左右両側面に、
浮上ユニット（６’）とロボットの保持装置（１３）用
に切り欠部を設ける。
【０００６】［発明の効果］液晶ガラス基板などフラッ
トパネルはパネル水平方向にして２０枚程度をカセット
に入れて搬送しているが、パネルの大型化と薄型化によ
ってパネルが割れ易くなり、水平方向のハンドリングが
困難になってきている。本発明はパネルを縦向けにして
搬送及びハンドリングをするものであり、更に大型、薄
型化されるパネル加工も可能になる。また製造装置も枚
葉で処理するものが大半であり、本発明によって製造装
置に直接枚葉のパネルの供給と回収が可能となることに
よって、余分なパネルのバッファーを持つ必要がなくな
り、製造工程の流れが速くなる。また横向きのパネルを
縦向きにすることによって、搬送やハンドリングに要す
るスペースが大幅に削減できるので、高価なクリーンル
ームの投資額削減と工場クリーン化のための省エネルギ
ー化にも貢献する。本発明はフラットパネル縦型製造工
場には必要不可欠なバッファー及びハンドリング設備で
ある。
トパネルはパネル水平方向にして２０枚程度をカセット
に入れて搬送しているが、パネルの大型化と薄型化によ
ってパネルが割れ易くなり、水平方向のハンドリングが
困難になってきている。本発明はパネルを縦向けにして
搬送及びハンドリングをするものであり、更に大型、薄
型化されるパネル加工も可能になる。また製造装置も枚
葉で処理するものが大半であり、本発明によって製造装
置に直接枚葉のパネルの供給と回収が可能となることに
よって、余分なパネルのバッファーを持つ必要がなくな
り、製造工程の流れが速くなる。また横向きのパネルを
縦向きにすることによって、搬送やハンドリングに要す
るスペースが大幅に削減できるので、高価なクリーンル
ームの投資額削減と工場クリーン化のための省エネルギ
ー化にも貢献する。本発明はフラットパネル縦型製造工
場には必要不可欠なバッファー及びハンドリング設備で
ある。
【図１】搬送コンベヤとカセット移載装置の平面図であ
る。
る。
【図２】搬送コンベヤとカセット移載装置の正面図であ
る。
る。
【図３】カセット移載装置の側面図である。
【図４】カセットの斜視図である。
【図５】移載機構の全体平面図である。
【図６】カセットの側面図である。
【図７】移載機構別方法の全体平面図である。
【図８】カセット別方法の断面図である。
【図９】ロボットの側面図である。
【図１０】ロボットの保持装置の側面図である。
１はフラットパネルである。２はコンベヤ、２’はメイ
ンコンベヤである。３は駆動ローラーである。４は転倒
防止機である。５移載装置本体である。６は浮上ユニッ
トである。６’は昇降、走行式浮上ユニット６’’は伸
縮式浮上ユニットである。７は浮上ユニットのサポート
である。８はカセットである。９は底面サポート材であ
る。１０はパネル保持バーである。１１はローラー用穴
である。１２はシフト機構である。１３は保持装置であ
る。１４はロボットである。１５はロボット用台車であ
る。１６はロボット用レールである。１７は製造装置で
ある。２０、２１はシフターである。２２はシフターレ
ールである。２３はカセットである。２４はパネル保持
バー支え材である。２５は吸着ユニットである。２６は
パネル保持ピンである。２７はパネル保持用爪である。
２８はシフター内コンベヤである。２９はカセット内コ
ンベヤである。
ンコンベヤである。３は駆動ローラーである。４は転倒
防止機である。５移載装置本体である。６は浮上ユニッ
トである。６’は昇降、走行式浮上ユニット６’’は伸
縮式浮上ユニットである。７は浮上ユニットのサポート
である。８はカセットである。９は底面サポート材であ
る。１０はパネル保持バーである。１１はローラー用穴
である。１２はシフト機構である。１３は保持装置であ
る。１４はロボットである。１５はロボット用台車であ
る。１６はロボット用レールである。１７は製造装置で
ある。２０、２１はシフターである。２２はシフターレ
ールである。２３はカセットである。２４はパネル保持
バー支え材である。２５は吸着ユニットである。２６は
パネル保持ピンである。２７はパネル保持用爪である。
２８はシフター内コンベヤである。２９はカセット内コ
ンベヤである。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１
// Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ
Claims (4)
- 【請求項１】１ 液晶ガラス基板などフラットパネルを
上面、左右側面を保持バー、底面をサポート材によりパ
ネルを四面で支え、底面にはサポート材及び駆動ローラ
ー昇降用ローラー穴を設けたフラットパネル縦型カセッ
ト ２ カセット底面のローラー穴から突き出した駆動ロー
ラーと無数の微細穴から空気を吹き出すことによって非
接触でガラス基板を傾斜状態で側面を支える浮上ユニッ
トと、カセット全体がスライドすることによって複数枚
数のパネルをカセットに挿入、取り出しする移載装置。
以上のように構成されたカセットと移載装置 - 【請求項２】浮上ユニットによって支えながらフラット
パネルを縦向け搬送するコンベヤから、進行直角方向に
分岐させる同じく浮上ユニットとコンベヤを搭載したシ
フター。フラットパネルを置いた時に、縦向けの状態に
保つために上面と側面に切欠き部を設けた基板保持バー
及び、移送中に基板を縦向けに保持するための横行、昇
降機能を持った浮上ユニットと搬送コンベヤを備えた固
定型カセット。パネルを縦向けの状態で固定型カセット
に出し入れするロボット以上のように構成された移載装
置 - 【請求項３】コンベヤと伸縮式浮上ユニットを設けたシ
フターとパネルを縦向けの状態を保つために両側面に切
り欠き部を設けたパネル保持バーを備えた固定型カセッ
トとパネルを縦向けの状態で固定型カセットに出し入れ
するロボット以上のように構成された移載装置 - 【請求項４】フラットパネルの荷重を支えるパネル保持
用爪とその上部にたわみ防止用ピン及び吸着ユニットを
備えたハンドを持つ縦型フラットパネルロボット
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001317422A JP2003045935A (ja) | 2001-05-21 | 2001-09-10 | 液晶ガラス基板などフラットパネルの縦型カセット、シフター及びロボット |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001188850 | 2001-05-21 | ||
| JP2001-188850 | 2001-05-21 | ||
| JP2001317422A JP2003045935A (ja) | 2001-05-21 | 2001-09-10 | 液晶ガラス基板などフラットパネルの縦型カセット、シフター及びロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003045935A true JP2003045935A (ja) | 2003-02-14 |
Family
ID=26617375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001317422A Pending JP2003045935A (ja) | 2001-05-21 | 2001-09-10 | 液晶ガラス基板などフラットパネルの縦型カセット、シフター及びロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003045935A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100410750C (zh) * | 2003-06-17 | 2008-08-13 | 友达光电股份有限公司 | 承载翻转平台 |
| JP2009238904A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス板収納装置 |
| JP2010006545A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Ihi Corp | 分岐浮上コンベア及び基板浮上搬送システム |
| KR101600407B1 (ko) * | 2014-10-31 | 2016-03-07 | 주식회사 이 월드 | 디스플레이용 유리판재 세정기용 자동 공급장치 |
-
2001
- 2001-09-10 JP JP2001317422A patent/JP2003045935A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100410750C (zh) * | 2003-06-17 | 2008-08-13 | 友达光电股份有限公司 | 承载翻转平台 |
| JP2009238904A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス板収納装置 |
| JP2010006545A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Ihi Corp | 分岐浮上コンベア及び基板浮上搬送システム |
| KR101600407B1 (ko) * | 2014-10-31 | 2016-03-07 | 주식회사 이 월드 | 디스플레이용 유리판재 세정기용 자동 공급장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6039260B2 (ja) | 基板搬送システム | |
| US6755603B2 (en) | Apparatus for and method of transporting substrates to be processed | |
| JP3510463B2 (ja) | 基板の整列装置及び整列方法 | |
| JP5168594B2 (ja) | 基板搬送設備 | |
| JP2004284772A (ja) | 基板搬送システム | |
| TWI455862B (zh) | 裝載及卸載基板用之基板處理裝置和方法 | |
| CN106711072B (zh) | 搬送设备 | |
| CN101512747B (zh) | 基板运送装置以及基板运送方法 | |
| CN108290687B (zh) | 保管装置以及输送系统 | |
| JP4200387B2 (ja) | 搬送システム | |
| JP2008263004A (ja) | コンテナの受渡、留置、並びに供給装置。 | |
| JP2008098227A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2010093222A (ja) | 基板搬送設備 | |
| WO2008044340A1 (fr) | Dispositif de transfert de substrat | |
| JP2000031235A (ja) | 基体の移載装置及びその操作方法 | |
| JP2006347752A (ja) | 搬送システム | |
| JP2003045935A (ja) | 液晶ガラス基板などフラットパネルの縦型カセット、シフター及びロボット | |
| KR20130017443A (ko) | 기판 도포 장치, 부상식 기판 반송 장치 및 부상식 기판 반송 방법 | |
| JP2010241547A (ja) | 走行車システム | |
| JP2005089049A (ja) | 搬送システム | |
| JP2005064431A (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
| JP4192568B2 (ja) | 搬送システム | |
| KR102189288B1 (ko) | 다이 본딩 장치 | |
| JP3446158B2 (ja) | 基板搬送処理装置 | |
| JP5365303B2 (ja) | 走行車システム |