JPS6317728A - エア浮上式搬送装置 - Google Patents
エア浮上式搬送装置Info
- Publication number
- JPS6317728A JPS6317728A JP16011586A JP16011586A JPS6317728A JP S6317728 A JPS6317728 A JP S6317728A JP 16011586 A JP16011586 A JP 16011586A JP 16011586 A JP16011586 A JP 16011586A JP S6317728 A JPS6317728 A JP S6317728A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- air
- stopper pin
- comes
- recoil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005339 levitation Methods 0.000 title description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 6
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は物品の搬送装置に係り、特に下から噴射される
空気圧によって物品を浮上させながら搬送するようにし
た装置であって、ｔＣ検査用ハンドラにおけるＩＣの搬
送に用いて好適なエア浮上式搬送装置に関する。 Ｋ発明の概要】 本発明は、各種の物品をエア浮上させて搬送する装置に
おいて、浮上面に傾斜角をもたせ、その傾斜角とエアの
吹出し角とエアの吹出し流最とを任意に設定することに
より、搬送速度と停止時の衝撃力とをｖＡ整できるよう
にしたものであって、このような装置をＩＣ検査用ハン
ドラの搬送装置として用いることにより、ＩＣを所定の
搬送速度で搬送することができるとともに、衝撃力を加
えることなく所定の位置で停止させることが可能になる
。
空気圧によって物品を浮上させながら搬送するようにし
た装置であって、ｔＣ検査用ハンドラにおけるＩＣの搬
送に用いて好適なエア浮上式搬送装置に関する。 Ｋ発明の概要】 本発明は、各種の物品をエア浮上させて搬送する装置に
おいて、浮上面に傾斜角をもたせ、その傾斜角とエアの
吹出し角とエアの吹出し流最とを任意に設定することに
より、搬送速度と停止時の衝撃力とをｖＡ整できるよう
にしたものであって、このような装置をＩＣ検査用ハン
ドラの搬送装置として用いることにより、ＩＣを所定の
搬送速度で搬送することができるとともに、衝撃力を加
えることなく所定の位置で停止させることが可能になる
。
【従来の技術Ｉ
ＩＣ検査用ハンドラにおいては、検査を行なうためのＩ
Ｃを検査ステーションに供給する必要がある。このよう
なＩＣの搬送のために、従来は傾斜されたレールを用い
るようにしていた。また別の装置においては、ＩＣをパ
ーツフィーダによって供給するようにしたり、あるいは
また強制エアブロ−で移送するようにしていた。あるい
はまたエア浮上式の搬送装置を利用するようにしていた
。 Ｋ発明が解決しようこする問題点Σ 傾斜したレール上を滑らせてＩＣを供給する装置におい
ては、傾斜角度が小さいとＩＣの搬送がうまくいかない
ために、レールを３０’以上傾ける必要があった。従っ
て装置全体の高さ方向の寸法が大ぎくなる欠点が生ずる
ことになる。パーツフィーダや強制エアブロ−を用いる
場合には、平面的に搬送覆ることが可能になるが、送り
機構が複雑になる欠点がある。また強制エアブロ一方式
によれば、停止時に大きな衝撃が加わる欠点がある。ま
たエア浮上式の１般送装置によれば、ＩＣの搬送速度が
遅くなるという欠点がある。このような欠点を解消する
ためにエアの吹出し蚤を多くすることも考えられるが、
ＩＣのように軽い物品においては、流■の調整が非常に
難しくなる。 本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであっ
て、搬送速度を適当な値に設定することが可能になると
ともに、所定の位置で停止する場合に衝撃力を発生させ
ないようにしたエア浮上式搬送装置を提供することを目
的とするものである。 Ｋ問題点を解決するための手段】 本発明は、下から噴射される空気圧によって１め品を浮
上させながら搬送するようにした装置において、前記物
品の走行路を傾斜させ、前記物品の搬送方向上流側より
も下流側を低くしたものである。 Ｋ作用】 従って本発明によれば、空気の噴射量あるいは噴射方向
とともに、走行路の傾斜角を調整することによって搬送
速度を任意に設定することが可能になる。ざらに走行路
の傾斜角応じて停止時の衝撃力をも調整することが可能
になる。 Ｋ実施例】 以下本発明を図示の一実施例につき説明する。 第１図〜第３図は本発明の一実施例に係るＩＣ用のエア
浮上式搬送装置を示すものであって、半導体＋Ｃ検査用
ハンドラにおける搬送装置に関するものである。すなわ
ちＩＣ１０を搬送用レール１１によって搬送するように
した装置に関するものである。このレール１１は搬送方
向に長く延びるとともに、内部が中空になっており、空
気通路１２を０請えている。そしてこの通路１２の上面
に開放されるようにレール１１には通路１２と連通する
空気噴射口１３が形成されている。また通路１２に圧縮
空気を供給するための空気供給用金具１４がレール１１
の下面に取付けられている。レール１１の両側には第２
図および第３図に示すように、それぞれ側板１５が設け
られており、ＩＣｌ０の飛出しを防止している。またこ
のレール１１のＩＣ１０の停止位置にはストッパビン１
６が植設されている。 以上のような構成において、検査用基板のソケットに挿
入されるディップＩＣ１０はこの搬送装置によって供給
されるようになっており、第１図においてレール１１の
右端から左端に移動されるようになっている。そしてこ
のＩＣｌ０はレール１１の空気噴射口１３から噴射され
る空気によってレール１１の表面から浮上するようにな
っており、この状態においてレール１１の長さ方向に沿
って左方に移動するようになっている。この移動のため
の力は、噴射孔１３の傾斜角とレール１１それ自体の傾
斜角とによって決定されるようになっており、噴射孔１
３の角度を進行方向に傾斜させるに従ってＩＣ１０の搬
送速度が大きくなる。 またレール１１の傾斜角度を大きくすることによって、
ＩＣ１０の移動速度が高くなる。従ってこれらを調整す
ることによって、ＩＣ”ｔｏがレール１１に沿って移動
する移動速度を任意に調整することが可能になる。なお
この実施例においては、レール１１の傾斜角を５〜１０
’の範囲内に設定するようにしている。 このような搬送用レール１１によってエア浮上されて搬
送されるＩＣ１０は、所定の位置でストッパビン１６と
当接して停止されるようになっている。そしてこのスト
ッパビン１６はレール１１の中心に対して、第２図に示
すようにｅだけ偏って植設されており、これによって停
止時のＩＣｌ０の衝撃を小さくしている。すなわちスト
ッパビン１６が偏心しているために、ｌ０１０がこのビ
ン１６に当接すると、ＩＣ１０は第２図において鎖線で
示すように側方に回転モーメントを受けることになり、
これによってＩＣ１０の側面のり一ド１７がレール１１
または側板１５に当接し、このときの摩擦力によってＩ
Ｃ１０の跳返りを少なくしている。さらにストッパビン
１６は第１図に示すように、垂直に植設されており、レ
ール１１に対して角度αだけ傾いて設けられている。従
ってストッパビン１６はＩＣ１０の上縁の部分と１８触
することになり、これによってもＩＣ１０の跳返りが少
なくなる。従ってＩＣ１０はストッパビン１６に当接し
た位置において大きく跳返ることなく静かに停止し、こ
れによって正しく位置決めされることになる。 このように本実施例に係るＩＣ１０の搬送装置によれば
、レール１１それ自体の傾斜角と空気噴射孔１３の角度
とを調整することによって搬送速度と停止時の衝撃力と
を調整することが可能になる。またレール１１の幅方向
の中心に対して偏心するとともに、レール１１に対して
直角でなくαだけ傾いているストッパビン１６によって
確実に所定の位置で停止させてＩＣｌ０の位置決めを行
なうことが可能になる。またこのような装置によれば、
レール１１の傾斜角を小さく設定できるために、複数個
の検査ステーションを設けても、装置全体の高さ方向の
寸法を小さくすることが可能になる。 Ｋ発明の効果】 以上のように本発明は、エア浮上によって搬送される物
品の走行路全傾斜させ、物品の搬送方向上流側よりも下
流側を低くするようにしたものである。従ってこのよう
な構成によれば、重力を利用してエア浮上された物品を
搬送することが可能になり、しかも走行路の傾斜角を調
整することによって搬送速度の調整を行なうことが可能
になる。
Ｃを検査ステーションに供給する必要がある。このよう
なＩＣの搬送のために、従来は傾斜されたレールを用い
るようにしていた。また別の装置においては、ＩＣをパ
ーツフィーダによって供給するようにしたり、あるいは
また強制エアブロ−で移送するようにしていた。あるい
はまたエア浮上式の搬送装置を利用するようにしていた
。 Ｋ発明が解決しようこする問題点Σ 傾斜したレール上を滑らせてＩＣを供給する装置におい
ては、傾斜角度が小さいとＩＣの搬送がうまくいかない
ために、レールを３０’以上傾ける必要があった。従っ
て装置全体の高さ方向の寸法が大ぎくなる欠点が生ずる
ことになる。パーツフィーダや強制エアブロ−を用いる
場合には、平面的に搬送覆ることが可能になるが、送り
機構が複雑になる欠点がある。また強制エアブロ一方式
によれば、停止時に大きな衝撃が加わる欠点がある。ま
たエア浮上式の１般送装置によれば、ＩＣの搬送速度が
遅くなるという欠点がある。このような欠点を解消する
ためにエアの吹出し蚤を多くすることも考えられるが、
ＩＣのように軽い物品においては、流■の調整が非常に
難しくなる。 本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであっ
て、搬送速度を適当な値に設定することが可能になると
ともに、所定の位置で停止する場合に衝撃力を発生させ
ないようにしたエア浮上式搬送装置を提供することを目
的とするものである。 Ｋ問題点を解決するための手段】 本発明は、下から噴射される空気圧によって１め品を浮
上させながら搬送するようにした装置において、前記物
品の走行路を傾斜させ、前記物品の搬送方向上流側より
も下流側を低くしたものである。 Ｋ作用】 従って本発明によれば、空気の噴射量あるいは噴射方向
とともに、走行路の傾斜角を調整することによって搬送
速度を任意に設定することが可能になる。ざらに走行路
の傾斜角応じて停止時の衝撃力をも調整することが可能
になる。 Ｋ実施例】 以下本発明を図示の一実施例につき説明する。 第１図〜第３図は本発明の一実施例に係るＩＣ用のエア
浮上式搬送装置を示すものであって、半導体＋Ｃ検査用
ハンドラにおける搬送装置に関するものである。すなわ
ちＩＣ１０を搬送用レール１１によって搬送するように
した装置に関するものである。このレール１１は搬送方
向に長く延びるとともに、内部が中空になっており、空
気通路１２を０請えている。そしてこの通路１２の上面
に開放されるようにレール１１には通路１２と連通する
空気噴射口１３が形成されている。また通路１２に圧縮
空気を供給するための空気供給用金具１４がレール１１
の下面に取付けられている。レール１１の両側には第２
図および第３図に示すように、それぞれ側板１５が設け
られており、ＩＣｌ０の飛出しを防止している。またこ
のレール１１のＩＣ１０の停止位置にはストッパビン１
６が植設されている。 以上のような構成において、検査用基板のソケットに挿
入されるディップＩＣ１０はこの搬送装置によって供給
されるようになっており、第１図においてレール１１の
右端から左端に移動されるようになっている。そしてこ
のＩＣｌ０はレール１１の空気噴射口１３から噴射され
る空気によってレール１１の表面から浮上するようにな
っており、この状態においてレール１１の長さ方向に沿
って左方に移動するようになっている。この移動のため
の力は、噴射孔１３の傾斜角とレール１１それ自体の傾
斜角とによって決定されるようになっており、噴射孔１
３の角度を進行方向に傾斜させるに従ってＩＣ１０の搬
送速度が大きくなる。 またレール１１の傾斜角度を大きくすることによって、
ＩＣ１０の移動速度が高くなる。従ってこれらを調整す
ることによって、ＩＣ”ｔｏがレール１１に沿って移動
する移動速度を任意に調整することが可能になる。なお
この実施例においては、レール１１の傾斜角を５〜１０
’の範囲内に設定するようにしている。 このような搬送用レール１１によってエア浮上されて搬
送されるＩＣ１０は、所定の位置でストッパビン１６と
当接して停止されるようになっている。そしてこのスト
ッパビン１６はレール１１の中心に対して、第２図に示
すようにｅだけ偏って植設されており、これによって停
止時のＩＣｌ０の衝撃を小さくしている。すなわちスト
ッパビン１６が偏心しているために、ｌ０１０がこのビ
ン１６に当接すると、ＩＣ１０は第２図において鎖線で
示すように側方に回転モーメントを受けることになり、
これによってＩＣ１０の側面のり一ド１７がレール１１
または側板１５に当接し、このときの摩擦力によってＩ
Ｃ１０の跳返りを少なくしている。さらにストッパビン
１６は第１図に示すように、垂直に植設されており、レ
ール１１に対して角度αだけ傾いて設けられている。従
ってストッパビン１６はＩＣ１０の上縁の部分と１８触
することになり、これによってもＩＣ１０の跳返りが少
なくなる。従ってＩＣ１０はストッパビン１６に当接し
た位置において大きく跳返ることなく静かに停止し、こ
れによって正しく位置決めされることになる。 このように本実施例に係るＩＣ１０の搬送装置によれば
、レール１１それ自体の傾斜角と空気噴射孔１３の角度
とを調整することによって搬送速度と停止時の衝撃力と
を調整することが可能になる。またレール１１の幅方向
の中心に対して偏心するとともに、レール１１に対して
直角でなくαだけ傾いているストッパビン１６によって
確実に所定の位置で停止させてＩＣｌ０の位置決めを行
なうことが可能になる。またこのような装置によれば、
レール１１の傾斜角を小さく設定できるために、複数個
の検査ステーションを設けても、装置全体の高さ方向の
寸法を小さくすることが可能になる。 Ｋ発明の効果】 以上のように本発明は、エア浮上によって搬送される物
品の走行路全傾斜させ、物品の搬送方向上流側よりも下
流側を低くするようにしたものである。従ってこのよう
な構成によれば、重力を利用してエア浮上された物品を
搬送することが可能になり、しかも走行路の傾斜角を調
整することによって搬送速度の調整を行なうことが可能
になる。
第１図は本発明の一実施例に係るエア浮上式Ｉｃｌ！２
送装置を示す正面図、第２図は同平面図、第３図は第２
図における■〜■線断面図である。 なお図面に用いた符号において、 １０・・・ディップＩＣ １１・・・搬送用レール １２・・・空気通路 １３・・・空気噴射孔 １５・・・側板 １６・・・ストッパビン である。
送装置を示す正面図、第２図は同平面図、第３図は第２
図における■〜■線断面図である。 なお図面に用いた符号において、 １０・・・ディップＩＣ １１・・・搬送用レール １２・・・空気通路 １３・・・空気噴射孔 １５・・・側板 １６・・・ストッパビン である。
Claims (1)
- 下から噴射される空気圧によつて物品を浮上させながら
搬送するようにした装置において、前記物品の走行路を
傾斜させ、前記物品の搬送方向上流側よりも下流側を低
くしたことを特徴とするエア浮上式搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16011586A JPS6317728A (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | エア浮上式搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16011586A JPS6317728A (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | エア浮上式搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6317728A true JPS6317728A (ja) | 1988-01-25 |
Family
ID=15708183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16011586A Pending JPS6317728A (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | エア浮上式搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6317728A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0395649U (ja) * | 1990-01-12 | 1991-09-30 | ||
| JP2011178560A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-09-15 | Eiko Sangyo Kk | チップ部品の整列供給装置 |
-
1986
- 1986-07-07 JP JP16011586A patent/JPS6317728A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0395649U (ja) * | 1990-01-12 | 1991-09-30 | ||
| JP2011178560A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-09-15 | Eiko Sangyo Kk | チップ部品の整列供給装置 |
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