JPH05175637A - エッチング装置 - Google Patents
エッチング装置Info
- Publication number
- JPH05175637A JPH05175637A JP34515091A JP34515091A JPH05175637A JP H05175637 A JPH05175637 A JP H05175637A JP 34515091 A JP34515091 A JP 34515091A JP 34515091 A JP34515091 A JP 34515091A JP H05175637 A JPH05175637 A JP H05175637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printed wiring
- wiring board
- jig
- disk
- shaped jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリント配線板の表裏全面に渡って均一にエ
ッチング液を供給して、回路パターン形成の高精度化を
図ることを目的としている。 【構成】 本発明は、プリント配線板１２を保持する円
盤状治具１１と、この円盤状治具１１を起立姿勢で回転
しつつ搬送する治具回転搬送機構（上下レール２１、２
２および回転ローラ２３）と、この治具回転搬送機構に
より搬送中の円盤状治具１１に保持されたプリント配線
板１２の両面にエッチング液を噴霧するエッチング液噴
霧装置２４とを具備してなる。
ッチング液を供給して、回路パターン形成の高精度化を
図ることを目的としている。 【構成】 本発明は、プリント配線板１２を保持する円
盤状治具１１と、この円盤状治具１１を起立姿勢で回転
しつつ搬送する治具回転搬送機構（上下レール２１、２
２および回転ローラ２３）と、この治具回転搬送機構に
より搬送中の円盤状治具１１に保持されたプリント配線
板１２の両面にエッチング液を噴霧するエッチング液噴
霧装置２４とを具備してなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板の製造
において用いられるエッチング装置に関する。
において用いられるエッチング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、プリント配線板における回路パタ
ーンの高密度化、微細化が進み、これに伴いパターン形
成の高精度化が強く求められている。例えば最近では 1
00μｍ程度のパターン幅を持つプリント配線板も出現し
ており、目的の特性インピーダンスを得るには誤差を少
なくとも±10％以内に押さえる必要がある。
ーンの高密度化、微細化が進み、これに伴いパターン形
成の高精度化が強く求められている。例えば最近では 1
00μｍ程度のパターン幅を持つプリント配線板も出現し
ており、目的の特性インピーダンスを得るには誤差を少
なくとも±10％以内に押さえる必要がある。
【０００３】ところで、従来からプリント配線板へのパ
ターン形成に用いられるエッチング装置は、図４に示す
ように、コンベアローラ１の上でプリント配線板２を水
平方向に運び、上下のスプレーノズル３よりプリント配
線板２の両面にエッチング液を吹き付ける形式のものが
主流である。
ターン形成に用いられるエッチング装置は、図４に示す
ように、コンベアローラ１の上でプリント配線板２を水
平方向に運び、上下のスプレーノズル３よりプリント配
線板２の両面にエッチング液を吹き付ける形式のものが
主流である。
【０００４】しかしながら、このようなエッチング装置
では、図５に示すように、プリント配線板２の上面中央
部にエッチング液の滞留部分４ができ、この部分４での
エッチング液の流れが悪くなると言った事態が起こる。
この結果、エッチング液の供給が比較的良好なプリント
配線板２の下面や滞留部分４以外の上面部分との間でエ
ッチング量にバラツキが生じ、パターン形成の高精度化
が極めて困難になる。
では、図５に示すように、プリント配線板２の上面中央
部にエッチング液の滞留部分４ができ、この部分４での
エッチング液の流れが悪くなると言った事態が起こる。
この結果、エッチング液の供給が比較的良好なプリント
配線板２の下面や滞留部分４以外の上面部分との間でエ
ッチング量にバラツキが生じ、パターン形成の高精度化
が極めて困難になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のエ
ッチング装置では、プリント配線板の表裏全面に渡って
均一にエッチングを行うことが難しく、回路パターンの
高密度化、微細化に十分に対応できないと言う問題があ
った。
ッチング装置では、プリント配線板の表裏全面に渡って
均一にエッチングを行うことが難しく、回路パターンの
高密度化、微細化に十分に対応できないと言う問題があ
った。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、プリント配線板の表裏全面に渡って均一にエッ
チング液を供給して、回路パターン形成の高精度化を図
ることのできるエッチング装置の提供を目的としてい
る。
もので、プリント配線板の表裏全面に渡って均一にエッ
チング液を供給して、回路パターン形成の高精度化を図
ることのできるエッチング装置の提供を目的としてい
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のエッチング装置
は上記した目的を達成するために、プリント配線板を保
持する円盤状治具と、この円盤状治具を起立姿勢で回転
しつつ搬送する治具回転搬送機構と、この治具回転搬送
機構により搬送中の前記円盤状治具に保持されたプリン
ト配線板の両面にエッチング液を噴霧するエッチング液
噴霧装置とを具備している。
は上記した目的を達成するために、プリント配線板を保
持する円盤状治具と、この円盤状治具を起立姿勢で回転
しつつ搬送する治具回転搬送機構と、この治具回転搬送
機構により搬送中の前記円盤状治具に保持されたプリン
ト配線板の両面にエッチング液を噴霧するエッチング液
噴霧装置とを具備している。
【０００８】
【作用】本発明では、プリント配線板を保持する円盤状
治具を起立姿勢で回転しつつ搬送し、その過程でプリン
ト配線板の両面にエッチング液を噴霧することにより、
プリント配線板の両面に吹き付けられたエッチング液
は、重力落下によってプリント配線板の表面に滞留する
ことなく、しかもプリント配線板そのものの回転によっ
てプリント配線板の表裏全面に渡ってむらなく供給さ
れ、この結果、回路パターン形成の高精度化を図ること
ができる。
治具を起立姿勢で回転しつつ搬送し、その過程でプリン
ト配線板の両面にエッチング液を噴霧することにより、
プリント配線板の両面に吹き付けられたエッチング液
は、重力落下によってプリント配線板の表面に滞留する
ことなく、しかもプリント配線板そのものの回転によっ
てプリント配線板の表裏全面に渡ってむらなく供給さ
れ、この結果、回路パターン形成の高精度化を図ること
ができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１０】図１は本発明に係る一実施例のエッチング
装置の構成を示す側面図、図２は図１をＡ方向からみた
側面図である。
装置の構成を示す側面図、図２は図１をＡ方向からみた
側面図である。
【００１１】これらの図において、１１はプリント配線
板１２を着脱自在に保持した円盤状の治具を示してい
る。この円盤状治具１１は、図３に示すように、プリン
ト配線板１２を嵌め込むための嵌込開口部１３を有する
治具本体１４と、嵌込開口部１３にプリント配線板１２
を固定するためのクランパ１５と、クランパ１５を図中
矢印方向にスライド移動させるためのスクリューネジ１
６とから構成されている。 また図１および図２におい
て、２１、２２はそれぞれ円盤状治具１１を上下から挟
み込んで起立姿勢でＡ方向に搬送するための上レールお
よび下レールであり、それぞれ円盤状治具１１の端部を
飲み込んで円盤状治具１１の横倒れを阻止できるようＵ
字状断面部分を有して構成されている。そして下レール
２２は図示しないレール駆動系により所定の旋回経路に
沿って矢印Ｂ方向にエンドレス走行するよう構成されて
いる。さらにこの下レール２２には、搬送中の円盤状治
具１１を回転させるための複数の回転ローラ２３が一定
の間隔を置いて取り付けられている。これらの回転ロー
ラ２３はいずれも円盤状治具１１をＣ方向に所定速度で
回転すべく図示しないローラ駆動系によってＤ方向に回
転駆動されるようになっている。これにより、円盤状治
具１１を起立姿勢で回転しつつ搬送する治具回転搬送機
構が構成されている。
板１２を着脱自在に保持した円盤状の治具を示してい
る。この円盤状治具１１は、図３に示すように、プリン
ト配線板１２を嵌め込むための嵌込開口部１３を有する
治具本体１４と、嵌込開口部１３にプリント配線板１２
を固定するためのクランパ１５と、クランパ１５を図中
矢印方向にスライド移動させるためのスクリューネジ１
６とから構成されている。 また図１および図２におい
て、２１、２２はそれぞれ円盤状治具１１を上下から挟
み込んで起立姿勢でＡ方向に搬送するための上レールお
よび下レールであり、それぞれ円盤状治具１１の端部を
飲み込んで円盤状治具１１の横倒れを阻止できるようＵ
字状断面部分を有して構成されている。そして下レール
２２は図示しないレール駆動系により所定の旋回経路に
沿って矢印Ｂ方向にエンドレス走行するよう構成されて
いる。さらにこの下レール２２には、搬送中の円盤状治
具１１を回転させるための複数の回転ローラ２３が一定
の間隔を置いて取り付けられている。これらの回転ロー
ラ２３はいずれも円盤状治具１１をＣ方向に所定速度で
回転すべく図示しないローラ駆動系によってＤ方向に回
転駆動されるようになっている。これにより、円盤状治
具１１を起立姿勢で回転しつつ搬送する治具回転搬送機
構が構成されている。
【００１２】またこの治具回転搬送機構の両サイドに
は、搬送中の円盤状治具１１に保持されたプリント配線
板１２の両面にエッチング液を噴霧するエッチング液噴
霧装置２４が配置されている。このエッチング液噴霧装
置２４は、垂直方向に複数のスプレーノズル２５を並設
してなるエッチング液噴霧ユニット２６を、適当な間隔
を置いて複数配設してなっている。
は、搬送中の円盤状治具１１に保持されたプリント配線
板１２の両面にエッチング液を噴霧するエッチング液噴
霧装置２４が配置されている。このエッチング液噴霧装
置２４は、垂直方向に複数のスプレーノズル２５を並設
してなるエッチング液噴霧ユニット２６を、適当な間隔
を置いて複数配設してなっている。
【００１３】しかして、このエッチング装置において、
治具回転搬送機構に起立姿勢で載せられた円盤状治具１
１は、回転ローラ２３によって回転されながらＡ方向に
搬送され、その搬送過程でエッチング液噴霧装置２４か
らのエッチング液がプリント配線板１２の両面に吹き付
けられてエッチングが行われる。
治具回転搬送機構に起立姿勢で載せられた円盤状治具１
１は、回転ローラ２３によって回転されながらＡ方向に
搬送され、その搬送過程でエッチング液噴霧装置２４か
らのエッチング液がプリント配線板１２の両面に吹き付
けられてエッチングが行われる。
【００１４】したがって、プリント配線板１２の両面に
吹き付けられたエッチング液は、重力落下によってプリ
ント配線板１２の表面に滞留することなく、しかもプリ
ント配線板１２そのものの回転によってプリント配線板
１２の表裏全面に渡ってむらなく供給され、この結果、
エッチング量のバラツキがなくなって高精度な回路パタ
ーン形成を行うことができ、回路パターンの高密度化、
微細化に対応することができる。
吹き付けられたエッチング液は、重力落下によってプリ
ント配線板１２の表面に滞留することなく、しかもプリ
ント配線板１２そのものの回転によってプリント配線板
１２の表裏全面に渡ってむらなく供給され、この結果、
エッチング量のバラツキがなくなって高精度な回路パタ
ーン形成を行うことができ、回路パターンの高密度化、
微細化に対応することができる。
【００１５】なお、この実施例では、プリント配線板１
２を一つ一つ保持する円盤状治具１１を用いたが、同時
に複数のプリント配線板を保持できる円盤状治具を用い
てもよい。
２を一つ一つ保持する円盤状治具１１を用いたが、同時
に複数のプリント配線板を保持できる円盤状治具を用い
てもよい。
【００１６】さらに、治具回転搬送機構についても本発
明はこの実施例の構成に限定されるものではなく、円盤
状治具を起立姿勢で回転しつつ搬送できればどのような
構成にしてもかまわない。
明はこの実施例の構成に限定されるものではなく、円盤
状治具を起立姿勢で回転しつつ搬送できればどのような
構成にしてもかまわない。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明のエッチング
装置によれば、プリント配線板を保持する円盤状治具を
起立姿勢で回転しつつ搬送し、その過程でプリント配線
板の両面にエッチング液を噴霧することにより、プリン
ト配線板の表裏全面に渡って均一にエッチング液を供給
することが可能になり、回路パターン形成の高精度化を
図ることができる。
装置によれば、プリント配線板を保持する円盤状治具を
起立姿勢で回転しつつ搬送し、その過程でプリント配線
板の両面にエッチング液を噴霧することにより、プリン
ト配線板の表裏全面に渡って均一にエッチング液を供給
することが可能になり、回路パターン形成の高精度化を
図ることができる。
【図１】本発明に係る一実施例のエッチング装置の構成
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図２】図１のエッチング装置をＡ方向からみた側面図
である。
である。
【図３】図１のエッチング装置にて用いられる円盤状治
具の構成を示す平面図および断面図である。
具の構成を示す平面図および断面図である。
【図４】従来のエッチング装置の構成を示す側面図であ
る。
る。
【図５】従来のエッチング装置の問題点を説明するため
の側面図である。
の側面図である。
１１……円盤状治具 １２……プリント配線板 ２１……上レール ２２……下レール ２３……回転ローラ ２４……エッチング液噴霧装置
Claims (1)
- 【請求項１】 プリント配線板を保持する円盤状治具
と、この円盤状治具を起立姿勢で回転しつつ搬送する治
具回転搬送機構と、この治具回転搬送機構により搬送中
の前記円盤状治具に保持されたプリント配線板の両面に
エッチング液を噴霧するエッチング液噴霧装置とを具備
することを特徴とするエッチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34515091A JPH05175637A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | エッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34515091A JPH05175637A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | エッチング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05175637A true JPH05175637A (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=18374621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34515091A Withdrawn JPH05175637A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | エッチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05175637A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3186505U (ja) * | 2013-07-29 | 2013-10-10 | 揚博科技股▲ふん▼有限公司 | 回転機構を有する回路板挟持治具 |
| WO2019020318A1 (de) * | 2017-07-26 | 2019-01-31 | Gebr. Schmid Gmbh | Verfahren, vorrichtung und anlage zur leiterplattenherstellung |
| KR102253343B1 (ko) * | 2021-01-15 | 2021-05-18 | 위폼스 주식회사 | 회전지그와 수직 로딩식 에칭장치를 이용한 마스크시트용 에칭 시스템 |
| KR102245786B1 (ko) * | 2021-01-15 | 2021-05-24 | 위폼스 주식회사 | 마스크시트의 수직 로딩 구조와 옆측(Side) 약액 분사구조를 갖는 웹 에칭장치 |
| KR102284937B1 (ko) * | 2021-05-10 | 2021-08-04 | 위폼스 주식회사 | 압조절 노즐과 수직 로딩 방식을 이용한 메탈 마스크용 스텝별 에칭방법 |
| JP2022541862A (ja) * | 2020-06-30 | 2022-09-28 | 東莞宇宙電路板設備有限公司 | 表面処理機器 |
-
1991
- 1991-12-26 JP JP34515091A patent/JPH05175637A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3186505U (ja) * | 2013-07-29 | 2013-10-10 | 揚博科技股▲ふん▼有限公司 | 回転機構を有する回路板挟持治具 |
| WO2019020318A1 (de) * | 2017-07-26 | 2019-01-31 | Gebr. Schmid Gmbh | Verfahren, vorrichtung und anlage zur leiterplattenherstellung |
| DE102017212887A1 (de) * | 2017-07-26 | 2019-01-31 | Gebr. Schmid Gmbh | Verfahren, Vorrichtung und Anlage zur Leiterplattenherstellung |
| CN111133846A (zh) * | 2017-07-26 | 2020-05-08 | 吉布尔·施密德有限责任公司 | 用于制造电路板的方法、装置和设备 |
| JP2020528219A (ja) * | 2017-07-26 | 2020-09-17 | ゲブリューダー シュミット ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 印刷回路板を製造するための方法、装置及びシステム |
| US11963306B2 (en) | 2017-07-26 | 2024-04-16 | Gebr. Schmid Gmbh | Apparatus for manufacturing printed circuit boards |
| JP2022541862A (ja) * | 2020-06-30 | 2022-09-28 | 東莞宇宙電路板設備有限公司 | 表面処理機器 |
| KR102253343B1 (ko) * | 2021-01-15 | 2021-05-18 | 위폼스 주식회사 | 회전지그와 수직 로딩식 에칭장치를 이용한 마스크시트용 에칭 시스템 |
| KR102245786B1 (ko) * | 2021-01-15 | 2021-05-24 | 위폼스 주식회사 | 마스크시트의 수직 로딩 구조와 옆측(Side) 약액 분사구조를 갖는 웹 에칭장치 |
| KR102284937B1 (ko) * | 2021-05-10 | 2021-08-04 | 위폼스 주식회사 | 압조절 노즐과 수직 로딩 방식을 이용한 메탈 마스크용 스텝별 에칭방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |