JPS5943712A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 ２　−・・ 本発明は、シリコンやセラミックなどの集積回路基板の
搬送装置に関するもの−て・ある。

従来例の構成とその問題点 従来、基板搬送装置としては、第１図に示ず丸ベルト式
搬送装置、第２図に示すエアー浮−に式搬送装置、第３
図に示す平ベルト式搬送装置などがある０しかし、第１
図に示す丸ベルト式搬送装置では、基板１を矢印入方向
に搬送するために、モーター２の駆動力を駆動プーリ３
および丸ベルト４、プーリ６に伝達し、丸ベル）６ａ及
び６ｂを動作させるものである。しかし、この搬送装置
では、ベル）６ａ、５ｂの速度差などにより基板１が蛇
行するのを防止するためにガイド板７ａ、７ｂをもうけ
ているが、基板１の端面が、ガイド板γａ、７ｂに接触
することにより基板１またはガイド板７ａ　、７ｂの摩
耗粉が発生し、基板１」二に構成する集積回路上に摩耗
粉がのることにより、工程上の不良要因となるなど不具
合いを生じている。

また、第２図に示すエアー浮上式搬送装置では基板１を
矢印入方向に搬送するために、搬送プレ゛３７、−　・ −１・１１に設（／１られた給気穴１２〜１７に所定の
圧力のクリーンエアー　（又はＮ２ガス）を供給し２、
搬送プｌ／−１−１１上の気孔１８からクリーンエア〜
を噴出することに」：す、基板１を浮子させる。

気孔１８は基板１の血性方向に対し傾斜してよ、・す、
斗た給気穴１２，１３及び１６，１了に連通ずる気孔１
８ば、搬送プレート１１の中心方向に傾斜［−２でよｘ
す、基板１の蛇行を防１１−１するものである。

しかし、この装置では、基板１の平面度が高くなければ
ならなく、例えば基板１のソリが０．３ｍｍを越えれば
浮−１−：させることは困難となる。−１だ、浮−１−
搬送さ拷るためには多計のクリーンエアーを消費するた
め経済的な搬送装置とはいえんいなどの問題がある。

さらに、第３図に示す乎ベル！・式搬送装置では、基板
１を矢印入方向に搬送するためにドラノ、２１を駆動す
ることにＪ：り甲ベルト２２を動作する力東−１−記の
基板の蛇行、ソリ、経済性などの問題に’、、ｆ’ｌＦ
決されるが、ドラム２１．平ベルト２２との間で摩ＰＬ
粉が発生（７やＪ“く、半ベルト自身の蛇行が発生する
可能Ｖ［かあり、理想的な搬送装置とｉ−，１いえない
。

発明の目的 本発明の第１の目的は、基板搬送中の基板の蛇行を防出
することである。−また、他の目的を３１基イ反の接触
、摩耗による摩耗粉の発生を防出することである。さら
に他の目的は、基板裏面の４と触の少ない搬送装置を４
是（ＪＵすることである。さらに仙１１７）目的は、基
板の反りに影響されない、原動イ？用の少ない搬送装置
を提供することである。ｌＮらに他の目的に一１塵（ダ
スト）の発生のない搬送装置を提供することである。

本発明の構成 本発明は複数本の細いベルトを使用したベルト式搬送装
置において、ぞれぞれのベルトに相７１的な速度差をも
たせ、基板の進行方向ζｌこ対し、横方向の速度分力を
発生させることにより、基板の蛇行防止をねらい、さら
に前記の問題を解決し７よ１）とするものである。

実施例の説明 ５ページ 以ド、実施例にもとづき、具体的に詳（７く説明する。

第４図、第５図においで、板厚１゜１５ｍｍのセラミッ
クの基板１は、矢印入方向に進めるべく配置され−て−
いる。外径４ｍｍの丸べ／ｌ／）３１，３２゜３３．３
４は、イｉ−＋それ駆動側プーリ３５，３６゜３７．３
８及び従動側プーリ３９，４０，４１゜４２の間でかけ
られている。駆動側プーリ３６ば１１１１ｂ受４３で受
げられており、駆動側プーリ３６゜３７は、軸受４４で
受Ｃ１られている。′ｉた駆動側プーリ３８は軸受４５
で受けらねでいる０従動側ゾーリ３９．４０，４１．４
２は共通軸４６のまわりに回転できるように取付けら、
ｆｌており、共通軸４６は、両端を軸受４了、４８で受
けられている。１に１駆動側グーリ３Ｅ５，３了、３８
は、そＪｌぞノ１丸ベル１４９．６０．６１を介し７て
、モーター６２に連結された軸５３に取（ｑけられたプ
、−り５４，５６．５６にかけられている。、モーター
６２による回転駆動力は、軸６３に伝達され丸ベル１−
４９．５０．５１により丸ベルト３１，３２゜３３．３
４を駆動する。このとき、軸５３に敗（＝Ｊけら７また
プーリ５５の外径に対１２、外ｌｌ１ｌＩＬＯ，Ｉ）−
プーリ５４．５６の外径が約１．３ノくきぐ設定食Ｉｔ
、、　−（；Ｉ−、・す、これに二より、丸ベルト６０
よりイｓ　、−１１１、ベノｖ　ｌ−４９。

５１の方が速度が高く、ｉ〜だが一ノーで、丸へ／１．
１．３２．３３に対し、丸ベルＩ・３１．３４の方が速
度か高くなる。通常、基板１は、丸べｔＬ□□　）　３
２　、３３により裏面を受けて搬送さ７′するが、例え
ば、丸ベルト３２と３３のわずかな速度差や、基板１の
裏面での丸ベル）３２．３３との接触の具合により、基
板１は横方向へ蛇行するが、蛇行が犬きぐなると、基板
１は第６図のように、外側の丸ベルト３１に乗り移る。

ところが、外側の丸ベルト３１の速度は中央側の丸ベル
１−３２．３３よりも約１．３倍高いために、基板１の
丸ベノ１川・３１に乗り［、げている部分は、中央より
も速くすすめらｆｌ　ｌｉらとする／こめに、基板１を
、矢印Ｂ方向に回転させることになり、基板１の先端を
中央に寄せることになる。このように、基板１が横ヘズ
レようとすると、丸ベルト３１及び、３４により中央へ
寄１！る働きをするのである。

第７図（σ１、中り４の丸ベルＩ・６１．６２に対し、
外側の↓レベル）６３．６４の相対速度を高１１／）る
別の実ＭＩＩ例り′示すもの−Ｃ１中夫の丸ベルト＋３
１．６２、Ｉ、りも外側の丸ベル１−６３．６４の径を
小さり［７、プーリ６６．６６よりも、プーリ６了、６
８の外径を人きくすることにより、丸ベノＬトロ３　、
６４の速度を中央の丸ベルト６１．６２よりも高めるこ
とが可能となる。

ｊｉ：／、−、、第８図は、さらに別の実施例で、中央
の丸ベル１−７１．了２に対し、外側の丸ベルト７３、
了４を、駆動するブーり７了、７８の径を、フパ一り了
６．了６よりも大きくすることにより、ベル１−７１．
７２よりも外側のベルト７３．７４の相対速度を高めた
ものである。さらに、本発明は例ぐ−ば平ベルトなどの
変形も包含するものである。

発明の効果 以−１−により、本発明の効果と１〜で、ベルト搬送に
おいて、複数列のベルトの相対速度差を生じさせること
により基板の側面のガイドなしに、蛇行を修正する搬送
装置を初供し、埃や塵を嫌う半導体集積回路基体１なと
の搬送の改善に大きな貢献をするものである。また２、
原動費用が少なく、例えば１　ｍｍｌ程度の大きな反り
のある基板に対しても実用に酎える搬送装置を得供する
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す丸ベルト式搬送装置の斜視図、第
２図に１、従来例を示す上アー浮１−６氏搬送装置の斜
視図、第３図は従来例を示寸・１′ベルト式搬断面図、
第６図は同基板蛇行修１１：、の態様を小−Ｊ′乎面図
、第７図、第８図は他の実施例を示す断面図である。 １…・Ｍ＆ｆ、２・川・・モルタ−，３，４・・・・・
・丸ベルト、６・・・・・・プーリ、８．６ａ・・・・
・丸ベル１・、了、了ａ・・・・・・ガイド板、１１・
・・・・・搬送フＬ／−ｌ−，１２〜１７・・・・・・
給気穴、１８・・・・気孔、２１・・・・・ドラム、２
２・・・・・・乎ベルト、３１，３２，３３．３４・・
・・・・丸ベルｌ゛、３６〜３日・・・・・・駆動側プ
ーリ、３９〜４２パ°・・従動側プーリ、４３〜４６・
・・・軸受、９べ・−ジ ４６・・・・・・共通軸、４γ、４８・・・・軸受、４
９〜５１・・・　丸ベルト、５２・・・・モーター、６
３・・・佃１．５４〜６６・・・　プーリ、６１〜６４
・・・・・、丸ベルト、６５〜６８・・・・・・７”Ｊ
、７１〜ア４・・・・・・丸ベル１・、７５〜７８・・
・・・プーリ。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第６図 第７図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）基板の進行方向に対し、基板巾よりも広く並列に
   配置した複数個のベルト式コンベアと、前記複数個のベ
   ルト式コンベアを駆動する駆動手段と、前記複数個のベ
   ルト式コンベアの基板搬送中心に対して、基板巾よりも
   狭い側に位置するベルト式コンベアと基板ｌ〕よシも広
   い側に位置するベルト式コンベアとの相対速度を変える
   手段を有する基板搬送装置。 （２１前記複数個のベルト式コンベアの相対速度を変え
   る手段は、外径の異なる中間プーリからなる特許請求の
   範囲第１項記載の基板搬送装置。 （３）前記複数個のベルト式コンベアの相対速度を変え
   る手段は外径の異なるコンベア駆動プーリからなる特許
   請求の範囲第１項記載の基板搬送装置。