JP2014162566A - 基板搬送装置及び基板搬送処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各下部サポート部材23おける下部搬送ベルト51の上側部分に対応する位置に下部ベルトガイド73が設けられ、各下部ベルトガイド73の下部支持面73fに下部搬送ベルト51の上側部分に向かって空気を噴射する複数の下部ノズル孔81が開口形成され、各上部サポート部材25における上部搬送ベルト57の下側部分に対応する位置に上部ベルトガイド83が設けられ、各上部ベルトガイド83の上部支持面83fに上部搬送ベルト57の下側部分に向かって空気を噴射する複数の上部ノズル孔89が開口形成されていること。
【選択図】 図1
Description
本発明の第1実施形態について図1から図8を参照して説明する。なお、図面に示すとおり、「FF」は、前方向、「FR」は、後方向、「R」は、右方向、「L」は、左方向である。
本発明の第1実施形態の変形例について図9を参照して説明する。なお、図面に示すとおり、「FF」は、前方向、「FR」は、後方向、「R」は、右方向、「L」は、左方向である。
本発明の第2実施形態について図10及び図11を参照して説明する。なお、図面に示すとおり、「FF」は、前方向、「FR」は、後方向、「R」は、右方向、「L」は、左方向である。
15 基板処理装置
17 上流側の基板搬送装置
19 下流側の基板搬送装置
21 装置ベース
23 下部サポート部材
25 上部サポート部材
27 第1連結リンク
33 第2連結リンク
47 下部ローラ
51 下部搬送ベルト
53 上部ローラ
57 上部搬送ベルト
67 共通の走行モータ
73 下部ベルトガイド
73f 下部ベルトガイドの下部支持面
77 下部チャンバー
79 空気供給源
81 下部ノズル孔
83 上部ベルトガイド
83f 上部ベルトガイドの上部支持面
87 上部チャンバー
89 上部ノズル孔
91 リブ
93 強化繊維
95 リブ
97 強化繊維
99 基板搬送装置
101 下部補助ローラ
103 下部金属ベルト
105 上部補助ローラ
107 上部金属ベルト
Claims (9)
- シート状の基板を搬送方向へ搬送する基板搬送装置において、
装置ベースに前記搬送方向に直交する搬送幅方向に離隔して立設された一対のサポート部材と、
各サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数のローラと、
各複数のローラに巻回され、少なくとも上側部分が前記搬送方向へ延びてあって、基板の幅方向の端部を支持する循環走行可能な無端状の搬送ベルトと、
各搬送ベルトの上側部分に対応した位置に設けられ、前記搬送方向へ延びてあって、前記搬送ベルトの上側部分を前記搬送方向へ案内支持する支持面を有し、前記支持面に前記搬送ベルトの上側部分へ向かって清浄ガスを噴射するノズル孔が開口形成され、前記ノズル孔が清浄ガスを供給するガス供給源に接続可能になっているベルトガイドと、
一対の前記搬送ベルトを同期して循環走行させる走行モータと、を具備したことを特徴とする基板搬送装置。 - 各ベルトガイドの内部に清浄ガスを収容するチャンバーが形成され、各チャンバーが前記ガス供給源に接続可能であって、各ベルトガイドの前記ノズルが前記チャンバーに連通してあることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 各サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数の補助ローラと、
各複数の補助ローラに巻回され、金属板により構成され、上側部分が前記搬送ベルトの上側部分と前記ベルトガイドの前記支持面の間に位置するように前記搬送方向へ延びてあって、前記搬送ベルトの循環走行に伴って循環走行する無端状の金属ベルトと、を具備したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板搬送装置。 - 各搬送ベルトとして、丸ベルト、或いは外周側に無端状のリブを有しかつ強化繊維を内包したリブ付き平ベルトを用いたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板搬送装置。
- 前記サポート部材、前記ローラ、前記搬送ベルト、前記支持面、前記ノズル孔、前記ベルトガイド、及び前記走行モータがそれぞれ下部サポート部材、下部ローラ、下部搬送ベルト、下部支持面、下部ノズル孔、下部ベルトガイド、及び下部搬送ベルト用走行モータであって、
各下部サポート部材の上方側に昇降可能に設けられた上部サポート部材と、
各上部サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数の上部ローラと、
各複数の上部ローラに巻回され、少なくとも下側部分が前記搬送方向へ延びてあって、前記下部搬送ベルトと協働して基板の幅方向の端部を上下方向から挟持する循環走行可能な無端状の上部搬送ベルトと、
各上部搬送ベルトの下側部分に対応した位置に設けられ、前記搬送方向へ延びてあって、前記上部搬送ベルトの下側部分を前記搬送方向へ案内支持する上部支持面を有し、前記上部支持面に前記上部搬送ベルトの下側部分へ向かって清浄ガスを噴射する上部ノズル孔が開口形成され、前記上部ノズル孔が前記ガス供給源に接続可能になっている上部ベルトガイドと、
一対の前記上部搬送ベルトを循環走行させる上部搬送ベルト用走行モータと、を具備したことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 各下部ベルトガイドの内部に清浄ガスを収容する下部チャンバーが形成され、各下部チャンバーが前記ガス供給源に接続可能であって、各下部ベルトガイドの前記下部ノズルが前記下部チャンバーに連通し、
各上部ベルトガイドの内部にガスを収容する上部チャンバーが形成され、各上部チャンバーが前記ガス供給源に接続可能であって、各上部ベルトガイドの前記下部ノズルが前記下部チャンバーに連通してあることを特徴とする請求項5に記載の基板搬送装置。 - 各下部サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数の下部補助ローラと、
各複数の下部補助ローラに巻回され、金属板により構成され、上側部分が前記下部搬送ベルトの上側部分と前記下部ベルトガイドの前記下部支持面の間に位置するように前記搬送方向へ延びてあって、前記下部搬送ベルトの循環走行に伴って循環走行する無端状の下部金属ベルトと、
各上部サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数の上部補助ローラと、
各複数の上部補助ローラに巻回され、金属板により構成され、下側部分が前記上部搬送ベルトの下側部分と前記上部ベルトガイドの前記上部支持面の間に位置するように前記搬送方向へ延びてあって、前記上部搬送ベルトの循環走行に伴って循環走行する無端状の上部金属ベルトと、を具備したことを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の基板搬送装置。 - 各下部搬送ベルト及び各上部搬送ベルトは、丸ベルト、或いは外周側に無端状のリブを有しかつ強化繊維を内包したリブ付き平ベルトであることを特徴とする請求項5から請求項7のうちのいずれか1項の請求項に記載の基板搬送装置。
- シート状の基板を搬送方向へ搬送しかつ基板に対して処理を行う基板搬送処理システムにおいて、
基板に対して処理を行う基板処理装置と、
前記基板処理装置の前記搬送方向の上流側及び下流側にそれぞれ配設された請求項1から請求項8のうちのいずれか1項の請求項に記載の基板搬送装置と、を具備したことを特徴とする基板搬送処理システム。
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2013
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